JPS59837A - ウイ−ン・フイルタ - Google Patents
ウイ−ン・フイルタInfo
- Publication number
- JPS59837A JPS59837A JP10869082A JP10869082A JPS59837A JP S59837 A JPS59837 A JP S59837A JP 10869082 A JP10869082 A JP 10869082A JP 10869082 A JP10869082 A JP 10869082A JP S59837 A JPS59837 A JP S59837A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pole
- point
- electrodes
- electric field
- wien filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
- H01J49/46—Static spectrometers
- H01J49/466—Static spectrometers using crossed electric and magnetic fields perpendicular to the beam, e.g. Wien filter
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/05—Electron or ion-optical arrangements for separating electrons or ions according to their energy or mass
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ｔａｌ 発明の技術分野
本発明はウィーン・フィルタの改良された構造に関する
。
。
（ｂｌ 従来技術と問題点
イオン分離装置の要部であるウィーン・フィルタの従来
の構造は、第１図に示す如く、対向して配設された一対
の平面電極１，２と、一対のポールピース３，４とを、
それぞれが形成する電界と磁界とが互いに直交するよう
に配置し、紙面の向う側より手前側に向かって飛行する
イオン（この場合圧イオン）を分離して所望のイオンの
みを選び出すと共に、この選び出されたイオンを、上記
電界と磁界の作用で一方向に集束させるものである。
の構造は、第１図に示す如く、対向して配設された一対
の平面電極１，２と、一対のポールピース３，４とを、
それぞれが形成する電界と磁界とが互いに直交するよう
に配置し、紙面の向う側より手前側に向かって飛行する
イオン（この場合圧イオン）を分離して所望のイオンの
みを選び出すと共に、この選び出されたイオンを、上記
電界と磁界の作用で一方向に集束させるものである。
しかし上記従来のウィーン・フィルタは、選び出された
イオンが一方向にしか集束しないという欠点がある。即
ち、同図において紙面９手前側に向かって（この方向を
Ｚ方向とする）飛翔する選び出されたイオンは、電界の
方向（水平方向、これをＸ方向とする）には集束するが
、磁界の方向く垂直方向、これをＹ方向とする）には集
束しない。
イオンが一方向にしか集束しないという欠点がある。即
ち、同図において紙面９手前側に向かって（この方向を
Ｚ方向とする）飛翔する選び出されたイオンは、電界の
方向（水平方向、これをＸ方向とする）には集束するが
、磁界の方向く垂直方向、これをＹ方向とする）には集
束しない。
そのためイオンビームの断面形状は橢円状となり、ビー
ムを十分に細く絞ることが出来ない。従ってＬＳ Ｉ、
超ＬＳＩとますますパターンが微細化し且つ高集積化す
る半導体装置の製造工程において、イオンビーム・エツ
チング或いはイオンビーム露光等の微細加工に使用する
のに不都合を生しる。
ムを十分に細く絞ることが出来ない。従ってＬＳ Ｉ、
超ＬＳＩとますますパターンが微細化し且つ高集積化す
る半導体装置の製造工程において、イオンビーム・エツ
チング或いはイオンビーム露光等の微細加工に使用する
のに不都合を生しる。
（Ｃ１発明の目的
本発明の目的は上記問題点を解消して、選び出されたイ
オンを二方向に集束させることの出来るウィーン・フィ
ルタを提供することにある。
オンを二方向に集束させることの出来るウィーン・フィ
ルタを提供することにある。
ｔｄ） 発明の構成
本発明の特徴は、表面が所定点を曲率中心とする略同心
状の一対の円筒面の一部をなし、且つ放射状の電界を形
成する如く配設された一対の電極と、前記電界に交叉す
る磁界を形成する如く配設された一対のポールピースと
を具備し、前記一対の電極及び前記一対のポールピース
とに囲まれた空間内を飛行する荷電粒子の中から、所望
の荷電粒子を前記電界及び磁界の作用により分離し且つ
集束せしめるようにしたことにある。
状の一対の円筒面の一部をなし、且つ放射状の電界を形
成する如く配設された一対の電極と、前記電界に交叉す
る磁界を形成する如く配設された一対のポールピースと
を具備し、前記一対の電極及び前記一対のポールピース
とに囲まれた空間内を飛行する荷電粒子の中から、所望
の荷電粒子を前記電界及び磁界の作用により分離し且つ
集束せしめるようにしたことにある。
ｆｅ） 発明の実施例
以下本発明を実施例により具体的に説明する。
第２図は本発明に係るウィーン・フィルタの第■の実施
例を示す要部斜視図で、１１は外側電極、１２は内側電
極、１３及び１４はポールピースでそれぞれＳ極及びＮ
極である。
例を示す要部斜視図で、１１は外側電極、１２は内側電
極、１３及び１４はポールピースでそれぞれＳ極及びＮ
極である。
上記第１の実施例においては、外側及び内側電極１１．
１２の互いに対向する面の形状を、点Ｏを中心とする２
個の同心状円筒面の一部とした点が従来の構造と異なる
。２個の電極表面の形状をこのように形成し、外側電極
１１に正（＋）、内側電極１２に負（−）の電位を与え
ると、ウィーン・フィルタ内部には同図の矢線Ｅ０て示
すように点０に向かう放射状の電界が形成される。一方
Ｎ極１４とＳ極１３とは平行に対向しているので、Ｎ極
１４からＳ極１３に向かって従来と同じく、矢線Ｂ０に
みられるような平行磁界が形成される。
１２の互いに対向する面の形状を、点Ｏを中心とする２
個の同心状円筒面の一部とした点が従来の構造と異なる
。２個の電極表面の形状をこのように形成し、外側電極
１１に正（＋）、内側電極１２に負（−）の電位を与え
ると、ウィーン・フィルタ内部には同図の矢線Ｅ０て示
すように点０に向かう放射状の電界が形成される。一方
Ｎ極１４とＳ極１３とは平行に対向しているので、Ｎ極
１４からＳ極１３に向かって従来と同じく、矢線Ｂ０に
みられるような平行磁界が形成される。
上記第１の実施例は紙面の向う側から手前側に向かって
飛行する正のイオンの中から所望のイオンを分離し、こ
れを集束せしめるためのウィーン・フィルタの例である
。第３図は本実施例の動作原理を説明するために掲げた
図で、上記第２図の正面断面図である。
飛行する正のイオンの中から所望のイオンを分離し、こ
れを集束せしめるためのウィーン・フィルタの例である
。第３図は本実施例の動作原理を説明するために掲げた
図で、上記第２図の正面断面図である。
同図に示すように、２個の電極１１及び１２の中央の点
Ｐの電位が０となるように外側電極１１に正（＋）、内
側電極１２に（−）の電位を与える。このとき発生する
電界をＥｏとする。またＮ極１４からＳ極１３に向かっ
て形成される平行磁界の強度をＢｏとする。なお上記点
Ｐと同心円の中心点０を結ぶ線がＸ軸に、また点Ｐを通
り磁界の方向に平行な線がＹ軸に一致するように、更に
２点０，２間の距離ＲＥが Ｒε＝２Ｖ。／Ｅ、
（ここで■。は点Ｐを通るイオンの加速電圧）となるよ
うに、電極１１、１２及びポールピース１３．１４の位
置を定める。
Ｐの電位が０となるように外側電極１１に正（＋）、内
側電極１２に（−）の電位を与える。このとき発生する
電界をＥｏとする。またＮ極１４からＳ極１３に向かっ
て形成される平行磁界の強度をＢｏとする。なお上記点
Ｐと同心円の中心点０を結ぶ線がＸ軸に、また点Ｐを通
り磁界の方向に平行な線がＹ軸に一致するように、更に
２点０，２間の距離ＲＥが Ｒε＝２Ｖ。／Ｅ、
（ここで■。は点Ｐを通るイオンの加速電圧）となるよ
うに、電極１１、１２及びポールピース１３．１４の位
置を定める。
ウィーン・フィルタを上述の如く構成し、電界強度Ｅ０
と磁束密度Ｂ０を、選び出したいイオンの入射速度をｖ
ｏとしたとき、 Ｅｏ−ｖｌ、Ｂｏ ・・・■を満たすよ
うに調節する。すると入射イオンの内選び出したいイオ
ンは、電界と磁界から作用する力が釣り合ってウィーン
・フィルタの中心線に沿って飛来するが、その他のイオ
ンは軌道が曲げられ、分離される。
と磁束密度Ｂ０を、選び出したいイオンの入射速度をｖ
ｏとしたとき、 Ｅｏ−ｖｌ、Ｂｏ ・・・■を満たすよ
うに調節する。すると入射イオンの内選び出したいイオ
ンは、電界と磁界から作用する力が釣り合ってウィーン
・フィルタの中心線に沿って飛来するが、その他のイオ
ンは軌道が曲げられ、分離される。
上記ウィーン・フィルタの略中心線に沿って飛来するイ
オン、即ち選び出したいイオンに対し、従来のウィーン
・フィルタと同様にＸ方向に集束する力が作用するのみ
ならず、本実施例ではＹ方向にも集束する力が作用する
。以下この点について詳述する。
オン、即ち選び出したいイオンに対し、従来のウィーン
・フィルタと同様にＸ方向に集束する力が作用するのみ
ならず、本実施例ではＹ方向にも集束する力が作用する
。以下この点について詳述する。
ウィーン・フィルタ内の任意の点Ｑ（ｘ、ｙ）の電位を
■９ とし、点０と点２間の距離をＲＥ とすると、 Ｖａ ＝ Ｅａ （Ｘ ）” ／２Ｒｅ−ｘｙ
” ／２Ｒ♂ ＋・・・）・・・■で表される。従って
点Ｐを通るイオンが電圧Ｖ０で加速されるとすると、点
Ｑを通るイオンは（■。
■９ とし、点０と点２間の距離をＲＥ とすると、 Ｖａ ＝ Ｅａ （Ｘ ）” ／２Ｒｅ−ｘｙ
” ／２Ｒ♂ ＋・・・）・・・■で表される。従って
点Ｐを通るイオンが電圧Ｖ０で加速されるとすると、点
Ｑを通るイオンは（■。
ＶＱ）で加速されることになる。よって点Ｑを通るイオ
ンの速さＶは、 ｖ＝ （１＋ＥｏＸ／２Ｖ。
ンの速さＶは、 ｖ＝ （１＋ＥｏＸ／２Ｖ。
−（Ｅ’、ｘ” ／８Ｖ、”
＋ Ｅｏ ）’ ” ／ ４ ＶＯＲｙ ） ＋−１’
ｖｏ （１＋Ｅｏｘ／２Ｖａ ） −■ここで
ｖ、ｏ ” ＝ （２ｑＶｏ ／ｍ、）ｍｏ ：イオン
の質量 ｑ ：イオンの持つ電荷量 上式において Ｅ、−ｖ。Ｂｏ （■式〕であるから、
イオンのＸ方向の運動方程式は、 ”、’ −ｑＥｏ ｃ ｏ ｓθＥ−ｑｖＢ、 ・・
・■、’−ｍｏＭ−−ｑＥＩ、’ ｘ／２Ｖ、
・・・■またイオンのＹ方向の運動方程式は、 ｒｒｌ、 ｙ＝−ｑＥ、 ｓ ｉｎ／７ａ
−−−■” Ｉｎｏ ’ｉ＝ ＱＥ＋＋ ｙ／Ｒ・
・・■ここで、点Ｏと点Ｐ間の距離Ｒを ＲＥ−２■。／ Ｅ １１ ・・・■と
選んであるので、Ｙ方向の運動方程式もＸ方向の連動方
程式と等しい形の ｍｏ ’Ｖ−Ｑ Ｅｏ ’ ｙ／ ２ Ｖ。 ・・
・■となる。
ｖｏ （１＋Ｅｏｘ／２Ｖａ ） −■ここで
ｖ、ｏ ” ＝ （２ｑＶｏ ／ｍ、）ｍｏ ：イオン
の質量 ｑ ：イオンの持つ電荷量 上式において Ｅ、−ｖ。Ｂｏ （■式〕であるから、
イオンのＸ方向の運動方程式は、 ”、’ −ｑＥｏ ｃ ｏ ｓθＥ−ｑｖＢ、 ・・
・■、’−ｍｏＭ−−ｑＥＩ、’ ｘ／２Ｖ、
・・・■またイオンのＹ方向の運動方程式は、 ｒｒｌ、 ｙ＝−ｑＥ、 ｓ ｉｎ／７ａ
−−−■” Ｉｎｏ ’ｉ＝ ＱＥ＋＋ ｙ／Ｒ・
・・■ここで、点Ｏと点Ｐ間の距離Ｒを ＲＥ−２■。／ Ｅ １１ ・・・■と
選んであるので、Ｙ方向の運動方程式もＸ方向の連動方
程式と等しい形の ｍｏ ’Ｖ−Ｑ Ｅｏ ’ ｙ／ ２ Ｖ。 ・・
・■となる。
従ってウィーン・フィルタ内を飛行する正のイオンは、
Ｘ方向、Ｙ方向ともに同じ運動をする。
Ｘ方向、Ｙ方向ともに同じ運動をする。
つまり上記イオンに対してＸ方向、Ｙ方向共に同じ力が
作用することを意味し、従って分離選択されたイオンは
Ｘ、Ｙの両方向に沿って集束されることとなる。
作用することを意味し、従って分離選択されたイオンは
Ｘ、Ｙの両方向に沿って集束されることとなる。
次に本発明の第２の実施例を第４図の要部断面図により
説明する。
説明する。
本実施例は図示せる如く、第１の実施例においては２個
のポールピース１３．１４を平行に対向せしめたのに対
し、本実施例では両者の対向する面を斜交せしめた点が
異なる。この場合磁界は矢線Ｂ０で示すように湾曲する
。その曲率をＲＢとすると、Ｒ７とＲＢとを （２／ Ｒｓ） ＋ （１／ ＲＥ） ＝ ２
Ｖ。／ Ｅ ａ ・・・［相］を満足するよう選ぶ。
のポールピース１３．１４を平行に対向せしめたのに対
し、本実施例では両者の対向する面を斜交せしめた点が
異なる。この場合磁界は矢線Ｂ０で示すように湾曲する
。その曲率をＲＢとすると、Ｒ７とＲＢとを （２／ Ｒｓ） ＋ （１／ ＲＥ） ＝ ２
Ｖ。／ Ｅ ａ ・・・［相］を満足するよう選ぶ。
なお磁界の曲率中心Ｏ°の位置は、同図に見られる如く
２個のポールピース１３、１４を挾んで互いに反対側に
位置するよう構成する。
２個のポールピース１３、１４を挾んで互いに反対側に
位置するよう構成する。
このように構成した第２の実施例によっても、選び出さ
れたイオンを二方向に集束せしめることが出来る。
れたイオンを二方向に集束せしめることが出来る。
上記２つの実施例はいずれも正の荷電粒子に対してＸ方
向、Ｙ方向の二方向集束性を有するウィーン・フィルタ
の例であるが、本発明を用いて負の荷電粒子に対して二
方向集束性を有するウィーン・フィルタを構成すること
も可能である。
向、Ｙ方向の二方向集束性を有するウィーン・フィルタ
の例であるが、本発明を用いて負の荷電粒子に対して二
方向集束性を有するウィーン・フィルタを構成すること
も可能である。
この場合には、第２図〜第４図においてＮ極とＳ極を反
対にし、且つ外側電極１１に負（−）の電位を、内側電
極１２に正（＋）の電位を与えれば良い。
対にし、且つ外側電極１１に負（−）の電位を、内側電
極１２に正（＋）の電位を与えれば良い。
つまりこれらの関係は次のようにまとめることが出来る
。即ち荷電粒子の電流ベクトルをｉとし、磁束密度ベク
トルを百とすると、了から盲の向きに右ネジをまわした
とき、ネジの進む方向の電極を外側電極とし、これに上
記荷電粒子の極性と同じ符号の電位を与え、他方の電極
を内側電極として上記荷電粒子の極性とは反対符号の電
位を与えることにより、正、負のいずれの荷電粒子に対
しても二つの方向に集束性を有するウィーン・フィルタ
を構成することが出来る。
。即ち荷電粒子の電流ベクトルをｉとし、磁束密度ベク
トルを百とすると、了から盲の向きに右ネジをまわした
とき、ネジの進む方向の電極を外側電極とし、これに上
記荷電粒子の極性と同じ符号の電位を与え、他方の電極
を内側電極として上記荷電粒子の極性とは反対符号の電
位を与えることにより、正、負のいずれの荷電粒子に対
しても二つの方向に集束性を有するウィーン・フィルタ
を構成することが出来る。
（ｆｌ 発明の詳細
な説明した如く本発明のウィーン・フィルタによれば、
正及び負のいずれの荷電粒子線をもＸ方向及びＹ方向の
二方向に集束させることが出来る。従ってビームの断面
形状を円形に維持したまま、ビーム径を絞ることが可能
となる。
正及び負のいずれの荷電粒子線をもＸ方向及びＹ方向の
二方向に集束させることが出来る。従ってビームの断面
形状を円形に維持したまま、ビーム径を絞ることが可能
となる。
第１図は従来のウィーン・フィルタの説明に供するため
の要部断面図、第２図は本発明の第１の実施例を示す要
部斜視図、第３図はその動作原理を説明するための要部
正面断面図、第４図は本発明の第２の実施例を示す要部
正面断面図である。 図において、１１は外側電極、１２は内側電極、１３及
びＩ４は一対のポールピースで、１３はＳ極、 １４
はＮ極、０は上記２個の電極１１．１２の曲率中心Ｐは
上記２個の電極１１．１２の中央の点を示す。
の要部断面図、第２図は本発明の第１の実施例を示す要
部斜視図、第３図はその動作原理を説明するための要部
正面断面図、第４図は本発明の第２の実施例を示す要部
正面断面図である。 図において、１１は外側電極、１２は内側電極、１３及
びＩ４は一対のポールピースで、１３はＳ極、 １４
はＮ極、０は上記２個の電極１１．１２の曲率中心Ｐは
上記２個の電極１１．１２の中央の点を示す。
Claims (1)
- 表面が所定点を曲率中心とする略同心状の一対の円筒面
の一部をなし、且つ放射状の電界を形成する如く配設さ
れた一対の電極と、前記電界に交叉する磁界を形成する
如く配設された一対のポールピースとを具備し、前記一
対の電極及び前記一対のポールピースとに囲まれた空間
内を飛行する荷電粒子の中から所望の荷電粒子を、前記
電界及び磁界の作用により分離し且つ集束せしめるよう
にしたことを特徴とするウィーン・フィルタ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10869082A JPS59837A (ja) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | ウイ−ン・フイルタ |
| EP83303594A EP0097535A3 (en) | 1982-06-23 | 1983-06-22 | Crossed-field velocity filter and ion-beam processing system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10869082A JPS59837A (ja) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | ウイ−ン・フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59837A true JPS59837A (ja) | 1984-01-06 |
Family
ID=14491174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10869082A Pending JPS59837A (ja) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | ウイ−ン・フイルタ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0097535A3 (ja) |
| JP (1) | JPS59837A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61172192A (ja) * | 1985-01-26 | 1986-08-02 | ヤマハ株式会社 | 電子楽器 |
| JPS61198298A (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-02 | ヤマハ株式会社 | 電子楽器 |
| JPS61292196A (ja) * | 1985-06-20 | 1986-12-22 | ヤマハ株式会社 | 電子楽器の制御装置 |
| JPS62164094A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-20 | カシオ計算機株式会社 | 空気流応答型電子楽器 |
| JPH01187753A (ja) * | 1988-01-21 | 1989-07-27 | Jeol Ltd | 不均一電場を利用した重畳場エネルギー分析装置 |
| JPH06222766A (ja) * | 1993-12-09 | 1994-08-12 | Roland Corp | 電子打楽器の検出装置 |
| JPH08234744A (ja) * | 1996-01-26 | 1996-09-13 | Yamaha Corp | 電子楽器 |
| US6407384B1 (en) * | 1999-07-05 | 2002-06-18 | Jeol Ltd. | Energy filter and electron microscope using same |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0236807A3 (de) * | 1986-03-07 | 1990-05-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Spektrometerobjektiv für die Korpuskularstrahl-Messtechnik |
| DE69212858T2 (de) * | 1991-02-22 | 1997-03-20 | Shimadzu Corp | Rückstreuionenspektrometer |
| EP2312610B1 (en) * | 2009-10-15 | 2015-11-25 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Charged particle device with an achromatic beam deflector, or an achromatic beam separator, and method of operating |
| US8373136B2 (en) | 2009-10-15 | 2013-02-12 | Ict Integrated Circuit Testing Gesellschaft Fur Halbleiterpruftechnik Mbh | Achromatic beam deflector, achromatic beam separator, charged particle device, method of operating an achromatic beam deflector, and method of operating an achromatic beam separator |
| CN102117729B (zh) * | 2009-12-31 | 2014-03-19 | 上海凯世通半导体有限公司 | 离子束传输装置 |
| CN111146070B (zh) * | 2019-12-25 | 2023-06-16 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种小型高性能空间探测质谱计 |
-
1982
- 1982-06-23 JP JP10869082A patent/JPS59837A/ja active Pending
-
1983
- 1983-06-22 EP EP83303594A patent/EP0097535A3/en not_active Withdrawn
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61172192A (ja) * | 1985-01-26 | 1986-08-02 | ヤマハ株式会社 | 電子楽器 |
| JPS61198298A (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-02 | ヤマハ株式会社 | 電子楽器 |
| JPH079581B2 (ja) * | 1985-02-28 | 1995-02-01 | ヤマハ株式会社 | 電子楽器 |
| JPS61292196A (ja) * | 1985-06-20 | 1986-12-22 | ヤマハ株式会社 | 電子楽器の制御装置 |
| JPH079580B2 (ja) * | 1985-06-20 | 1995-02-01 | ヤマハ株式会社 | 電子楽器の制御装置 |
| JPS62164094A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-20 | カシオ計算機株式会社 | 空気流応答型電子楽器 |
| JPH079575B2 (ja) * | 1986-01-16 | 1995-02-01 | カシオ計算機株式会社 | 空気流応答型電子楽器 |
| JPH01187753A (ja) * | 1988-01-21 | 1989-07-27 | Jeol Ltd | 不均一電場を利用した重畳場エネルギー分析装置 |
| JPH06222766A (ja) * | 1993-12-09 | 1994-08-12 | Roland Corp | 電子打楽器の検出装置 |
| JPH08234744A (ja) * | 1996-01-26 | 1996-09-13 | Yamaha Corp | 電子楽器 |
| US6407384B1 (en) * | 1999-07-05 | 2002-06-18 | Jeol Ltd. | Energy filter and electron microscope using same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0097535A2 (en) | 1984-01-04 |
| EP0097535A3 (en) | 1985-07-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59837A (ja) | ウイ−ン・フイルタ | |
| US2919381A (en) | Electron lens | |
| Rempfer | A theoretical study of the hyperbolic electron mirror as a correcting element for spherical and chromatic aberration in electron optics | |
| US8436317B1 (en) | Wien filter | |
| JP5826529B2 (ja) | スピン回転装置 | |
| JP4074185B2 (ja) | エネルギーフィルタ及び電子顕微鏡 | |
| JP4278300B2 (ja) | ウィーンフィルター | |
| JPS5942960B2 (ja) | プラズマ閉込装置 | |
| Matsuda et al. | Approach for simultaneous measurement of two-dimensional angular distribution of charged particles. II. Deceleration and focusing of wide-angle beams using a curved mesh lens | |
| JP2893767B2 (ja) | 荷電粒子集束装置 | |
| JP3040245B2 (ja) | ウィーンフィルタ | |
| US3629576A (en) | Accelerator tube electrode for focusing a beam of charged particles | |
| Septier | The struggle to overcome spherical aberration in electron optics | |
| US3225270A (en) | Pole shoe assembly for a cyclotron electromagnet | |
| JP3707082B2 (ja) | 四重極質量分析装置 | |
| JPS58169858A (ja) | 荷電粒子フイルタ | |
| JP2001190932A (ja) | 線形フィルタ | |
| Poritsky et al. | An integrable case of electron motion in electric and magnetic field | |
| JPH04209500A (ja) | イオンビーム加減速器 | |
| JPH02201855A (ja) | ウィーンフィルタ | |
| JPS5853472B2 (ja) | イオンチユウニユウヨウ シツリヨウブンリソウチ | |
| JPH02264287A (ja) | 教材用電子模型 | |
| JPH0339280B2 (ja) | ||
| JPS63231867A (ja) | 傾斜磁極を有するウィーンフィルタ | |
| JPH05275057A (ja) | ウィーンフィルタ |