JPS5979492A - Eprom装置 - Google Patents
Eprom装置Info
- Publication number
- JPS5979492A JPS5979492A JP57189104A JP18910482A JPS5979492A JP S5979492 A JPS5979492 A JP S5979492A JP 57189104 A JP57189104 A JP 57189104A JP 18910482 A JP18910482 A JP 18910482A JP S5979492 A JPS5979492 A JP S5979492A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cell
- dummy cell
- memory
- dummy
- sense amplifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C17/00—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards
Landscapes
- Read Only Memory (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
コノ発明は、MOSFET(絶縁ゲ−1・型電昇9)、
!!、1−/ンソスタ)で構成されたEP)?OM(I
L・りI−リカリ・ブ1.]グラ°ンフ゛ル・リード・
オンリー ・ノlリフ装置に関する。
!!、1−/ンソスタ)で構成されたEP)?OM(I
L・りI−リカリ・ブ1.]グラ°ンフ゛ル・リード・
オンリー ・ノlリフ装置に関する。
12△へ40S()!二z−ティング・アバランシュイ
ンジェクションMO5FIll!、T)のような半導体
素子を記1.a素子(メモリセル)とするE P RO
IVI装置が公知である。
ンジェクションMO5FIll!、T)のような半導体
素子を記1.a素子(メモリセル)とするE P RO
IVI装置が公知である。
従来のEPROM装置では、メモリセルからの読み出し
信号を増幅するセンスアンプは、固定電圧を基準電圧と
して読め出し信壮のハイレ・\ル/ロウレヘルの識別を
している。この読み出しイ^冒は電源電圧Vccに追随
して変化するので、上記固定の基準電圧を用いたのでは
センスアンプ部での電源電圧マージンがあまり人きく取
れないとう欠点がある。
信号を増幅するセンスアンプは、固定電圧を基準電圧と
して読め出し信壮のハイレ・\ル/ロウレヘルの識別を
している。この読み出しイ^冒は電源電圧Vccに追随
して変化するので、上記固定の基準電圧を用いたのでは
センスアンプ部での電源電圧マージンがあまり人きく取
れないとう欠点がある。
この発明の目的は、電源電圧マージンの拡大を図ったE
l)ROM装置を擢イバするごとるこある。
l)ROM装置を擢イバするごとるこある。
この発明の他の目的は、以下の説明及び図面から明らか
になるであろう。
になるであろう。
以下、この発明を実施例とともに詳細に説明する。
第1図には、この発明の一実施例の回路図が示されてい
るわ 同図の各回路素子は、公知のMO3半導体集わマ回路の
製造技術によって、シリコンのような半導体基1に一ヒ
において形成される。
るわ 同図の各回路素子は、公知のMO3半導体集わマ回路の
製造技術によって、シリコンのような半導体基1に一ヒ
において形成される。
このF、 P ROM装置ば、図示しない外部端子から
(JL給されるアドレス信号を受けるアドレスバッファ
を通して形成された相補アドレス信号がアトし・スデコ
ーダX−DCR,Y−DCRに入力される。
(JL給されるアドレス信号を受けるアドレスバッファ
を通して形成された相補アドレス信号がアトし・スデコ
ーダX−DCR,Y−DCRに入力される。
アルレスデコーダX−DCRは、その相補ア(レス信号
に従ったメモリアレイM −A RYのツー1線Wの選
択信号を形成する。
に従ったメモリアレイM −A RYのツー1線Wの選
択信号を形成する。
アドレスデコーダY−DCRば、その相補アドレス信号
乙こ従ったメモリアレイM−ARYのデータ線りの選択
信号を形成する。
乙こ従ったメモリアレイM−ARYのデータ線りの選択
信号を形成する。
−に記メモリアレイM−ARYは、その代表として示さ
れている複数のFAMO3l−ランジスタ(不揮発性メ
モリ素子・・MO3FETQ1〜Q6)と、ソー1−線
Wl、W2及びデータ線D1〜1〕11とにより構成さ
れている。
れている複数のFAMO3l−ランジスタ(不揮発性メ
モリ素子・・MO3FETQ1〜Q6)と、ソー1−線
Wl、W2及びデータ線D1〜1〕11とにより構成さ
れている。
1−記メT:IIアレイM−ΔRYにおいて、同じ行に
配置されたFΔMo5t−ランジスクQ1〜Q3(Q4
〜Q6)のコントロールケ−1〜は、それぞれ対応する
ワード線Wl (W2)に接続され、同じ列に配置さ
れたFΔMO3+・ランジスタQ1゜Q3〜Q3.Q6
のドレインは、それぞれ対応するデータ線D1〜Dnに
接続されている。
配置されたFΔMo5t−ランジスクQ1〜Q3(Q4
〜Q6)のコントロールケ−1〜は、それぞれ対応する
ワード線Wl (W2)に接続され、同じ列に配置さ
れたFΔMO3+・ランジスタQ1゜Q3〜Q3.Q6
のドレインは、それぞれ対応するデータ線D1〜Dnに
接続されている。
そして、上記FAMO3I−ランシスタの共通ソース線
CSば、ディプレッションM OS F IE T Q
22を介して接地されている。また、1−記各テタ線D
1〜Dnは、カラム(列)選択スイッチMO3FE−V
QII〜Q13を介して、共通デ り線CDに接続され
ている。
CSば、ディプレッションM OS F IE T Q
22を介して接地されている。また、1−記各テタ線D
1〜Dnは、カラム(列)選択スイッチMO3FE−V
QII〜Q13を介して、共通デ り線CDに接続され
ている。
この実施例では、1−記メモリアレイM−ARYからの
読み出しのための基準電圧を形成するため、次のダミー
セルアレイDCAが設LJられる。
読み出しのための基準電圧を形成するため、次のダミー
セルアレイDCAが設LJられる。
1つのダミーセルは、上記同様なFAMO3トランジス
タQ7.Q8の直列回路により構成される。これらのF
AMO5I・ランジスタQ7.QBは、それぞれ上記メ
モリセルを構成するFAMOSトランジスタQ1〜Q6
と同一のコンダクタンス特性を持つように形成される。
タQ7.Q8の直列回路により構成される。これらのF
AMO5I・ランジスタQ7.QBは、それぞれ上記メ
モリセルを構成するFAMOSトランジスタQ1〜Q6
と同一のコンダクタンス特性を持つように形成される。
他のタミーセルを構成する直列形態のFへMO81ラン
シスタQ9.QIOも上記同様である。
シスタQ9.QIOも上記同様である。
そして、1−記FAMO3I−ランジスタQ7.Q8(
Q9、(λ10)のコントロールゲートは、対応する行
のワード線W2 (Wl)に接続され、上記ド△M O
S l・ランジスタQ7.Q9のドレインは、ダミーデ
ータ線DDに接続される。また、上記F A M OS
)ランジスクQ8.QIOのソースは、1−記共通ソ
ース線C8に接続される。
Q9、(λ10)のコントロールゲートは、対応する行
のワード線W2 (Wl)に接続され、上記ド△M O
S l・ランジスタQ7.Q9のドレインは、ダミーデ
ータ線DDに接続される。また、上記F A M OS
)ランジスクQ8.QIOのソースは、1−記共通ソ
ース線C8に接続される。
したがって、ソート線選択動作により1行のメモリセル
と、1つのダミーセルとが同時に選択される。
と、1つのダミーセルとが同時に選択される。
そして、アドレスデコーダY−DCRで形成された選4
)J (,3号により、カラムスイッチM OS F
ET Q I l〜Q13のうらいずれか1つと、タミ
ーデータ線f) I)を選択するMO3FETQ]4と
がオン状態とされるので、次に説明するセンスアンプS
Δには、1つのメモリセルからの読み出し信冒と、に記
タミーセルからの基準電圧とが入力され2る。
)J (,3号により、カラムスイッチM OS F
ET Q I l〜Q13のうらいずれか1つと、タミ
ーデータ線f) I)を選択するMO3FETQ]4と
がオン状態とされるので、次に説明するセンスアンプS
Δには、1つのメモリセルからの読み出し信冒と、に記
タミーセルからの基準電圧とが入力され2る。
センスアンプSAは、」1記選択されたメモリセル及び
ダミーセルからの信号を受りる差動MO3FETQI
7.Ql 8と、その共通ソースに設しノられたMO3
FETQ]9と、J−記差動M OS FETQ17.
Ql8の1〜レインに設のられた負荷MO3FIETQ
I 5.Ql 6とにより構成される。
ダミーセルからの信号を受りる差動MO3FETQI
7.Ql 8と、その共通ソースに設しノられたMO3
FETQ]9と、J−記差動M OS FETQ17.
Ql8の1〜レインに設のられた負荷MO3FIETQ
I 5.Ql 6とにより構成される。
上記負荷MO3FETQI 5.Ql 6は、特に制限
されないが、他のMOS F ETとは異なりpチャン
ネルM OS F r?、i’で構成され、電流ミラー
形態にされることによって、アクティブな9荷として作
用する。また、」−記MOS F ETQ 19は、そ
のゲートに所定のタイミング信53φpaが印加され、
このタイミング信号φpaのハイレベルによりオン状態
となってセンスアンプSAを活性化させる。
されないが、他のMOS F ETとは異なりpチャン
ネルM OS F r?、i’で構成され、電流ミラー
形態にされることによって、アクティブな9荷として作
用する。また、」−記MOS F ETQ 19は、そ
のゲートに所定のタイミング信53φpaが印加され、
このタイミング信号φpaのハイレベルによりオン状態
となってセンスアンプSAを活性化させる。
に記センスアンプSAの人力には、タイミング信号φp
cを受4JるプリチャージM OS F E T Q
20、Q21が設けられ、読み出し動作に先立−2てV
cc−Vtl+ (MO3FBTQ20.Q24のしき
い値電圧)レベルにプリチャージされる。そし、゛乙そ
の読み出し環1陥出力は、データ出カバソファD013
を通して外部出力端子DouLから出力される。
cを受4JるプリチャージM OS F E T Q
20、Q21が設けられ、読み出し動作に先立−2てV
cc−Vtl+ (MO3FBTQ20.Q24のしき
い値電圧)レベルにプリチャージされる。そし、゛乙そ
の読み出し環1陥出力は、データ出カバソファD013
を通して外部出力端子DouLから出力される。
なお、図示しないが、上記メモリセル構成するFAMO
3のフローティングゲー1〜に電荷ヲアハランシ□注入
するための高電圧を供給する吉込め用回11!8が上記
アドレスデコーダX−DCR,Y−1) CR及びデー
タ入カバソファDIBに設けられるものである。
3のフローティングゲー1〜に電荷ヲアハランシ□注入
するための高電圧を供給する吉込め用回11!8が上記
アドレスデコーダX−DCR,Y−1) CR及びデー
タ入カバソファDIBに設けられるものである。
なお、ごの書込め動作は、フローティングケ=1−に電
萄をアバランシュ注入してそのしきい値電圧を10iめ
て、ゲ−]・に印加されるワード線選択レー・\ルの丁
゛ではオフ状態になるようにされる。一方、−1−記電
荷を注入しないFAMO3I−ランジスタばオン状態に
なる。
萄をアバランシュ注入してそのしきい値電圧を10iめ
て、ゲ−]・に印加されるワード線選択レー・\ルの丁
゛ではオフ状態になるようにされる。一方、−1−記電
荷を注入しないFAMO3I−ランジスタばオン状態に
なる。
この実施例では、上述のようにダミーセルを構成する直
列形態のMO3FETQ7.QB等は、それぞれメモリ
セルを構成するMO3FETQI等と同一ザイスのMO
SFETとされいる。したがって、読め出し動作におい
て、オン状態になるよ・う乙こな1#+uを記憶してい
るメモリセルのMOSFETと、それに対応したダミー
セルのMOSFETとが選択されたとき、ダミーセルの
MOSFETの合成コンダクタンスが、上記選択された
メモリセルのMOSFETのコンダクタンスのそれのほ
ぼ1/2になる。
列形態のMO3FETQ7.QB等は、それぞれメモリ
セルを構成するMO3FETQI等と同一ザイスのMO
SFETとされいる。したがって、読め出し動作におい
て、オン状態になるよ・う乙こな1#+uを記憶してい
るメモリセルのMOSFETと、それに対応したダミー
セルのMOSFETとが選択されたとき、ダミーセルの
MOSFETの合成コンダクタンスが、上記選択された
メモリセルのMOSFETのコンダクタンスのそれのほ
ぼ1/2になる。
これに対して、L記選択されたメモリセルのMOSFE
Tにオフ状態になるような情報か記憶されているときに
は、ダミーセルにお&Jる合成コンダクタンスが、この
選択さたメそりセルのそれよりも大きな値になる。
Tにオフ状態になるような情報か記憶されているときに
は、ダミーセルにお&Jる合成コンダクタンスが、この
選択さたメそりセルのそれよりも大きな値になる。
したがって、センスアンプSΔの読み出し信号は、第2
1g+のタイミング図に示すようOこ、上記タミーセル
で形成された基準電圧V Rにり1してメモリセルを構
成するMOSFETのオン/オフ状態に従った読み出し
信号■1、/ V Hが得られるので、そのWft ’
j出し信号のロウレベル/ハイレヘルの識別を行うこと
ができる。
1g+のタイミング図に示すようOこ、上記タミーセル
で形成された基準電圧V Rにり1してメモリセルを構
成するMOSFETのオン/オフ状態に従った読み出し
信号■1、/ V Hが得られるので、そのWft ’
j出し信号のロウレベル/ハイレヘルの識別を行うこと
ができる。
この実施例では、ダミーセルを構成するMO3PIF、
TQ7.QB等と、メモリセルを構成するM□5FET
QI等とは同時に形成することができるため、製造工程
が増えることはない。しかも、同時に形成することによ
り、例えば製造条件のハラツギ等によって、メモリセル
のMO3FETQ1等の特性、例えばコンダクタンス特
性に変化が生じた場合、ダミーセルのMO3FETQ7
.QB等にも同様な特性の変化が生しる。このため、製
造条件のバラツキ等に影響されることなく、読み出しマ
ージンを大きくできる。
TQ7.QB等と、メモリセルを構成するM□5FET
QI等とは同時に形成することができるため、製造工程
が増えることはない。しかも、同時に形成することによ
り、例えば製造条件のハラツギ等によって、メモリセル
のMO3FETQ1等の特性、例えばコンダクタンス特
性に変化が生じた場合、ダミーセルのMO3FETQ7
.QB等にも同様な特性の変化が生しる。このため、製
造条件のバラツキ等に影響されることなく、読み出しマ
ージンを大きくできる。
また、電源電圧Vccの変動は上記メモリセル及びダミ
ーセルのSノこみ出し信号に対して、同様な影響を与え
る。したがって、この電源電圧Vccの変動成分は、セ
ンスアンプSAO差動増幅動作により相殺されるので電
源電圧マージンを大きくすることができる。
ーセルのSノこみ出し信号に対して、同様な影響を与え
る。したがって、この電源電圧Vccの変動成分は、セ
ンスアンプSAO差動増幅動作により相殺されるので電
源電圧マージンを大きくすることができる。
ざらに、この実施例では、データ線にカップリングツイ
ス等が生じる場合には、同様な構成のダミーデータ線に
も同様なカップリングツイスが生しるので1、二のよう
なノイズに対してもその影響を受&Jることかない。
ス等が生じる場合には、同様な構成のダミーデータ線に
も同様なカップリングツイスが生しるので1、二のよう
なノイズに対してもその影響を受&Jることかない。
ツ1−のごとより、この実Iffり1ノのFAROM装
置は、動作マージンを大幅に拡大することができる。
置は、動作マージンを大幅に拡大することができる。
この発明は、前記実施例に限定されない。
センスアンプSAの具体的回路構成は、差動増幅回路を
構成するものであれば何であってもよい。
構成するものであれば何であってもよい。
また、ブリヂャージM OS FE Tに代え、適当な
負荷手段を設りる4)のであってもよい。
負荷手段を設りる4)のであってもよい。
さらに、その周辺回路の構成は、種々の実施形態を採る
ことができるものである。
ことができるものである。
第1図は、この発明の一実施例を示す回路図、第2図は
、そのセンスアンプの動作を説明するだめのタイミング
図である。 X−1)CR,Y DCR・・7 F’lzスデコー
ダ、M−ΔRY・・メモリアレイ、DCA・・ダミーセ
ルアレイ、SΔ・・センスアンプ、D I 13・・デ
ータ入力ハノファ、DOB・・デ タ出力ハノファ
、そのセンスアンプの動作を説明するだめのタイミング
図である。 X−1)CR,Y DCR・・7 F’lzスデコー
ダ、M−ΔRY・・メモリアレイ、DCA・・ダミーセ
ルアレイ、SΔ・・センスアンプ、D I 13・・デ
ータ入力ハノファ、DOB・・デ タ出力ハノファ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、不1i1i発(+! 21’導体記憶素子をメモリ
セルとするメ0リアL・イJ1、上記メモリセルと同様
な直列形態の2個の記1意素了−からなるダミーセルと
、このダミーセルを一ヒ記メモリセルとともに選択する
ダー、−セル選択回路と、上記選択されたメモリセル及
びダミーセセルからの読み出しfδ号を受&)る差動用
り1°Δ回b’&で構成されたセンスアンプとを含むこ
とをqキ徴とするP、PROM装置。 2.1′記タミーセルは、各ワ−1ご線に設δノられる
ものでJ’l Zlことを特徴とする特許請求の範囲第
1J′口記載のIEI旧<0M装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57189104A JPS5979492A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | Eprom装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57189104A JPS5979492A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | Eprom装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5979492A true JPS5979492A (ja) | 1984-05-08 |
Family
ID=16235423
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57189104A Pending JPS5979492A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | Eprom装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5979492A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62165797A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-07-22 | Hitachi Vlsi Eng Corp | 半導体記憶装置 |
US6501675B2 (en) | 2001-05-14 | 2002-12-31 | International Business Machines Corporation | Alternating reference wordline scheme for fast DRAM |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56134387A (en) * | 1979-11-01 | 1981-10-21 | Texas Instruments Inc | Semiconductor memory |
JPS56156985A (en) * | 1980-02-04 | 1981-12-03 | Texas Instruments Inc | Decoder |
-
1982
- 1982-10-29 JP JP57189104A patent/JPS5979492A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56134387A (en) * | 1979-11-01 | 1981-10-21 | Texas Instruments Inc | Semiconductor memory |
JPS56156985A (en) * | 1980-02-04 | 1981-12-03 | Texas Instruments Inc | Decoder |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62165797A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-07-22 | Hitachi Vlsi Eng Corp | 半導体記憶装置 |
US6501675B2 (en) | 2001-05-14 | 2002-12-31 | International Business Machines Corporation | Alternating reference wordline scheme for fast DRAM |
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