JPS5978972A - アルミナ質焼結体の製造方法 - Google Patents

アルミナ質焼結体の製造方法

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JPS5978972A
JPS5978972A JP57187149A JP18714982A JPS5978972A JP S5978972 A JPS5978972 A JP S5978972A JP 57187149 A JP57187149 A JP 57187149A JP 18714982 A JP18714982 A JP 18714982A JP S5978972 A JPS5978972 A JP S5978972A
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alumina
powder
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alumina sintered
mixed
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上垣外 修己
土井 晴夫
一雅 鷹取
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Toyota Central R&D Labs Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、アルミナ粉末に、窒化珪素、さらには、これ
らに窒化アtvミニウム粉末を加えて焼結することによ
りアルミナ質焼結体を得る方法に関するものである。
従来、アルミナ質焼結体は、アルミナ粉末に酸化カルV
ウム、酸化マグネVウム、酸化珪素等の金属酸化物、あ
るいは該金属酸化物を含有した粘土鉱物を添加し、成形
したのち、大気中で1650℃程度の温度で焼結して作
らjている。
こうして得られたアルミナ質焼結体は1点火プラグ、+
+11大物等に広く使用されている。
しかし、酸化物を混合して焼結したアルミナ質焼結体は
、優れた電気絶縁性を有しているが、必ずしも満足でき
るものではなかった。
−4、l!化物をバインダーとしたアルミナ質焼給体が
知られており、これを製造する方法としては、アルミナ
粉末にアルミ等の金属粉末を焼結助剤として添加、混合
したのち、これを所望の形状に成形し、窒素雰囲気中で
加熱して、該金属粉末を窒化すると同時に該アルミナ粉
末を焼結するものである。
しかし、この方法によると焼結温度が高<、シかも、焼
結時間が長いという欠点を有するとともに。
得られるアルミナ質焼結体の気孔率も大きく、電気絶縁
性も充分ではなかった。
そこで1本発明者らは、アルミナ質焼結体の気孔率を小
さくすること、しかも電気絶縁性の向上を目的1こ鋭意
研究を重ねた結果2本発明を為すに至りたのである。
本願にかかる第1の発明は、999〜90重量部のアル
ミナ粉末と0.1−10重量部の窒化珪素粉末とを合計
4uooi量部となるように混合したのち、所望の形状
に成形して非酸化性雰囲気において1350〜1700
℃の範囲内の温度で焼結することを特徴とするアルミナ
質焼結体の製造方法である。(以下、第1発明という)
本第1発明によれば、アルミナ粉末に窒化珪素粉末を混
合するため、アルミナと窒化珪素の反応が低温で進行す
る。その結果、より低い温度でアルミナ質焼結体を得る
ことが可能で、しかも該アルミナ質焼結体の気孔率は小
さく、すなわち見掛は密度は大きくなる。
また、該アルミナ質焼結体は、見掛は密度が高く。
すなわち緻密な構造を有するものであるとともに。
アルカリ、アルカリ土類金属を含まないので[%絶縁耐
力が高いという特長をも有する。
該アルミナ質焼結体は、アルミナ粉体の粒界にサイアロ
ン系物質が生成しており、該物質は熱膨張係数がアルミ
ナより小さいので、該アルミナ質焼結体には焼結後の冷
却時に熱膨張係数の差に応じた内部応力が残留するため
、該焼結体は優れた機械強度、靭性を有する。
以下9本第1発明の詳細な説明する。
本第1発明は9次の工程よりなるものである。
まず、原料粉末であるアルミナ粉末に、焼結助剤として
の窒化珪素粉末を加えて、混合する。
本第1発明に用いるアルミナ粉末は、その粒径が277
 m以下の比較的微粒のものである。また。
不純物は、可能な限り少ないことが望ましい。一般には
、不純物としてナトリウム、カルシウム等の元素が含ま
れており、こねらの不純物が多いと本第1発明により得
たアルミナ質焼結体の電気絶縁性が低下することがある
。該アルミナ粉末としものであれはよい。
該アルミナ粉末に添加する焼結助剤としての上記窒化珪
素粉末は、その粒径が0.1〜2. O/7 Illの
範囲のものがよい。また、その純度としては98q以上
のものが望ましい。
上記、アルミナ粉末と、窒化珪素粉末の混合側\l/ する。特に窒化珪素上記混合は、乾式あるいは湿式いず
れの方式でもよく、湿式の場合は、水やアルコールを加
えて行なうのがよい。
さらには、アルミナ球と共にボットミル中に供給し、該
粉末をアルミナ球で粉砕しながら混合してもよい。
このように、上記粉末を十分1こ混合して、均質な混合
粉末としたのち、成形工程を施し、所定の形状に成形す
る。
該成形工程では、所定の空洞を有する金型に該混合粉末
を流し込み、加圧成形してもよいし、湿式混合した混合
粉末は、型を使わずに成形してもよし鳥。
湿式混合の場合には、該成形のためにポリビニルアルコ
ール(P、V、A、)を少量加えて粘度調整をしたのち
、金型に流し込むようtこしてもよい。
このようにすると、金型中への該混合粉末が充分に充填
され、最終的な製品にもき裂、空洞等の欠陥が発生せず
、該製品の見掛は密度も毘(なる。
次に、該成形工程により得た成形体1こ焼成工程を施す
。骸焼成工程は、窒素、アルゴン雰囲気・あしたのち、
炉中で冷却するのがよい。
なお、混合工程において、P、V、A、を加えた場合F
こは、まず該P、V、Aを揮散するために大気雰囲気で
該成形体を600〜700℃、1〜2時間、大型成形体
であれはより長く保持して、仮焼を行うのがよい。
上記焼成温度が1350℃以下では、該アルミナ質焼結
体の見掛は密度が高くならず、1700℃以上では、ア
lレミナの粒子が著しく成長するため。
該アルミナ質焼結体の強度が低下する。
本第1発明tこより製作したアルミナ質焼結体は。
アルミナ粒子の一部と、窒化珪素粉末とが反応しテ、サ
イアロン系の物質を形成し、これがアルミナ粒子同志を
結合した構造を有している。すなわち、サイアロン系物
質の中に、アルミナm子が存在する形態となっている。
それ故、該アルミナ質焼結体は緻密な構造をもち。
良好な電気絶縁性を有する。特に焼結助剤の混合量が0
.1〜1重量部の範囲内の場合には、見掛は密度は特に
高くなる。
また、該サイアロン系物質は、熱膨張係数が小さく、焼
成後の冷却時tこアIレミナと該物質の熱膨張差に応じ
た圧縮の内5部応力が発生するので、該アルミナ焼結体
は優れた強度を有する。
本願にかかる第2の発明は、99.9〜90重量重量部
となるように混合したのち、所望の形状に成形して、非
酸化性雰囲完中で1300〜1700℃の範囲内の温度
で焼結することを特徴とするアルミナ質焼結体の製造方
法である(以下第2発明という。)。
本第2発明によれは、アルミナ粉末に、嗅片降応が第1
発明よりも低温度で進行しやすくなるとともに、該反応
時に発生するSiO等のガスが少なくなり、該ガスによ
る気泡が焼結体中に残留しないので、緻密な焼結体を得
ることができる。
以下2本第2発明の詳細な説明する。
本第2発明に使用できるアルミナ粉末および窒化珪素粉
末は第1発明において説明したものと同様である。
本第2発明は、これらの粉末にさらに窒化アルミニウム
粉末を加え、よ(混合する。本混合工程では、アルミナ
粉末幅99.9〜90重量部に、助剤としての窒化珪素
粉末と窒化アルミニウム粉末を合計で01〜10重量部
添加して混合し、均質な混合粉末を得る。該混合工程を
湿式で行なう場合には、水を添加することは不可能で、
アルコールを添加するのがよい。
また、助剤としての窒化珪素粉末と窒化アルミニウム粉
末との混合割合はモル比で窒化珪素粉末1に対して0.
11〜9の範囲がよい。この範囲内では、得られるアル
ミナ質焼結体の見掛は密度が大きくなる。
窒化アルミニウム粉末の混合割合が9以上になるとサイ
アロン生成量が少なく、緻密でない焼結体となるカ)窒
化アルミニウムが不純物として残留し。
度は大きくなり、電気絶縁性はもちろん機械的強に存在
するサイアロン系物質が多量に生成するとともに、該物
質がガラス質となって残存し機械的強度が向上しない。
一 次に、該混合粉末徹第1発明と同様の成形工程を施し1
成形体とする。
さら[こ、該成形体を第1発明と同様、非酸化性界ミニ
ウム粉末との間で化学反応が起り、サイアロン系物質が
生成する。その結果、アルミナ粒子が該サイアロン系物
質で結合したアルミナ質焼結体を得ることができる。
度の大きな、しかも電気絶縁性の高い焼結体を得る上で
、望ましい。
特に、助剤の混合量が0.1〜1重量部の範囲では。
見掛は密度が他の範囲におけるよりも高くなる。
1700℃以上の温度で焼成すると、アルミナの粒が粗
大となり1機械的強度が低下する欠点がある。
以下1本願にかかる発明における実施例を説明する。
実施例 平均粒径171mの低ソーダアルミナ粉末、および助剤
として、純度が98wt%以上、平均粒径1pvnの窒
化珪素粉末および窒化アルミニウム粉末とを準備し、こ
れらを表に示す8種類の混合割合となるように秤量した
それぞれの粉末2009ずつを、直径15flのアルミ
ナポー1v50個とエチルアルコ−/L’200ccと
を内容積11のポットミル中に供給し、20時時間式粉
砕、混合し、均質な混合粉末を得た。
該混合粉末を乾燥したのち、金型にて、圧カフ00茹 kg/ c4で圧縮し1寸法が5X10X、500fl
の成形体とした。
さらに、該成形体を1気圧の窒素ガス雰囲気中で温度1
550℃、2時間保持の条件で焼成し。
本発明におけるアルミナ質焼結体を得た。
−4,上記と同−口、トのアルミナ粉末に10Z− wt%の酸化珪素粉末を混合し、この場合粉末對本実施
例と同様の成形工程を施し窒素雰囲気で温度1550℃
、2時間保持の焼成工程を行ない。
比較例としてのアルミナ焼成体を得た。
次に1本発明におけるアルミナ質焼結体と、比較例とし
てのアルミナ焼結体の見掛は密度および曲げ強度を求め
9表に示した。
該見掛は密度の測定は、水中および空中におけるの破断
応力として求めた。
さらに、別の各種焼結体を使用して、該焼結体の電気絶
縁耐力を求め5表に示した。
該電気絶縁耐力試験は、シリコンオイル中に0.05c
m離れて設けた直径12.l)wの金属球間tこ該焼結
体を配置し、該Wt極間に交流電圧を印加して、実施し
た。
これらの試験結果から明らかなよ゛うに9本発明により
得たアルミナ質焼結体は見掛は密度が大ぎ<、シかも優
れた絶縁耐力と9曲げ強度を保有していることがわかる
特許出願人 株式会社 豊田中央研究所

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 +1)99.9〜90重量部のアルミナ粉末と。 0.1〜10重量部の窒化珪素粉末とを合計100重量
    部となるように混合したのち、所望の形状に成形し、非
    酸化性雰囲気において1350−1700℃の範囲内の
    温度で焼結することを特徴とするアルミナ質焼結体の製
    造方法。 +2199.9〜90重量部のアルミナ粉末と、Olい
    て焼結することを特徴とするアルミナ質焼結体の製造方
    法。 (8)窒化珪素粉末と窒化アルミニウム粉末との混合比
    はモル比で110.11〜9であることを特徴とする特
    許請求の範囲筒2項に記載のアルミナ質焼結体の製造方
    法。
JP57187149A 1982-10-25 1982-10-25 アルミナ質焼結体の製造方法 Granted JPS5978972A (ja)

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Cited By (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60231461A (ja) * 1983-11-09 1985-11-18 ランダロイ・インコ−ポレ−テツド 酸化物セラミツク用の新規組成物
JP2010208871A (ja) * 2009-03-06 2010-09-24 Ngk Insulators Ltd 酸化アルミニウム焼結体、その製法及び半導体製造装置部材

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