JPS5975109A - 薄層の厚さ測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、王特許請求の範囲のプレアンブルに記載の装
置に関する。

小さい対象の薄層の厚さを測定する場合、小さい対象の
全体全測定する訳ではないので、Ｘ線ビームがぶつかる
個所全正確に知る必要がある。測定点の特性量は、十分
の数ｍｍ〜１ｍｍである。

例えば、歯車の歯の７ランクの所定個所の層厚または鉗
子の接触部分の層厚を測定する場合、測定点は小さくな
る。

もちろん、Ｘ線ビームが層にぶつかる個所は、目には見
えない。

市販の装置では、ミラーで被側面を観察し、次いで、ミ
ラーを除去して、ミラーの代わりに放射器を設置する。

本発明の目的は、測定点を極めて正確に、しかも、簡単
に知り得る装ｅを提供することにある。

この目的は、本発明にもとづき、王特許請求の範囲の特
徴記載部分に開示の特徴によって達成される。

幾何学的縦軸線が貫通口の中心を通るよう、上記貫通ロ
ケ正確に調節できる。かくして、第１の誤差源が排除さ
れる。更に、幾何学的縦軸線が通り、測定点の中心をな
す層上の点を観察する。顕微鏡が双眼である場合は、１
つの眼で貫通口を観察し、別の眼で層を観察する。しか
しながら、単眼の場合は、光学素子を移動して、貫通口
および層を１１１Ｍ次に観察することができる。絞り装
置は、有機ガラスまたは無機ガラスから構成できる。例
えば、鉛をドーピングした有機カラスも使用できる。

珪酸塩ガラスの場合は、例えば、超音波によって、貫通
口を加工できる。貫通口の断面形状は、常に、等しく、
例えば、測定対象に適合した任意の形状とすることがで
きる。

特許請求の範囲第２項の特徴にもとづき、無機ガラスで
はあるが比較的軟質であり、例えば、６ｍｍ厚であれば
、測定結果に有意な影響を与えるＸ線ビームを透過せず
、しかも、本質的な光の損失を招くことのない一般的な
ガラスを使用できる。

鉛ガラスは、極めて良好に研摩でき、従って、汎用され
ている。

特許請求の範囲第３項の特徴にもとづき、特許請求の範
囲第２項の特徴の場合と同様の利点が得られる。しかし
ながら、鉛ガラスのＰｂＯ含量は１５〜５８％であるが
、フリントガラスのＰｂＯ含鉦は、平均的に云ってより
多く、４６〜６２チである。即ち、フリントガラスは、
厚さが同一の場合、一般に、Ｊ：り多量のＸ線を特徴す
る特許請求の範囲第４〜６項の特徴にもとづき、絞り装
置は、当該の測定問題に適合させることができ、計算が
よす簡単になる。

特許請求の範囲第７〜９項に記載の形状は、実験におい
て極めて良いことが冥証されており、有機ガラスを使用
すれば、技術的に容易に得ることができる。

特許請求の範囲第１０項の特徴にもとづき、構造がより
簡単となり、測定結果の「価もより簡単となる。しかし
ながら、絞り装置１に幾何学的縦軸線に対して傾斜させ
て移動することもできる。

特許請求の範囲第１１項の特徴にもとづき、構造がより
簡単となり、所要の高精度を容易に達成できる１、更に
、各貫通ロ全ガラス部材に直線に沿って設けることがで
きる。

特許請求の範囲第１２項の特徴にもとづき、貫通口の敷
金増加しても、装置を小さく禍−成でき、妥当な経費で
且つ正確に回転移動全実施できる。

特許請求の範囲第１３項の特徴にもとづき、貫通口を端
面から加工でき、不可能ではないまでも極めて困難な穿
設作業を行わなくともよい。

特許請求の範囲第１４項の特徴にもとづき、幾何学的縦
軸線に平行に間隙を設けることができ、従って、組立お
よび監視が容易とカリ、観察顕微鐘の視野が妨害される
ことはない。それにも拘らず、間隙の上記位置が、測定
結果に悪影響を与えることはない。

特許請求の範囲第１５項にもとづき、上記間隙は、Ｘ線
ビームに関してもＪ傷の観察に関しても無視できる程小
さい。接合時に分子附着力が現れ、双方のガラス部材を
手で引離すことは不可能であるので、ガラス部材は、１
つの部材として取扱うことができる。更に、端面を熱作
用で揚台することもできる。この接合操作は、現在、形
状変化を招くことな〈実施できる。この場合も、一体の
ガラス部駒が得られる。

特許請求の範囲第１６項の特徴にもとづき、別のガラス
部材の端面が、真直ぐな境界部を形成する。更に、１つ
のガラス部材にのみ、貫通口金加工すればよく、従って
、双方のガラス部材に、例えば、各貫通口の半部をそれ
ぞれ加工する場合よりも作業が簡単となる。この場合は
、接合後、場合によっては、貫通口早部が相互に一致せ
ず、食違いを生ずる。この構成は、多角形（例えば、三
角形、四角形、正方形、　ｅｔｃ、）の断面形状に特に
好適である。

特許請求の範囲第１７項の特徴にもとづき、ガラスが、
層の色を変色することがない。更に、透明性が良好であ
り、光源を弱くすることができる。

特許請求の範囲第１８項の特徴にもとづき、ガラス部材
に複屈折が生ずることがなく、吸収ロスが最小となる。

特許請求の範囲第１９項の特徴にもとづき、Ｘ線ビーム
は、実際上、減衰されない。何故ならば、有機ガラスの
材料の原子番号は小さく、金属層は、ミラー効果を与え
るだけで、極めて薄いので、その吸収は無視できるから
である。

特許請求の範囲第２０項の特徴にもとづき、固有の色會
有しておらず且つ反射性が極めて良いミラーを公知の方
法で作製できる。

特許請求の範囲第２１項の特徴にもとづき、アルミニウ
ムの原子番号は銀の原子番号よりも小さいので、吸収が
更に少くなる。原理的には、例えば、研摩したアルミニ
ウムからミラー全作製することもできる。しかしながら
、このアルミニウムは、薄くすると、波打つ。一方、基
材が有機ガラスである場合は、ミラーは剛である。

特許請求の範囲第２２項の特徴にもとづき、Ｘ線ビーム
に対する影響が最小となる。

特許請求の範囲第２３項の特徴にもとづき、層１１− の特殊性、測定点の大きさ９貫通口の大きさなどを容易
に知ることができる。

特許請求の範囲第２４項の特徴にもとづき、達成容易で
、換算容易な倍率が得られる。

特許請求の範囲第２５項の特徴にもとづき、幾何学的縦
軸線を十字線の交点と一致きせることができる。しかし
ながら、同心円、７字などを照準装置として使用するこ
ともできる。

特許請求の範囲第２６項の特徴にもとづき、簡明な倍率
およびｍｍ単位の目盛によって、当該の面積全容易に計
算できる。

特許請求の範囲第２７項の特徴にもとづき、観察顕微鏡
の操作が簡単となる。観察顕微鏡は、集光レンズ素子を
使用せずに、層にピントを合わせることができる。光路
内の素子によって、ガラス部材の下面全明瞭に観察でき
る。もちろん、同等の方法を選択して、観察顕微鏡のビ
ン）ｋガラス部材の下面に合わせ、発散レンズ素子によ
って層を鮮明に結像することもできる。この場合、関連
のすべての距離が既知であるので、ピント合せ作１２− 業は不要である。

特許請求の範囲第２８項の特徴にもとづき、原子番号の
小さい物質の励起確率を飛躍的に増大できる。原子番号
が、例えば、１５〜２６の物質（例えば、クロム、チタ
ン）は、約６〜１０ＫｅＶのエネルギを有する。高エネ
ルギのｘＨビームで上記物質全励起する場合、ルミネセ
ンス（固有放射）の確率は、この制動放射スペクトルが
低エネルギ成分を含む場合よりも遥かに小さい。もちろ
ん、Ｘ線ルミネセンス（即ち、螢光ビーム）を励起でき
るのは、励起ビームが固有ビーム（螢光ビーム）よりも
大きいエネルギを有する場に限られる。即ち、８ＫｅＶ
ビームでは、９ＫｅＶの銅を励起することはできない。

励起電圧が５０ＫｅＶであれば、確率は著しく低くなる
。励起ビームと被励起ビームとの間の電圧差が大きけれ
ば大きい程、励起確率は小さくなる。この関係は、第１
近似で、３乗の指数関数で表わされる。

特許請求の範囲第２９項の特徴にもとづき、ガラス製の
方向変更ミラーを使用でき、しかも、低エネルギのＸ線
ビームを使用できる。ミラーの作製および保持方式は、
変更する必要はない。この孔によって、光の減衰を小さ
くでき且つ容易に補償でき、しかも、調節に必要な解像
力が減少することはない。

特許請求の範囲第３０項にもとづき、孔の断面積は、有
効断面積に等しい。即ち、ミラーに比較的小さい孔を設
ければよい。別の角度にした場合は、Ｘ線発生器から漕
會見ることができるよう、孔の断面積音大きくし々すｎ
は々らない。

実際には、特許請求の範囲第３１項記載の方法が良い。

この方法は、実際上、ミラーの光学的特性音変化しない
。

特許請求の範囲第３２項の特徴にもとづき、低エネルギ
のＸ線管を使用できる。

更に、本発明にもとづき、測定点全撮影することもでき
る。貫通口の形状についても同様である。

従って、評価時の誤謬が避けられる。

本発明の好ましい実施例全以下に説明する。

測定テーブル１１は、はぼ直方体形状のハウジング１２
を有する。ハウジングの上壁１３の前部には、長方形の
フランジ１４が上方へ垂直に突出している。このフラン
ジ１４は、水平プレート１７と一体のエプロン１６によ
って囲まれている。プレート１７の中央部には、上面が
正確に水平で、座標目盛を有し、上方へ突出する長方形
の小さい作業プレート１８が設けである。等間隔の線１
９は、Ｘ方向へ延びており、等間隔の線２１は、Ｙ方向
へ延びている。作業プレート１８およびプレート１７に
は、貫通口２２が設けである。部材１６．１７．１８か
ら成るこの構造体の右側には、顕微鏡テーブルとしての
作業テーブル１８を矢印２４．２６の方向へ移動する駆
動機構２３が設けである。ローレット付ネジ２７を矢印
２８の方向へ回転すると、２重矢印２４に沿って移動が
行われる。

ローレット付ネジ２９を矢印３１の方向へ回転すると、
作業プレート１８は、矢印２６の方向へ移動する。ロー
レット付ネジ２７．２９’ｉ同時に回転すると、上記移
動が重畳して行われる。かく１５− して、垂直な幾何学的縦軸線３２に関して貫通口２２を
精密に調整できる。作業プレート１Ｂ上に、貫通口２２
を横切る部材を載せ、同じく幾何学的縦軸線３２に関し
て移動することができる。部材が小さく、貫通口２２か
ら落下する場合は、上記貫通口に適切な箔（例えば、マ
イラ箔〕を被せ、上記苗土に部材全戦せて駆動する。こ
の場合、箔は、厚さが４〜７μｍで、透明であるので、
ハウジング１２の内部から部材を観察することができる
。

第３図には、簡略化のため、第１，２図を参照して説明
した上記部材は示してない。

ハウジング１２の下方には、Ｘ線ビームを発生するＸ線
管３３が設けである。幾何学的軸線３２に沿って放射さ
れたＸ線ビームは、縦軸３２と同軸の中間底板３６の貫
通口３４を通過する。他のすべてのビームは、Ｘ線管３
３の上方の中間底板３６によって吸収される。中間底板
３６および貫通口３４上には、同心の環状部材から成る
取付具３７が載っている。−Ｆ脂環状部材の１つは、縦
軸１６− 線３２と交差する幾何学的縦軸線を有する軸３９を軸支
し且つ鉛製ボール栓４１を支持する２重軸受を有する。

このボール栓４１は、貫通口４２を有する。この貫通口
は、第３図の位置では、縦軸線３２に対して同軸であり
、従って、Ｘ線ビームを上方へ通過せしめる。ハウジン
グ１２外において、軸３９には、作動レバー４３が空転
しないよう結合しである。このレバーが第２図の位置に
ある場合は、貫通口４２は、縦軸線３２と同軸となり、
Ｘ線ビームを通過する。作動レバ−４３全第２図の破線
位置に旋回すると、軸３９は、２重矢印の方向へ９０°
回転され、貫通口４２は、軸３２に対して垂直となり、
従って、Ｘ線ビームは、ボール栓４１によって阻止され
る。環状部材３Ｂは、径の小さい上部環状部材４４に移
行する（第２図）。

この上部環状部材は、縦軸線３２に対して同軸であり、
その上端は、４５°に斜切してあり、ミラー４６を支持
している。このミラーは、アルミニウム層４８を背面に
蒸着したアクリルガラス板４７から成る。ミラー４６は
、不動であり、４５°傾斜しており、縦軸線３２は、ミ
ラーの中心を通る。

ミラー４６も、縦軸線３２に対して４５°傾斜している
。Ｘ線ビームは、減衰されずにミラー４６を通過し、縦
軸？ｌＢ５２に沿って進む。ミラー４６の上方には、縦
軸線３２に正確に垂直に、即ち、水平に、絞り装置（簡
略化のため、ガラス部材４９のみを示した）が設けであ
る。このガラス部材は鉛の結晶から成り、高さ６ｍｍ、
巾１５ｍｍ−，長さ５０ｍｍである。その上面５１は、
その下面５２に対して平面平行であり、これらの上下面
は、縦軸線３２に垂直である。上下面５１．５２は、研
摩しである。従って、ガラス部材４９によって像のひず
みが生ずることはない。可視光の減衰は、無視できる相
手さい。ガラス部材４９は、２つの長方形ストリップ５
３．５４から成る。ストリップ５４から成る。ストリッ
プ５４の端面５６は、ストリップ５３の端面５７に接合
しである。端面５６．５７の間に場合によっては生ずる
間隙は、０．１μｍよりも小さい。この間隙を透過する
Ｘ線ビームは、無視できる程小ない。

端面５６には、接合前に、超音波によって、大きさの異
なる長方形断面を有する貫通口５８．５９．６１．６２
’ｉ加工する。これらの貫通口は、組立状態において、
縦軸線３２に対して正確に平行となる。断面円形の貫通
口６３が、それぞれ手分ずつ、ストリップ５３．５４に
設けである。貫通口５８〜６３の間の間隔は、ミラ−４
６上部において縦軸線３２に沿って進むＸ線ビームの特
性中よりも遥かに大きい。即ち、縦軸線３２が貫通口５
８金通る状態においては、Ｘ線ビームが他の貫通ロケ通
過することはない。

ガラス部材４９の周縁は、縦＠線３２に垂直に矢印６６
の方向へ可動なスライダ６４に固定したホルダ（図示し
てない）に埋込んである。スライダ６４は、アリ溝によ
ってペット６７に案内しである。ペット６７は、ハウジ
ングに固定しである。

スライダ６４は、回転ノブ６８と、軸６９と、９０°方
向変更用伝動機構Ｔ１と、上記伝動機構全スライダ６４
に結合するシャフト７２とから成る微少駆動機構によっ
て駆動する。回転ノブ６８１９− の回転方向に応じて、ガラス部材４９は、第２図の２重
矢印に従い右方または左方へ移動する。回転角度に応じ
て、貫通口５８〜６３の１つを縦軸縁３２と同軸状態と
することができる。ガラス部材４９のホルダは、Ｚ字状
アングル７３に剛に結合しであるので、上記アングルに
結合した有孔板７４全いっしょに＠線運動させることが
できる。

この有孔板には、貫通孔列７６が設けである。１つの側
にランプを有し別の側に光感性ダイオードを有する光学
式読取装置７７が、ハウジングに固定しである。貫通孔
列Ｔ６は、どの貫通口５８〜６３が縦軸線３２と同軸に
なったかを読取り得るよう、コーディングしである。

調節せるガラス部材４９が不測に移動されることのない
よう、回転ノブ６Ｂの代わりに、特殊レンチで作動する
ネジヘッドケ設けることもできる。

観察用顕微鏡装置７８は、１つの対眼レンズ７９を有す
る。そのハウジングには、水平な光束を対眼レンズ７９
および観察者の眼に向ける方向変更ミラー８１が設けで
ある。顕微鏡装置Ｔ８の水平２０− 鏡筒部分の内側端には、対物レンズ８２が設けである。

対物レンズの前に集光レンズ８３全置くと、ガラス部材
４Ｓの下面５２を鮮明に観察できる。

顕微鏡装置Ｔ８には、顕微鏡装＃、７８の光軸８Ｔ上に
交点８６全有する十字線８４が組込んである。

この光軸８Ｔの水平部分は、縦軸線３２にぶつかる。光
軸８Ｔがミラー４６にぶつかる点の上方では、光軸８Ｔ
は、縦軸ＩｆＭ３２と正確に一致する。

従って、十字線８４の交点８６を貫通口６１の中央に置
くと、Ｘ線ビームの中心も貫通ロ６１内に位置し、従っ
て、Ｘ線ビームは、貫通口の全断面を通る。

集光レンズ８３は、ハウジングに固定のガイド８９内七
光軸８Ｔに垂直に２重矢印９１の方向へ移動できるスタ
ンド８８に載せである。集光レンズ８３は、図示の位置
では、作動状態であり、第２図の右方の位置では、非作
動状態である。

集光レンズの非作動位置では、顕微鏡装置７８の光学系
は、観察者の眼のために、作業プレート１Ｂ上の層９３
を鮮明に結像する。この層９３とガラス部材４９との間
の距離は大きいので、調節せる貫通口または端面５６，
５７は観察されない。

下面９２の照明には、ハウジングに固定してあって貫通
口２２を下方から照明する光源９４（第３図）？使用す
る。

かくして、下面上には十字縁８４が見える（第６図）。

かくして、交点８６が、Ｘ線ビームの中心の位置を示す
。十字０ｉ１８４の１１１＋線には目盛９５゜９７が設
けである。貫通口６１の輪郭９６＋ゴ既に観察しである
ので、下面９２會観察すｒしば、Ｘ線ビームの輪郭が、
輪郭９６（第６図９に正偽に対応するか否かも知ること
ができる。目盛９５に依拠して、ＸＩ％！ビームを受け
る範囲？正確に測定することができる。

層９３は、Ｘ線ビーム全放射する。このＸ線ビームは、
絞り装置に向く側を趣蔽材９８で遮蔽した比例計数管９
７に受光する。

ガラス部材に貫通口を設ける代わりに、可視光は透過す
るがＸ線ビームを透過しないガラスから成る２つの絞り
半部９９，１０１’を使用することもできる。絞り半部
１０１　は、運動時に絞り半部９９．１０１　がこすり
合わないよう僅かな間隔を置いて、絞り半部９９の上方
に設けである。絞り半部９９の隣接辺には、中心面１０
７に関して対称な■字形切欠きが設けである。絞り半部
９９／１０１　′に逆平行に移動すれば、貫通口１０８
を拡犬寸たは縮少できる。この場合、貫通口１０８の正
方形輪郭の交点の対角線が、中心面１０７　から逸脱す
ることは彦い。

かくして、異なる正方形輪郭を連続的に形成できる。Ｖ
字状切欠き１０４，１０６　’に直角でなく、鋭角また
に、鈍角とすれば、菱形輪郭を形成できる。

Ｖ字状切欠き１０４のみを設ければ、形状の異なる三角
形全形成できる。この場合、中心面１０７は、常に、縦
軸線３２が通る優先面である。

即ち、本発明にもとづき、極めて小さい質量が低速で移
動されるだけであるので、装置の全寿命にわたって、高
い精度が保持される。

摩耗する当接面［械的衝撃、補助保持部材。

バネなどがない。

２３− 第８図の実施例では、ミラー４６は、銀層またはアルミ
ニウム層１１１　を蒸着した有機ガラス部材１０９から
成る。ミラー４６には、径１ｍｍの円筒形貫通口１１２
が縦軸線３２に同軸に設けである。ミラー４６は、縦軸
線３２に対して４５゜ケなすので、貫通口１１２は、ミ
ラー４６に対して４５°をなす。貫通口１１２の上面の
中心は、縦軸線３２と光軸８７との交点と一致する。

貫通口１１２の輪郭は、卵形または多角形であってＬい
。縦軸線３２に沿って十分に低エネルギのＸ線ビームが
進むよう、Ｘ線管３３は、べＩＪ　リウム窓１１３　を
有する。

Ｘ線ビームが、上記範囲において、貫通口１１２によっ
て散乱されることはない。この第２実施例にもとづき、
貫通口５８，５９，６１，６２．６３　　　　′を小さ
くできる。これらのうち最小の貫通口は、小さ々対象を
測定できるよう、例えば、０．０５ｍｍとすることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、装置全体の斜視図、第２図は、第１２４− 図の面２−２に沿う斜視断面図、第３図は、面２−２に
北直な略断面図、第４図は、ガラス部材の平面図、第５
図は、第４圀のＡ矢視図、記６図は、被測Ｊ會の下面の
部分図、第７図は、絞り装置の別の実施例の略平面図、
第８図は、ミラーの第２実施例の横断面図である。 １１・・・・測定テーブル、１２・・・・ハウジング、
３２・・・・幾何学的縦軸緋、３３・・・・Ｘ線１ｇ、
４６・・・・方向変更ミラー、４９・・・・絞Ｖ装置、
５８：５９：６１；６２；６３　：　１０Ｂ　　・・・
・貫通口、７８・・・・顕微鏡装置、８４・・・・照準
装置、８６・・・・照準点、８７・・・・光路、９３・
・・・被測鳩、９４・・・・光Ｗ０ イテユート・フユア・エレクトロニーク・ラント争メス
テヒニーり 代理人山川政樹（はか１名） ２６−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）幾何学的縦軸線に沿ってＸ線ビーム全放射するＸ
   線発生器と、被測層のホルダとしてのテーブル装置と、
   本質的に、Ｘ　＃ｉ！ｋ　５ｅ全に吸収する材料から成
   り、幾何学的縦軸線に合致させ得る通過口を有する絞り
   装置と、被測層の設置個所に向は得る可視光の光源と、
   Ｘｉビームがぶつかる層部分全観察する顕微鏡装置と、
   顕微鏡装置と層部分との間の光路に設けた方向変更ミラ
   ーとを有する、Ｘ線螢光法にもとづき薄層の厚さを測定
   する装置において、ａ）絞り装置（４９）が、可視光を
   透過するガラスから成り、断面形状の異なる複数の貫通
   口（５８，５９，６１，６２，６３，１０８）を有し、
   貫通口（５８，５９，６１，６２，６３，１０８）の１
   つが幾何学的縦軸線（３２）に一致するよう、移動させ
   ることができ、ｂ）方向変更ミラー（４６）が、ＸＳを
   実際上吸収しない材料から成り、幾何学的縦軸線（３２
   ）と交差し、Ｃ）顕微鏡装置（７８）が、絞り装置（４
   ９）鳳び層（９３）の部分（９２）を鮮明に結線し、ｄ
   ）顕微鏡装置には、照準装置（８４）が設けてあり、そ
   の照準点は、光路方向（８７）へ見て、幾何学的縦軸線
   （３２）と方向変更ミラー（４６）との交点に一致する
   ことを特徴とする装置。 （２）該ガラスが、鉛ガラスであることを特徴とする將
   １Ｆｉ−蒔求の範囲第１項記載の装置。 （３）該ガラスが、フリントカラスであることを特徴と
   する％ｉｆ硝求の範囲第１項記載の装置。 （４）該断面形状が、矩形であること全特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の装置。 （５）該断面形状が、正方形であることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の装置。 （６）該断面形状が、円形であること全特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の装置。 （７）該断面寸法が、約Ｏ１２に０．２ｍｍおよびまた
   は０．６Ｘ０．６ｍｍおよびまたは１．２　Ｋ　１．２
   ｍｍであることを特徴とする特許１８求の範囲第５項記
   載の装置。 （８）該断面寸法が、０．４　ｘ　Ｏ，２ｍｍおよびま
   たは１ｘｏ、６ｍｍおよびまたは１．８ｘ１．２ｍｍで
   あることを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の装置
   。 （９）該断面寸法が、０．３ｍｍおよび？に、たｔｒＪ
   ’、　０．５　ｍｍおよびまたは０．６ｍｍおよびまた
   は０．８　ｍｍであること全特徴とする特許ｇ１を求の
   範囲第６項記載の装置。 （１０）絞り装ｆｉｔ　（，４９）が、幾何学的縦軸線
   （３２）に対して正確に垂直に変位させ得るよう案内し
   であること全特徴とする特許請求の範囲第１項記載の装
   置。 （１１）絞り装置ｔ（４９）が、直線状に変位させ得る
   よう案内しであることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項または第１０項記載の装置。 （１２）絞り装ｆ　（４９）が、回転可能なよう案内し
   であること全特徴とする特許請求の範囲第１項または第
   １０項記載の装置。 （Ｉ３）絞り装置（４９）が、各端面（５６、５７）で
   接する少くとも２つの部分ガラス（５３，５４）ｋ含み
   、貫通口（５８，５９，６１，６２，６３）が、少くと
   も１りの端面（５Ｇ）から部分ガラス（５３，５９，１
   の内部へ向って加工しであること全特徴とするも許詩求
   の範囲第１〜１２項の１つまたは複数に記載の装置。 （１４）端面（５６，５７）が、貢直ぐな平坦面であり
   、端面（５６，５７）の間の間隙を透過するＸ線量は、
   最少の貫通口（５日）に分けるゴ汚過ψの１／１０以下
   であることを特徴とする特許請求の範囲第１３項記載の
   装置。 （１５）端面（５６，５７）が、接合するのに必要な程
   度に平坦に研摩しであること金％徴とする特許請求の範
   囲第１４項記載の装置。 （１６）、）ｆ通口（５８，５９，６１，６２）が、１
   つの部分ガラス（５４）の端面（５６）にのみ穿設しで
   あることを特徴とする特許請求の範囲第４項、第５項ま
   たは第１４項記載の装置。 （１７）該ガラスが、無色透明であることを特徴とする
   特許請求の範囲第り項記載の装置。 （１８）上記ガラスから成るガラス部材（４９）の上面
   （５１）および下面（５２）が、幾何学的縦軸線（３２
   ）に垂直であり、上面（５１）および下面（５２）が、
   高光沢を呈するよう研摩しであることを特徴とする％−
   杵Ｊ青求のん′え囲第１項ＮＱ賊の装置。 （１９）ミラー（４６）か、金属（４８）全被覆した有
   機ガラス層（４７）を有することを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の装置。 （加）金属（４８）が、銀であることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の装置。 （２１）金属（４８〕が、アルミニウムであることを特
   徴とする特許請求の範囲第１９項記載の装置。 （２２）被覆層（４８）は、蒸着しであることｔ％徴と
   する特許請求の範囲第１９項記載の装置。 （２３）観基顕微鏡（７８）の倍率が、９より大きく４
   １よりも小さい整数であること全特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の装Ｒ６ （冴）該整数が、２０であることを特徴とする特許請求
   の範囲第２３項記載の装置。 （５）照準装置が、十字線（８４）であることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の装置。 （２６）十字線（８４）の軸線には、目盛（９５，９７
   ）が附しであることを特徴とする特許請求の範囲第２５
   項記載の装置。 （２７）観察顕微鈴（７８）が、唯一つの対眼レンズ（
   γ９〕を有し、顕微鏡（７８）の光路（８７）内にレン
   ズ素子（８３）ケ選択的に設置できることを特徴とする
   特許ｔカ永の範囲第１項記載の装部。 （２８）方向変更ミラー（４６）が、Ｘ線ビームの低エ
   ネルギ成分を透過することを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の装置。 （２９）方向変更ミラー（４６）が、ガラス製であり、
   幾例学的軸＃　Ｃ３２Ｊと同心の孔全有すること全特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の装置。 （３０）孔の幾何学的縦軸線が、方向変更ミラー（４６
   ）の平面に対して４５°をなすことを特徴とする特許請
   求の８ＦＩＪｉ第２９項記載の装置。 （３１）孔の横方向寸法が、０．５〜２ｍｍ（好ましく
   は、約１ｍｍ）であることを特徴とする特許請求の範囲
   第３０項記載の装置。 （ａｚ）Ｘｉ発生器（３３）が、ベリリウム窓を有する
   ことｔ％徴とする特許請求の範囲第１項および第２８〜
   ３０項の１つまたは複数に記載の装置。