JPS58133239A

JPS58133239A - 照射ｘ線領域モニタ−装置

Info

Publication number: JPS58133239A
Application number: JP57015900A
Authority: JP
Inventors: 細川　好則
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 1982-02-02
Filing date: 1982-02-02
Publication date: 1983-08-08
Also published as: US4521905A; DE3303146C2; DE3303146A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、被照射体における照射Ｘ線領域のモニター装
置に関する。

照射Ｘ線領域モニター装置として、従来は、被照射体に
対する照射Ｘ線領域を視覚確認できるように、換言すれ
ば、被照射体へ所望領域にＸ線を照射できるように、例
えば第１図（こ示すように、Ｘ線ｆａｌの照射器（１）
と可視光線ｆｃ）の投射器（５）を、それらの照射Ｘ線
軸（Ｐ）と可視光線軸（Ｐｌ）のピッチ（１）に相当す
る距離たけ移動させるようにして、先ず可視光線ｆｃｌ
をＸ線被照射体（３）の所望領域に投射し、次に、可視
光線投光器（１）を移動させて、その照射Ｘ線軸（１”
）を前記可視光線軸（Ｐｌ）が存在１−７ｌ：位置１こ
軸合せし、その状態でＸ線（３）を照射させる事により
、Ｘ線被照射体（３）の所望領域にＸ線＋ａ）を照射さ
せるようにしている。

しかしなから、この手段においては、可視光線ｆｃｌの
投射とＸ線ｆａ）の照射に同時性か無く、例えはＸ線被
照射体（３）として各種金属や鉱石を対＆　＋ｃ、　し
てそれの含有元素を分析するような場合に、可視光線投
射器（５）とＸ線照射器ｆｌ）を位置変更する間に元素
が酸化する等の経時的変化を伴なうような欠点かあり、
しかも、Ｘ線ｔａ＋の照射領域を変更する度に上述の位
置変更を繰返し行なわねばならず、極めて操作性が劣る
ものであった。

また別の手段として、第２図に示すように、照射Ｘ線軸
（Ｐ）と可視光線軸（Ｐ＋）を交差させるように、Ｘ線
照射器（１）と＝’ｌ視光線投射器（５）をセットする
き共に、その両軸（Ｐ）（Ｐ＋）の交点にＸ線被照射体
（３）の照射面を位置合せさせるようにして、Ｘ線＋ａ
＋の照射と可視光線ｉｃ）の投射に同時性を持たせる　
　□と共に、Ｘ線１ａｌの照射領域変更の操作性を向上
させる事か考えられるが、この場合、Ｘ線被照射体（３
）としてそのＸ線照射面が平滑のものしか対象にできす
、即ち、同図に拡大図示したように、Ｘ線被照射体（３
）のＸ線照射面が凹凸面である場合には、Ｘ線（３）の
照射点と可視光線ｆｃｌの投射点が位置すれし、可視光
線投射領域から外れた領域にＸ線ｉａ）の照射が行なわ
れるもので、同時性があってもわ１出鎮域の同一性に欠
けるものであった。

史番こは、Ｘ線ｆａ）と可視光線ｆｃｌの交点に対する
Ｘ線照射面の極く僅かの位置すれによっても検出領域の
同一性が無くなる欠点があった。

本発明は、上述の実情に鑑みて成されたもので、検出領
域の同一性、並びに、Ｘ線照射の同時性を有する優ねた
機能の照射Ｘ線領域モニター装置を提供する事を目的と
する。

以下、本発明の実施例を図面に基いて説明する。

第３図において、（１）はＸ線照射器（例えはＸ線管）
で、Ｘ線ｆａｔを平行束にするコリメータ（２）を通し
て、そのＸ線ｆａ）を各挿金属や鉱石などの試料（Ｘ線
被照射体の一例）（３）に照射する。

（４）はエネルギー分散型の螢光Ｘ線検出器で、Ｘ線ｉ
ａ）を試料（３）に照射したとき番こ含有元素１こ対応
して放射される螢光Ｘ線（ｂ）を検出し、その螢光Ｘ線
ｆｂ）のエネルギーを基にして試料（３）のＸ線照射領
域において含有される各元素の種類及び巖度を同時分析
するものである。

即ち、螢光Ｘ線（Ｉ））を分光して、そのスペクトルの
波長の帰属を順次決定することによって定性分析を行な
わせ、かつ、螢光Ｘ線（ｂ）の強度は各元素の含有Ｍ１
こ依存するから、その強度測定によって定址分析を行な
わせるようにしたものである。

この検出器（４）を波長分散型のものに置き換えても定
性分析並びに定切分析を行なう事ができるが、エネルギ
ー分散型のもの１こする事により、多元素同時分析を行
なわせる事ができ、その」−１螢光Ｘ線ｉｈｌの信号ｎ
；か弱くてもその分析を行なえ、従って、直径の二乗に
比例してＸ線ｔａ＋の信号祉を変化させるコリメータ（
２）を小径にして、Ｘ線ｆａｔの照射領域を小にしても
試料（３）の組成分析を十分に行なわせる事ができ、微
小領域にお＋ｊる多元素分析番ことって有利である。

（５）はり視し−ザ光、変調光、単色光などの可視光線
ｆｃ）を投射する可視光線投射器、（６）は前記Ｘ線ｆ
ａ）を透過すると共１こ可視光線ｔｃ＋を反射させるＸ
線透過鏡で、Ｘ　線（ａｌの透過率の商いベリラムやア
ルミニウム等の原子番号の低い金属箔を用いて、少なく
ともその一側面を鏡面仕上げして可視光線反射面として
あり、その可視光線反射面をＸ線照射方向の下手側に位
置させる状態でかつ前記反射面を照射Ｘ線軸（Ｐ）に対
して傾斜させる状態でＸ線照射器（１）とコリメータ（
２）の間に配置しである。

そして、前記可視光線投射器（５）からの可視光線ｆｃ
ｌをｌ′ｌｉ＋記反射面のＸ線透過位＆（Ｑ）ｔこ投射
さぜると共に、その可視光線ｆｃｌの反射光軸（Ｐｏ’
）を前記照射Ｘ線軸ＣＰ）と同軸ｆこあるいはほぼ同軸
に位置させるように、可視光線ｆｃ）の反射角度を設定
しである。

このように、ハ（１射Ｘ線軸（Ｐ）と反射光軸（Ｐｏ）
を同軸に設定する事によって試料（３）Ｉこ対する可視
光線ｆｃｌの投射領域１こＸ線ｆａｌを照射でき、つま
り、可視光線投射領域が即ち照射ＸＮＩＸｆＩｌｌｌ域
であり、試料（３）に対してＸ線（３）と可視光線ｆｃ
）を同時に同じ領域に照射、投射できる。

（７）は試料（３）にスポット投射された可視光線ｆｃ
）を視覚検出するだめの検出器で、顕微鏡や望遠鏡など
からなり、前記試料（３）ｉこ対する可視光線投射領域
の検出に基いて試料（３）に対するＸ線ｆａ）の照射領
域を検出するものである。

この検出器（７）をモニターとして試料（３）の位ｆＡ
’を遠隔操作によって変更させる事により、所望の領域
（こＸ線ｆａｔを照射させる事ができて、所望領域の螢
光Ｘ線検出を連続的に行なう事が可能となる。

（８）はＸ線ハロ射空間を囲うケースで、機械的強度面
やコスト面から鉄製とし、その肉厚を２０調程度としで
あるか、これを肉厚２ｍ程度の鉛製にするも良い。

尚、実施例では金属や鉱石などの試料をＸ線被照射体（
３）としたが、その他、気体や液体、スラリー状のもの
など広範囲のものを対象にできる。

そして、気体や液体を対象にする場合には、それらをポ
リエステルやベリリウム等のセルに流したり密閉したり
すれば良（、スラリー状の場合１こは、それらの手段の
外に、Ｘ線ｔａ＋を下方に向けて照射させるようにして
、その照射Ｘ線軸上にスラリー状のものを位置させれば
良い。

また本発明による照射Ｘ線領域モニター装置は、前記し
た螢光Ｘ線分析装置のはかＸ線回折装置。

Ｘ線吸収分析装置あるいはＸ線照射の医療用の装置など
に利用できる。

以上説明したよう番こ本発明は、Ｘ線被照射体に対する
照射Ｘ線軸と可視光線の反射光軸を同軸又は略同軸にし
て、Ｘ線被照射体の同−領域に同時にＸ線照射と可視光
線投射を行なわせるもので、Ｘ線被照射体のＸ線照射領
域の面が凹凸の状態であっても、経時的変化を生じさせ
ないで可視光線の投射点に適確にＸ線を照射させる事が
できるようになり、しかも、Ｘ線の照射領域の変更も極
めて簡単かつ操作性の良い状態で行なえ、このことは検
出の連続性に優れるものであり、全体として、極めて簡
単な改良でありながら使用面番こおいて有用な照射Ｘ線
領域モニター装置を提供するに至った。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は夫々従来装置の説明図、第３図は本
発明による照射Ｘ１ａ鎮域モニター装置の説明図である
。（１）・・・Ｘ線照射器、（３）・・・Ｘ線被照射体、
（５）・・・可視光線投射器、（６）・・・Ｘ線透過鏡
、（７）・・・可視光線投射領域検出手段、ｆａｌ・・
・Ｘ線、ＩｃＩ・・・可視光線、（Ｐ）・・・照射Ｘ線
軸、（Ｐ＋）・・・可視光線の反射光軸。

Claims

【特許請求の範囲】

Ｘ線照射器とＸ線盟射被照射体との間に、Ｘ線は透過す
るが可視光線は反射するＸ線透過鏡を、その可視光線反
射面がＸ線照射方向の下手側（こ位置し且つ照射Ｘ線軸
に対し傾斜した状態で設置し、さら番こ、可視光線力ｉ
　Ａｉｌ記反対反射面線透過位置１こ投射され且つその
可視光線の反射光軸と前記照射Ｘ線軸とが同軸又は略同
軸となるように可視光線投射器を設置し、さら番こ、前
記Ｘ線被照射体に対する可視光線投光器域を検出する手
段を設けである事を特徴とする照射Ｘ線領域モニター装
置。