KR101770953B1 - 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템 및 그 제어방법 - Google Patents

원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템 및 그 제어방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101770953B1
KR101770953B1 KR1020160016085A KR20160016085A KR101770953B1 KR 101770953 B1 KR101770953 B1 KR 101770953B1 KR 1020160016085 A KR1020160016085 A KR 1020160016085A KR 20160016085 A KR20160016085 A KR 20160016085A KR 101770953 B1 KR101770953 B1 KR 101770953B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sample
distance
laser beam
lens
controller
Prior art date
Application number
KR1020160016085A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170094850A (ko
Inventor
한보영
김동선
박세환
박근일
Original Assignee
한국원자력연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국원자력연구원 filed Critical 한국원자력연구원
Priority to KR1020160016085A priority Critical patent/KR101770953B1/ko
Publication of KR20170094850A publication Critical patent/KR20170094850A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101770953B1 publication Critical patent/KR101770953B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/30—Collimators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G01J2003/423—Spectral arrangements using lasers, e.g. tunable
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
    • G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
    • G01N15/0211—Investigating a scatter or diffraction pattern
    • G01N2015/0222—Investigating a scatter or diffraction pattern from dynamic light scattering, e.g. photon correlation spectroscopy

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

본 발명은 시료로 레이저빔을 조사하고 시료표면으로부터 반사되는 분광선을 수집하여 외부 분광기(300)로 출력하는 광학부(110)가 상부 중심부에 마련되어 있으며, 상기 시료와 상기 광학부(110) 사이의 거리가 미리 설정된 거리만큼 이격되도록 조절하는 샘플대 자동 조정부(120)가 상기 광학부(110) 하부에 마련되어 있는 챔버(100); 및 레이저빔을 발생시켜 상기 광학부(110)를 통해 상기 시료표면으로 조사되도록 하는 레이저빔 발생기(200); 를 포함하고, 상기 광학부(110)가, 상기 레이저빔 발생기(200)로부터 발생한 레이저빔을 상기 시료표면으로 집적시키는 초점렌즈(111)와, 상기 시료표면의 분광선을 집속시켜 광섬유 케이블을 통해 상기 분광기(300)로 전송하는 한 쌍의 콜리메이터 렌즈(112)(113)로 이루어진 것을 특징으로 하며, 상기 한 쌍의 콜리메이터 렌즈(112)(113)가, 상호 다른 초점거리를 가지며, 상기 초점렌즈(111)를 중심으로 각각 45도 각도위치에서 상기 시료표면의 분광선을 집속시키는 것을 특징으로 한다.

Description

원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템 및 그 제어방법{Laser-induced spectroscopy crushing system equipped with remote control function and control method thereof}
본 발명은 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로, 특히 원격성과 현장 적용성을 향상시켜 고방사선 환경의 핫셀 내에서 방사선 물질의 주변 오염을 막고 접근이 어려운 현장인 핫셀 환경 내에서 일어나는 물질변화를 측정하고 분석할 수 있도록 하는 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.
현재 원자력 안전 및 운영효율을 위해 고방사선 물질을 다루는 원자력 산업시설에서 공정물질을 현장에서 실시간으로 분석할 수 있는 기술 필요성이 대두되고 있다.
종래의 레이저 유도파쇄 분광(Laser-Induced Breakdown Spectroscopy; LIBS)기술은 주 장비로써 레이저, 분광기 그리고 광학기기로 이루어진 비교적 간단한 분석기술로 실험실에서 사용되어 왔다.
고방사선 물질인 사용후핵연료를 재활용할 수 있는 파이로 공정 물질 내 민감핵물질을 실시간 모니터링 할 수 있는 분석방법으로 LIBS 기술을 적용할 수 있으며, LIBS 기술을 적용하기 위해서 방사선물질의 비산을 막고 측정 불확실도를 줄일 수 있는 LIBS 원격 측정 장치 개발이 요구되고 있다.
대한민국 공개특허 제 2012-0104319 호
이와 같은 개발 요구에 부응하기 위해 본 발명은 원격성과 현장 적용성을 향상시켜 고방사선 환경의 핫셀 내에서 방사선 물질의 주변 오염을 막고 접근이 어려운 현장인 핫셀 환경 내에서 일어나는 물질변화를 측정하고 분석할 수 있도록 하는 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템 및 그 제어방법을 제공하는데, 그 목적이 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템은 시료로 레이저빔을 조사하고 시료표면으로부터 반사되는 분광선을 수집하여 외부 분광기(300)로 출력하는 광학부(110)가 상부 중심부에 마련되어 있으며, 상기 시료와 상기 광학부(110) 사이의 거리가 미리 설정된 거리만큼 이격되도록 조절하는 샘플대 자동 조정부(120)가 상기 광학부(110) 하부에 마련되어 있는 챔버(100); 및 레이저빔을 발생시켜 상기 광학부(110)를 통해 상기 시료표면으로 조사되도록 하는 레이저빔 발생기(200); 를 포함하고, 상기 광학부(110)가, 상기 레이저빔 발생기(200)로부터 발생한 레이저빔을 상기 시료표면으로 집적시키는 초점렌즈(111)와, 상기 시료표면의 분광선을 집속시켜 광섬유 케이블을 통해 상기 분광기(300)로 전송하는 한 쌍의 콜리메이터 렌즈(112)(113)로 이루어진 것을 특징으로 하며, 상기 한 쌍의 콜리메이터 렌즈(112)(113)가, 상호 다른 초점거리를 가지며, 상기 초점렌즈(111)를 중심으로 각각 45도 각도위치에서 상기 시료표면의 분광선을 집속시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명과 관련된 실시 예로서, 샘플대 자동 조정부(120)가, 시료가 안착하는 샘플대(121)와, 샘플대(121)에 위치한 샘플과 초점렌즈(111) 사이의 거리를 감지하여 출력하는 거리센서(122)와, 상기 거리센서(122)에 의해 감지된 샘플대(121)와 초점렌즈(111) 사이의 거리가 미리 설정된 거리인지를 체크하여 샘플대(121)의 위치를 조정하기 위한 위치조정 제어신호를 출력하는 컨트롤러(123)와, 컨트롤러(123)의 위치조정 제어신호에 응하여 상기 샘플대(121)의 위치를 조정하는 샘플대 구동부(124)로 이루어질 수 있다.
삭제
삭제
삭제
본 발명과 관련된 실시 예로서, 샘플대 구동부(124)가, 위치조정 제어신호에 응하여 샘플대(121)를 x축, y축, z축 중 어느 한 축으로 그 위치를 이동시킬 수 있다.
본 발명과 관련된 실시예로서, 챔버(100)의 정면은 내부를 볼 수 있도록 투명 재질로 이루어져 있으며, 정면을 제외한 나머지 3면은 금속재질로 이루어져 측정물질의 비산을 막을 수 있도록 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템의 제어방법은 컨트롤러(123)가, 샘플대(121)에 시료가 안착되고 검사실시요청이 이루어지면 거리센서(122)로부터 초점렌즈(111)와 샘플대(121) 사이의 거리를 비교 거리로 제공받는 단계; 상기 컨트롤러(123)가, 제공되는 비교 거리와 미리 설정된 기준 거리를 비교하여, 비교 결과 값이 오차 범위 내에 존재하면 초점 렌즈(111)로 레이저빔이 발생되어 집속되도록 레이저빔 발생기(200)를 제어하고, 비교 거리가 오차 범위 내에 존재하지 않으면 샘플대 구동부(124)로 위치조정 제어신호를 출력하여 초점렌즈(111)와 샘플대(121) 사이의 거리가 일정하게 유지되도록 조절하는 단계; 및 상기 컨트롤러(123)가, 한 쌍의 콜리메이터렌즈(112)(113)를 통해 시료표면으로부터 반사되는 분광선을 수집하여 광섬유케이블을 통해 외부 분광기(300)로 전송하여 시료에 대해 검사가 이루어지도록 한 후 검사 완료 명령이 입력되면, 시료검사 모드를 종료하는 단계;를 포함하되, 상기 한 쌍의 콜리메이터 렌즈(112)(113)가, 상호 다른 초점거리를 가지며, 상기 초점렌즈(111)를 중심으로 각각 45도 각도위치에서 상기 시료표면의 분광선을 집속시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 원격성과 현장 적용성을 향상시켜 고방사선 환경의 핫셀 내에서 방사선 물질의 주변 오염을 막고 접근이 어려운 현장인 핫셀 환경 내에서 일어나는 물질변화를 측정하고 분석할 수 있도록 함으로써, 자동으로 샘플과 거리를 일정하게 유지하도록 하여 측정불확도를 줄여줄 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 고정된 위치에서 밀폐된 챔버안에서 측정이 이루어져 핵물질 오염을 줄여 줄 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 챔버의 원격성을 고려한 설계로 각 구성품의 유지, 보수가 용이하도록 하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명이 적용된 LIBS 샘플 챔버를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템의 제어방법을 설명하기 위한 동작 흐름도이다.
본 발명에서 사용되는 기술적 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아님을 유의해야 한다. 또한, 본 발명에서 사용되는 기술적 용어는 본 발명에서 특별히 다른 의미로 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미로 해석되어야 하며, 과도하게 포괄적인 의미로 해석되거나, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다. 또한, 본 발명에서 사용되는 기술적인 용어가 본 발명의 사상을 정확하게 표현하지 못하는 잘못된 기술적 용어일 때에는, 당업자가 올바르게 이해할 수 있는 기술적 용어로 대체되어 이해되어야 할 것이다. 또한, 본 발명에서 사용되는 일반적인 용어는 사전에 정의되어 있는 바에 따라, 또는 전후 문맥상에 따라 해석되어야 하며, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다.
또한, 본 발명에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 본 발명에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 발명에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계를 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 2는 본 발명이 적용된 LIBS 샘플 챔버를 설명하기 위한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명이 적용된 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템은 챔버(100), 레이저 발생기(200), 분광기(300), 원격조정기(400)로 이루어진다.
챔버(100)가 광학부(110) 및 샘플대 자동 조정부(120)로 이루어진다.
광학부(110)가 챔버(100) 상부 중심부에 마련되어 있으며, 레이저빔 발생기(200)를 통해 발생되어 조사되는 레이저빔을 시료 표면으로 집속되도록 하고 시료표면으로부터 반사되는 분광선을 수집하여 외부 분광기(300)로 출력한다.
샘플대 자동 조정부(120)가 광학부(110) 하부에 마련되되, 챔버(100) 중심 중앙부에 마련되어 있으며, 컨트롤러(123)로부터 입력되는 제어신호에 응하여 시료와 광학부(110) 사이의 거리가 미리 설정된 거리만큼 이격되도록 조절한다.
레이저빔 발생기(200)가, 레이저빔을 발생시켜 광학부(110)를 통해 시료표면으로 조사되도록 한다.
광학부(110)가 레이저빔 발생기(200)로부터 발생한 레이저빔을 시료표면으로 집적시키는 초점렌즈(111)와, 시료표면의 분광선을 집속시켜 광섬유 케이블을 통해 분광기(300)로 전송하는 한쌍의 콜리메이터 렌즈1, 2(112)(113)로 이루어진다.
한 쌍의 콜리메이터 렌즈1, 1(112)(113)가 상호 다른 초점거리를 가지며, 초점렌즈(111)를 중심으로 각각 45도 각도위치에서 시료표면의 분광선을 집속시킨다.
샘플대 자동 조정부(120)가 시료가 안착하는 샘플대(121)와, 샘플대(121)에 위치한 샘플과 초점렌즈(111) 사이의 거리를 감지하여 출력하는 거리센서(122)와, 거리센서(122)에 의해 감지된 샘플대(121)와 초점렌즈(111) 사이의 거리가 미리 설정된 거리인지를 체크하여 샘플대(121)의 위치를 조정하기 위한 위치조정 제어신호를 출력하는 컨트롤러(123)와, 컨트롤러(123)의 위치조정 제어신호에 응하여 샘플대(121)의 위치를 조정하는 샘플대 구동부(124)로 이루어진다.
샘플대 구동부(124)가 위치조정 제어신호에 응하여 샘플대(121)를 x축, y축, z축 중 어느 한 축으로 그 위치를 이동시킨다.
챔버(100)의 정면은 도 2에 도시된 바와 같이 내부를 볼 수 있도록 투명 재질로 이루어져 있으며, 정면을 제외한 나머지 3면은 금속재질로 이루어져 측정물질의 비산을 막을 수 있도록 한다.
원격조정기(400)가 실험 관리자의 조작에 따라 시료검사 명령 등 다양한 명령을 컨트롤러(123)로 송출하여, 컨트롤러(123)가 해당 명령에 따라 시료를 검사하기 위해 샘플대 위치가 조정되도록 하거나, 레이저빔이 발생하도록 하거나, 시료 검사모드를 종료하도록 하게 한다.
상기와 같이 구성된 디지털계측계통에 구현되어 있는 결함허용기법의 결함검출률 정량화 방법을 설명하면 하기와 같다.
도 3은 본 발명에 따른 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템의 제어방법을 설명하기 위한 동작 흐름도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 컨트롤러(123)가 샘플대(121)에 시료가 안착되고 검사실시요청이 이루어지면 거리센서(122)로부터 초점렌즈(111)와 샘플대(121) 사이의 거리를 비교 거리로 제공(S110)받는다.
컨트롤러(123)가 제공되는 비교 거리와 미리 설정된 기준 거리를 비교(S120)하여, 비교 결과 값이 오차 범위 내에 존재하는지를 판단(S130)하고, 비교 결과 값이 오차 범위 내에 존재하면 초점 렌즈(111)로 레이저빔이 발생되어 집속되도록 레이저빔 발생기(200)를 제어(S140)하고, 비교 결과 값이 오차 범위 내에 존재하지 않으면 샘플대 구동부(124)로 위치조정 제어신호를 출력하여 초점렌즈(111)와 샘플대(121) 사이의 거리가 일정하게 유지되도록 조절(S150)한다. 즉, 비교 결과 값이 오차 범위 내에 존재하지 않으면 컨트롤러(123)가 비교 거리를 기반으로 샘플대(121)의 위치를 x축, y축, z축으로 얼마나 이동시켜야 하는지를 체크하고 체크결과에 따라 위치조정 제어신호를 생성시켜 샘플대 구동부(124)로 출력한다. 그러면 샘플대 구동부(124)는 위치조정 제어신호에 응하여 샘플대(121)를 x축, y축, z축으로 이동시켜 그 위치를 조정하게 되며, 초점렌즈(111)와 샘플대(121) 사이의 거리 조정은 비교 결과값이 오차범위 내에 존재할 때까지 지속적으로 이루어진다.
이렇게 위치 조정 모드가 종료되고 레이저빔 발생기(200)에 의해 레이저빔이 발생되어 초점렌즈(111)로 조사되면, 초점렌즈(111)는 레이저빔을 샘플대(121)에 안착된 샘플 표면으로 집속시킨다. 이렇게 샘플 표면으로 레이저빔이 집속되면 레이저빔은 샘플 표면에 닿고 반사된다. 이때 한 쌍의 콜리메이터렌즈(112)(113)가 시료표면으로부터 반사되는 분광선을 45도 각도로 수집하고 광섬유케이블을 통해 외부 분광기(300)로 전송하여 시료에 대한 검사가 이루어지도록 한다.
이렇게 시료에 대해 검사가 이루어지는 동안 컨트롤러(123)가 외부로부터 검사 완료 명령 또는 다른 명령이 입력되는지를 지속적으로 체크하여 판단(S160)하고, 검사 완료 명령이 입력되면 시료검사 모드를 종료하고, 다른 명령이 입력되면 입력된 명령을 수행(S170)한다.
전술한 내용은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 챔버
110 : 광학부 111 : 초점렌즈
112 : 콜리메이터렌즈1 113 : 콜리메이터렌즈2
120 : 샘플대 자동 조정부
121 : 샘플대 122 : 거리센서
123 : 컨트롤러 124 : 샘플대 구동부
200 : 레이저빔 발생기
300 : 분광기
400 : 원격조정기

Claims (7)

  1. 시료로 레이저빔을 조사하고 시료표면으로부터 반사되는 분광선을 수집하여 외부 분광기(300)로 출력하는 광학부(110)가 상부 중심부에 마련되어 있으며, 상기 시료와 상기 광학부(110) 사이의 거리가 미리 설정된 거리만큼 이격되도록 조절하는 샘플대 자동 조정부(120)가 상기 광학부(110) 하부에 마련되어 있는 챔버(100); 및
    레이저빔을 발생시켜 상기 광학부(110)를 통해 상기 시료표면으로 조사되도록 하는 레이저빔 발생기(200); 를 포함하고,
    상기 광학부(110)가, 상기 레이저빔 발생기(200)로부터 발생한 레이저빔을 상기 시료표면으로 집적시키는 초점렌즈(111)와, 상기 시료표면의 분광선을 집속시켜 광섬유 케이블을 통해 상기 분광기(300)로 전송하는 한 쌍의 콜리메이터 렌즈(112)(113)로 이루어진 것을 특징으로 하며, 상기 한 쌍의 콜리메이터 렌즈(112)(113)가, 상호 다른 초점거리를 가지며, 상기 초점렌즈(111)를 중심으로 각각 45도 각도위치에서 상기 시료표면의 분광선을 집속시키는 것을 특징으로 하는 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 샘플대 자동 조정부(120)가,
    시료가 안착하는 샘플대(121)와, 상기 샘플대(121)에 위치한 샘플과 상기 초점렌즈(111) 사이의 거리를 감지하여 출력하는 거리센서(122)와, 상기 거리센서(122)에 의해 감지된 상기 샘플대(121)와 상기 초점렌즈(111) 사이의 거리가 미리 설정된 거리인지를 체크하여 상기 샘플대(121)의 위치를 조정하기 위한 위치조정 제어신호를 출력하는 컨트롤러(123)와, 상기 컨트롤러(123)의 위치조정 제어신호에 응하여 상기 샘플대(121)의 위치를 조정하는 샘플대 구동부(124),
    로 이루어진 것을 특징으로 하는 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 샘플대 구동부(124)가, 상기 위치조정 제어신호에 응하여 상기 샘플대(121)를 x축, y축, z축 중 어느 한 축으로 그 위치를 이동시키는 것을 특징으로 하는 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버(100)의 정면은 내부를 볼 수 있도록 투명 재질로 이루어져 있으며, 정면을 제외한 나머지 3면은 금속재질로 이루어져 측정물질의 비산을 막는 것을 특징으로 하는 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템.
  7. 컨트롤러(123)가, 샘플대(121)에 시료가 안착되고 검사실시요청이 이루어지면 거리센서(122)로부터 초점렌즈(111)와 샘플대(121) 사이의 거리를 비교 거리로 제공받는 단계;
    상기 컨트롤러(123)가, 제공되는 비교 거리와 미리 설정된 기준 거리를 비교하여, 비교 결과 값이 오차 범위 내에 존재하면 초점 렌즈(111)로 레이저빔이 발생되어 집속되도록 레이저빔 발생기(200)를 제어하고, 비교 거리가 오차 범위 내에 존재하지 않으면 샘플대 구동부(124)로 위치조정 제어신호를 출력하여 초점렌즈(111)와 샘플대(121) 사이의 거리가 일정하게 유지되도록 조절하는 단계; 및
    상기 컨트롤러(123)가, 한 쌍의 콜리메이터렌즈(112)(113)를 통해 시료표면으로부터 반사되는 분광선을 수집하여 광섬유케이블을 통해 외부 분광기(300)로 전송하여 시료에 대해 검사가 이루어지도록 한 후 검사 완료 명령이 입력되면, 시료검사 모드를 종료하는 단계;를 포함하되,
    상기 한 쌍의 콜리메이터 렌즈(112)(113)가, 상호 다른 초점거리를 가지며, 상기 초점렌즈(111)를 중심으로 각각 45도 각도위치에서 상기 시료표면의 분광선을 집속시키는 것을 특징으로 하는, 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템의 제어방법.
KR1020160016085A 2016-02-12 2016-02-12 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템 및 그 제어방법 KR101770953B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160016085A KR101770953B1 (ko) 2016-02-12 2016-02-12 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템 및 그 제어방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160016085A KR101770953B1 (ko) 2016-02-12 2016-02-12 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템 및 그 제어방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170094850A KR20170094850A (ko) 2017-08-22
KR101770953B1 true KR101770953B1 (ko) 2017-08-24

Family

ID=59757668

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160016085A KR101770953B1 (ko) 2016-02-12 2016-02-12 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템 및 그 제어방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101770953B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010038560A (ja) 2008-07-31 2010-02-18 Toshiba Corp 元素分析装置および元素分析方法
JP2010038557A (ja) * 2008-07-31 2010-02-18 Toshiba Corp 元素分析装置および元素分析方法
US20120206722A1 (en) * 2008-12-18 2012-08-16 Grigoropoulos Costas P High-Resolution Laser Induced Breakdown Spectroscopy Devices and Methods

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010038560A (ja) 2008-07-31 2010-02-18 Toshiba Corp 元素分析装置および元素分析方法
JP2010038557A (ja) * 2008-07-31 2010-02-18 Toshiba Corp 元素分析装置および元素分析方法
US20120206722A1 (en) * 2008-12-18 2012-08-16 Grigoropoulos Costas P High-Resolution Laser Induced Breakdown Spectroscopy Devices and Methods

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170094850A (ko) 2017-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103162941B (zh) 一种光学薄膜和光电器件表面激光损伤阈值测量装置
JP2604607B2 (ja) 欠陥分布測定法および装置
KR20110023730A (ko) Ｘ 선 분석 장치 및 ｘ 선 분석 방법
US20140321498A1 (en) Optical non-destructive inspection apparatus and optical non-destructive inspection method
US7023954B2 (en) Optical alignment of X-ray microanalyzers
RU2249813C2 (ru) Устройство для элементного анализа путем спектрометрии оптической эмиссии на плазме, полученной с помощью лазера
US11571747B2 (en) Multi-spectral method for detection of anomalies during powder bed fusion additive manufacturing
US8855259B2 (en) System and method for detecting leakage of nuclear reactor coolant using laser induced emission spectrum
US20140314121A1 (en) Optical non-destructive inspection apparatus and optical non-destructive inspection method
TWI695164B (zh) 寬頻晶圓缺陷偵測系統及寬頻晶圓缺陷偵測方法
US20140339429A1 (en) Optical non-destructive inspection method and optical non-destructive inspection apparatus
CN106918309A (zh) 电光晶体通光面法线与z轴偏离角的测量装置及其测量方法
US20140321497A1 (en) Optical non-destructive inspection apparatus and optical non-destructive inspection method
KR101770953B1 (ko) 원격제어기능이 구비된 레이저 유도파쇄 분광시스템 및 그 제어방법
CN110927170B (zh) 缺陷确定方法、装置及系统
CN107702816A (zh) 原位在线实时无接触式测量面壁材料表面温度的方法
JP2020532744A (ja) Ｘ線蛍光分光法により製品を当該製品の組成に基づいて選択する装置、および対応する選択方法
CN103454290B (zh) 一种x射线探测和成像系统的双镜式探测分析方法
JP2011064536A (ja) 試料分析方法、試料分析システム、および、試料分析プログラム
CN106596491A (zh) 一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法
JP2016142567A (ja) 検査方法及び装置
US20140118724A1 (en) Analyseur Spatial de Faisceau Laser a Reglage Automatique
CN109668906A (zh) 一种用于测定光学膜层激光损伤阈值的测量方法及装置
CN203732475U (zh) 一种用于测试光路与成像光路同轴的光路系统
CN216247130U (zh) 一种检测设备

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant