JPH0539449Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0539449Y2 JPH0539449Y2 JP1985150347U JP15034785U JPH0539449Y2 JP H0539449 Y2 JPH0539449 Y2 JP H0539449Y2 JP 1985150347 U JP1985150347 U JP 1985150347U JP 15034785 U JP15034785 U JP 15034785U JP H0539449 Y2 JPH0539449 Y2 JP H0539449Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- inspected
- rays
- projector
- light
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- Expired - Lifetime
Links
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 11
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
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- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本考案は、Ｘ線透視検査装置に係わり、特に
は、Ｘ線が照射される被検査物のＸ線被検査個所
の位置を正確に指示できるようにしたＸ線透視検
査装置に関するものである。
は、Ｘ線が照射される被検査物のＸ線被検査個所
の位置を正確に指示できるようにしたＸ線透視検
査装置に関するものである。
(ロ) 従来技術とその問題点
一般に鉄鋼材料、自動車部品、ICプリント基
板等の材料内部の欠陥や鋳物のす（金属内部の空
洞部分）などのように被検査物の内部を検査する
には、被検査物にＸ線を照射して、被検査物に対
してＸ線透視を行うことが必要となる。
板等の材料内部の欠陥や鋳物のす（金属内部の空
洞部分）などのように被検査物の内部を検査する
には、被検査物にＸ線を照射して、被検査物に対
してＸ線透視を行うことが必要となる。
ところで、Ｘ線は外部から肉眼では見えないた
めＸ線の透視個所、つまりＸ線被検査個所の正確
な位置は不明である。このため、通常、第１図に
示すごとくＸ線源ａから出たＸ線を被検査物に照
射する際、その照射個所が分かるようにＸ線照射
位置確認用の光を放射する投光器ｂを設け、この
投光器ｂでＸ線の照射経路から離れた斜方向から
被検査物に対してスポツト的に光を投光し、その
光の照射個所によつてＸ線被検査個所が確認でき
るようにしている。
めＸ線の透視個所、つまりＸ線被検査個所の正確
な位置は不明である。このため、通常、第１図に
示すごとくＸ線源ａから出たＸ線を被検査物に照
射する際、その照射個所が分かるようにＸ線照射
位置確認用の光を放射する投光器ｂを設け、この
投光器ｂでＸ線の照射経路から離れた斜方向から
被検査物に対してスポツト的に光を投光し、その
光の照射個所によつてＸ線被検査個所が確認でき
るようにしている。
そして、被検査物を透過したＸ線をＸ線源ａに
対向配置されたＸ線受光装置で受光し、このＸ線
受光装置で受光されたＸ線をTVカメラｄによつ
て画像信号に変換した後、このTVカメラｄから
の画像信号をTVモニタｅにＸ線透過像として表
示するようにしている。
対向配置されたＸ線受光装置で受光し、このＸ線
受光装置で受光されたＸ線をTVカメラｄによつ
て画像信号に変換した後、このTVカメラｄから
の画像信号をTVモニタｅにＸ線透過像として表
示するようにしている。
ところで、被検査物に投光器ｂから光を照射す
る場合に問題となる点は、第１図に示すごとく被
検査物ｇが薄くて、しかも凹凸のない均一な平坦
面を有する場合には、Ｘ線源ａからのＸ線の照射
個所に投光器ｂからの光の投光位置とを簡単に一
致させることができるが、第２図に示すように、
被検査物ｇがある厚さを有し、しかも表面が均一
でなく凹凸であるような場合には、被検査物ｇの
Ｘ線の照射位置と投光器ｂによる斜方向からの投
光位置との間にずれΔが生じ、被検査物ｇのＸ線
透過位置が正確に把握できなくなる難点がある。
る場合に問題となる点は、第１図に示すごとく被
検査物ｇが薄くて、しかも凹凸のない均一な平坦
面を有する場合には、Ｘ線源ａからのＸ線の照射
個所に投光器ｂからの光の投光位置とを簡単に一
致させることができるが、第２図に示すように、
被検査物ｇがある厚さを有し、しかも表面が均一
でなく凹凸であるような場合には、被検査物ｇの
Ｘ線の照射位置と投光器ｂによる斜方向からの投
光位置との間にずれΔが生じ、被検査物ｇのＸ線
透過位置が正確に把握できなくなる難点がある。
本考案はかかる問題点を解消すべくなされたも
ので、上述したごとく被検査物の厚さが異なる場
合においても、常にＸ線源の透視個所と投光器に
よる投光位置とが一致するようにして、Ｘ線によ
る被検査個所を正確に把握できるようにすること
を目的とするものである。
ので、上述したごとく被検査物の厚さが異なる場
合においても、常にＸ線源の透視個所と投光器に
よる投光位置とが一致するようにして、Ｘ線によ
る被検査個所を正確に把握できるようにすること
を目的とするものである。
(ハ) 構成
本考案は、上述の目的を達成するため、被検査
物にＸ線を照射するＸ線源と、前記被検査物を透
過したＸ線を受光するＸ線受光装置と、このＸ線
受光装置で受光されたＸ線を画像信号に変換する
TVカメラと、TVカメラからの画像信号を表示
するTVモニタと、前記被検査物のＸ線照射位置
確認用の光を投光する投光器とを備えたＸ線透視
検査装置において、前記Ｘ線源と被検査物との間
のＸ線照射経路上に、Ｘ線が透過するとともに前
記投光器からの光をＸ線照射経路と同軸方向へ反
射する光学反射鏡を設け、かつ、この光学反射鏡
で反射された光の光軸が前記Ｘ線照射軸と一致す
るように投光器が設定配置されていることを特徴
としている。
物にＸ線を照射するＸ線源と、前記被検査物を透
過したＸ線を受光するＸ線受光装置と、このＸ線
受光装置で受光されたＸ線を画像信号に変換する
TVカメラと、TVカメラからの画像信号を表示
するTVモニタと、前記被検査物のＸ線照射位置
確認用の光を投光する投光器とを備えたＸ線透視
検査装置において、前記Ｘ線源と被検査物との間
のＸ線照射経路上に、Ｘ線が透過するとともに前
記投光器からの光をＸ線照射経路と同軸方向へ反
射する光学反射鏡を設け、かつ、この光学反射鏡
で反射された光の光軸が前記Ｘ線照射軸と一致す
るように投光器が設定配置されていることを特徴
としている。
(ニ) 作用
本考案は以上のような構成を有するので、Ｘ線
源から放射されたＸ線は、光学反射鏡を透過して
被検査物にそのまま照射される。また、投光器か
らの光は、光学反射鏡によつてＸ線照射経路と同
軸方向へ反射される。このため、被検査物上のＸ
線照射位置に必ず投光器からの光が投光されるこ
とになり、このため、光の照射位置によつてＸ線
被検査個所を正確に把握できる。
源から放射されたＸ線は、光学反射鏡を透過して
被検査物にそのまま照射される。また、投光器か
らの光は、光学反射鏡によつてＸ線照射経路と同
軸方向へ反射される。このため、被検査物上のＸ
線照射位置に必ず投光器からの光が投光されるこ
とになり、このため、光の照射位置によつてＸ線
被検査個所を正確に把握できる。
(ホ) 実施例
以下、本考案の実施例を図面に基づいて具体的
に説明する。
に説明する。
１は収納ボツクスで、この収納ボツクス１の上
部１ａにはＸ線源２、中腹部１ｂには被検査物
３、下部１ｃには被検査物３を透過したＸ線を受
光するＸ線受光装置４およびこのＸ線受光装置４
で受光されたＸ線を画像信号に変換するTVカメ
ラ５を夫々配設収納している。そして、このTV
カメラ５に該TVカメラ４からの画像信号を表示
するTVモニタ６が接続されている。そして、被
検査物３を透過したＸ線をＸ線受光装置４で受光
し、このＸ線受光装置４で受光されたＸ線がTV
カメラ５によつて画像信号に変換された後、TV
カメラ５からの画像信号がTVモニタ６に出力さ
れる。したがつて、TVモニタ６によつて被検査
物３の内部をＸ線透過像として観察することがで
きる。
部１ａにはＸ線源２、中腹部１ｂには被検査物
３、下部１ｃには被検査物３を透過したＸ線を受
光するＸ線受光装置４およびこのＸ線受光装置４
で受光されたＸ線を画像信号に変換するTVカメ
ラ５を夫々配設収納している。そして、このTV
カメラ５に該TVカメラ４からの画像信号を表示
するTVモニタ６が接続されている。そして、被
検査物３を透過したＸ線をＸ線受光装置４で受光
し、このＸ線受光装置４で受光されたＸ線がTV
カメラ５によつて画像信号に変換された後、TV
カメラ５からの画像信号がTVモニタ６に出力さ
れる。したがつて、TVモニタ６によつて被検査
物３の内部をＸ線透過像として観察することがで
きる。
また、前記収納ボツクス１の中腹部１ｂの前面
には被検査物３の鉛含有ガラスの出入窓７が設け
られており、この出入窓７にはＸ線透視検査する
場合内部の被検査物３の表面を観察することが可
能である。
には被検査物３の鉛含有ガラスの出入窓７が設け
られており、この出入窓７にはＸ線透視検査する
場合内部の被検査物３の表面を観察することが可
能である。
８はＸ線源２と被検査物３との間のＸ線照射経
路１０上の任意位置に設けられた光学反射鏡であ
つて、この光学反射鏡８は、Ｘ線が透過するとと
もに後述の投光器９からの光をＸ線照射経路１０
と同軸方向へ反射する。すなわち、この光学反射
鏡８は、実質Ｘ線的には透明で、光学的には反射
機能を有するごとく、例えば炭素樹脂材の基板表
面にアルミニウム箔を固着して構成されており、
Ｘ線照射経路１０に対して45°の角度を向いて配
置されている。また、９は被検査物３のＸ線照射
位置確認用の光を投光する投光器で、Ｘ線照射経
路１０に対して直交し、光学反射鏡８とは同一高
さの位置に配置されている。これにより、光学反
射鏡８で反射された光の光軸とＸ線源２によるＸ
線照射軸とが互いに一致する。したがつて、この
投光器９から発せられる光線は、第４図に示すご
とく、前記反射鏡８によつて反射された後、Ｘ線
照射経路１０と一致して被検査物３に向かう。
路１０上の任意位置に設けられた光学反射鏡であ
つて、この光学反射鏡８は、Ｘ線が透過するとと
もに後述の投光器９からの光をＸ線照射経路１０
と同軸方向へ反射する。すなわち、この光学反射
鏡８は、実質Ｘ線的には透明で、光学的には反射
機能を有するごとく、例えば炭素樹脂材の基板表
面にアルミニウム箔を固着して構成されており、
Ｘ線照射経路１０に対して45°の角度を向いて配
置されている。また、９は被検査物３のＸ線照射
位置確認用の光を投光する投光器で、Ｘ線照射経
路１０に対して直交し、光学反射鏡８とは同一高
さの位置に配置されている。これにより、光学反
射鏡８で反射された光の光軸とＸ線源２によるＸ
線照射軸とが互いに一致する。したがつて、この
投光器９から発せられる光線は、第４図に示すご
とく、前記反射鏡８によつて反射された後、Ｘ線
照射経路１０と一致して被検査物３に向かう。
このように、投光器９から発せられた光線は反
射鏡８によつて常にＸ線照射経路１０と同軸方向
に反射されるので、被検査物３のＸ線照射個所が
凹凸を有したりその高さが変化する場合において
も、必ずＸ線源２の透視個所と投光器９による投
光位置とが一致し、被検査個所の把握を正確に行
いうるのである。
射鏡８によつて常にＸ線照射経路１０と同軸方向
に反射されるので、被検査物３のＸ線照射個所が
凹凸を有したりその高さが変化する場合において
も、必ずＸ線源２の透視個所と投光器９による投
光位置とが一致し、被検査個所の把握を正確に行
いうるのである。
(ヘ) 効果
以上のように、本考案によれば、物体の高さが
変化する場合においても被検査物のＸ線の照射個
所を正確に把握できるとともに、投光器、Ｘ線受
光装置、Ｘ線源の系全体の相対位置をそのままの
状態で回転可能に支持することにより被検査物の
異なつた角度から見たい場合にも容易に行い得る
等の利点がある。
変化する場合においても被検査物のＸ線の照射個
所を正確に把握できるとともに、投光器、Ｘ線受
光装置、Ｘ線源の系全体の相対位置をそのままの
状態で回転可能に支持することにより被検査物の
異なつた角度から見たい場合にも容易に行い得る
等の利点がある。
第１図、第２図は従来技術を示す説明図、第３
図及び第４図は本考案の一実施例を示すもので、
第３図はＸ線透視検査装置の構成図、第４図は同
装置の説明図である。 ２……Ｘ線源、３……被検査物、４……Ｘ線受
光装置、５……TVカメラ、６……TVモニタ、
８……光学反射鏡、９……投光器、１０……Ｘ線
照射経路。
図及び第４図は本考案の一実施例を示すもので、
第３図はＸ線透視検査装置の構成図、第４図は同
装置の説明図である。 ２……Ｘ線源、３……被検査物、４……Ｘ線受
光装置、５……TVカメラ、６……TVモニタ、
８……光学反射鏡、９……投光器、１０……Ｘ線
照射経路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 被検査物のＸ線を照射するＸ線源と、前記被
検査物を透過したＸ線を受光するＸ線受光装置
と、このＸ線受光装置で受光されたＸ線を画像
信号に変換するTVカメラと、TVカメラから
の画像信号を表示するTVモニタと、前記被検
査物のＸ線照射位置確認用の光を投光する投光
器とを備えたＸ線透視検査装置において、 前記Ｘ線源と被検査物との間のＸ線照射経路
上に、Ｘ線が透過するとともに前記投光器から
の光をＸ線照射経路と同軸方向へ反射する光学
反射鏡を設け、かつ、この光学反射鏡で反射さ
れた光の光軸が前記Ｘ線照射軸と一致するよう
に投光器が設定配置されていることを特徴とす
るＸ線透視検査装置。 ２ 光学反射鏡は、カーボン樹脂の表面にアルミ
ニユウム箔を固着したものである実用新案登録
請求の範囲第１項に記載のＸ線透視検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985150347U JPH0539449Y2 (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985150347U JPH0539449Y2 (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6258749U JPS6258749U (ja) | 1987-04-11 |
| JPH0539449Y2 true JPH0539449Y2 (ja) | 1993-10-06 |
Family
ID=31066408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985150347U Expired - Lifetime JPH0539449Y2 (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0539449Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5836534A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-03-03 | 三菱レイヨン株式会社 | Ｘ線用グリツド |
| JPS5975109A (ja) * | 1982-10-23 | 1984-04-27 | ヘルミユ−ト・フイツシヤ−・ゲ−エムベ−ハ−・ウント・コンパニ−・インステイテユ−ト・フユア・エレクトロニ−ク・ウント・メステヒニ−ク | 薄層の厚さ測定装置 |
| JPS6078309A (ja) * | 1983-10-05 | 1985-05-04 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 螢光ｘ線膜厚計 |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP1985150347U patent/JPH0539449Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5836534A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-03-03 | 三菱レイヨン株式会社 | Ｘ線用グリツド |
| JPS5975109A (ja) * | 1982-10-23 | 1984-04-27 | ヘルミユ−ト・フイツシヤ−・ゲ−エムベ−ハ−・ウント・コンパニ−・インステイテユ−ト・フユア・エレクトロニ−ク・ウント・メステヒニ−ク | 薄層の厚さ測定装置 |
| JPS6078309A (ja) * | 1983-10-05 | 1985-05-04 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 螢光ｘ線膜厚計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6258749U (ja) | 1987-04-11 |
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