JP3051907B2 - 蛍光ｘ線微小部膜厚計 - Google Patents
蛍光ｘ線微小部膜厚計Info
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- JP3051907B2 JP3051907B2 JP5060525A JP6052593A JP3051907B2 JP 3051907 B2 JP3051907 B2 JP 3051907B2 JP 5060525 A JP5060525 A JP 5060525A JP 6052593 A JP6052593 A JP 6052593A JP 3051907 B2 JP3051907 B2 JP 3051907B2
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- Japan
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- mirror
- shutter
- collimator
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電子部品等のメッキ
膜厚管理に用いられる蛍光Ｘ線微小部膜厚計に関する。
膜厚管理に用いられる蛍光Ｘ線微小部膜厚計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、蛍光Ｘ線膜厚計において常時試料
を観察するためには、図３に示すように試料観察のため
のミラー１２は、コリメータ６と試料４との間に設置さ
れていた。この場合Ｘ線源（図示せず）から発生し、コ
リメータ６によって絞られたＸ線ビームはミラー１２を
透過して試料４に照射されていた。
を観察するためには、図３に示すように試料観察のため
のミラー１２は、コリメータ６と試料４との間に設置さ
れていた。この場合Ｘ線源（図示せず）から発生し、コ
リメータ６によって絞られたＸ線ビームはミラー１２を
透過して試料４に照射されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の方法で
は、まずミラー１２がＸ線を透過する性質を有する材質
でなければならない上、コリメータ６と試料４との間に
ミラーを設置するために、コリメータ６と試料４との距
離をある程度離さなければならない。このため、試料４
に照射されるＸ線ビーム径のコリメータ径に対する広が
りが大きくなってしまうという欠点があり、微小部膜厚
計においてはこのビームの広がりを最小限にして、Ｘ線
の照射面積すなわち被測定面積をより小さくしなければ
なければならないという課題があった。
は、まずミラー１２がＸ線を透過する性質を有する材質
でなければならない上、コリメータ６と試料４との間に
ミラーを設置するために、コリメータ６と試料４との距
離をある程度離さなければならない。このため、試料４
に照射されるＸ線ビーム径のコリメータ径に対する広が
りが大きくなってしまうという欠点があり、微小部膜厚
計においてはこのビームの広がりを最小限にして、Ｘ線
の照射面積すなわち被測定面積をより小さくしなければ
なければならないという課題があった。
【０００４】また、照射Ｘ線の強度を十分に得るために
は、Ｘ線源から試料４までの距離をできるだけ短くしな
ければならないという課題があった。そこで、この発明
の目的は、従来のこのような課題を解決するため、常時
試料を観察する機能を備え、なおかつコリメータ６と試
料４との距離を短くすることのできる試料観察機構を有
することにより、Ｘ線ビーム径が小さく、照射Ｘ線強度
が大きな蛍光Ｘ線微小部膜厚計を提供することである。
は、Ｘ線源から試料４までの距離をできるだけ短くしな
ければならないという課題があった。そこで、この発明
の目的は、従来のこのような課題を解決するため、常時
試料を観察する機能を備え、なおかつコリメータ６と試
料４との距離を短くすることのできる試料観察機構を有
することにより、Ｘ線ビーム径が小さく、照射Ｘ線強度
が大きな蛍光Ｘ線微小部膜厚計を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は蛍光Ｘ線微小部膜厚計において、試料位
置決め用のミラーをシャッタが閉状態のときに試料が観
察可能で、かつコリメータより上方となる位置にシャッ
タに連結して配置し、測定中の試料観察用のミラーをシ
ャッタが開状態のときに試料が観察可能で、かつコリメ
ータより上方となる位置にシャッタに連結して配置する
ことにより、シャッタの開閉状態にかかわらず常時試料
を観察することが可能で、かつコリメータと試料との距
離の短縮を図れるようにした。
に、この発明は蛍光Ｘ線微小部膜厚計において、試料位
置決め用のミラーをシャッタが閉状態のときに試料が観
察可能で、かつコリメータより上方となる位置にシャッ
タに連結して配置し、測定中の試料観察用のミラーをシ
ャッタが開状態のときに試料が観察可能で、かつコリメ
ータより上方となる位置にシャッタに連結して配置する
ことにより、シャッタの開閉状態にかかわらず常時試料
を観察することが可能で、かつコリメータと試料との距
離の短縮を図れるようにした。
【０００６】
【作用】上記のように構成された蛍光Ｘ線微小部膜厚計
においては、試料の位置合わせはシャッタに連結された
第一のミラーを用いて行う。このミラーは試料の真上に
設置されているため、このミラーに写る試料画像によ
り、正確に試料の位置合わせを行うことができる。また
このミラーはシャッタが閉状態のときのみ試料を観察す
ることができ、シャッタの開動作と共に試料の真上から
移動する。
においては、試料の位置合わせはシャッタに連結された
第一のミラーを用いて行う。このミラーは試料の真上に
設置されているため、このミラーに写る試料画像によ
り、正確に試料の位置合わせを行うことができる。また
このミラーはシャッタが閉状態のときのみ試料を観察す
ることができ、シャッタの開動作と共に試料の真上から
移動する。
【０００７】シャッタが開状態すなわち測定中の試料の
観察は、シャッタの開動作と共に移動してきた第二のミ
ラーを用いて行う。この第二のミラーは試料を斜め上方
から見るような位置に設置されているため、試料の位置
合わせ、特に上下方向の位置合わせには不向きである
が、測定中の試料の観察には十分な試料画像を得られ
る。
観察は、シャッタの開動作と共に移動してきた第二のミ
ラーを用いて行う。この第二のミラーは試料を斜め上方
から見るような位置に設置されているため、試料の位置
合わせ、特に上下方向の位置合わせには不向きである
が、測定中の試料の観察には十分な試料画像を得られ
る。
【０００８】このようにシャッタの開閉動作と共に試料
観察用のミラーを切り替えることにより、常時試料を観
察することが可能となる。
観察用のミラーを切り替えることにより、常時試料を観
察することが可能となる。
【０００９】
【実施例】以下に、この発明の実施例を図に基づいて説
明する。図１において、１はＸ線発生器で、その内部に
Ｘ線管球２と図示しないＸ線高圧電源を内臓している。
３は試料ステージで、被測定試料４はこの試料ステージ
３のテーブル３ａ上に置かれる。試料ステージ３は図示
しないステージコントローラによって自動あるいは手動
で駆動され、試料の位置合わせを行うことができる。
明する。図１において、１はＸ線発生器で、その内部に
Ｘ線管球２と図示しないＸ線高圧電源を内臓している。
３は試料ステージで、被測定試料４はこの試料ステージ
３のテーブル３ａ上に置かれる。試料ステージ３は図示
しないステージコントローラによって自動あるいは手動
で駆動され、試料の位置合わせを行うことができる。
【００１０】Ｘ線発生器１から発せられた一次Ｘ線ビー
ム５ａは、コリメータ６によってその径を絞られ、試料
４に照射される。試料４から発した二次Ｘ線５ｂはＸ線
検出器７によって検出され、図示しない回路部分によっ
て増幅された後、膜厚値に換算される。
ム５ａは、コリメータ６によってその径を絞られ、試料
４に照射される。試料４から発した二次Ｘ線５ｂはＸ線
検出器７によって検出され、図示しない回路部分によっ
て増幅された後、膜厚値に換算される。
【００１１】１０は試料画像をテレビカメラ１１に投影
するためのレンズ系で、図示しない位置調整機構を介し
て固定されている。シャッタ閉のときの試料画像は図２
（ａ）に示すように、シャッタ８に連結されたミラー９
ａに投影され、レンズ系１０を経てテレビカメラ１１に
至る。このとき得られる試料画像は試料を真上から観察
したものであるので、試料中の測定位置の水平および上
下方向の位置合わせを正確に行うことができる。
するためのレンズ系で、図示しない位置調整機構を介し
て固定されている。シャッタ閉のときの試料画像は図２
（ａ）に示すように、シャッタ８に連結されたミラー９
ａに投影され、レンズ系１０を経てテレビカメラ１１に
至る。このとき得られる試料画像は試料を真上から観察
したものであるので、試料中の測定位置の水平および上
下方向の位置合わせを正確に行うことができる。
【００１２】図示しない操作部から、測定スタートある
いはシャッタ開の命令によってシャッタ８およびミラー
９ａは試料の真上から移動し、シャッタ開の状態とな
り、代わってコリメータ６およびミラー９ｂが試料の真
上に現れ、図２（ｂ）の状態となる。このときの試料画
像はミラー９ｂによって投影され、シャッタ閉の場合と
同様にレンズ系１０を経てテレビカメラ１１に至る。こ
のとき得られる試料画像は試料を斜め上方から観察した
ものであるので、測定位置の位置合わせ、特に上下方向
の位置合わせには不向きであるが、自動測定等で測定位
置を自動的に移動させて測定を行う際などの測定位置の
確認には十分な試料画像である。
いはシャッタ開の命令によってシャッタ８およびミラー
９ａは試料の真上から移動し、シャッタ開の状態とな
り、代わってコリメータ６およびミラー９ｂが試料の真
上に現れ、図２（ｂ）の状態となる。このときの試料画
像はミラー９ｂによって投影され、シャッタ閉の場合と
同様にレンズ系１０を経てテレビカメラ１１に至る。こ
のとき得られる試料画像は試料を斜め上方から観察した
ものであるので、測定位置の位置合わせ、特に上下方向
の位置合わせには不向きであるが、自動測定等で測定位
置を自動的に移動させて測定を行う際などの測定位置の
確認には十分な試料画像である。
【００１３】また、多種のコリメータを備える場合に
は、このミラー９ｂの長さを十分にとることによりコリ
メータの移動にかかわらず、測定中の試料画像を得るこ
とができる。
は、このミラー９ｂの長さを十分にとることによりコリ
メータの移動にかかわらず、測定中の試料画像を得るこ
とができる。
【００１４】
【発明の効果】この発明は、以上説明したようにシャッ
タの開閉動作と共に試料観察用のミラーを切り替えるこ
とが可能な構成としたので、シャッタの開閉状態にかか
わらず常時試料を観察することが可能で、かつコリメー
タと試料との距離の短縮がはかれるので、ビーム径の広
がりが小さく、照射Ｘ線強度が大きな蛍光Ｘ線微小部膜
厚計を提供することができる。
タの開閉動作と共に試料観察用のミラーを切り替えるこ
とが可能な構成としたので、シャッタの開閉状態にかか
わらず常時試料を観察することが可能で、かつコリメー
タと試料との距離の短縮がはかれるので、ビーム径の広
がりが小さく、照射Ｘ線強度が大きな蛍光Ｘ線微小部膜
厚計を提供することができる。
【図１】本発明の蛍光Ｘ線微小部膜厚計の構成を示した
説明図である。
説明図である。
【図２】本発明の蛍光Ｘ線微小部膜厚計の作用を示した
説明図である。
説明図である。
【図３】従来の方法の説明図である。
１ Ｘ線発生器 ２ Ｘ線管球 ３ 試料ステージ ３ａ テーブル ４ 被測定試料 ５ａ 一次Ｘ線ビーム ５ｂ 二次Ｘ線 ６ コリメータ ７ Ｘ線検出器 ８ シャッタ ９ａ ミラー ９ｂ ミラー １０ レンズ系 １１ テレビカメラ １２ Ｘ線透過ミラー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 15/00 - 15/08 G01N 23/00 - 23/227
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線発生源と、前記Ｘ線発生源から発生
したＸ線ビームをさえぎるためのシャッタと、前記Ｘ線
ビームの径を絞り、被測定試料に照射するためのコリメ
ータと、被測定試料から発する蛍光Ｘ線を検出するため
のＸ線検出器と、被測定試料を観察するための試料観察
機構とを備えた蛍光Ｘ線微小部膜厚計において、被測定
試料の位置合わせに用いるミラーと測定中の試料を観察
するためのミラーを別にした試料観察機構を有すること
により、常時試料を観察することが可能で、かつコリメ
ータと被測定試料との距離を短くしたことを特徴とする
蛍光Ｘ線微小部膜厚計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5060525A JP3051907B2 (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 蛍光ｘ線微小部膜厚計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5060525A JP3051907B2 (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 蛍光ｘ線微小部膜厚計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06273147A JPH06273147A (ja) | 1994-09-30 |
| JP3051907B2 true JP3051907B2 (ja) | 2000-06-12 |
Family
ID=13144821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5060525A Expired - Lifetime JP3051907B2 (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 蛍光ｘ線微小部膜厚計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3051907B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018110260A1 (ja) * | 2016-12-15 | 2018-06-21 | 株式会社堀場製作所 | 放射線検出装置 |
| JP2022013497A (ja) | 2020-07-03 | 2022-01-18 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | Ｘ線分析装置 |
-
1993
- 1993-03-19 JP JP5060525A patent/JP3051907B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06273147A (ja) | 1994-09-30 |
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