JPS5967449A - Ｘ線自動較正装置 - Google Patents

Ｘ線自動較正装置

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JPS5967449A
JPS5967449A JP16626982A JP16626982A JPS5967449A JP S5967449 A JPS5967449 A JP S5967449A JP 16626982 A JP16626982 A JP 16626982A JP 16626982 A JP16626982 A JP 16626982A JP S5967449 A JPS5967449 A JP S5967449A
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JP
Japan
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calibration
shutter
ray
sample
rays
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JP16626982A
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JPS6259258B2 (ja
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Toshiyuki Koga
古賀　敏行
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Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Publication date
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Priority to FR8315076A priority patent/FR2533794B1/fr
Priority to DE19833334458 priority patent/DE3334458A1/de
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Priority to US06/780,966 priority patent/US4962517A/en
Publication of JPS6259258B2 publication Critical patent/JPS6259258B2/ja
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076—X-ray fluorescence

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 不発明は、試料へのＸｉ照射′ｋｌｌＪ御するシャッタ
ーが閉じているとき、Ｘ線強度および波高値変動を較正
する手段を肩しているＸ線装置に関し、特に正確にかつ
効率的に装置全較正するための新規な発明に関するもの
である。
一般に、較正用試料にＸ線を照射し試料から照射される
ケイ光Ｘ紐金測定することによって装置を較正する手段
を肩するＸ線装置において、精度よく装置を較正するた
めに心安なケイ□ｉｉＸ線の測定時間は、所定の時間が
心安でろる。したがって。
シャッターが閉じているとき即ち被試料の非測定時に装
置を較正するＸ線装置においては較正のためのケイ光Ｘ
緋の測定が終了する１で、破測足試料の測定は行えない
という欠点があった。
不発明は１以上の欠点をすみやかに除去するための極め
て効果的な手段を提供するもので、較正のための較正用
試料からのケイ光Ｘ線の測定が終了しない９ちに被測定
試料の測定が開始された場合、それｌでの較正用試料の
測一定データ全メモリーに貯えておき１次の較正用試料
測定時との合計時間が較正に必要な時間を満たしたとき
装置を較正するよりにしたものでるる。
以下１図面と共に不発明にｚ、ｂＸ線自動較正装置を詳
細に説明する。
第１図はＸ線自動較正装置を示す図で、第２図は第１図
ヲ９０°　回転方向から見た図でるる、第５図は装置の
構成図を示す。
第５図において（１）はＸｉ管、（２）は較正用基準機
、（４）はＸ線検出器、（８）は被測定試料、（９）は
シャッター、αＱはシャッターの位置センサー、ａυは
波高分析器、（２）はスケラータイマー、□□□はＸ線
自動較正手段、０４は記憶装置を示す。シャッターの位
置はシャッターの位置センサσ（ＪＫよって検出され、
シャッターがＸ線の被測定試料への照射を中止している
ときに較正モードになる。シャッターが開くと位ｔｌ＠
出センサに工って較正モードは中断式れ。
較正モード中のケイ″＋ｘ＆ｌの強度、波篩値などの情
報がメモ’Ｊ−ｔ／こ貯えられる。被測定試料の測定が
終了しシャッターが閉じ再び較正モードとなり。
前の較正モードとの合計時間が較正に心安な測定時間と
なったときに初めて較正が実際に行なわれ　　・る。
なおメモリーの使用に関し次のような方法も考えられる
。即ち、仮に較正に必蒙な測足時間全Ｔ秒とすると、例
えば１秒毎に較正のためのＸ線強度全区切ってメモリー
に貯える。′従ってＴ回測定し平均値を求めるとすれば
較正を行えるのでるるが、較正後すべてのメモリーをク
リヤーしないで。
最初の測定のデータのみをクリヤーし、移動平均を求め
ることによって常に装置を較正することができる。
この発明１１′？：、ｃるＸ線自動較正装置は５以上の
ように、メモ’Ｊ　−’ｚ用いて前回の較正データを記
憶しているため、装置の較正を効率的に行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図はＸ線自動較正装置の構成図、第２図は第１図の
９０°回転方向から見た図、第６図はこの考案による構
成図を示す。 （１）・・・・・・ｘＩｆＭ管 （２）・・・・・・較正用基準板 （３）・・・・・・較正用基準板からのケイ光ｘ　１３
　ｅ　Ｘ線検出器からのケイ光Ｘ線ｉｘ？ＩＭ検出器へ
導くための第２案内孔 （４）・・・・・・Ｘ＃Ｊ検出器 （５）・・・・・・Ｘ線検出器の開口部（６）・・・・
・・Ｘ線管からのＸ線を較正用基準機へ導くための第１
案内孔 （７）・・・・・・Ｘ線管からのＸ線全被測定試料へ導
くための第３案円孔 （８）・・・・・・被測定試料 （９）・・・・・・シャッター αＯ・・・・・・シャッターの位置センサー以上 出願人　株式会社　第二梢工舎 代理人　弁理士最上　　務

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 Ｘ線管と、このＸ線管から放射されるＸｉ束を絞るため
    のコリメータと、試料へのＸ線の照射を制御するシャッ
    ターと、比例計数管などのＸＷ検出器と、波高分析器と
    、スケーラ−タイマーと。 Ｘ線強度および波高値のに動全較正する手段と。 シャッターが閉じているときに自動的にＸｆ＃強度およ
    び波高値の変動を較正するようシャッター内に前記ｘｉ
    管と対向して設けられた較正用基準板と、前記Ｘ線管か
    らのＸ線を前ｈピ較正用基準板に照射させるため設けら
    れたシャッター内の第１案内孔と、前記較正用基準板か
    らのケイ光Ｘ線を前記Ｘ線検出器に入射させるため、第
    １案内孔と連通してシャッターに設けられた第２案円孔
    を有するＸ線自動較正装置において、較正時の測定デー
    タをメモリーに貯えでおき、所定の較正時に、較正に必
    斐な測定時間が得られないとき、較正は行わずデーター
    をメモリーに貯えておき次回の較正時のデーターとして
    用いることを特徴とするＸ線自動較正装置。
JP16626982A 1982-06-03 1982-09-24 Ｘ線自動較正装置 Granted JPS5967449A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16626982A JPS5967449A (ja) 1982-09-24 1982-09-24 Ｘ線自動較正装置
NL8302740A NL8302740A (nl) 1982-09-24 1983-08-02 Inrichting voor het automatisch corrigeren van x-straling.
GB8323706A GB2127538B (en) 1982-09-24 1983-09-05 X-ray device
FR8315076A FR2533794B1 (fr) 1982-09-24 1983-09-22 Dispositif de correction automatique de rayons x
DE19833334458 DE3334458A1 (de) 1982-09-24 1983-09-23 Korrektureinrichtung fuer ein roentgenanalysegeraet
US06/780,966 US4962517A (en) 1982-06-03 1985-09-25 Automatic X-ray correction device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16626982A JPS5967449A (ja) 1982-09-24 1982-09-24 Ｘ線自動較正装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5967449A true JPS5967449A (ja) 1984-04-17
JPS6259258B2 JPS6259258B2 (ja) 1987-12-10

Family

ID=15828248

Family Applications (1)

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JP (1) JPS5967449A (ja)
DE (1) DE3334458A1 (ja)
FR (1) FR2533794B1 (ja)
GB (1) GB2127538B (ja)
NL (1) NL8302740A (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
JPS6259258B2 (ja) 1987-12-10
GB2127538A (en) 1984-04-11
NL8302740A (nl) 1984-04-16
FR2533794B1 (fr) 1988-06-03
FR2533794A1 (fr) 1984-03-30
GB2127538B (en) 1986-06-25
GB8323706D0 (en) 1983-10-05
DE3334458A1 (de) 1984-06-07

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