JPS596152Y2 - リニアパルスモ−タ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、リニアパルスモータの固定子あるいは（およ
び）可動子における歯形部に係り、品質の安定した信頼
性の高いリニアパルスモー夕を提供することを目白勺と
する。

リニアパルスモー夕は第１図に示すように、可動子１の
移動方向Ｘに延びた固定子２の上方に、所定の間隙を保
って可動子１が移動可能に配置されている。

固定子２の上面には歯３と溝４とを交互に設けた第１歯
形部５が可動子１の移動方向Ｘに延設されており、歯３
は第１歯形部５の全長にわたって一定ピッチに突設され
ている。

可動子１の下面には、前記第１歯形部５と対向する第２
歯形部６が複数所定の間隔をおいて突設され、各第２歯
形部６に励磁コイル７が巻装されて磁極部８が構或され
ている。

固定子２の上面両側端に転接する間隙保持ローラ（図示
せず）が可動子１に取り付けられ、このローラにより可
動子１と固定子２との間隙が一定に保持された状態で可
動子１が固定子２上を移動するようになっている。

可動子１の第２歯形部６と固定子２の第１歯形部５との
対向状態に応じて順次励磁コイル７にパルス電流を流し
て、可動子１と固定子２の間に生じる磁気的誘起力によ
り可動子１を固定子２に対して相対的に移動せしめる機
構になっている。

第２図は、従来のリニアパルスモー夕に用いていた固定
子２を示す図である。

固定子２は磁性材よりなる基板９と、その上に載置・固
定された１枚のスリット板１０とから構戊され、スリッ
ト板１０には所定の間隔をおいてスリット１１が多数形
威されている。

スリット板１０を基板９に載置することにより、基板９
の上面と前記スリット１１とによって形威される凹部が
第１歯形部５の溝４になり、またスリット１１とスリッ
ト１１の間が歯３となる。

通常、このスリット板１０を作るのにエッチング方法が
採用されている。

すなわち、侵食され易い強磁性材よりなる素板の表面に
、製造すべき歯形形状に相応したスリット状のレジスト
を施こす。

次に耐侵食性を有する当板の上に前記素板を載置し、こ
れらを侵食液中に浸漬する。

すると、素板のうちでレジストを施こしていない部分は
侵食液によって溶解し、レジストの形状に沿ってスリッ
ト１１が形威され、レジストを施こしていない部分は溶
解しないでそのまま残こる。

このようにして多数のスリット１１を形威した素板を侵
食液から取り出し、レジストを除去してスリット板１０
とする。

固定子２の第１歯形部５においては、可動子１を移動さ
せる際第２歯形部６から歯３に向けて磁路が形戊され、
溝４に向けては磁路が形或されないように、歯３と溝４
とで磁気的に区別するため溝４の深さを所定以上に設計
する必要がある。

このように溝４の深さをある程度深くするために、従来
では比較的厚いスリット板１０が使用されていた。

ところが前述のようにエッチングによってスリット板１
０を作る方法では、スリット１１がレジスト側から当板
側に向けて垂直に形威されず、一般に末拡がり状になる
。

この傾向はスリット板１０の素板が厚ければそれだけ顕
著に現われ、そのためスリット１１の寸法が不揃いにな
って、しかも侵食されないで残った部分の下端面積が狭
くなり、所望の磁束流通面積が得られず、リニアパルス
モータの磁気特性に悪影響をおよぼし、可動子の停止位
置精度が悪い。

本考案は、複数枚のスリット薄板を用い、それを基板上
に積重・固定して所定の溝の深さを有する歯形部を形戒
することによって、前述した従来の欠点を有効に解消し
たものである。

次に本考案の実施例を第３図ないし第５図を用いて説明
する。

第３図に示すように、強磁性材よりなる上側スノット板
１０Ａと下側スリット板１０Ｂの積層板を、磁性材より
なる基板９上に載置・固定して固定子２を構或する。

スリット板１０Ａ，ＩＯＢはともにエッチングによって
作られ、第４図および第５図に示すように上側スリット
板１０Ａに形威されるスリット１１Ａと下側スリット板
１１ Ｂに形威されるスリツ｝ １１ Ｂは同じピッチ
に設計されているが、上側スリット板１０Ａは下側スリ
ット板１０Ｂよりも薄（（ｔｌ＜ｔ２）なっており、従
って上側スリット板１０Ａのスリット１１Ａは下側スリ
ット板１０Ｂのスリツ｝ １１ Ｂより高い寸法精度が
得られる。

上側スリット板１０Ａと下側スリット板１０Ｂとを位置
合せして積層し、両者の接面を接着剤などで一体にした
のち、これを基板９上に載置して接着剤などで固定する
ことにより、スリット１１Ａ，１１ Ｂと基板９の上面
とによって所定の深さを有する溝４が形威される。

本考案は前述のような構戊になっており、従来のスリッ
ト板を実質的に厚さ方向に沿って複数に分割したような
形態になっているから、それぞれのスリット板の厚さは
従来のものより薄くなり、加工による歯，溝の寸法精度
のバラツキが小さい。

その結果、可動子の停止位置精度が良く、品質の安定し
た信頼性の高いリニアパルスモータが提供できる。

特に実施例で示すように、表面側に配置されるスリット
板をその下側に配置されるスリット板よりも薄くして、
表面側に配置されるスリット板は高精度に仕上げ、その
下側に配置されるスリット板の精度を比較的ラフに設計
すれば、製作が容易になり、コストの低減を図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はリニアパルスモークの概略構或図、第２図は従
来のリニアパルスモー夕に用いていた固定子の一部斜視
図、第３図は本考案のリニアパルスモータに用いる固定
子の一部斜視図、第４図および第５図はその固定子に用
いる上側スリット板および下側スリット板の断面図であ
る。 ５・・・・・・第１歯形部、６・・・・・・第２歯形部
、ＩＯＡ・・・・・・上側スリット板、ＩＯＢ・・・・
・・下側スリット板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 磁性材よりなる複数枚のスリット薄板を基板上に積重・
   固定して歯形部を形或したことを特徴とするリニアパル
   スモータ。