JPS5939983A

JPS5939983A - 真空ポンプの冷却方法

Info

Publication number: JPS5939983A
Application number: JP14943482A
Authority: JP
Inventors: Kunihiro Oike; 国博大池
Original assignee: Kashiyama Industries Ltd
Current assignee: Kashiyama Industries Ltd
Priority date: 1982-08-28
Filing date: 1982-08-28
Publication date: 1984-03-05

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、真空ポンプの冷却方法に関する。

真空ポンプの作動時に発生する熱は、オイルの粘性を低
下させてそのシール作用を劣化させたり、オイルを蒸発
させて真空機能を低下させるほか、ポンプの各構成要素
に熱歪を生じさせる等の多くの悪影響を生起する。これ
を防ぐために従来においては、真空ポンプの外壁面に冷
却フィンを設け、外気によって自然冷却したり、強制的
に空気を吹付けたりしていた。しかし、この従来におけ
る冷却方法では、冷却効率が悪いため、その向上を可能
とする方法の開発が望まれていた。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、冷
却効率の勝れた真空ポンプの冷力１方法を提供すること
を目的とし、その特徴は、真空ポンプ内にポンプ室を冷
却するよう外気を導入する一方、ポンプ室を冷却して真
空ポンプ外へ流出した空気を、真空ポンプの外壁面に設
けた冷却フィンに沿って新たな外気と合流させて流通さ
せるところにある。

以下、本発明の好適な実施例を添付図面にノ□（づいて
詳細に説明する。

まず、本発明を実施する真空ポンプの構成について説明
する。真空ポンプ１の四角形状で両側面に多数の冷却フ
ィン２，２．・・・・が設けられたケーシング３内には
、モーター４の出力軸５と一端においてカップリング６
．７によって接続された回転軸８が水平に伸び、その他
端は前記ケーシング３に嵌着固定されたシリンダーカバ
ー９に支持されたボールベアリング１０に回ｉ獣自り書
こ支持されている。前記シリンダーカバー９と、前記回
転軸８のほぼ中央を回転自在に支持するポールベアリン
グ１１を支持するシリンダーカバー２２との間には、こ
れら両シリンダーカバー９，２２にボルト止めされてポ
ンプ室１３を形成するシリンダー１４が設置されている
。このシリンダー１４１を肉厚に形成され、ここに冷却
用空気の流通路１５が前記シリンダー１４の長手方向に
伸びるよう複数個（但し、１個のみ図示）透設されてい
る。そして、各流通路１５は連通路（図示せず）によっ
て互いに連通されている。また、前記シリンダー１４の
外壁には、周方向に適宜間隔をおいて脚部１８が複数個
（但し、１個のみ図示）一体的に延設され、これら脚部
１８にケーシング３の形状にならった外枠１９が一体的
に設けられて、この外枠１９は前記ケーシング３にボル
ト止めされている。なお、ポンプ室１３内に制心状態で
位置する回転軸８の部分には、一対のベーン２０　（一
方のみ図示）が径方向に移動自任に支持されている。

前記ポンプ室１３に対してケーシング３とは反対方向に
位１４シ、同じく外枠１９がボルト止めされた四角形状
のブラケット２１には、シリンダーカバー２２が固定さ
れている。前述しｌこ各流ｊｌＩｌｌ路１５は前記シリ
ンダーカバー２２にも延長さ第１てブラケット２１の吸
引室２５に連通している。一方、前記各流通路１５は他
端において、ケーシング３に開口された空気取入口２６
に連通してＱ）る。そして、前記ケーシング３及び前記
ブラケ・ソ１−２１と、シリンダー１４及びシリンダー
カッ１−２２との間隙によって副イル室２７を形成して
しする。このオイル室２７は、シリンダーカッ＜−２２
とシール部材２８によって閉塞されたオイル溜め２９ｉ
こ、図示していない細孔によって連通してｌ／Ｘる＝　
ｆｊ’ｌ　＋１２シリンダーカバー２２には細孔３４が
透設さ１１、オイル室２７からオイル溜め２９に導入さ
れプこ詞′イルが、油滴せ態でポンプ室２３内に流入す
るよう開成されている。なお、前記オイル至２７番こむ
よ、外枠１９の上面に設けた給油口３５からオイルが供
給されるものである。また、回転軸８の吸引室２５内に
位置する部分には、空気吸引用のファン３７がカップリ
ング７にボルト止めされてｌ／）る。

前記吸引室２５は両側面が開放される一方、これら１Ｊ
ｔＪ　Ｍ面にはガイドカバー３８．３８がそれぞれポル
１−止めされ、これらガイドカバー３８．３８はブラケ
ット２１の両側面に設けた多数の冷却フィン３９，３９
．・・・・に向けて開１コされている。

なお図中、４０はポンプ室１３に連通されたフィルター
（図示せず）を備えた吸込１」、４２はポンプ室１３に
連通された排気口、４３はカバー、４４はケーシング３
とブラケッ１−２１がボルト止めされた基台である。

以上の如く構成した真空ポンプ１においてモーター４を
始動すると、回転軸８が回転してポンプ室１３内でベー
ン２０が回転し、吸気口４０から吸引された空気はポン
プ室１３から排気口４２を経て排出され、徐々に真空状
態が形成されることになる。また、このベーン２０の回
転と同時にファン３７も回転し、外気が空気取入口２６
から各流通路１５内に吸引され、吸引室１５へと流れ込
む。そして、この各流通路１５を外気が流れることによ
り、ポンプ室１３が直接的に冷却されるとともに、オイ
ル室２７内のオイルに対して、ポンプ室１３で生した熱
が直接的に伝達されることはない。前記オイル室２７か
らポンプ室１３内へ流入したオイルは、−六−ン２０と
シリンダー１４の内壁との間で被膜を形成し、シール作
用を奏するものである。−万、吸引室２５に流入した空
気は、ガイドカバー３８．３８に案内されてブラケツ；
〜２１の両側面に設けた冷却フィン３９，３９．・・・
・に向けて吹き出し、新たな外気をともなってこれと混
合状態となったうえ前記各γｈ却リフイン９゜３９、・
・・・に沿って流れ、さらにケーシング３の各冷却フィ
ン２，２．・・・・に沿って流れる。したがって、オイ
ル室２７は内外両面から強制的に冷却されることになる
。

このようにして本発明によれば、冷却空気を真空ポンプ
の内部を流通させたうえ、さらにその外壁に設けた冷却
フィンに沿って流通させることにより、冷却効率を飛躍
的に向上させることかできるという効果を奏するもので
ある。

以上、本発明の好適な実施例について種々説明してきた
が、本発明が上述した実施例に限定されるものでないこ
とはいうまでもなく、たとえば、冷却空気の流通方向を
逆方向にしたり、ファンの設定位置をブラケット側では
なくゲージング側にしてもよいなど、発明の精神を逸脱
しない範囲内て多くの改変を施し得ることはもちろんで
ある。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の好適な実施例を示し、第１図は真空ポンプ
の全体平面図、第２図は同しく全体側面図、第３図は同
しくその一部を断面とした全体拡大正面図である。ｌ・・・・真空ポンプ、　　２・・・・冷却フィン、　
　３・・・・ケーシング、　４・・・・モーター、　　
５・・・・出力軸、　６，７・・・・カップリング、　
　８・・・・回転軸、　９・・・・シリンダーカバー、
　　１０・・・・ポールベアリング、　　１１・・・・
ボールベアリング。１３・・・・ポンプ室、　　１４・・・・シリンダー、
１５・・・・流通路、　１８・・・・脚部、　１９・・
・・外枠。２０・・・・ベーン、　２１・・・・ブラケット。２２・・・・シリンダーカバー、２５・・・・吸引室。２６・・・・空気取入口、　　２７・・・・オイル室。２８・・・・シール部材、　　２９・・・・オイル闇め
。３４・・・・細孔、　　３５・・・・給油口、　　３７
・・・・ファン、　　３８・・・・ブＪイドカバー、　
　３９・・・・ンＳ力Ｊフィン、　　４０・・・・吸気
口、　４２・・・・す１気１１　。４３・・・・カバー、　　４４・・・・ｈ（台。特許出願人樫山工業株式会社代表者　樫　山　理　−部

Claims

【特許請求の範囲】

１、真空ポンプ内にポンプ室を冷却するよう外気を導入
する一方、ポンプ室を冷却して真空ポンプ外へ流出した
空気を、真空ポンプの外壁面に設けた冷却フィンに沿っ
て新たな外気と合流させて流通させることを特徴とする
真空ポンプの冷却方法。