JPS5928962B2 - 厚膜バリスタの製造方法 - Google Patents
厚膜バリスタの製造方法Info
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- JPS5928962B2 JPS5928962B2 JP53094452A JP9445278A JPS5928962B2 JP S5928962 B2 JPS5928962 B2 JP S5928962B2 JP 53094452 A JP53094452 A JP 53094452A JP 9445278 A JP9445278 A JP 9445278A JP S5928962 B2 JPS5928962 B2 JP S5928962B2
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- thick film
- sintering
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
- H01C7/10—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material voltage responsive, i.e. varistors
- H01C7/1006—Thick film varistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/06—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
- H01C17/065—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thick film techniques, e.g. serigraphy
- H01C17/06506—Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits
- H01C17/06513—Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits characterised by the resistive component
- H01C17/06533—Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits characterised by the resistive component composed of oxides
- H01C17/06546—Oxides of zinc or cadmium
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、バリスタ素材と焼き付は過程において消滅
する一時的の有機結合剤を含むバリスタ・ペーストを絶
縁基板上に置き、これを焼結して厚膜バリスタとする酸
化亜鉛を主成分とする厚膜バリスタの製造方法に関する
。
する一時的の有機結合剤を含むバリスタ・ペーストを絶
縁基板上に置き、これを焼結して厚膜バリスタとする酸
化亜鉛を主成分とする厚膜バリスタの製造方法に関する
。
バリスタは電圧に関係する抵抗値を持つ抵抗体であって
、バリスタ応動電圧と呼ばれている一定の電圧まではで
きるだけ高い電気抵抗を示す必要がある。
、バリスタ応動電圧と呼ばれている一定の電圧まではで
きるだけ高い電気抵抗を示す必要がある。
印力睡圧がバリスタ応動電圧以上になると急激な導電率
の上昇が起り、その電流電圧特性UI=(V/C)nの
形で表わされる。
の上昇が起り、その電流電圧特性UI=(V/C)nの
形で表わされる。
ここで■はバリスタを流れる電流、■は印加電圧、Cは
定数であり、指数nはバリスタの急峻度と呼ばれている
。
定数であり、指数nはバリスタの急峻度と呼ばれている
。
急峻度nはバリスタのオーム抵抗からの外れを表わして
いるから、その値はできるたけ大きい方がよい。
いるから、その値はできるたけ大きい方がよい。
公知のバリスタは通常単体デバイスとして構成され、粉
末状のバリスタ材料を圧縮し焼結して作られるが、厚膜
素子とし直接厚膜回路に集積することも米国特許第37
25836号明細書により公知である。
末状のバリスタ材料を圧縮し焼結して作られるが、厚膜
素子とし直接厚膜回路に集積することも米国特許第37
25836号明細書により公知である。
このZnOバリスタの一種である厚膜バリスタを製作す
るには、バリスタ材料をガラスフリットおよび有機結合
剤と混合してバリスタ・ペーストとし、絶縁基板上につ
け、焼結してバリスタとする。
るには、バリスタ材料をガラスフリットおよび有機結合
剤と混合してバリスタ・ペーストとし、絶縁基板上につ
け、焼結してバリスタとする。
バリスタの接触用の電極も厚膜技術によりバリスタの表
面に設ける。
面に設ける。
このようにして作られた厚膜バリスタの急峻度nの値は
4と8の間にあって多ぐの用途に対して低過ぎる。
4と8の間にあって多ぐの用途に対して低過ぎる。
この発明の目的は、急峻度nの値を大きくするこ七がで
きる厚膜バリスタの製造方法を提供することである。
きる厚膜バリスタの製造方法を提供することである。
この目的は冒頭に挙げたバリスタの製造方法におい−〔
、バリスタ主成分としての酸化亜鉛の外に酸化ビスマス
、酸化コバルトおよび二酸化マンガンを含みガラスを含
まないバリスタ・ペーストを使用することによって達成
される。
、バリスタ主成分としての酸化亜鉛の外に酸化ビスマス
、酸化コバルトおよび二酸化マンガンを含みガラスを含
まないバリスタ・ペーストを使用することによって達成
される。
厚膜技術においては導体路や抵抗を作るだめのペースト
および上記のバリスタ・ペーストには必ずガラスフリッ
トが無機結合剤として使用される。
および上記のバリスタ・ペーストには必ずガラスフリッ
トが無機結合剤として使用される。
これらのペーストを焼結するとガラスフリットは固体ガ
ラスマトリックスを形成して残りの固体物質を保持する
と同時に基体に結合する。
ラスマトリックスを形成して残りの固体物質を保持する
と同時に基体に結合する。
しかしこの発明により酸化亜鉛を主成分とするバリスタ
・ペーストの場合ガラスフリットが無くても固形物の安
定保持と基板への良好な結合が可能であることが確認さ
れた。
・ペーストの場合ガラスフリットが無くても固形物の安
定保持と基板への良好な結合が可能であることが確認さ
れた。
他方ガラスフリットを使用しないことにより完成した厚
膜バリスタの電気特性が著しく改善され、急峻度nの値
を20以上とすることができる。
膜バリスタの電気特性が著しく改善され、急峻度nの値
を20以上とすることができる。
バリスタの結合保持と電気特性に対しては、固形分で量
って87.5乃至98.0重量%の酸化亜鉛を含むバリ
スタ・ペーストの使用が特に有利である。
って87.5乃至98.0重量%の酸化亜鉛を含むバリ
スタ・ペーストの使用が特に有利である。
この発明の第一の実施例では焼結後の固形分で量って次
の組成を持つバリスタ・ペーストが使用される。
の組成を持つバリスタ・ペーストが使用される。
87.5乃至98,0重量%の酸化亜鉛
1.0乃至5.0重量%の酸化ビスマス
0.3乃至2.0重量%の三酸化アンチモン0.2乃至
1.0重量%の酸化クロム1 O05乃至3.5重量%の四三酸化コバルト0.1乃至
1.0重量%の二酸化マンガンこのバリスタ・ペースト
を使用して作られた厚膜バリスタは高い動作電圧に対し
て特に適している。
1.0重量%の酸化クロム1 O05乃至3.5重量%の四三酸化コバルト0.1乃至
1.0重量%の二酸化マンガンこのバリスタ・ペースト
を使用して作られた厚膜バリスタは高い動作電圧に対し
て特に適している。
この動作電圧は能動バリスタ材料の1myn当り200
V程度のものである。
V程度のものである。
第二の実施例においては焼結後の固形分で量って次の組
成を持つバリスタ・ペーストが使用される。
成を持つバリスタ・ペーストが使用される。
87.5乃至96.5重量%の酸化亜鉛
2.0乃至 7.0重量%の酸化ビスマス0.2乃至
1.0重量%の四三酸化コバルト0.2乃至 1.0重
量%の二酸化マンガン0.1乃至 0.5重量%の二酸
化スズ 1.0乃至 3.0重量%の二酸化チタンこのバリスタ
・ペースrを使用して作られた厚膜バリスタは低い動作
電圧に対して特に適している。
1.0重量%の四三酸化コバルト0.2乃至 1.0重
量%の二酸化マンガン0.1乃至 0.5重量%の二酸
化スズ 1.0乃至 3.0重量%の二酸化チタンこのバリスタ
・ペースrを使用して作られた厚膜バリスタは低い動作
電圧に対して特に適している。
この動作電圧は能動バリスタ材料の1.mm当り30V
程度のものである。
程度のものである。
バリスタ・ペーストは1100℃と1360°Cの間の
ある温度で焼結するのが有利である。
ある温度で焼結するのが有利である。
焼結温度を適当に選ぶことにより厚膜バリスタの応動電
圧を調整することができる。
圧を調整することができる。
バリスタ・ペーストを焼結する際そのピーク温度は5分
と20分の間のある時間だけ保持するのが有効である。
と20分の間のある時間だけ保持するのが有効である。
結晶の成長を更に助長して電気特性を一層改善するため
には、ペーストの焼結後毎分2℃から8℃の間の温度降
下速度で冷却するのが良い。
には、ペーストの焼結後毎分2℃から8℃の間の温度降
下速度で冷却するのが良い。
絶縁基板上につけるバリスタ・ペーストの量は焼結後の
厚膜バリスタの厚さが100μmト2’OOμmの間に
あるように選ぶ。
厚膜バリスタの厚さが100μmト2’OOμmの間に
あるように選ぶ。
厚膜バリスタはこの程度の厚さであるとき電気特性が特
に良好である。
に良好である。
実施例 1
まず粉末状のバリスタ素材からシルクスクリーニング可
能のペーストを作る。
能のペーストを作る。
そのためには次の粉末状固形材料を計量する。
Zn0 76.66g
B12032.33 g
Sb203 1.46g
Cr2O30,38g
CO2O32,48g
MnO20,26g
計量した原料粉末はボールミルで18時時間式で混合磨
砕し、フィルタを通して水を取除いた後乾燥炉に入れ、
150℃で24時間乾燥する。
砕し、フィルタを通して水を取除いた後乾燥炉に入れ、
150℃で24時間乾燥する。
この処理により混合粉末の粒度分布の最大は1μm付近
にある。
にある。
このようにして作られた混合粉末100gに有機結合剤
75gを加え、ローラにかけて均質化する。
75gを加え、ローラにかけて均質化する。
有機結合剤としては厚膜技術で普通に使用されるテルピ
ネオール異性体混合物90%とエチルセルロース10%
の溶液を使用する。
ネオール異性体混合物90%とエチルセルロース10%
の溶液を使用する。
他のよく知られている有機結合剤、例えばニトロセルロ
ースのプチルカルビトルアセタート溶液モ同様に適して
いる。
ースのプチルカルビトルアセタート溶液モ同様に適して
いる。
このように作られたバリスタ・ペーストの粘性と流動性
をシルクスクリーニングに適した大きさに調節する。
をシルクスクリーニングに適した大きさに調節する。
このバリスタ・ペーストをAl2O3セラミックの基板
の所定個所にシルクスクリーニングによって印刷し、約
150μm厚さのバリスタ・ペースト層を乾燥炉に入れ
、約60°Cの温度で乾燥する。
の所定個所にシルクスクリーニングによって印刷し、約
150μm厚さのバリスタ・ペースト層を乾燥炉に入れ
、約60°Cの温度で乾燥する。
続く焼結処理によりバリスタ・ペースト材料は固められ
、基板に固く結合されたバリスタ特性を示す層となる。
、基板に固く結合されたバリスタ特性を示す層となる。
その際ペースト中の酸化コバルト(ト)CO203が四
三酸化コバルトCO3O4になる。
三酸化コバルトCO3O4になる。
焼結は酸化性雰囲気中で1100乃至1200°Cの温
度で行ない、そのピーク温度に10分間保持する。
度で行ない、そのピーク温度に10分間保持する。
加熱時の温度上昇速度は毎分10°Cとし、冷却時の温
度降下速度は毎分7°Cとする。
度降下速度は毎分7°Cとする。
バリスタ以外の厚膜素子製造工程の温度範囲は500°
Cから10000Cの間にあるから、厚膜バリスタは導
体路、抵抗等のその他の厚膜素子に先立って作られなけ
ればならない。
Cから10000Cの間にあるから、厚膜バリスタは導
体路、抵抗等のその他の厚膜素子に先立って作られなけ
ればならない。
従ってこの発明の製造方法においては導体路や厚膜バリ
スタの接触用電極はバリスタ・ペーストの焼結後公知の
方法により材料を印刷し、乾燥し焼結して作る。
スタの接触用電極はバリスタ・ペーストの焼結後公知の
方法により材料を印刷し、乾燥し焼結して作る。
完成した厚膜バリスタは公知のガラスを含む厚膜バリス
タよりも勝れた電気特性を示す。
タよりも勝れた電気特性を示す。
厚膜技術によって作られた金−白金系の電極を使用した
厚さ130μmの厚膜バリスタは、急峻度nが25のも
のが得られた。
厚さ130μmの厚膜バリスタは、急峻度nが25のも
のが得られた。
この方法で作られた厚膜バリスタは能動材料1mm当り
200V程度の動作電圧に対して特に適している。
200V程度の動作電圧に対して特に適している。
実施例 2
粉末状のバリスタ素材を下記の量だけ計量する。
Zn0 77.2:l1l
Bi203 4.66g
CO2O30,415!!
Mn020.435 g
TiO21,598,9
Sn02 0.151g
計量材料は実施例1と同様に処理してバリスタ・ペース
トとし、シルクスクリーニングによるAl2O3セラミ
ック基板上に印刷する。
トとし、シルクスクリーニングによるAl2O3セラミ
ック基板上に印刷する。
この厚さ約150μmのペースト層を約60℃の温度で
乾燥する。
乾燥する。
それに続く焼結は1100°Cと1200°Cの間の温
度で行ない、ピーク温度に10分間保持する。
度で行ない、ピーク温度に10分間保持する。
加熱時の温度上昇速度は毎分約10℃とし、冷却時には
1000°Cまでは毎分3℃、それ以下では毎分6乃至
7℃の温度降下速度とする。
1000°Cまでは毎分3℃、それ以下では毎分6乃至
7℃の温度降下速度とする。
このようにしてAA20.J板上に設けられた厚膜バリ
スタの冷却後、電極およびその他の厚膜回路素子を公知
の方法によって作ることができる。
スタの冷却後、電極およびその他の厚膜回路素子を公知
の方法によって作ることができる。
完成した厚膜バリスタは公知のガラスを含む厚膜バリス
タに比べて勝れた電気特性を示す。
タに比べて勝れた電気特性を示す。
厚膜技術によって作られた金−白金系の電極を使用した
厚さ130μmの厚膜バリスタの急峻度nは例えば25
である。
厚さ130μmの厚膜バリスタの急峻度nは例えば25
である。
上記の方法で作られた厚膜バリスタは能動バリスタ材料
11n711当り30Vの動作電圧に対して特に適して
いる。
11n711当り30Vの動作電圧に対して特に適して
いる。
この発明の方法により実施例1および2に示すように厚
膜バリスタを集積した厚膜回路を作ることができるが、
厚膜バリスタを単体素子として作ることも可能である。
膜バリスタを集積した厚膜回路を作ることができるが、
厚膜バリスタを単体素子として作ることも可能である。
そのためには一つの絶縁基板上に多数のバリスタ素子と
なるペーストをシルクスクリーニングによって印刷し焼
結する。
なるペーストをシルクスクリーニングによって印刷し焼
結する。
続いて接触用の導体路をシルクスクリーニングによりと
りつけ、乾燥し焼結する。
りつけ、乾燥し焼結する。
これが終った後基板を例えばレーザ光により孔をあけて
個々の素子に分断する。
個々の素子に分断する。
このように作られた素子はバリスタチップとして印刷回
路または層回路にはんだづけすることができる。
路または層回路にはんだづけすることができる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 バリスタ素材と焼き付は過程において消滅する一時
的の有機結合剤を含むバリスタ・ペーストを絶縁基板上
に置き、これを焼結して厚膜バリスタとする方法におい
て、バリスタ主成分としての酸化亜鉛の外に酸化ビスマ
ス、酸化コバルトおよび二酸化マンガンを含みガラスを
含まないバリスタ・ペーストを使用することを特徴とす
る酸化亜鉛を主成分とする厚膜バリスタの製造方法。 2 焼結後の固形分で量って 87.5乃至98.0重量%の酸化亜鉛 1.0乃至5.0重量%の酸化ビスマス 0.3乃至2.0重量%の三酸化アンチモン0.2乃至
1,0重量%の酸化クロム1 0.5乃至3.5重量%の四三酸化コバルト0.1乃至
1.0重量%の二酸化マンガンを含むバリスタ・ペース
トを使用することを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の方法。 3 焼結後の固形分で量って 87.5乃至96.5重量%の酸化亜鉛 2.0乃至7.0重量%の酸化ビスマス 0.2乃至1.0重量%の四三酸化コバルト0.2乃至
1.0重量%の二酸化マンガン0.1乃至0,5重量%
の二酸化スズ 1.0乃至3.0重量%の二酸化チタン を含むバリスタ・ペーストを使用することを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の方法。 4 バリスタ・ペーストを1100℃と1360℃の間
の温度で焼結することを特徴とする特許請求の範囲第1
項乃至第3項の一つに記載の方法。 5 バリスタ・ペーストを焼結する際そのピーク温度に
5乃至20分間保持することを特徴とする特許請求の範
囲第4項記載の方法。 6 焼結後毎分2乃至8℃の冷却速度で冷却することを
特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第5項の一つに記
載の方法。 7 焼結後のバリスタ膜の厚さが100μmと200μ
mの間にあるような厚さにバリスタ・ペーストを絶縁基
板上に置くことを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至
第6項の一つに記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2735484A DE2735484C2 (de) | 1977-08-05 | 1977-08-05 | Verfahren zur Herstellung von Dickfilm-Varistoren mit Zinkoxid als Hauptkomponente |
DE000P27354843 | 1977-08-05 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5429096A JPS5429096A (en) | 1979-03-03 |
JPS5928962B2 true JPS5928962B2 (ja) | 1984-07-17 |
Family
ID=6015775
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP53094452A Expired JPS5928962B2 (ja) | 1977-08-05 | 1978-08-02 | 厚膜バリスタの製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4186367A (ja) |
EP (1) | EP0000864B1 (ja) |
JP (1) | JPS5928962B2 (ja) |
CA (1) | CA1117223A (ja) |
DE (1) | DE2735484C2 (ja) |
IT (1) | IT1097664B (ja) |
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