JPS59231858A - 光駆動半導体装置 - Google Patents
光駆動半導体装置Info
- Publication number
- JPS59231858A JPS59231858A JP10696283A JP10696283A JPS59231858A JP S59231858 A JPS59231858 A JP S59231858A JP 10696283 A JP10696283 A JP 10696283A JP 10696283 A JP10696283 A JP 10696283A JP S59231858 A JPS59231858 A JP S59231858A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- basic element
- light guide
- cylindrical body
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 32
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 11
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 abstract description 5
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 abstract description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 241000238631 Hexapoda Species 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4295—Coupling light guides with opto-electronic elements coupling with semiconductor devices activated by light through the light guide, e.g. thyristors, phototransistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/08—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
- H01L31/10—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
- H01L31/101—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
- H01L31/111—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by at least three potential barriers, e.g. photothyristors
- H01L31/1113—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by at least three potential barriers, e.g. photothyristors the device being a photothyristor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Thyristors (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、光駆動半導体装置に関し、特に平型光駆動
サイリスタの位置決めの改良に係るものである。
サイリスタの位置決めの改良に係るものである。
第1図は従来の平型光駆動サイリスタの断面図である。
この図で、1は表面中心部にトリガ受光部ケ有する半導
体素子1Aと、モリブデン円板等ノ導電体1Bからなる
ベーシックエンメント、2は前記ベーシックエンメント
1のトリガ受元部側表面に形成された電極に加圧接力虫
された第1の電極、3は第2の電極で、ベーシックエン
メン]−1の導電体側に加圧接触される。4は前記ベー
シックエンメント1を包囲する絶縁筒体であり、この絶
縁筒体4は第1の1は極2および第2の電極3とによっ
てパッケージを植成する。また、絶縁筒体4はアルミナ
など機械的強度が強く絶縁性、熱イ云導性の良好な材質
で作られる。5は前記ベーシックエンメント1のトリガ
受光部にブC信号タ導きサイリスタを点弧させるための
ライトガイドで、絶縁筒体40円筒面の一部に設けられ
た挿入穴をスInして絶縁筒体4の外部に通じている。
体素子1Aと、モリブデン円板等ノ導電体1Bからなる
ベーシックエンメント、2は前記ベーシックエンメント
1のトリガ受元部側表面に形成された電極に加圧接力虫
された第1の電極、3は第2の電極で、ベーシックエン
メン]−1の導電体側に加圧接触される。4は前記ベー
シックエンメント1を包囲する絶縁筒体であり、この絶
縁筒体4は第1の1は極2および第2の電極3とによっ
てパッケージを植成する。また、絶縁筒体4はアルミナ
など機械的強度が強く絶縁性、熱イ云導性の良好な材質
で作られる。5は前記ベーシックエンメント1のトリガ
受光部にブC信号タ導きサイリスタを点弧させるための
ライトガイドで、絶縁筒体40円筒面の一部に設けられ
た挿入穴をスInして絶縁筒体4の外部に通じている。
6は前記ベーシックエンメント10半導
するための被覆樹脂で、シリコンゴム等から作られてい
る。γは前記ベーシックエンメント1ケ絶縁筒体4に固
定するための、たとえば、シリコンLTVやエポキシ樹
脂のような硬化性樹脂である。
る。γは前記ベーシックエンメント1ケ絶縁筒体4に固
定するための、たとえば、シリコンLTVやエポキシ樹
脂のような硬化性樹脂である。
このような従来の光駆動サイリスクの半導体パッケージ
において、ベーシックエレメント1のトリガ受光部にラ
イトガイド5かもの光信号を導くことにより、サイリス
クをできるだけ低いエネルギーで点弧させるようにして
いる。このためライトガイド5の光出力端をベーシック
エレメント1のトリガ受光部に精度良く固定する必要が
ある。
において、ベーシックエレメント1のトリガ受光部にラ
イトガイド5かもの光信号を導くことにより、サイリス
クをできるだけ低いエネルギーで点弧させるようにして
いる。このためライトガイド5の光出力端をベーシック
エレメント1のトリガ受光部に精度良く固定する必要が
ある。
そこで、ベーシックエレメント1の固定に際しては第1
の電極2が予め固定された絶縁筒体4に設けられたライ
トガイド5の挿入穴にライトガイド5を挿入しこれを固
定する。さらに、ライトガイド5の光出力端とベーシッ
クエンメント1のトリガ受光部が合致するように、ベー
シックエンメント1を第1の電極2の内面」二に載置(
7、ベーシックエンメント1の外周面と絶縁筒体4の内
周面の間隙に硬化性樹脂7火注入し硬化させる。
の電極2が予め固定された絶縁筒体4に設けられたライ
トガイド5の挿入穴にライトガイド5を挿入しこれを固
定する。さらに、ライトガイド5の光出力端とベーシッ
クエンメント1のトリガ受光部が合致するように、ベー
シックエンメント1を第1の電極2の内面」二に載置(
7、ベーシックエンメント1の外周面と絶縁筒体4の内
周面の間隙に硬化性樹脂7火注入し硬化させる。
この硬化性樹脂1は、作業性、量産性の向上のため比較
的程度の低いものが使用されるが、これに伴う硬化剤の
半導体接合表面への樹脂流出防止のため、絶縁筒体4と
被覆樹脂6ケ接触させている。
的程度の低いものが使用されるが、これに伴う硬化剤の
半導体接合表面への樹脂流出防止のため、絶縁筒体4と
被覆樹脂6ケ接触させている。
しかしなから、被覆樹脂6はその材質上表面形状が不均
一になり、絶縁筒体4と被覆樹脂6との接触部に間隙が
生じ、この間隙から硬化性樹脂1か第1の電+IJ!2
f11]へ流出し、これに伴いベーシックエレメント1
の固定ができなくなり、ベーシックエンメント1の位置
ずれを生ずることがある。
一になり、絶縁筒体4と被覆樹脂6との接触部に間隙が
生じ、この間隙から硬化性樹脂1か第1の電+IJ!2
f11]へ流出し、これに伴いベーシックエレメント1
の固定ができなくなり、ベーシックエンメント1の位置
ずれを生ずることがある。
さらに、硬化性樹脂7の流出に伴う硬化性樹脂Tのライ
トガイド5への伺着により、光伝送損失を増大させるこ
ともある。これら硬化性樹脂7の流出を防止するために
は、被覆樹脂60表面形状を均一にする必要がある。こ
のためには多大の労力を要する。
トガイド5への伺着により、光伝送損失を増大させるこ
ともある。これら硬化性樹脂7の流出を防止するために
は、被覆樹脂60表面形状を均一にする必要がある。こ
のためには多大の労力を要する。
一方、被覆樹脂6の不均一性を考慮して絶縁筒体4との
密着性を保持するためには、絶縁筒体4に被覆樹脂6を
圧迫する必要があり、ベーシックエンメント10半導体
接合露出部を損傷することになる。
密着性を保持するためには、絶縁筒体4に被覆樹脂6を
圧迫する必要があり、ベーシックエンメント10半導体
接合露出部を損傷することになる。
このうむ明は、かかる従来の光駆動サイリスクの欠点ヲ
解消しようとするもので、ベーシックエレメントの外周
面と絶縁筒体内周面で形J戊される間隙に注入される硬
化性樹脂の半導体表面側への流出欠遮断する遮断材を設
けることにより、上記硬化性(ffl+脂の半導体表面
側への流出を防止し7、パッケージの量産性0歩留りを
向上させる光駆動半導体装f作火提供するものである。
解消しようとするもので、ベーシックエレメントの外周
面と絶縁筒体内周面で形J戊される間隙に注入される硬
化性樹脂の半導体表面側への流出欠遮断する遮断材を設
けることにより、上記硬化性(ffl+脂の半導体表面
側への流出を防止し7、パッケージの量産性0歩留りを
向上させる光駆動半導体装f作火提供するものである。
以下この発明について説明する。
第2図はこの発明の一実施例を示す断面図である。この
図で、1〜Tは従来の光駆動半導体装置と同一もしくは
相当部分を示すものであり、説明は省略する。8は前記
ベーシックエンメント1と絶縁筒体4とに密着した遮断
材であり、ゴムリング等からなる。
図で、1〜Tは従来の光駆動半導体装置と同一もしくは
相当部分を示すものであり、説明は省略する。8は前記
ベーシックエンメント1と絶縁筒体4とに密着した遮断
材であり、ゴムリング等からなる。
上記のように構成されたパッケージにおいては、遮断材
8は断面が角型のゴムリングであり、このゴムリングの
直径は、ベーシソクエンメント1ケ措成する導電体1B
のそれよりも若干小さく作られている。したがって、ベ
ーシックエンメント1とライトガイド5の位置決め前に
遮断材8がべ一シソクエレノント1の導電体1Bの外周
を圧迫して導電体1Bに接着される。この後、ベーシッ
クエンメント1とライトガイド5の位置決めを行い。
8は断面が角型のゴムリングであり、このゴムリングの
直径は、ベーシソクエンメント1ケ措成する導電体1B
のそれよりも若干小さく作られている。したがって、ベ
ーシックエンメント1とライトガイド5の位置決め前に
遮断材8がべ一シソクエレノント1の導電体1Bの外周
を圧迫して導電体1Bに接着される。この後、ベーシッ
クエンメント1とライトガイド5の位置決めを行い。
遮断材8が絶縁筒体4に密層するように遮断材8を導電
体1Bの外周面に沿って押し込み、絶縁筒体4に接触さ
せる。
体1Bの外周面に沿って押し込み、絶縁筒体4に接触さ
せる。
このため、導電体1Bの外周面と絶縁筒体4の内周面は
遮断材8で完全に密着される。したがって、ベーシック
エンメント1と絶縁筒体4欠直接接1!虫させないで、
遮断材8を介して硬化性樹脂Iの半導体表面側への流出
を遮断するため、被覆樹脂60表面形状が不均一でも硬
化性樹脂Iの流出する間隙は生じない。これにより被物
樹脂60表面形状を均一にする必要がなくなり、被覆樹
脂6の添加の作業性が飛躍的に向上する。さらに、併覆
樹脂6が絶縁筒体4で直接圧迫されることがなく、した
がって、ベーシックエンメント10半導体接合露出部を
絶縁筒体4で損傷することはない。
遮断材8で完全に密着される。したがって、ベーシック
エンメント1と絶縁筒体4欠直接接1!虫させないで、
遮断材8を介して硬化性樹脂Iの半導体表面側への流出
を遮断するため、被覆樹脂60表面形状が不均一でも硬
化性樹脂Iの流出する間隙は生じない。これにより被物
樹脂60表面形状を均一にする必要がなくなり、被覆樹
脂6の添加の作業性が飛躍的に向上する。さらに、併覆
樹脂6が絶縁筒体4で直接圧迫されることがなく、した
がって、ベーシックエンメント10半導体接合露出部を
絶縁筒体4で損傷することはない。
これにより半導体装置の信頼性9歩留りの向上がはから
れる。
れる。
は被覆樹脂、7は硬化性樹脂、8.8a、8bはjI+
、断材である。なお、1′−Jj中の同一符号は同一ま
たは相当B15分を月で−す。
、断材である。なお、1′−Jj中の同一符号は同一ま
たは相当B15分を月で−す。
代理人 大 岩 増 雄 (外2名)手続補正書(自
発) 昭和58年11月26 日 特許庁長官殿 N11°
良1、事件の表示 特願昭58−108982号2
、発明の名称 光駆動半導体装置:3.補正をする
者 代表者片山仁へ部 4、代理人 5、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄および図面6、補正の内
容 (1) 明細書第3頁19行の「程度の低い」を、「
硬化度の低い」と補正する。
発) 昭和58年11月26 日 特許庁長官殿 N11°
良1、事件の表示 特願昭58−108982号2
、発明の名称 光駆動半導体装置:3.補正をする
者 代表者片山仁へ部 4、代理人 5、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄および図面6、補正の内
容 (1) 明細書第3頁19行の「程度の低い」を、「
硬化度の低い」と補正する。
(2) 図面第2図を別紙のように補正する。
以上
Claims (1)
- 中央部にトリガ受光部を有する半導体素子およびこの半
導体素子の前記トリガ受光部と反対面全面に密着接合さ
れた導電体からなるベーシックエンメントと、このベー
シックエンメントを包囲固定スる絶縁筒体と、前記ベー
シックエンメントの外周面と前記絶縁筒体内面によって
形成される間隙に注入され前記ベーシックエレメントケ
前記絶縁筒体に固着する硬化性樹脂と、前記間隙に設け
られ前記硬化性樹脂の半導体素子表面への流出を遮断す
る遮断相とを備えたことff:特徴とする光駆動半導体
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10696283A JPS59231858A (ja) | 1983-06-13 | 1983-06-13 | 光駆動半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10696283A JPS59231858A (ja) | 1983-06-13 | 1983-06-13 | 光駆動半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59231858A true JPS59231858A (ja) | 1984-12-26 |
JPS6412108B2 JPS6412108B2 (ja) | 1989-02-28 |
Family
ID=14446946
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10696283A Granted JPS59231858A (ja) | 1983-06-13 | 1983-06-13 | 光駆動半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59231858A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5621237A (en) * | 1994-04-12 | 1997-04-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
-
1983
- 1983-06-13 JP JP10696283A patent/JPS59231858A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5621237A (en) * | 1994-04-12 | 1997-04-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6412108B2 (ja) | 1989-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4904046A (en) | Process of and apparatus for leading an optical waveguide through a wall via a hermetic seal | |
SG77704A1 (en) | Semiconductor device and method of fabricating the same | |
ES2071206T3 (es) | Sistema de adhesivo basado en policloropreno. | |
JPS59231858A (ja) | 光駆動半導体装置 | |
JP2003185898A (ja) | 光学素子固定機構 | |
IT1092425B (it) | Dispositivo semiconduttore e metodo di incapsulamento dello stesso | |
DE68916003D1 (de) | Vorrichtung zur Entlastung von axialen Beanspruchungen. | |
TW346682B (en) | Semiconductor device | |
JPS5830706A (ja) | 密封型光ファイバ心線移動防止装置 | |
JPS60712A (ja) | 高圧用可変抵抗器 | |
JPS5852887A (ja) | 光フアイバ−付電子部品 | |
JPS56108267A (en) | Insulated-gate field-effect semiconductor device | |
JPS62229949A (ja) | 樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JPH022029Y2 (ja) | ||
JPH0563945B2 (ja) | ||
JPS551174A (en) | Semiconductor apparatus | |
KR960703272A (ko) | 전자소자 팩케이지 및 그 제조방법 (electronic device package and method for manufacturing the same) | |
JPS60245260A (ja) | 半導体素子 | |
JPS5698018A (en) | Lead wire connecting method for quartz oscillator | |
JPS62295372A (ja) | 炭素繊維強化プラスチツク構造体のフレ−ム帯電防止方法 | |
JPS6042862A (ja) | 光駆動半導体装置 | |
JPS645079A (en) | Semiconductor light emitting device | |
JPS5723254A (en) | Semiconductor device | |
KR930018482A (ko) | 광학기기 조립방법 및 광부품 집합물체 | |
JPH0273661A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 |