JPS6042862A - 光駆動半導体装置 - Google Patents
光駆動半導体装置Info
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- JPS6042862A JPS6042862A JP15126983A JP15126983A JPS6042862A JP S6042862 A JPS6042862 A JP S6042862A JP 15126983 A JP15126983 A JP 15126983A JP 15126983 A JP15126983 A JP 15126983A JP S6042862 A JPS6042862 A JP S6042862A
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- semiconductor element
- resin
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 33
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 33
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 241000951471 Citrus junos Species 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000277269 Oncorhynchus masou Species 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/08—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
- H01L31/10—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
- H01L31/101—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
- H01L31/111—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by at least three potential barriers, e.g. photothyristors
- H01L31/1113—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by at least three potential barriers, e.g. photothyristors the device being a photothyristor
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4295—Coupling light guides with opto-electronic elements coupling with semiconductor devices activated by light through the light guide, e.g. thyristors, phototransistors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、光駆動サイリスタの平型パッケージに半導
体素子を装着する光駆動半導体装置に関するものである
。
体素子を装着する光駆動半導体装置に関するものである
。
先に本発明者等が発明したこの柚半導体装置ケ第1図で
説明する。同図は光駆動サイリスクの平型パッケージの
構成を示す断面図である。図において、1は一表面中央
部に九トリガ受元部を有する半導体素子、2は前記半導
体素子10九トリガ受光部面の裏面に接合され半導体素
子をパッケージに固定する4電体で、熱膨張特性が半導
体素子1のそれに等[7いモリブデンなどがらなってい
る。
説明する。同図は光駆動サイリスクの平型パッケージの
構成を示す断面図である。図において、1は一表面中央
部に九トリガ受元部を有する半導体素子、2は前記半導
体素子10九トリガ受光部面の裏面に接合され半導体素
子をパッケージに固定する4電体で、熱膨張特性が半導
体素子1のそれに等[7いモリブデンなどがらなってい
る。
3は前記半導体素子10光トリガ受元部側表面に形成さ
れた電極に圧接された第1のvt惰体、4は前記導電体
2に圧接された第2の電極体、5は前記半導体素子1お
よび導電体2を支持装着し、第1の電極体3および第2
の電極体4によって密封されたパンケージを構成する絶
M筒体で1機械的強度、絶縁性に優れたアルミナなどの
磁器材質からなる。6は前記半導体素子1な点弧させる
ための元イば号を導くライトガイドであり絶縁筒体5に
固定されてい−る。1は前記半導体素子1の周縁部分を
保躾するための被覆樹脂でシリコンゴム等からなる。8
は一11ac:4電体2と絶縁筒体50間に挿入固廟さ
れ、半導体素子1な支持固定するための硬化性樹脂であ
る@ この光wA!4Ilサイリスタの半導体組立装置は上記
のように構成され、光信号を絶縁筒体5に支持固定され
たライトガイド6に導き、小さな光エネルギーでサイリ
スタを点弧できるようにライトガイド6の光出力端と半
導体素子10九トリガ受光部の最適位叙法め後、半纏体
素子IK接合固定された導電体2の外周面と絶縁筒体5
の内周面の間に硬化性樹脂8ケ注入接瘤することにより
半導体素子10位置ずれを防止しノ(ツケージを構成す
る絶縁筒体5に固定するようになっている。
れた電極に圧接された第1のvt惰体、4は前記導電体
2に圧接された第2の電極体、5は前記半導体素子1お
よび導電体2を支持装着し、第1の電極体3および第2
の電極体4によって密封されたパンケージを構成する絶
M筒体で1機械的強度、絶縁性に優れたアルミナなどの
磁器材質からなる。6は前記半導体素子1な点弧させる
ための元イば号を導くライトガイドであり絶縁筒体5に
固定されてい−る。1は前記半導体素子1の周縁部分を
保躾するための被覆樹脂でシリコンゴム等からなる。8
は一11ac:4電体2と絶縁筒体50間に挿入固廟さ
れ、半導体素子1な支持固定するための硬化性樹脂であ
る@ この光wA!4Ilサイリスタの半導体組立装置は上記
のように構成され、光信号を絶縁筒体5に支持固定され
たライトガイド6に導き、小さな光エネルギーでサイリ
スタを点弧できるようにライトガイド6の光出力端と半
導体素子10九トリガ受光部の最適位叙法め後、半纏体
素子IK接合固定された導電体2の外周面と絶縁筒体5
の内周面の間に硬化性樹脂8ケ注入接瘤することにより
半導体素子10位置ずれを防止しノ(ツケージを構成す
る絶縁筒体5に固定するようになっている。
しかるに、このような構成では導電体2と絶帆筒体50
間に硬化性樹脂8を注入しこれt硬化する除に粘性度合
によって硬化性樹脂8か流出し半導体素子1の位置ずれ
の原因となることがある。
間に硬化性樹脂8を注入しこれt硬化する除に粘性度合
によって硬化性樹脂8か流出し半導体素子1の位置ずれ
の原因となることがある。
また、流出した硬化性樹脂8の付着による被覆樹脂Tの
信頼性低下、ライトガイド6の光伝送損失増大などの間
j!g′4を生じることがある。これら硬化性樹脂8の
流出に伴う問題解決のため、この構成では硬化性樹脂8
の粘性度合を個々の半導体装置組立時に随時制御しなけ
ればならず、粘度制御のための時間損失か大きくなり半
導体組立工程の証産性低下がさけられないものとなって
いた。
信頼性低下、ライトガイド6の光伝送損失増大などの間
j!g′4を生じることがある。これら硬化性樹脂8の
流出に伴う問題解決のため、この構成では硬化性樹脂8
の粘性度合を個々の半導体装置組立時に随時制御しなけ
ればならず、粘度制御のための時間損失か大きくなり半
導体組立工程の証産性低下がさけられないものとなって
いた。
この発明は、上記のような問題を解決するため罠なされ
たもので、絶縁筒体の一部を半導体素子の周縁部を保躾
する被覆゛樹脂に密着接触させることにより上記硬化性
樹脂の流出を防止し、パッケージの信頼性な向上させ、
さらに半導体組立工程を容易する半導体装置な提供する
ものである。
たもので、絶縁筒体の一部を半導体素子の周縁部を保躾
する被覆゛樹脂に密着接触させることにより上記硬化性
樹脂の流出を防止し、パッケージの信頼性な向上させ、
さらに半導体組立工程を容易する半導体装置な提供する
ものである。
第2図はこの発明の一実施例を示す断面図である。図中
、1〜4.6〜8は従来装置と同一のものである。5は
前記半導体素子1お↓び導電体2を包囲するパッケージ
を構成する絶縁筒体であり、半導体素子1の周縁部に接
着された被覆樹脂1の表面円周上と密yw接触する環状
段部5aを有するものである。
、1〜4.6〜8は従来装置と同一のものである。5は
前記半導体素子1お↓び導電体2を包囲するパッケージ
を構成する絶縁筒体であり、半導体素子1の周縁部に接
着された被覆樹脂1の表面円周上と密yw接触する環状
段部5aを有するものである。
このような半導体パッケージにおいて、絶縁筒体5に固
着された第1の電極体3およびライトガイド6上でライ
トガイド6の光出力端と半導体素子10光トリガ受光部
の位置決めを行う際、絶縁筒体5の環状段ill 5
mは半導体素子10周縁部に接着された被覆樹1i7に
接する鬼め、導電体2の外周面と被覆樹脂1および絶縁
筒体5の環状段部5aは断面がU字形の空間を形成する
ことになる。
着された第1の電極体3およびライトガイド6上でライ
トガイド6の光出力端と半導体素子10光トリガ受光部
の位置決めを行う際、絶縁筒体5の環状段ill 5
mは半導体素子10周縁部に接着された被覆樹1i7に
接する鬼め、導電体2の外周面と被覆樹脂1および絶縁
筒体5の環状段部5aは断面がU字形の空間を形成する
ことになる。
したがって、半導体素子1の位置決め後、硬化性樹脂8
は上記U字形空間に注入されるため、硬化時に硬化性樹
脂8が流出することはない。よって、硬化性樹脂8の流
出に伴う半導体素子1の位置ずれは起こらずパッケージ
の信頼性を向上できる。
は上記U字形空間に注入されるため、硬化時に硬化性樹
脂8が流出することはない。よって、硬化性樹脂8の流
出に伴う半導体素子1の位置ずれは起こらずパッケージ
の信頼性を向上できる。
さらに、硬化性*t14iaの粘性度合を個々の半導体
装置につき随時調整することがな(、また、硬化前に低
粘度のものも使用でき、硬化性樹脂8の住人工程が容易
となり量産性が向上する。
装置につき随時調整することがな(、また、硬化前に低
粘度のものも使用でき、硬化性樹脂8の住人工程が容易
となり量産性が向上する。
以上説明したようK、この発明は絶縁筒体に環状段部な
半導体素子周縁部の被機樹脂に接触させるという簡単な
構造により、半導体素子位置固定用の硬化性樹脂の流出
な防ぐことかでき少ため、半導体素子の位置固定を敏速
、容易にし、パッケージの信頼性を向上させ、組立工程
の量産性が改善されるという効果がある。
半導体素子周縁部の被機樹脂に接触させるという簡単な
構造により、半導体素子位置固定用の硬化性樹脂の流出
な防ぐことかでき少ため、半導体素子の位置固定を敏速
、容易にし、パッケージの信頼性を向上させ、組立工程
の量産性が改善されるという効果がある。
#E1図は従莱の光駆動半導体装置を示す断面図、第2
図はこの発明による光駆動半導体装置の一実施例を糸す
断面図である。 図中、1は半導体素子、2は導電体、3は第1の電極体
、4は第2の電極体、Sは絶縁筒体、5aは環状段部、
6はライトガイド、1は被覆樹脂、8は硬化性樹脂であ
る。 なお、図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 大岩 増′AJk(外2名)
図はこの発明による光駆動半導体装置の一実施例を糸す
断面図である。 図中、1は半導体素子、2は導電体、3は第1の電極体
、4は第2の電極体、Sは絶縁筒体、5aは環状段部、
6はライトガイド、1は被覆樹脂、8は硬化性樹脂であ
る。 なお、図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 大岩 増′AJk(外2名)
Claims (1)
- 一表面中央部に光トリガ用受光部が形成されその周縁部
が樹脂技覆された半導体素子、この半導体素子の裏面全
面に固層された導電体、前記導電体と前記半導体素子を
両面から加圧接触する第1および第2の電極体、前記半
導体素子と前記導電体を包囲固定し前記第1および第2
の電極体によって両端面が気密封止されるとともに環状
段部を有しこの環状段部に一記被覆樹脂を当接させた絶
縁筒体、この絶縁筒体を貫通して支持固定され光出力端
が半導体パッケージ内の前記半導体素子の光トリガ用受
光部に近接して設けられたライトガイド、前記導電体外
周面と前記被損樹脂および前記絶縁筒体の環状段部の間
に挿入され前記4寛体を前す己絶縁筒体に固定する硬化
性樹脂とからなることを特徴とする元駆動牛導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15126983A JPS6042862A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | 光駆動半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15126983A JPS6042862A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | 光駆動半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6042862A true JPS6042862A (ja) | 1985-03-07 |
Family
ID=15514969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15126983A Pending JPS6042862A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | 光駆動半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6042862A (ja) |
-
1983
- 1983-08-17 JP JP15126983A patent/JPS6042862A/ja active Pending
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