JPS59227776A - 窒化珪素質焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化珪素質焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPS59227776A JPS59227776A JP58245827A JP24582783A JPS59227776A JP S59227776 A JPS59227776 A JP S59227776A JP 58245827 A JP58245827 A JP 58245827A JP 24582783 A JP24582783 A JP 24582783A JP S59227776 A JPS59227776 A JP S59227776A
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- silicon nitride
- sintered body
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- temperature
- nitride sintered
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は窒化珪素質焼結体の製造方法に関する。
窒化珪素焼結体は高温強度が大きい、耐熱衝撃性が優れ
ている等の特性により、高温ガスタービン用部品、ディ
ーゼルエンジン用部品等の高強度耐熱性部品に積極的に
利用されている。
ている等の特性により、高温ガスタービン用部品、ディ
ーゼルエンジン用部品等の高強度耐熱性部品に積極的に
利用されている。
従来、ホットプレス法により高密度の窒化珪素焼結体を
製造する方法はよく知られているが、成形体の寸法、・
形状に制約があり、比較的単純な形状のものしか作れな
いため、工業的方法として満足できるものとは言えない
。
製造する方法はよく知られているが、成形体の寸法、・
形状に制約があり、比較的単純な形状のものしか作れな
いため、工業的方法として満足できるものとは言えない
。
そこで、ホットプレス法に代えて無加圧焼成法により、
高密度の窒化珪素焼結体を得る種々の方法が提案されて
おり、高密度化の点でほぼ満足し得る成果が得られ始め
ている。
高密度の窒化珪素焼結体を得る種々の方法が提案されて
おり、高密度化の点でほぼ満足し得る成果が得られ始め
ている。
しかしながら、熱的に極めて過酷な条件下で使用される
高強度耐熱性部品としては耐熱衝撃性の点で今だ満足し
得るものではない。
高強度耐熱性部品としては耐熱衝撃性の点で今だ満足し
得るものではない。
従って、本発明は無加圧焼成法により窒化珪素焼結体の
高密度、高強度化を達成すると同時に、熱的に過酷な条
件下でも充分使用に耐える優れた耐熱衝撃性を有する窒
化珪素焼結体の製造方法を提供することを目的とするも
のである。
高密度、高強度化を達成すると同時に、熱的に過酷な条
件下でも充分使用に耐える優れた耐熱衝撃性を有する窒
化珪素焼結体の製造方法を提供することを目的とするも
のである。
本発明によれば、窒化珪素70〜95重量%と、酸化ア
ルミニウムと酸化チタンを10対1乃至20対lの範囲
の重量比で配合した金属酸化物5〜30重量%とから成
る混合物に、タングステン化合物℃の温度において焼成
し、焼結体中にタングステンシリサイドを反応生成せし
めることにより、高密度高強度化され、且つ耐熱衝撃性
が顕著に向上した窒化珪素質焼結体が提供される。
ルミニウムと酸化チタンを10対1乃至20対lの範囲
の重量比で配合した金属酸化物5〜30重量%とから成
る混合物に、タングステン化合物℃の温度において焼成
し、焼結体中にタングステンシリサイドを反応生成せし
めることにより、高密度高強度化され、且つ耐熱衝撃性
が顕著に向上した窒化珪素質焼結体が提供される。
その製造方法の具体例を挙げると、まず主成分の窒化珪
素粉末、副成分の酸化アルミニウムと酸化チタンを所定
の配合量で混合する。次に、この混合物に対して炭化タ
ングステン、酸化タングステン等のタングステン化合物
を所定量添加し、平均粒径が2μ以下になるようにボー
ルミル又は振動ミルで混合粉砕する。次いで、乾式粉砕
の場合には粉砕後に有機質の粘結剤例えばステアリン酸
を加え、湿式粉砕の場合には2μ以下に粉砕できた時点
で溶解性の粘結剤例えばポリエチレングリコールを加え
更に数時間混合した後、噴霧乾燥並びに造粒を行って、
それぞれ成形用原料を得る。
素粉末、副成分の酸化アルミニウムと酸化チタンを所定
の配合量で混合する。次に、この混合物に対して炭化タ
ングステン、酸化タングステン等のタングステン化合物
を所定量添加し、平均粒径が2μ以下になるようにボー
ルミル又は振動ミルで混合粉砕する。次いで、乾式粉砕
の場合には粉砕後に有機質の粘結剤例えばステアリン酸
を加え、湿式粉砕の場合には2μ以下に粉砕できた時点
で溶解性の粘結剤例えばポリエチレングリコールを加え
更に数時間混合した後、噴霧乾燥並びに造粒を行って、
それぞれ成形用原料を得る。
この成形用原料を加圧成形し所望の成形体にした後、こ
れを非酸化性雰囲気中で1500〜1850℃の温度範
囲で焼成して窒化珪素質焼結体を得るのである。
れを非酸化性雰囲気中で1500〜1850℃の温度範
囲で焼成して窒化珪素質焼結体を得るのである。
本発明方法により製造された焼結体は、理論密度比、曲
げ強度も優れており、しかも耐熱衝撃性が向上し、これ
により高強度耐熱性部品として有効に適用することがで
きる。
げ強度も優れており、しかも耐熱衝撃性が向上し、これ
により高強度耐熱性部品として有効に適用することがで
きる。
上記緒特性は窒化珪素と金属酸化物から成る焼結体組織
中に生成される珪素−タングステン化合物(タングステ
ンシリサイド)の量によって影響され、タングステンシ
リサイドの一種である二珪化タングステン(WSi2)
もしくは、 これの固溶体をX線粉末法によって検出で
きる限界値以上、即ち、WSiaのβ−8i3N4に対
する割合が焼結体のX線回折による最高強度回折線の強
度比(X線強度比)で0.02以上、好ましくは0.0
5以上となるように積極的に生成させた場合、特に耐熱
衝撃性が向上することを実験により確認した。
中に生成される珪素−タングステン化合物(タングステ
ンシリサイド)の量によって影響され、タングステンシ
リサイドの一種である二珪化タングステン(WSi2)
もしくは、 これの固溶体をX線粉末法によって検出で
きる限界値以上、即ち、WSiaのβ−8i3N4に対
する割合が焼結体のX線回折による最高強度回折線の強
度比(X線強度比)で0.02以上、好ましくは0.0
5以上となるように積極的に生成させた場合、特に耐熱
衝撃性が向上することを実験により確認した。
また、焼結体組織中に金属化合物であるタングステンシ
リサイドが生成されることにより、セラミックの欠点で
ある靭性も向上される。なお、本発明において添加され
るタングステン化合物は焼結促進にも寄与すると考えら
れ、その結果、比較的低温の領域での焼結が可能となり
、且つ焼結時間も短縮される。
リサイドが生成されることにより、セラミックの欠点で
ある靭性も向上される。なお、本発明において添加され
るタングステン化合物は焼結促進にも寄与すると考えら
れ、その結果、比較的低温の領域での焼結が可能となり
、且つ焼結時間も短縮される。
本発明における原料主成分の窒化珪素はα相−窒化珪素
とβ相−窒化珪素とがあり、WSigを反応生成させる
にはどちらでもよいが、焼結体の高強度化のためにはα
相を70%以上含む窒化珪素を用いるのがよい。
とβ相−窒化珪素とがあり、WSigを反応生成させる
にはどちらでもよいが、焼結体の高強度化のためにはα
相を70%以上含む窒化珪素を用いるのがよい。
副成分として用いる酸化アルミニウムと酸化チタンとの
組合せから成る金属酸化物の重量比は、酸化アルミニウ
ム量が酸化チタン量の10倍以下ではWSi、gの生成
量が極めて少なく、20倍以上では耐熱衝撃性が低下す
るため、lO対l乃至20対1、好ましくは7対1乃至
15対1の範囲が選ばれる。
組合せから成る金属酸化物の重量比は、酸化アルミニウ
ム量が酸化チタン量の10倍以下ではWSi、gの生成
量が極めて少なく、20倍以上では耐熱衝撃性が低下す
るため、lO対l乃至20対1、好ましくは7対1乃至
15対1の範囲が選ばれる。
更に、両者の合量として5〜30重量%の範囲を選んだ
理由は、5重量%以下になると焼結性が悪くなり、30
重量%以上になると、 窒化珪素の本来の特性、即ち高
温強度、耐熱衝撃性が低下するからである。
理由は、5重量%以下になると焼結性が悪くなり、30
重量%以上になると、 窒化珪素の本来の特性、即ち高
温強度、耐熱衝撃性が低下するからである。
次に、窒化珪素と金属酸化物との混合物に対して添加さ
れるタングステン化合物の添加量は前記混合物重量に対
して1.5〜15重量%の範囲に選択する必要がある。
れるタングステン化合物の添加量は前記混合物重量に対
して1.5〜15重量%の範囲に選択する必要がある。
なぜなら、1.5重量%以下であれば所望の耐熱衝撃性
、靭性が得られないし、15重量%以上であれば耐酸化
性が低下するからである。タングステン化合物の添加方
法としては、原料粉砕時に超硬ポールを用い、所定量の
炭化タングステンを原料に混入させるようにしてもよい
。
、靭性が得られないし、15重量%以上であれば耐酸化
性が低下するからである。タングステン化合物の添加方
法としては、原料粉砕時に超硬ポールを用い、所定量の
炭化タングステンを原料に混入させるようにしてもよい
。
上述した各成分から成る混合物の焼結は、窒素アルゴン
等の非酸化性雰囲気中で1500〜1850’cの温度
領域で行われる。なお、窒素又はアルゴンを用いた場合
でも、WSi2の生成の弊害となる遊離炭素を除去する
ことが好ましく、例えば炉内のヒーター、ルツボ、セッ
ター等にカーボン材質のものを使用するときには予め炉
内の遊離炭素を除去する配慮が必要である。
等の非酸化性雰囲気中で1500〜1850’cの温度
領域で行われる。なお、窒素又はアルゴンを用いた場合
でも、WSi2の生成の弊害となる遊離炭素を除去する
ことが好ましく、例えば炉内のヒーター、ルツボ、セッ
ター等にカーボン材質のものを使用するときには予め炉
内の遊離炭素を除去する配慮が必要である。
以下、本発明の実施例について説明する。
(実施例1)
α相を80%含有した窒化珪素粉末に酸化アルミニラム
、酸化チタンを各種の割合いで配合して得た混合粉末に
、更に炭化タングステンを該混合粉末重量に対して各種
重量%を添加して種々の原料粉末を調製した。次いで、
各原料粉末を振動ミルにより平均粒径が2μ以下になる
ように粉砕した後、ポリエチレングリコールを5%添加
しスプレードライヤーにより成形用原料を得た。
、酸化チタンを各種の割合いで配合して得た混合粉末に
、更に炭化タングステンを該混合粉末重量に対して各種
重量%を添加して種々の原料粉末を調製した。次いで、
各原料粉末を振動ミルにより平均粒径が2μ以下になる
ように粉砕した後、ポリエチレングリコールを5%添加
しスプレードライヤーにより成形用原料を得た。
かくして得られた各成形用原料を1OOOKR/♂の成
形圧で5m1x12a+×35a+の棒状体に成形l。
形圧で5m1x12a+×35a+の棒状体に成形l。
た抜脱粘結剤処理を行った。次いで、各成形体を炭化珪
素ルツボに入れ、遊離炭素を除去したカーボンヒーター
を用い、窒素ガスで炉内を充分置換した後、保持温度の
1650℃まで徐々に昇温させ、この温度で2時間保持
した。その後後々に室温まで降温させて焼結体試料1〜
11を得た。各試料の特性は表1に示す。なお、表中、
熱衝撃試験結果は、ある温度で20分間保持後、水中(
20℃)に投下して試料の曲げ強度に劣化を来たさない
限界温度を示し、WS’reの生成量は焼結体中の二珪
化タングステンの(101)面とβ相窒化珪素の(21
0)面とのX線強強比(WSig /β−8iaN+
)で表わした。
素ルツボに入れ、遊離炭素を除去したカーボンヒーター
を用い、窒素ガスで炉内を充分置換した後、保持温度の
1650℃まで徐々に昇温させ、この温度で2時間保持
した。その後後々に室温まで降温させて焼結体試料1〜
11を得た。各試料の特性は表1に示す。なお、表中、
熱衝撃試験結果は、ある温度で20分間保持後、水中(
20℃)に投下して試料の曲げ強度に劣化を来たさない
限界温度を示し、WS’reの生成量は焼結体中の二珪
化タングステンの(101)面とβ相窒化珪素の(21
0)面とのX線強強比(WSig /β−8iaN+
)で表わした。
以上詳述したように、本発明の製造方法によれば、所定
量の窒化珪素と金属酸化物の混合物に対して所定量のタ
ングステン化合物を添加して、焼結体組織中にタングス
テンシリサイドを反応生成させたことにより、高密度化
、高強度化が達成されると同時に、靭性、耐熱衝撃性に
優れた窒化珪素質焼結体の製造が可能となる。
量の窒化珪素と金属酸化物の混合物に対して所定量のタ
ングステン化合物を添加して、焼結体組織中にタングス
テンシリサイドを反応生成させたことにより、高密度化
、高強度化が達成されると同時に、靭性、耐熱衝撃性に
優れた窒化珪素質焼結体の製造が可能となる。
特許出願人 京セラ株式会社
代表者稲盛和夫
Claims (1)
- 窒化珪素70〜95重量%と、酸化アルミニウムと酸化
チタンをlO対l乃至20対lの範囲の重量比で配合し
た金属酸化物5〜30重量%とから成る混合物に、タン
グヌテン化合物を該混合物重量に対して1.5〜15重
量%添加し、成形した後、非酸化雰囲気中で1500〜
1850℃の温度において焼成し、焼結体中にタングス
テンシリサイドを反応生成せしめることを特徴とする窒
化珪素質焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58245827A JPS6038352B2 (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58245827A JPS6038352B2 (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59227776A true JPS59227776A (ja) | 1984-12-21 |
JPS6038352B2 JPS6038352B2 (ja) | 1985-08-31 |
Family
ID=17139439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58245827A Expired JPS6038352B2 (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6038352B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61186265A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-19 | 株式会社クボタ | 窒化けい素焼結体およびその製造方法 |
-
1983
- 1983-12-27 JP JP58245827A patent/JPS6038352B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61186265A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-19 | 株式会社クボタ | 窒化けい素焼結体およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6038352B2 (ja) | 1985-08-31 |
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