JPS60145961A - 高強度耐熱セラミツクス焼結体の製造方法 - Google Patents
高強度耐熱セラミツクス焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPS60145961A JPS60145961A JP58247421A JP24742183A JPS60145961A JP S60145961 A JPS60145961 A JP S60145961A JP 58247421 A JP58247421 A JP 58247421A JP 24742183 A JP24742183 A JP 24742183A JP S60145961 A JPS60145961 A JP S60145961A
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- Japan
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- sintered body
- powder
- sialon
- sintering
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高強度耐熱セラミックス焼結体の製造に係る粉
末組成物及び製造方法、さらに詳しくいえば、高温構造
材料として有用な、金属炭化物や金属窒化物金倉むβ−
サイアロン焼結体から成る高強度酬熱セラミックス焼結
体を製造するだめの粉末組成物及びその製造方法に関す
るものである。
末組成物及び製造方法、さらに詳しくいえば、高温構造
材料として有用な、金属炭化物や金属窒化物金倉むβ−
サイアロン焼結体から成る高強度酬熱セラミックス焼結
体を製造するだめの粉末組成物及びその製造方法に関す
るものである。
ことでβ−サイアロンとは、5i3NAとAt303N
間の固溶体であって、一般にSi’6−z Alz O
z Ns −zで示され、そのZの値は0.25〜4.
2の範囲である。2の値が0.25より小さいとほとん
ど焼結が適寸ず緻密な焼結体を得ることができないし、
Zが4.2を超えると該β−サイアロンに固溶できない
余剰成分が粒界に析出し、β−サイアロンのもつ種々の
特性が失なわれてし壕う。したがって、前記式における
Zは0,25〜4.2の範囲でなければなら々い。
間の固溶体であって、一般にSi’6−z Alz O
z Ns −zで示され、そのZの値は0.25〜4.
2の範囲である。2の値が0.25より小さいとほとん
ど焼結が適寸ず緻密な焼結体を得ることができないし、
Zが4.2を超えると該β−サイアロンに固溶できない
余剰成分が粒界に析出し、β−サイアロンのもつ種々の
特性が失なわれてし壕う。したがって、前記式における
Zは0,25〜4.2の範囲でなければなら々い。
このようなβ−サイアロン焼結体は窒化ケイ素焼結体よ
りも耐酸化性に優れ、熱膨張率が小さく、かつ熱衝撃抵
抗及び溶融金属に対する面1食性が萬(、その上高温強
度が高いなどの特徴を有する材料として注目されており
、近年、とのβ−ツイアロン焼結体をタービンブレード
やノズル、あるいは熱交換器などの高温構造材料として
使用することを目的とした研究開発が行われている。
りも耐酸化性に優れ、熱膨張率が小さく、かつ熱衝撃抵
抗及び溶融金属に対する面1食性が萬(、その上高温強
度が高いなどの特徴を有する材料として注目されており
、近年、とのβ−ツイアロン焼結体をタービンブレード
やノズル、あるいは熱交換器などの高温構造材料として
使用することを目的とした研究開発が行われている。
しか(7ながら、従来のβ−サイアロン焼結体において
は5i3NA−At203−A7N系又は5102−A
t−8i系などの組成を有する混合粉末を常圧又は力ロ
圧下で高温加熱することによって製造されており、この
ような方法で得られたβ−サイアロン焼結体の強度は、
高温構造材料として十分に満足しうるものではない。ま
た、焼結助剤としてY2O3やMgOなどの酸化物の粉
末をβ−サイアロン原料粉末に加えて焼結する方法があ
るが、この方法によって得られた焼結体は室温強度が著
しく改善されるものの、高温における強度は低下し、β
−サイ゛アロン焼結体が本来もつ優ノtた性質が失われ
るという欠点を有している。
は5i3NA−At203−A7N系又は5102−A
t−8i系などの組成を有する混合粉末を常圧又は力ロ
圧下で高温加熱することによって製造されており、この
ような方法で得られたβ−サイアロン焼結体の強度は、
高温構造材料として十分に満足しうるものではない。ま
た、焼結助剤としてY2O3やMgOなどの酸化物の粉
末をβ−サイアロン原料粉末に加えて焼結する方法があ
るが、この方法によって得られた焼結体は室温強度が著
しく改善されるものの、高温における強度は低下し、β
−サイ゛アロン焼結体が本来もつ優ノtた性質が失われ
るという欠点を有している。
本発明者らは、このような事情に鑑み、β−サイアロン
焼結体が本来有する優れた性質を損なうことなく強度を
向上させるような添加物について鋭意研究を重ねた結果
、ある特定の金属の炭化物や窒化物の粉末をβ−サイア
ロン原料粉末に対して所定茄添加して得られた粉末組成
物を焼結することにより、目的とするβ−サイアロン焼
結体が得られることを見出し、この知見に基づいて不発
末95〜60重量部及び(B)周期律表の一1a、5a
、6a、3b及び4b族の金属の炭化物及び窒化物の中
から選ばれた少なくとも1種の金属化合物粉末5〜40
重量部を含有して成る粉末組成物を非酸化性の雰囲気下
で焼結することを特徴とする高強度耐熱セラミックス焼
結体の製造に係る粉末組成物及びその製造方法を提供す
るものである。
焼結体が本来有する優れた性質を損なうことなく強度を
向上させるような添加物について鋭意研究を重ねた結果
、ある特定の金属の炭化物や窒化物の粉末をβ−サイア
ロン原料粉末に対して所定茄添加して得られた粉末組成
物を焼結することにより、目的とするβ−サイアロン焼
結体が得られることを見出し、この知見に基づいて不発
末95〜60重量部及び(B)周期律表の一1a、5a
、6a、3b及び4b族の金属の炭化物及び窒化物の中
から選ばれた少なくとも1種の金属化合物粉末5〜40
重量部を含有して成る粉末組成物を非酸化性の雰囲気下
で焼結することを特徴とする高強度耐熱セラミックス焼
結体の製造に係る粉末組成物及びその製造方法を提供す
るものである。
本発明方法において用いるβ−サイアロン原料粉末は、
窒化ケイ素、窒化アルミニウム及びアルミナの混合粉末
、又は窒化ケイ素、窒化アルミニウム及びソリ力の混合
初末或いは・ソリ力、アルミニウム及びソリコンの混合
粉末であって、これらの各成分1d Si 6−X A
7X OX N 5−X(たたし、Z−0,25〜4.
2)の組成になるような割合で配合される。
窒化ケイ素、窒化アルミニウム及びアルミナの混合粉末
、又は窒化ケイ素、窒化アルミニウム及びソリ力の混合
初末或いは・ソリ力、アルミニウム及びソリコンの混合
粉末であって、これらの各成分1d Si 6−X A
7X OX N 5−X(たたし、Z−0,25〜4.
2)の組成になるような割合で配合される。
前記各成分は、純度99係以上でかつ粒径が50μm以
下、好ましくは20μm以下の微粒子であることが望捷
(−い。粒径が50μmより大きな粒子が含1れている
と、得られた焼結体中に未反応物として残存し、該焼結
体の強度を著しく低下させる。
下、好ましくは20μm以下の微粒子であることが望捷
(−い。粒径が50μmより大きな粒子が含1れている
と、得られた焼結体中に未反応物として残存し、該焼結
体の強度を著しく低下させる。
本発明方法において用いる添加成分は、周期律表の4a
、5a、6a、3b及び4b族の金属の炭化物及び窒化
物の中から選ばれた金属化合物であり、このようなもの
としては、例えばTiC,ZrC1HfC,NbCなど
の金属炭化物及びT’iN、 ZrN、HfN、Nt+
Nなどの金属窒化物が挙げられる。これらの化合物はそ
れぞれ単独で用いてもよいし、2種以上組み合わせて用
いてもよい。
、5a、6a、3b及び4b族の金属の炭化物及び窒化
物の中から選ばれた金属化合物であり、このようなもの
としては、例えばTiC,ZrC1HfC,NbCなど
の金属炭化物及びT’iN、 ZrN、HfN、Nt+
Nなどの金属窒化物が挙げられる。これらの化合物はそ
れぞれ単独で用いてもよいし、2種以上組み合わせて用
いてもよい。
前記の金属炭化物や金属窒化物は、それ自体高硬度物質
でアシ、かつ高温において強度が低下しないことは一般
によく知られている。しか−ながら、これらの化合物は
、β−サイアロンと比較するとそのレベルは著しく低い
ものであって、添加量いかんによってはβ−サイアロン
のもつ耐酸化性や溶融金属との反応性が少ないという本
来の特末95〜60重量部に対℃て、5〜40重量部の
割合で配合される。
でアシ、かつ高温において強度が低下しないことは一般
によく知られている。しか−ながら、これらの化合物は
、β−サイアロンと比較するとそのレベルは著しく低い
ものであって、添加量いかんによってはβ−サイアロン
のもつ耐酸化性や溶融金属との反応性が少ないという本
来の特末95〜60重量部に対℃て、5〜40重量部の
割合で配合される。
このようにして、β−サイアロン原料粉末に、金属炭化
物粉末や金属窒化物粉末を配合させた粉末組成物は、従
来セラミックス焼結体に用いられている方法、例えは反
応焼結法、ホットプレス法、雰囲気加圧焼結法、HIP
法々どによって焼結することができる。
物粉末や金属窒化物粉末を配合させた粉末組成物は、従
来セラミックス焼結体に用いられている方法、例えは反
応焼結法、ホットプレス法、雰囲気加圧焼結法、HIP
法々どによって焼結することができる。
緻密な焼結体を得るためには、焼結条件として、不活性
雰囲気下、1600〜2200℃の温度、常圧、好まし
くri100〜5001て9 / C+4の圧力で焼結
を行うことが望才しい。
雰囲気下、1600〜2200℃の温度、常圧、好まし
くri100〜5001て9 / C+4の圧力で焼結
を行うことが望才しい。
焼結温度が1600℃未満では反応は十分に進行せず、
密度の低い焼結体となる。寸だ通常の焼結法においては
、焼結温度が1900℃より高いと生成したβ−サイア
ロンが熱分解するために緻密な焼結体が得られないが、
雰囲気加圧焼結法及びHIP法などにおいては、その雰
囲気の圧力を、該β−サイアロンの分解を抑11i−う
る圧力−まで商めることによって、該焼結温度を220
octで上昇させることが可能である。
密度の低い焼結体となる。寸だ通常の焼結法においては
、焼結温度が1900℃より高いと生成したβ−サイア
ロンが熱分解するために緻密な焼結体が得られないが、
雰囲気加圧焼結法及びHIP法などにおいては、その雰
囲気の圧力を、該β−サイアロンの分解を抑11i−う
る圧力−まで商めることによって、該焼結温度を220
octで上昇させることが可能である。
焼結時間は通常15時間内、好ましくは1〜8時間の範
囲である。低温で時間が短かすぎると反応が不十分で緻
密化が進行していない焼結体となり、壕だ15時間を超
えると結晶の粒子が異常に成長したり、あるいは分解が
生じたりする。この焼結時間(は焼結時の温度及び圧力
に依存するため、高温高圧の条件下では焼結時間が短縮
されることはもちろんのことである。
囲である。低温で時間が短かすぎると反応が不十分で緻
密化が進行していない焼結体となり、壕だ15時間を超
えると結晶の粒子が異常に成長したり、あるいは分解が
生じたりする。この焼結時間(は焼結時の温度及び圧力
に依存するため、高温高圧の条件下では焼結時間が短縮
されることはもちろんのことである。
本発明方法においては、焼結は非酸化性雰囲気下、例え
ば窒素又は窒素を含む不活性雰囲気下、あるいは窒素と
一酸化炭素とを含むりjy囲気下などで行われる。これ
はβ−サイアロンを生成するに当り、原料粉末の酸化を
防ぎ、かつ生成したβ−サイアロンの熱分解を防ぐため
である。
ば窒素又は窒素を含む不活性雰囲気下、あるいは窒素と
一酸化炭素とを含むりjy囲気下などで行われる。これ
はβ−サイアロンを生成するに当り、原料粉末の酸化を
防ぎ、かつ生成したβ−サイアロンの熱分解を防ぐため
である。
β−サイアロンの生成は、一般に酸素含有量の多いX相
にSi3N、4やAtN が溶解反応することによって
起り、焼結体の緻密化が進行するものと考えられている
。このようなβ−サイアロンの生成及び焼結過程におい
て、Ti、 Zr、 If、V、 Nb。
にSi3N、4やAtN が溶解反応することによって
起り、焼結体の緻密化が進行するものと考えられている
。このようなβ−サイアロンの生成及び焼結過程におい
て、Ti、 Zr、 If、V、 Nb。
Ta=’Si、Atなどの炭化物や窒化物は少量の添加
においても焼結を促進し2、得られたβ−ツイアロン焼
結体の強度は著しく向−ヒする。さらにこれらの金属炭
化物や金属窒化物の添加量を任意に変化させることによ
って、強度面だけでなく、焼結体の熱伝導性も大きく改
善しうろことが明らかとなった。このような観点から、
本発明における全国炭化物や金属窒化物の添加量は、焼
結体の強度を向−ヒさせ、かつβ〜サイアロン焼結体の
優れた性質を維持するために、β−サイアロン原料粉末
95〜60重量部に対して5〜40市量部の範囲である
ことが心安である1、 このようにして、金属炭化物や金属窒化物を添加して得
られたβ−サイアロン焼結体において1は、添加した金
属炭化物や金属窒化物の一部が、生成したX相及び粒界
相に拡散し、粒界相でその結晶化が促進される。このよ
うに、粒界相ての結晶化が促進されることにより、Y2
O5やMgOなどの酸化物を添加剤として加えたものに
比べて、優れた高温特性をもつようにな9、高温におけ
る強度低下が生じない。
においても焼結を促進し2、得られたβ−ツイアロン焼
結体の強度は著しく向−ヒする。さらにこれらの金属炭
化物や金属窒化物の添加量を任意に変化させることによ
って、強度面だけでなく、焼結体の熱伝導性も大きく改
善しうろことが明らかとなった。このような観点から、
本発明における全国炭化物や金属窒化物の添加量は、焼
結体の強度を向−ヒさせ、かつβ〜サイアロン焼結体の
優れた性質を維持するために、β−サイアロン原料粉末
95〜60重量部に対して5〜40市量部の範囲である
ことが心安である1、 このようにして、金属炭化物や金属窒化物を添加して得
られたβ−サイアロン焼結体において1は、添加した金
属炭化物や金属窒化物の一部が、生成したX相及び粒界
相に拡散し、粒界相でその結晶化が促進される。このよ
うに、粒界相ての結晶化が促進されることにより、Y2
O5やMgOなどの酸化物を添加剤として加えたものに
比べて、優れた高温特性をもつようにな9、高温におけ
る強度低下が生じない。
本発明方法によって得られた高強度耐熱セラミックス焼
結体は、耐酸化性に優れ1熱膨張率が小さく、かつ熱衝
撃抵抗及び溶融金属に対する耐食性が高く、その上高温
強度に優れるなどの性質を有しており、高温構造材料と
して各種の機器や部品に有効に用いられる。
結体は、耐酸化性に優れ1熱膨張率が小さく、かつ熱衝
撃抵抗及び溶融金属に対する耐食性が高く、その上高温
強度に優れるなどの性質を有しており、高温構造材料と
して各種の機器や部品に有効に用いられる。
次に実施例によって本発明をさらに詳細に説明する。
実施例」
平均粒径0.6Ltmの窒化ケイ素粉末、平均粒径′3
.0μmの窒化アルミニウム粉末及び平均粒径0.8μ
mの酸化アルミニウム粉末をそれぞれ83.4.6.9
及び9.7重量%の割合で混合したβ−サイアロン原料
粉末95重量部に、第1表に示すような金属炭化物5重
量部を添加した混合粉末を、1800℃で300に9/
U!の加圧下、窒素雰囲気中で60分間加圧焼結してβ
−サイアロン焼結体を得た。この焼結体はZ=1のβ−
サイアロンであり、このβ−サイアロン焼結体それぞれ
について、室温及び1200℃における抗折強度の測定
を行った。その結果を第1表に示す。
.0μmの窒化アルミニウム粉末及び平均粒径0.8μ
mの酸化アルミニウム粉末をそれぞれ83.4.6.9
及び9.7重量%の割合で混合したβ−サイアロン原料
粉末95重量部に、第1表に示すような金属炭化物5重
量部を添加した混合粉末を、1800℃で300に9/
U!の加圧下、窒素雰囲気中で60分間加圧焼結してβ
−サイアロン焼結体を得た。この焼結体はZ=1のβ−
サイアロンであり、このβ−サイアロン焼結体それぞれ
について、室温及び1200℃における抗折強度の測定
を行った。その結果を第1表に示す。
なお、比較のため、金属炭化物無添加の場合についても
、同様にして焼結体を作成し、抗折強度をめた。その結
果も第1表に示す。
、同様にして焼結体を作成し、抗折強度をめた。その結
果も第1表に示す。
第 1 表
実施例2
窒化ケイ素粉末、窒化アルミニウム粉末及び酸化アルミ
ニウム粉末をそれぞれ49.7.16.2 及び34.
1重量%の組成で混合したβ−ザイアロン原料粉末65
重量部に、第2表に示すような種々の割合でTiC又は
TaC若しくはその両方を添加して十分混合し、得られ
た混合粉末を窒素雰囲気中、1850℃、300 K9
/ crlの加圧で60分間加圧焼結を行い、それぞ
れZ=3のβ−サイアロン焼結体を得た。得られたβ−
サイアロン焼結体の抗折強度をめ、その結果を第2表に
示す。
ニウム粉末をそれぞれ49.7.16.2 及び34.
1重量%の組成で混合したβ−ザイアロン原料粉末65
重量部に、第2表に示すような種々の割合でTiC又は
TaC若しくはその両方を添加して十分混合し、得られ
た混合粉末を窒素雰囲気中、1850℃、300 K9
/ crlの加圧で60分間加圧焼結を行い、それぞ
れZ=3のβ−サイアロン焼結体を得た。得られたβ−
サイアロン焼結体の抗折強度をめ、その結果を第2表に
示す。
なお、比較のために、金属炭化物無添加の場合について
も、同様にして焼結体を作成し、抗折強度をめた。その
結果も第2表に示す。
も、同様にして焼結体を作成し、抗折強度をめた。その
結果も第2表に示す。
第 2 表
実施例3
窒化ケイ素粉末、窒化アルミニウム粉末及び酸化アルミ
ニウム粉末をそれぞれ66.5.11.6及び2】、9
重量%の組成で混合したβ−ザイアロン原料粉末95重
量部に、第3表に示すような添加物5重量部を添加した
混合粉末を、1850℃、350 K9 / cnlの
加圧下、窒素雰囲気中で120分間加圧焼結してβ−サ
イアロン焼結体を得た。この焼結体はZ=2のβ−サイ
アロンであり、それぞれについて、室温及び】200℃
における抗折強度の測定を行った。その結果を第3表に
示す。
ニウム粉末をそれぞれ66.5.11.6及び2】、9
重量%の組成で混合したβ−ザイアロン原料粉末95重
量部に、第3表に示すような添加物5重量部を添加した
混合粉末を、1850℃、350 K9 / cnlの
加圧下、窒素雰囲気中で120分間加圧焼結してβ−サ
イアロン焼結体を得た。この焼結体はZ=2のβ−サイ
アロンであり、それぞれについて、室温及び】200℃
における抗折強度の測定を行った。その結果を第3表に
示す。
なお、比較のために、添加物を加えない場合についても
、同様にして焼結体を作成し、抗折強度をめた。その結
果も第3表に示す。
、同様にして焼結体を作成し、抗折強度をめた。その結
果も第3表に示す。
第 3 表
zmffl)
〕0℃
うO
3
9
2
4
う8
6
9
3
5
8
実施例4
窒化ケイ素粉末、窒化アルミニウム粉末及び酸化アルミ
ニウム粉末を、それぞれ33.0.20.8及び46.
2重量%の組成で混合したβ−ザイアロン原料粉末75
重量部に、第4表に示すような種々の割合でTickは
NbN若しくはその両方を添加して十分に混合し、得ら
れた混合粉末を窒素雰囲気中、1750℃、260に9
/caの加圧で180分間加圧焼結を行い、それぞれZ
=4のβ−サイアロン焼結体を得た。得られたβ−サイ
アロン焼結体の抗折強度をめ、その結果を第4表に示す
。
ニウム粉末を、それぞれ33.0.20.8及び46.
2重量%の組成で混合したβ−ザイアロン原料粉末75
重量部に、第4表に示すような種々の割合でTickは
NbN若しくはその両方を添加して十分に混合し、得ら
れた混合粉末を窒素雰囲気中、1750℃、260に9
/caの加圧で180分間加圧焼結を行い、それぞれZ
=4のβ−サイアロン焼結体を得た。得られたβ−サイ
アロン焼結体の抗折強度をめ、その結果を第4表に示す
。
なお、比較のために、添加物を加えない場合についても
、同様にしてβ−サイアロン焼結体を作成し、抗折強度
をめた。その結果も第4表に小す。
、同様にしてβ−サイアロン焼結体を作成し、抗折強度
をめた。その結果も第4表に小す。
Claims (1)
- 1全量100重量部当り(A)β−サイアロン原料粉末
95〜60重量部及び(B)周期律表の−ia、5a、
6a、3b及び4b族の金属の炭化物及び窒化物の中か
ら選ばれた少なくとも1種の金属化合物粉末5〜40重
量部を含有して成る粉末組成物及び該組成物を非酸化性
の雰囲気下で焼結することを特徴とする高強度耐熱セラ
ミックス焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58247421A JPS60145961A (ja) | 1983-12-31 | 1983-12-31 | 高強度耐熱セラミツクス焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58247421A JPS60145961A (ja) | 1983-12-31 | 1983-12-31 | 高強度耐熱セラミツクス焼結体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60145961A true JPS60145961A (ja) | 1985-08-01 |
JPS6343346B2 JPS6343346B2 (ja) | 1988-08-30 |
Family
ID=17163184
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58247421A Granted JPS60145961A (ja) | 1983-12-31 | 1983-12-31 | 高強度耐熱セラミツクス焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60145961A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4816428A (en) * | 1985-02-14 | 1989-03-28 | Agency Of Industrial Science And Technology | Process for producing high strength βsialon-silicon carbide composite |
US4881950A (en) * | 1986-05-30 | 1989-11-21 | Gte Valenite Corporation | Silicon nitride cutting tool |
US5034022A (en) * | 1987-10-05 | 1991-07-23 | Gte Valenite Corporation | Silicon nitride cutting tool |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3991655T (ja) * | 1989-04-28 | 1992-06-25 | ||
CN109207786B (zh) * | 2018-11-01 | 2020-08-07 | 西北工业大学 | Zr3Al3C5-ZrAlxSiy复合材料制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5330612A (en) * | 1976-09-03 | 1978-03-23 | Toshiba Ceramics Co | Manufacture of silicon nitride sintered articles |
JPS5345313A (en) * | 1976-10-06 | 1978-04-24 | Tokyo Shibaura Electric Co | Manufacture of high strength sintered bodies |
JPS5450015A (en) * | 1977-09-28 | 1979-04-19 | Toshiba Ceramics Co | Method of making refractory using betaasialon as binding matrix |
JPS5450014A (en) * | 1977-09-28 | 1979-04-19 | Toshiba Ceramics Co | Refractory using betaasialon as binding matrix and method of making same |
-
1983
- 1983-12-31 JP JP58247421A patent/JPS60145961A/ja active Granted
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5330612A (en) * | 1976-09-03 | 1978-03-23 | Toshiba Ceramics Co | Manufacture of silicon nitride sintered articles |
JPS5345313A (en) * | 1976-10-06 | 1978-04-24 | Tokyo Shibaura Electric Co | Manufacture of high strength sintered bodies |
JPS5450015A (en) * | 1977-09-28 | 1979-04-19 | Toshiba Ceramics Co | Method of making refractory using betaasialon as binding matrix |
JPS5450014A (en) * | 1977-09-28 | 1979-04-19 | Toshiba Ceramics Co | Refractory using betaasialon as binding matrix and method of making same |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4816428A (en) * | 1985-02-14 | 1989-03-28 | Agency Of Industrial Science And Technology | Process for producing high strength βsialon-silicon carbide composite |
US4881950A (en) * | 1986-05-30 | 1989-11-21 | Gte Valenite Corporation | Silicon nitride cutting tool |
US5034022A (en) * | 1987-10-05 | 1991-07-23 | Gte Valenite Corporation | Silicon nitride cutting tool |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6343346B2 (ja) | 1988-08-30 |
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