JPS59223412A - 表示装置 - Google Patents
表示装置Info
- Publication number
- JPS59223412A JPS59223412A JP58098443A JP9844383A JPS59223412A JP S59223412 A JPS59223412 A JP S59223412A JP 58098443 A JP58098443 A JP 58098443A JP 9844383 A JP9844383 A JP 9844383A JP S59223412 A JPS59223412 A JP S59223412A
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- JP
- Japan
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- film
- transparent
- anode
- transparent electrodes
- oxidized
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133345—Insulating layers
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表示装置に関するものである。
現在、広く普及しているＸＹマ） ＩＪクス方式による
表示装置は、第１図に示すように、ストライプ状パター
ンの透明電極１を有する透明基板２と同様にストライプ
状パターンの透明電極３．を有する基板４とを、ストラ
イプ状パターン透明電極１および３が互いに直交するよ
うにスペーサー５を介して一定の間隔に保ち、その間に
表示材料６をはさんだ構造をしている。しかし、こうし
た電接構造ではストライプとストライプの間ＶＣ６る程
度の間隔を設はなはればならず、このすき間の部分は表
示のできない領域と１７て残わ、表示品質の低下の原因
となっていた。つまり、第２図に示すように、電極パタ
ーンのすき間に対応する部分が画素と画素のすき間とし
て現われ、表示画面７の有効面積が小さくなってしまう
や 従来はこうした点を改善するために、第３図に示すよう
に、透明基板２上にストライプ状パターンの透明電極１
を１本おきに作製した後、真空蒸着、あるいけスパッタ
リングによって透明なりｉＯ１膜８を絶縁膜としてこれ
らのストライプ状透明電極の上に全面に渡りて形成し、
続いてこの透明絶縁膜の上に、下層の透明電極１のパタ
ーンが覆っていない領域をちょうど埋め合わせるように
新しい透記電極１′を作製することにより、表示画面の
すべてを有効に活用できる表示装置を作製していた。し
かし、こうした従来の方法では、隣接する透明電極のパ
ターン間に用いている透明絶縁膜が１ＭＯ２であるため
に、膜形成時にピンホールがあいたり、工程中に加える
熱が原因で膜Ｖｃｈラックが入ったりしてパターン間に
絶縁不良が生じる場合が多く１画素と画素のすき間の無
い表示を得ることは、実際には非常に難しかった。
表示装置は、第１図に示すように、ストライプ状パター
ンの透明電極１を有する透明基板２と同様にストライプ
状パターンの透明電極３．を有する基板４とを、ストラ
イプ状パターン透明電極１および３が互いに直交するよ
うにスペーサー５を介して一定の間隔に保ち、その間に
表示材料６をはさんだ構造をしている。しかし、こうし
た電接構造ではストライプとストライプの間ＶＣ６る程
度の間隔を設はなはればならず、このすき間の部分は表
示のできない領域と１７て残わ、表示品質の低下の原因
となっていた。つまり、第２図に示すように、電極パタ
ーンのすき間に対応する部分が画素と画素のすき間とし
て現われ、表示画面７の有効面積が小さくなってしまう
や 従来はこうした点を改善するために、第３図に示すよう
に、透明基板２上にストライプ状パターンの透明電極１
を１本おきに作製した後、真空蒸着、あるいけスパッタ
リングによって透明なりｉＯ１膜８を絶縁膜としてこれ
らのストライプ状透明電極の上に全面に渡りて形成し、
続いてこの透明絶縁膜の上に、下層の透明電極１のパタ
ーンが覆っていない領域をちょうど埋め合わせるように
新しい透記電極１′を作製することにより、表示画面の
すべてを有効に活用できる表示装置を作製していた。し
かし、こうした従来の方法では、隣接する透明電極のパ
ターン間に用いている透明絶縁膜が１ＭＯ２であるため
に、膜形成時にピンホールがあいたり、工程中に加える
熱が原因で膜Ｖｃｈラックが入ったりしてパターン間に
絶縁不良が生じる場合が多く１画素と画素のすき間の無
い表示を得ることは、実際には非常に難しかった。
本発明は上記のような欠点を除去するために、隣接する
透明電給量に陽極酸化したａを透明透縁膜として用い１
表示品質の高い表示装置を容易に作製することを目的と
している。この陽椿酸化Ｕ膜、つまりＡｔ２０ｇ膜は、
膜厚が１μｍ以下シ゛ｂば視感透過率が９０％以上あり
、しかも緻密でピンホールが無く、６００℃位の熱を加
えてもクラ９りが入りにくいという特徴を持っている。
透明電給量に陽極酸化したａを透明透縁膜として用い１
表示品質の高い表示装置を容易に作製することを目的と
している。この陽椿酸化Ｕ膜、つまりＡｔ２０ｇ膜は、
膜厚が１μｍ以下シ゛ｂば視感透過率が９０％以上あり
、しかも緻密でピンホールが無く、６００℃位の熱を加
えてもクラ９りが入りにくいという特徴を持っている。
以下、実施例に基づいて本発明を詳述する。
１）Ｍ４図（ロ））ＶＣ示すように、透明基板２上に透
明電極として５ｕ０２膜をＯＶＤ法、あるいはスパッタ
リング法により形成し７た後、ストライプ状透明電極１
をり゛ミカルエッチングにより作画する。
明電極として５ｕ０２膜をＯＶＤ法、あるいはスパッタ
リング法により形成し７た後、ストライプ状透明電極１
をり゛ミカルエッチングにより作画する。
この時、透明［榛１のストライプ幅とストライプ間隔が
等しくなるようにしておくと、最後１ｃＸＹマトリクス
表示装置を組み立てた時に表示される画素のかたちは正
方形となる。次に、上記ストライプ状透明電極１を有す
る透明基板２の上に、第４図（ｂ） ｖｃ示すようＫＡ
Ｉ膜９を真空蒸着、あるいけスパッタリングによって全
面に渡って、５００ 〜２００００’Ａの厚さで形成し
た後、透明電極１を陽極として用い、Ｐｔ板を陰榛とし
て、１５ｗｔ％硫酸水溶液中で、電流密度が２ｍ１ｌ−
以下で一定とした直流で、室温のもとて数分間陽極酸化
し、第４図（ｃ）に示すように透明電極１上のａ膜をａ
２０３の透明絶縁膜１０１Ｃする。この陽極酸化アルマ
イト被膜１０の透過率は膜厚によって多少異なるが、可
視領域の光に対し９０チ以上である。Ａｔ膜９を陽極酸
化する際に、透明ｇＥ捧１士にないＵ膜１１け完全に陽
極酸化されず、微小な島状のａがアルミナ層０中“残°
１し１う′・視感透過率１−ｊ ５０ 。
等しくなるようにしておくと、最後１ｃＸＹマトリクス
表示装置を組み立てた時に表示される画素のかたちは正
方形となる。次に、上記ストライプ状透明電極１を有す
る透明基板２の上に、第４図（ｂ） ｖｃ示すようＫＡ
Ｉ膜９を真空蒸着、あるいけスパッタリングによって全
面に渡って、５００ 〜２００００’Ａの厚さで形成し
た後、透明電極１を陽極として用い、Ｐｔ板を陰榛とし
て、１５ｗｔ％硫酸水溶液中で、電流密度が２ｍ１ｌ−
以下で一定とした直流で、室温のもとて数分間陽極酸化
し、第４図（ｃ）に示すように透明電極１上のａ膜をａ
２０３の透明絶縁膜１０１Ｃする。この陽極酸化アルマ
イト被膜１０の透過率は膜厚によって多少異なるが、可
視領域の光に対し９０チ以上である。Ａｔ膜９を陽極酸
化する際に、透明ｇＥ捧１士にないＵ膜１１け完全に陽
極酸化されず、微小な島状のａがアルミナ層０中“残°
１し１う′・視感透過率１−ｊ ５０ 。
係以下で灰色つげ〈見える。この完全には透ＢｉＪＫな
りていない部分であるａを含んだａ２０３膜１１をケミ
カルエツチングによって除去すれば、第４回頭に示すよ
うな陽極酸化ａ被膜１０を透明１極′１上にのみ作製す
ることができる。続し−て、上記のよう忙作製した、Ａ
４０３の透明絶縁膜１０で被われた透明電極１を有する
透明基板２の上に、全面に渡ってＳｎ ｏ２膜をＯＶＤ
法、あるいはスパづクリング法によって形成し、表示画
面のうち透明１！極１で覆われている部分のＳ？ＬＯ２
膜をケミカルエツチングにより除去すれば、第４図（６
）に示すようにストライプ状の透明電極１′を得ること
ができる。以上述べた工程によって、第４図（ｇ）に示
したよりＣで、［給量のすき間が見かけ上全くないスト
ライプ状透明電極を作製することができた。上記と全く
同じ工程を経て、陽極酸化Ａｔを透明絶縁膜と；２て用
い、第４図（ト）に示し念電罹間にすき間の無いストラ
イプ状透明電瘉３を作製した後、透明基板２士のストラ
イブ状透明電ｗ１１および１′と、基板４上のストライ
プ状透明電極３が互いに直交するように、スペーサー５
を介して一定の間隔に保ち、その間にネマチック液晶層
１２をはさむこと１てより第４図（７１に示したような
ＴＮ型液晶表示装置ができた。この液晶表示装置の透明
基板２上の透明電極１と１′、および基板４上の透明電
極３の間に適当な電圧を印加しである図形を表示させる
ことにより、第５図に示すように表示画面７に電接間の
すき間の見えない美しい表示を得ることができた。
りていない部分であるａを含んだａ２０３膜１１をケミ
カルエツチングによって除去すれば、第４回頭に示すよ
うな陽極酸化ａ被膜１０を透明１極′１上にのみ作製す
ることができる。続し−て、上記のよう忙作製した、Ａ
４０３の透明絶縁膜１０で被われた透明電極１を有する
透明基板２の上に、全面に渡ってＳｎ ｏ２膜をＯＶＤ
法、あるいはスパづクリング法によって形成し、表示画
面のうち透明１！極１で覆われている部分のＳ？ＬＯ２
膜をケミカルエツチングにより除去すれば、第４図（６
）に示すようにストライプ状の透明電極１′を得ること
ができる。以上述べた工程によって、第４図（ｇ）に示
したよりＣで、［給量のすき間が見かけ上全くないスト
ライプ状透明電極を作製することができた。上記と全く
同じ工程を経て、陽極酸化Ａｔを透明絶縁膜と；２て用
い、第４図（ト）に示し念電罹間にすき間の無いストラ
イプ状透明電瘉３を作製した後、透明基板２士のストラ
イブ状透明電ｗ１１および１′と、基板４上のストライ
プ状透明電極３が互いに直交するように、スペーサー５
を介して一定の間隔に保ち、その間にネマチック液晶層
１２をはさむこと１てより第４図（７１に示したような
ＴＮ型液晶表示装置ができた。この液晶表示装置の透明
基板２上の透明電極１と１′、および基板４上の透明電
極３の間に適当な電圧を印加しである図形を表示させる
ことにより、第５図に示すように表示画面７に電接間の
すき間の見えない美しい表示を得ることができた。
なお、上記工程において、Ａ４０Ｊと５ｎｏ２膜のエツ
チングは逆スパツタリング等におけるドライエツチング
でもよい。また、ａの陽俸酸化浴としては上記硫酸浴以
外Ｋ、リン酸浴、クロム酸浴等の無機酸浴、あるいは、
しゅう酸浴、マロン酸浴等の有機酸浴を用いることがで
きる。さらに、陽極酸化して形成した酸化Ａｔ膜を水蒸
気中や酢酸二ヴケル水溶液中で封孔処理すれば、より強
い透明絶縁膜が得られる。
チングは逆スパツタリング等におけるドライエツチング
でもよい。また、ａの陽俸酸化浴としては上記硫酸浴以
外Ｋ、リン酸浴、クロム酸浴等の無機酸浴、あるいは、
しゅう酸浴、マロン酸浴等の有機酸浴を用いることがで
きる。さらに、陽極酸化して形成した酸化Ａｔ膜を水蒸
気中や酢酸二ヴケル水溶液中で封孔処理すれば、より強
い透明絶縁膜が得られる。
１ ） 数字の表示には、従来から第６図に示すよう
な７セグメント電肇が用いられている。しかしこうした
電極構造ではセグメントとセグメントの間にすき間があ
り１表示品質において改善すべき余地が残されていると
い支る。そこで、画素酸化ａを透明絶縁膜として利用し
た本発明を採１′Ｉすることができる。まず、第７図に
示すように セグｉ ｙ ） ａ （１３）、 ｇ
（１９）、 ｄ （１１）のＩＩｒ’ｉｔ ４ ＥＪｎ
Ｏ＋膜で作製したあと、実施例Ｉ）と同じ方法ｖｃｉと
して陽極酸化Ａｔ膜を形成する。続いて、セグメントｂ
（１４） 、 ｃ （１ｓ） 、 ｅ （１７）
、 ｆ （１ｓ）をｓｙ＋、ｏｉ膜Ｃでよって作製
し液晶セルを組み立てると、第８図に示したようにセグ
メントとセグメントの間にすき間の見知ない美しい表示
が得られた。
な７セグメント電肇が用いられている。しかしこうした
電極構造ではセグメントとセグメントの間にすき間があ
り１表示品質において改善すべき余地が残されていると
い支る。そこで、画素酸化ａを透明絶縁膜として利用し
た本発明を採１′Ｉすることができる。まず、第７図に
示すように セグｉ ｙ ） ａ （１３）、 ｇ
（１９）、 ｄ （１１）のＩＩｒ’ｉｔ ４ ＥＪｎ
Ｏ＋膜で作製したあと、実施例Ｉ）と同じ方法ｖｃｉと
して陽極酸化Ａｔ膜を形成する。続いて、セグメントｂ
（１４） 、 ｃ （１ｓ） 、 ｅ （１７）
、 ｆ （１ｓ）をｓｙ＋、ｏｉ膜Ｃでよって作製
し液晶セルを組み立てると、第８図に示したようにセグ
メントとセグメントの間にすき間の見知ない美しい表示
が得られた。
以上、実施例１）、１）で述べたように、本発明で透明
絶縁膜として利用した隣接酸化Ａｔ膜は従来のＦＩｉＣ
ｆｉ膜と比較して、膜形成時にピンホールがあくことな
く緻密な層をつくり、また熱を加えても膜にクラックが
入りにくいという長所を有してお幻、表示電極のすき間
をなくした表示品質の高い表示装置を作製する上で、き
わめて有効で（）る。
絶縁膜として利用した隣接酸化Ａｔ膜は従来のＦＩｉＣ
ｆｉ膜と比較して、膜形成時にピンホールがあくことな
く緻密な層をつくり、また熱を加えても膜にクラックが
入りにくいという長所を有してお幻、表示電極のすき間
をなくした表示品質の高い表示装置を作製する上で、き
わめて有効で（）る。
第１図は従来から知られているＸＹマ） ＩＪクス方式
による表示装置の断面図。 第２図はその平面図を示す。 第３図は他の従来から知られているＸＹマトリクス方式
による表示装置の断面図を示す。 第４図は本発明にかかる表示装置の製造方法を表わす工
稈図。 第５図は本発明にかかる表示装置の平面図である。 第６図は従来か・らある７セグメントタイプの表示装置
。 第７図及び第８図は７セグメントタイプの本発明にかか
る表示装置を示す。 １、１’、 ３・・・・・・透明電極 ２・・・・・・
透明基板４・・・・・・基板 ５・・・・・
・スペーサー６・・・・・・表示材料 ７・・・
・・・表示画面８・・・・・・Ｂ１１１膜
９・・・・・・Ａｔ膜１０・・・・・・陽極酸化ａ膜 １１−−−０＝ Ａｊ＃（残−ｐ ｆ イア） ７ ＃
ｉ ＃−Ｎ ”・１２・・・・
・・ネマチック液建層 １３・・・・・・セグメントα １４・・・・・・セ
グメントｂ１５・・・・・・セグメントｃ １６・・
・・・・セグメントｄ１７・・・・・・セグメントｅ
１Ｂ・・・・・・セグメントｆ１９・・・・・・セ
グメントｇ 以 上 出願人 株式会社 第二精工舎 第２図 ７ 第ｓ１ 第６図 第７図 ／’１ ’４ＦＨ２Ｊ
による表示装置の断面図。 第２図はその平面図を示す。 第３図は他の従来から知られているＸＹマトリクス方式
による表示装置の断面図を示す。 第４図は本発明にかかる表示装置の製造方法を表わす工
稈図。 第５図は本発明にかかる表示装置の平面図である。 第６図は従来か・らある７セグメントタイプの表示装置
。 第７図及び第８図は７セグメントタイプの本発明にかか
る表示装置を示す。 １、１’、 ３・・・・・・透明電極 ２・・・・・・
透明基板４・・・・・・基板 ５・・・・・
・スペーサー６・・・・・・表示材料 ７・・・
・・・表示画面８・・・・・・Ｂ１１１膜
９・・・・・・Ａｔ膜１０・・・・・・陽極酸化ａ膜 １１−−−０＝ Ａｊ＃（残−ｐ ｆ イア） ７ ＃
ｉ ＃−Ｎ ”・１２・・・・
・・ネマチック液建層 １３・・・・・・セグメントα １４・・・・・・セ
グメントｂ１５・・・・・・セグメントｃ １６・・
・・・・セグメントｄ１７・・・・・・セグメントｅ
１Ｂ・・・・・・セグメントｆ１９・・・・・・セ
グメントｇ 以 上 出願人 株式会社 第二精工舎 第２図 ７ 第ｓ１ 第６図 第７図 ／’１ ’４ＦＨ２Ｊ
Claims (1)
- それぞれ電極パターンを有する第１基板と第２基板とを
スペーサを介して一定の間隔に保ち、その間に表示材料
をはさんだ表示装置におい゛７−１上記電極の隣接し合
うパターンとパターンの間に、陽極酸化したＡｔを透明
絶縁膜として利用し一ヒことをＩｎ徴とする表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58098443A JPS59223412A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58098443A JPS59223412A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59223412A true JPS59223412A (ja) | 1984-12-15 |
Family
ID=14219895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58098443A Pending JPS59223412A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59223412A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02262624A (ja) * | 1989-04-03 | 1990-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネル用透明電極の構成方法 |
| EP0407164A2 (en) * | 1989-07-04 | 1991-01-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device |
| US5231526A (en) * | 1989-07-04 | 1993-07-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device with two insulating films, the second in only non-pixel areas |
-
1983
- 1983-06-02 JP JP58098443A patent/JPS59223412A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02262624A (ja) * | 1989-04-03 | 1990-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネル用透明電極の構成方法 |
| EP0407164A2 (en) * | 1989-07-04 | 1991-01-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device |
| US5231526A (en) * | 1989-07-04 | 1993-07-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device with two insulating films, the second in only non-pixel areas |
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