JPS59223412A - 表示装置 - Google Patents
表示装置Info
- Publication number
- JPS59223412A JPS59223412A JP58098443A JP9844383A JPS59223412A JP S59223412 A JPS59223412 A JP S59223412A JP 58098443 A JP58098443 A JP 58098443A JP 9844383 A JP9844383 A JP 9844383A JP S59223412 A JPS59223412 A JP S59223412A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- transparent
- anode
- transparent electrodes
- oxidized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133345—Insulating layers
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表示装置に関するものである。
現在、広く普及しているXYマ) IJクス方式による
表示装置は、第1図に示すように、ストライプ状パター
ンの透明電極1を有する透明基板2と同様にストライプ
状パターンの透明電極3.を有する基板4とを、ストラ
イプ状パターン透明電極1および3が互いに直交するよ
うにスペーサー5を介して一定の間隔に保ち、その間に
表示材料6をはさんだ構造をしている。しかし、こうし
た電接構造ではストライプとストライプの間VC6る程
度の間隔を設はなはればならず、このすき間の部分は表
示のできない領域と17て残わ、表示品質の低下の原因
となっていた。つまり、第2図に示すように、電極パタ
ーンのすき間に対応する部分が画素と画素のすき間とし
て現われ、表示画面7の有効面積が小さくなってしまう
や 従来はこうした点を改善するために、第3図に示すよう
に、透明基板2上にストライプ状パターンの透明電極1
を1本おきに作製した後、真空蒸着、あるいけスパッタ
リングによって透明なりiO1膜8を絶縁膜としてこれ
らのストライプ状透明電極の上に全面に渡りて形成し、
続いてこの透明絶縁膜の上に、下層の透明電極1のパタ
ーンが覆っていない領域をちょうど埋め合わせるように
新しい透記電極1′を作製することにより、表示画面の
すべてを有効に活用できる表示装置を作製していた。し
かし、こうした従来の方法では、隣接する透明電極のパ
ターン間に用いている透明絶縁膜が1MO2であるため
に、膜形成時にピンホールがあいたり、工程中に加える
熱が原因で膜Vchラックが入ったりしてパターン間に
絶縁不良が生じる場合が多く1画素と画素のすき間の無
い表示を得ることは、実際には非常に難しかった。
表示装置は、第1図に示すように、ストライプ状パター
ンの透明電極1を有する透明基板2と同様にストライプ
状パターンの透明電極3.を有する基板4とを、ストラ
イプ状パターン透明電極1および3が互いに直交するよ
うにスペーサー5を介して一定の間隔に保ち、その間に
表示材料6をはさんだ構造をしている。しかし、こうし
た電接構造ではストライプとストライプの間VC6る程
度の間隔を設はなはればならず、このすき間の部分は表
示のできない領域と17て残わ、表示品質の低下の原因
となっていた。つまり、第2図に示すように、電極パタ
ーンのすき間に対応する部分が画素と画素のすき間とし
て現われ、表示画面7の有効面積が小さくなってしまう
や 従来はこうした点を改善するために、第3図に示すよう
に、透明基板2上にストライプ状パターンの透明電極1
を1本おきに作製した後、真空蒸着、あるいけスパッタ
リングによって透明なりiO1膜8を絶縁膜としてこれ
らのストライプ状透明電極の上に全面に渡りて形成し、
続いてこの透明絶縁膜の上に、下層の透明電極1のパタ
ーンが覆っていない領域をちょうど埋め合わせるように
新しい透記電極1′を作製することにより、表示画面の
すべてを有効に活用できる表示装置を作製していた。し
かし、こうした従来の方法では、隣接する透明電極のパ
ターン間に用いている透明絶縁膜が1MO2であるため
に、膜形成時にピンホールがあいたり、工程中に加える
熱が原因で膜Vchラックが入ったりしてパターン間に
絶縁不良が生じる場合が多く1画素と画素のすき間の無
い表示を得ることは、実際には非常に難しかった。
本発明は上記のような欠点を除去するために、隣接する
透明電給量に陽極酸化したaを透明透縁膜として用い1
表示品質の高い表示装置を容易に作製することを目的と
している。この陽椿酸化U膜、つまりAt20g膜は、
膜厚が1μm以下シ゛bば視感透過率が90%以上あり
、しかも緻密でピンホールが無く、600℃位の熱を加
えてもクラ9りが入りにくいという特徴を持っている。
透明電給量に陽極酸化したaを透明透縁膜として用い1
表示品質の高い表示装置を容易に作製することを目的と
している。この陽椿酸化U膜、つまりAt20g膜は、
膜厚が1μm以下シ゛bば視感透過率が90%以上あり
、しかも緻密でピンホールが無く、600℃位の熱を加
えてもクラ9りが入りにくいという特徴を持っている。
以下、実施例に基づいて本発明を詳述する。
1)M4図(ロ))VC示すように、透明基板2上に透
明電極として5u02膜をOVD法、あるいはスパッタ
リング法により形成し7た後、ストライプ状透明電極1
をり゛ミカルエッチングにより作画する。
明電極として5u02膜をOVD法、あるいはスパッタ
リング法により形成し7た後、ストライプ状透明電極1
をり゛ミカルエッチングにより作画する。
この時、透明[榛1のストライプ幅とストライプ間隔が
等しくなるようにしておくと、最後1cXYマトリクス
表示装置を組み立てた時に表示される画素のかたちは正
方形となる。次に、上記ストライプ状透明電極1を有す
る透明基板2の上に、第4図(b) vc示すようKA
I膜9を真空蒸着、あるいけスパッタリングによって全
面に渡って、500 〜20000’Aの厚さで形成し
た後、透明電極1を陽極として用い、Pt板を陰榛とし
て、15wt%硫酸水溶液中で、電流密度が2m1l−
以下で一定とした直流で、室温のもとて数分間陽極酸化
し、第4図(c)に示すように透明電極1上のa膜をa
203の透明絶縁膜101Cする。この陽極酸化アルマ
イト被膜10の透過率は膜厚によって多少異なるが、可
視領域の光に対し90チ以上である。At膜9を陽極酸
化する際に、透明gE捧1士にないU膜11け完全に陽
極酸化されず、微小な島状のaがアルミナ層0中“残°
1し1う′・視感透過率1−j 50 。
等しくなるようにしておくと、最後1cXYマトリクス
表示装置を組み立てた時に表示される画素のかたちは正
方形となる。次に、上記ストライプ状透明電極1を有す
る透明基板2の上に、第4図(b) vc示すようKA
I膜9を真空蒸着、あるいけスパッタリングによって全
面に渡って、500 〜20000’Aの厚さで形成し
た後、透明電極1を陽極として用い、Pt板を陰榛とし
て、15wt%硫酸水溶液中で、電流密度が2m1l−
以下で一定とした直流で、室温のもとて数分間陽極酸化
し、第4図(c)に示すように透明電極1上のa膜をa
203の透明絶縁膜101Cする。この陽極酸化アルマ
イト被膜10の透過率は膜厚によって多少異なるが、可
視領域の光に対し90チ以上である。At膜9を陽極酸
化する際に、透明gE捧1士にないU膜11け完全に陽
極酸化されず、微小な島状のaがアルミナ層0中“残°
1し1う′・視感透過率1−j 50 。
係以下で灰色つげ〈見える。この完全には透BiJKな
りていない部分であるaを含んだa203膜11をケミ
カルエツチングによって除去すれば、第4回頭に示すよ
うな陽極酸化a被膜10を透明1極′1上にのみ作製す
ることができる。続し−て、上記のよう忙作製した、A
403の透明絶縁膜10で被われた透明電極1を有する
透明基板2の上に、全面に渡ってSn o2膜をOVD
法、あるいはスパづクリング法によって形成し、表示画
面のうち透明1!極1で覆われている部分のS?LO2
膜をケミカルエツチングにより除去すれば、第4図(6
)に示すようにストライプ状の透明電極1′を得ること
ができる。以上述べた工程によって、第4図(g)に示
したよりCで、[給量のすき間が見かけ上全くないスト
ライプ状透明電極を作製することができた。上記と全く
同じ工程を経て、陽極酸化Atを透明絶縁膜と;2て用
い、第4図(ト)に示し念電罹間にすき間の無いストラ
イプ状透明電瘉3を作製した後、透明基板2士のストラ
イブ状透明電w11および1′と、基板4上のストライ
プ状透明電極3が互いに直交するように、スペーサー5
を介して一定の間隔に保ち、その間にネマチック液晶層
12をはさむこと1てより第4図(71に示したような
TN型液晶表示装置ができた。この液晶表示装置の透明
基板2上の透明電極1と1′、および基板4上の透明電
極3の間に適当な電圧を印加しである図形を表示させる
ことにより、第5図に示すように表示画面7に電接間の
すき間の見えない美しい表示を得ることができた。
りていない部分であるaを含んだa203膜11をケミ
カルエツチングによって除去すれば、第4回頭に示すよ
うな陽極酸化a被膜10を透明1極′1上にのみ作製す
ることができる。続し−て、上記のよう忙作製した、A
403の透明絶縁膜10で被われた透明電極1を有する
透明基板2の上に、全面に渡ってSn o2膜をOVD
法、あるいはスパづクリング法によって形成し、表示画
面のうち透明1!極1で覆われている部分のS?LO2
膜をケミカルエツチングにより除去すれば、第4図(6
)に示すようにストライプ状の透明電極1′を得ること
ができる。以上述べた工程によって、第4図(g)に示
したよりCで、[給量のすき間が見かけ上全くないスト
ライプ状透明電極を作製することができた。上記と全く
同じ工程を経て、陽極酸化Atを透明絶縁膜と;2て用
い、第4図(ト)に示し念電罹間にすき間の無いストラ
イプ状透明電瘉3を作製した後、透明基板2士のストラ
イブ状透明電w11および1′と、基板4上のストライ
プ状透明電極3が互いに直交するように、スペーサー5
を介して一定の間隔に保ち、その間にネマチック液晶層
12をはさむこと1てより第4図(71に示したような
TN型液晶表示装置ができた。この液晶表示装置の透明
基板2上の透明電極1と1′、および基板4上の透明電
極3の間に適当な電圧を印加しである図形を表示させる
ことにより、第5図に示すように表示画面7に電接間の
すき間の見えない美しい表示を得ることができた。
なお、上記工程において、A40Jと5no2膜のエツ
チングは逆スパツタリング等におけるドライエツチング
でもよい。また、aの陽俸酸化浴としては上記硫酸浴以
外K、リン酸浴、クロム酸浴等の無機酸浴、あるいは、
しゅう酸浴、マロン酸浴等の有機酸浴を用いることがで
きる。さらに、陽極酸化して形成した酸化At膜を水蒸
気中や酢酸二ヴケル水溶液中で封孔処理すれば、より強
い透明絶縁膜が得られる。
チングは逆スパツタリング等におけるドライエツチング
でもよい。また、aの陽俸酸化浴としては上記硫酸浴以
外K、リン酸浴、クロム酸浴等の無機酸浴、あるいは、
しゅう酸浴、マロン酸浴等の有機酸浴を用いることがで
きる。さらに、陽極酸化して形成した酸化At膜を水蒸
気中や酢酸二ヴケル水溶液中で封孔処理すれば、より強
い透明絶縁膜が得られる。
1 ) 数字の表示には、従来から第6図に示すよう
な7セグメント電肇が用いられている。しかしこうした
電極構造ではセグメントとセグメントの間にすき間があ
り1表示品質において改善すべき余地が残されていると
い支る。そこで、画素酸化aを透明絶縁膜として利用し
た本発明を採1′Iすることができる。まず、第7図に
示すように セグi y ) a (13)、 g
(19)、 d (11)のIIr’it 4 EJn
O+膜で作製したあと、実施例I)と同じ方法vciと
して陽極酸化At膜を形成する。続いて、セグメントb
(14) 、 c (1s) 、 e (17)
、 f (1s)をsy+、oi膜Cでよって作製
し液晶セルを組み立てると、第8図に示したようにセグ
メントとセグメントの間にすき間の見知ない美しい表示
が得られた。
な7セグメント電肇が用いられている。しかしこうした
電極構造ではセグメントとセグメントの間にすき間があ
り1表示品質において改善すべき余地が残されていると
い支る。そこで、画素酸化aを透明絶縁膜として利用し
た本発明を採1′Iすることができる。まず、第7図に
示すように セグi y ) a (13)、 g
(19)、 d (11)のIIr’it 4 EJn
O+膜で作製したあと、実施例I)と同じ方法vciと
して陽極酸化At膜を形成する。続いて、セグメントb
(14) 、 c (1s) 、 e (17)
、 f (1s)をsy+、oi膜Cでよって作製
し液晶セルを組み立てると、第8図に示したようにセグ
メントとセグメントの間にすき間の見知ない美しい表示
が得られた。
以上、実施例1)、1)で述べたように、本発明で透明
絶縁膜として利用した隣接酸化At膜は従来のFIiC
fi膜と比較して、膜形成時にピンホールがあくことな
く緻密な層をつくり、また熱を加えても膜にクラックが
入りにくいという長所を有してお幻、表示電極のすき間
をなくした表示品質の高い表示装置を作製する上で、き
わめて有効で()る。
絶縁膜として利用した隣接酸化At膜は従来のFIiC
fi膜と比較して、膜形成時にピンホールがあくことな
く緻密な層をつくり、また熱を加えても膜にクラックが
入りにくいという長所を有してお幻、表示電極のすき間
をなくした表示品質の高い表示装置を作製する上で、き
わめて有効で()る。
第1図は従来から知られているXYマ) IJクス方式
による表示装置の断面図。 第2図はその平面図を示す。 第3図は他の従来から知られているXYマトリクス方式
による表示装置の断面図を示す。 第4図は本発明にかかる表示装置の製造方法を表わす工
稈図。 第5図は本発明にかかる表示装置の平面図である。 第6図は従来か・らある7セグメントタイプの表示装置
。 第7図及び第8図は7セグメントタイプの本発明にかか
る表示装置を示す。 1、1’、 3・・・・・・透明電極 2・・・・・・
透明基板4・・・・・・基板 5・・・・・
・スペーサー6・・・・・・表示材料 7・・・
・・・表示画面8・・・・・・B111膜
9・・・・・・At膜10・・・・・・陽極酸化a膜 11−−−0= Aj#(残−p f イア) 7 #
i #−N ”・12・・・・
・・ネマチック液建層 13・・・・・・セグメントα 14・・・・・・セ
グメントb15・・・・・・セグメントc 16・・
・・・・セグメントd17・・・・・・セグメントe
1B・・・・・・セグメントf19・・・・・・セ
グメントg 以 上 出願人 株式会社 第二精工舎 第2図 7 第s1 第6図 第7図 /’1 ’4FH2J
による表示装置の断面図。 第2図はその平面図を示す。 第3図は他の従来から知られているXYマトリクス方式
による表示装置の断面図を示す。 第4図は本発明にかかる表示装置の製造方法を表わす工
稈図。 第5図は本発明にかかる表示装置の平面図である。 第6図は従来か・らある7セグメントタイプの表示装置
。 第7図及び第8図は7セグメントタイプの本発明にかか
る表示装置を示す。 1、1’、 3・・・・・・透明電極 2・・・・・・
透明基板4・・・・・・基板 5・・・・・
・スペーサー6・・・・・・表示材料 7・・・
・・・表示画面8・・・・・・B111膜
9・・・・・・At膜10・・・・・・陽極酸化a膜 11−−−0= Aj#(残−p f イア) 7 #
i #−N ”・12・・・・
・・ネマチック液建層 13・・・・・・セグメントα 14・・・・・・セ
グメントb15・・・・・・セグメントc 16・・
・・・・セグメントd17・・・・・・セグメントe
1B・・・・・・セグメントf19・・・・・・セ
グメントg 以 上 出願人 株式会社 第二精工舎 第2図 7 第s1 第6図 第7図 /’1 ’4FH2J
Claims (1)
- それぞれ電極パターンを有する第1基板と第2基板とを
スペーサを介して一定の間隔に保ち、その間に表示材料
をはさんだ表示装置におい゛7−1上記電極の隣接し合
うパターンとパターンの間に、陽極酸化したAtを透明
絶縁膜として利用し一ヒことをIn徴とする表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58098443A JPS59223412A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58098443A JPS59223412A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59223412A true JPS59223412A (ja) | 1984-12-15 |
Family
ID=14219895
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58098443A Pending JPS59223412A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59223412A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02262624A (ja) * | 1989-04-03 | 1990-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネル用透明電極の構成方法 |
EP0407164A2 (en) * | 1989-07-04 | 1991-01-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device |
US5231526A (en) * | 1989-07-04 | 1993-07-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device with two insulating films, the second in only non-pixel areas |
-
1983
- 1983-06-02 JP JP58098443A patent/JPS59223412A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02262624A (ja) * | 1989-04-03 | 1990-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネル用透明電極の構成方法 |
EP0407164A2 (en) * | 1989-07-04 | 1991-01-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device |
US5231526A (en) * | 1989-07-04 | 1993-07-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device with two insulating films, the second in only non-pixel areas |
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