JPS59180527A - エレクトロクロミツク表示素子 - Google Patents
エレクトロクロミツク表示素子Info
- Publication number
- JPS59180527A JPS59180527A JP58055391A JP5539183A JPS59180527A JP S59180527 A JPS59180527 A JP S59180527A JP 58055391 A JP58055391 A JP 58055391A JP 5539183 A JP5539183 A JP 5539183A JP S59180527 A JPS59180527 A JP S59180527A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- high frequency
- electrochromic
- film
- display element
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/15—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect
- G02F1/1514—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material
- G02F1/1523—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material comprising inorganic material
- G02F1/1524—Transition metal compounds
- G02F1/15245—Transition metal compounds based on iridium oxide or hydroxide
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ） 発明の分野
この発明は酸化発色型エレクトロクロミック層を反応性
イオンブレーティング膜としたエレクトロクロミック表
示素子に関する。
イオンブレーティング膜としたエレクトロクロミック表
示素子に関する。
（ｂｌ 技術の背景
酸化発色型エレクトロクロミック層を使用したエレクト
ロクロミック表示素子は第１図に示すように３層構造の
ものが知られている。図において１１はガラス板、 １
２ａ 、１２ｂは透明導電膜（ＩＴＯ’）。
ロクロミック表示素子は第１図に示すように３層構造の
ものが知られている。図において１１はガラス板、 １
２ａ 、１２ｂは透明導電膜（ＩＴＯ’）。
１３は酸化タングステンよりなる還元発色型エレクトロ
クロミック層、１４は五酸化タンタルよりなる電解質層
、１５は酸化イリジウムよりなる酸化発色型エレクトロ
クロミック層、１６は直流電源、１７はスイッチである
。
クロミック層、１４は五酸化タンタルよりなる電解質層
、１５は酸化イリジウムよりなる酸化発色型エレクトロ
クロミック層、１６は直流電源、１７はスイッチである
。
ここで、スイッチ１７によりＩＴＯ間に矩形波を印加す
ることにより、エレクトロクロミック層１３および１５
はエレクトロクロミック現象により着色・消色を繰り返
す。このようなエレクトロクロミック表示素子は他の表
示素子例えば液晶、’ＬＥＤ。
ることにより、エレクトロクロミック層１３および１５
はエレクトロクロミック現象により着色・消色を繰り返
す。このようなエレクトロクロミック表示素子は他の表
示素子例えば液晶、’ＬＥＤ。
ＥＬに比ベコントラストが高い、視野依存性がない、メ
モリ機能を有するため消費電力が低いなど多くの利点を
有する。
モリ機能を有するため消費電力が低いなど多くの利点を
有する。
（Ｃ） 従来技術の問題点
さて、前記酸化発色型エレクトロクロミック層を得る方
法としては陽極酸化法が知られているが。
法としては陽極酸化法が知られているが。
この方法では膜厚の均一なエレクトロクロミック層を得
ることは困難であった。この膜厚の不均一は電界溶液の
被処理膜表面での不均一、被処理膜電極における電気抵
抗にもとすく電位の不均一に起因しているものと考えら
れる。したがってそれを素子に適用した場合表示色に濃
淡むらが生じるという欠点があった。また、陽極酸化法
では導電性の下地が必ず必要となり素子の構成が制限さ
れていた。
ることは困難であった。この膜厚の不均一は電界溶液の
被処理膜表面での不均一、被処理膜電極における電気抵
抗にもとすく電位の不均一に起因しているものと考えら
れる。したがってそれを素子に適用した場合表示色に濃
淡むらが生じるという欠点があった。また、陽極酸化法
では導電性の下地が必ず必要となり素子の構成が制限さ
れていた。
（ｄｌ 発明の目的
この発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、濃淡
むらのないエレクトロクロミック表示素子を提供するも
のである。
むらのないエレクトロクロミック表示素子を提供するも
のである。
（ａ） 発明の構成
このため９本発明は酸化発色型エレクトロクロミック層
を反応性、イオンブレーティング膜としたことを特徴と
する。イオンブレーティング法は導入ガスの成分、ガス
圧、成膜速度などが任意に選択できるため膜形成時の自
由度が大きく、膜の構造や構成成分を自由に変えられる
利点を有する。
を反応性、イオンブレーティング膜としたことを特徴と
する。イオンブレーティング法は導入ガスの成分、ガス
圧、成膜速度などが任意に選択できるため膜形成時の自
由度が大きく、膜の構造や構成成分を自由に変えられる
利点を有する。
（ｆｌ 発明の実施例
以下本発明の実施例を詳細に説明する。以下の実施例は
酸化発色型エレクトロクロミック層と乙で酸化イリジウ
ムを使用した例について説明するが、他に酸化ニッケル
１酸化コバルト、酸化ビスマス、酸化マンガンなどを使
用することができる。
酸化発色型エレクトロクロミック層と乙で酸化イリジウ
ムを使用した例について説明するが、他に酸化ニッケル
１酸化コバルト、酸化ビスマス、酸化マンガンなどを使
用することができる。
第２図は反応性イオンブレーティング装置の概要を示す
側面図であり、２１はベルジャ、２２はルツボ、２３は
加熱用の電子銃、２４は高周波コイル、２５は高周波電
源、２６はホルダ、２７はガス導入バルブである。ベル
ジャ２１内を真空に排気したのち１反応性ガスとして酸
素をバルブ２７より導入し、高周波コイルと高周波電源
によって酸素の高周波プラズマを作る。電子銃２３によ
って加熱されたイリジウム金属２８はルツボ２２から蒸
発し、高周波ブラダまによって酸化され、酸化物となっ
て基盤２９の導電膜３１の表面に付着する。なお、３０
はガラス板。
側面図であり、２１はベルジャ、２２はルツボ、２３は
加熱用の電子銃、２４は高周波コイル、２５は高周波電
源、２６はホルダ、２７はガス導入バルブである。ベル
ジャ２１内を真空に排気したのち１反応性ガスとして酸
素をバルブ２７より導入し、高周波コイルと高周波電源
によって酸素の高周波プラズマを作る。電子銃２３によ
って加熱されたイリジウム金属２８はルツボ２２から蒸
発し、高周波ブラダまによって酸化され、酸化物となっ
て基盤２９の導電膜３１の表面に付着する。なお、３０
はガラス板。
２６はホルダである。
１例として導入ガスは酸素、導入ガス圧は４〜６ ｘｉ
ｏ−４（Ｔｏｒｒ） 、高周波電力は５０〜１００
（Ｗ’ｌ 。
ｏ−４（Ｔｏｒｒ） 、高周波電力は５０〜１００
（Ｗ’ｌ 。
成膜速度は１〜２（人／Ｓ）である。
このようにして得られたイオンブレーティング膜の膜厚
を測定した結果を第３図に示す。第３図において横軸は
基準点からの距離（、、）、縦軸は膜厚〔人〕を示す。
を測定した結果を第３図に示す。第３図において横軸は
基準点からの距離（、、）、縦軸は膜厚〔人〕を示す。
図かられかるように、陽極酸化法によるエレクトロクロ
ミック膜Ａは基準点（例えば電界溶液の液面）から離れ
るほどに膜厚は減少するが、イオンブレーティング法に
よるエレクトロクロミック膜Ｂはどの点においても略均
−な膜厚となっている。
ミック膜Ａは基準点（例えば電界溶液の液面）から離れ
るほどに膜厚は減少するが、イオンブレーティング法に
よるエレクトロクロミック膜Ｂはどの点においても略均
−な膜厚となっている。
（ｇ） 発明の詳細
な説明したように本発明によれば酸化発色型エレクトロ
クロミック層を反応性イオンブレーティング膜としたも
のであるから、エレクトロクロミック表示素子に適用し
た場合表示色の濃淡むらがなく、特に表示面積の大きい
エレクトロクロミック膜の形成に敵している。
クロミック層を反応性イオンブレーティング膜としたも
のであるから、エレクトロクロミック表示素子に適用し
た場合表示色の濃淡むらがなく、特に表示面積の大きい
エレクトロクロミック膜の形成に敵している。
第１図は従来の３層構造のエレクトロクロミック表示素
子を示す側断面図、第２図は反応イオンブレーティング
装置の概要を示す側面図、第３図はエレクトロクロミッ
ク膜の厚さを示す特性図である。 図中、１１はガラス板、 １２ａ 、１２ｂは透明導電
膜（ＩＴ○）、１３は酸化タングステンよりなる還元発
色型エレクトロクロミック層、１４は五酸化タンタルよ
りなる電解質層、１５は酸化イリジウムよりなる酸化発
色型エレクトロクロミック層、２８はイリジウム金属、
３０はガラス板、３１は１１’Ｏである。
子を示す側断面図、第２図は反応イオンブレーティング
装置の概要を示す側面図、第３図はエレクトロクロミッ
ク膜の厚さを示す特性図である。 図中、１１はガラス板、 １２ａ 、１２ｂは透明導電
膜（ＩＴ○）、１３は酸化タングステンよりなる還元発
色型エレクトロクロミック層、１４は五酸化タンタルよ
りなる電解質層、１５は酸化イリジウムよりなる酸化発
色型エレクトロクロミック層、２８はイリジウム金属、
３０はガラス板、３１は１１’Ｏである。
Claims (1)
- １対の電極間に電解質層と少なくとも酸化発色型エレク
トロクロミック層を有するエレクトロクロミック表示素
子において、前記酸化発色型エレクトロクロミック層を
反応性イオンブレーティング膜より構成したごとを特徴
とするエレクトロクロミック表示素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58055391A JPS59180527A (ja) | 1983-03-30 | 1983-03-30 | エレクトロクロミツク表示素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58055391A JPS59180527A (ja) | 1983-03-30 | 1983-03-30 | エレクトロクロミツク表示素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59180527A true JPS59180527A (ja) | 1984-10-13 |
Family
ID=12997213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58055391A Pending JPS59180527A (ja) | 1983-03-30 | 1983-03-30 | エレクトロクロミツク表示素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59180527A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4842382A (en) * | 1987-12-24 | 1989-06-27 | Ford Motor Company | Electrochromic device, new cathodic electrochromic material and method of making |
-
1983
- 1983-03-30 JP JP58055391A patent/JPS59180527A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4842382A (en) * | 1987-12-24 | 1989-06-27 | Ford Motor Company | Electrochromic device, new cathodic electrochromic material and method of making |
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