JPS59222326A - 樹脂封止装置 - Google Patents

樹脂封止装置

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Publication number
JPS59222326A
JPS59222326A JP58098382A JP9838283A JPS59222326A JP S59222326 A JPS59222326 A JP S59222326A JP 58098382 A JP58098382 A JP 58098382A JP 9838283 A JP9838283 A JP 9838283A JP S59222326 A JPS59222326 A JP S59222326A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
speed
resin
plunger
viscosity
descending
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58098382A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomio Okamoto
岡本 富美夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electronics Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electronics Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electronics Corp
Priority to JP58098382A priority Critical patent/JPS59222326A/ja
Publication of JPS59222326A publication Critical patent/JPS59222326A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/76Measuring, controlling or regulating
    • B29C45/77Measuring, controlling or regulating of velocity or pressure of moulding material

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Fluid-Pressure Circuits (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はプシンジャー降下速度の変更機構を有する樹脂
封止装置に関する。
従来例の構成とその問題点 従来の樹脂封止工程の一例を第1図を使って説明する。
まず、適当な形状に仮成形、された封止樹脂を高周波な
どで一定温度になるまで予備加熱し、ポット1に入れる
。樹脂はプランジャー2の圧力によって射出され、金型
3内に入り、カル4.ランナー5を通り、封止すべき素
子が納められたキャビティー6に達し、160〜180
″Cの温度で30〜120秒間で硬化が完了し、所望の
形状の封止部が形成される。その後ポストキュアーと呼
ばれる二次硬化が行なわれる場合もある。
プランジャー2は起動スイッチによって電磁弁10を開
くと油圧源11の圧力が油圧系8を通してプランジャー
シリンダーアに伝達されて降下する。降−ド速度は速度
調節パルプ9の開は具合によってコントロールできる。
降下速度は樹脂を射出し始めてから金型3内への充填が
完了するまでほぼ一定である〇 一方、射出開始から充填完了までの樹脂の粘度変化は第
2図のようになる。予備加熱で90〜1oo”cに加熱
された樹脂は射出開始後さらに温度が上昇し、粘度は低
下する(領域2L)oその後硬化が始するまでは低粘度
を保ち(領域b)、硬化が始まると粘度が上昇する(領
域C)。
実際の樹脂封止工程では、プランジャー2の速度を比較
的大きくした場合、たとえば射出開始から充填完了捷で
15秒間に調節した場合にはカル4に近いキャビティー
6には領域乙の高粘度の樹脂が大きな速度で流入するた
め、素子のボンディングワイヤーが倒されるという問題
が化シル。
寸だ、比較的小さなプランジャー2の速度、たとえば射
出開始から充填完了まで20秒間を要するように調節し
た場合には、カル4に近いキャビティー6での樹脂によ
るボンディングワイヤーへのダメージは低減できるが、
ランナー5の終端に近いキャビティーに樹脂が到達する
までに樹脂の硬化が始まり(領域C)、高粘度の樹脂が
流入するだめ、低速度といえども、ボンディングワイヤ
ーがダメージを受ける。
予備加熱時間を長くして、領域aでの樹脂の粘度を低く
すれば、カル4に近いキャビティー〇でのボンディング
ワイヤーへの影響ハ小さくできるが、硬化の開始が早く
なり、プランジャー2の速度を大きくしても、樹脂がラ
ンナー終端部に到達するまでに樹脂が高粘度になシ、ラ
ンナ−5終端部めキャビティー6ではボンディングワイ
ヤーへのダメージはさけられない。このような問題は金
型が大型化しまた速硬化タイプの樹脂の導入が進むにつ
れ深刻になってきた。
発明の目的 本発明は上述のような従来装置に見られた問題を解消し
、金型内の全キャビティーにわたって樹脂によるボンデ
ィングワイヤーへのダメージが少ない封止工程をiJ能
とした製造装置を提供するものである。
発明の構成 本発明はプランジャー降下速度を降下中に変更できるよ
うな構造をもつ樹脂封止装置であり、これによれば、樹
脂の粘度変化に応じて射出速度をコントロールできるの
で、封止素子のボンディングワイヤーが樹脂によるダメ
ージで倒される問題を解決できる。
実施例の説明 第3図は本発明の一実施例による樹脂封止装置の構成を
示す。同装置を用いた封止工程を以下に説明する。
予備加熱の終わった樹脂をボット1に入れる。
プランジャー起動スイッチにより電磁弁10aを開くと
プランシャ−2が降下する。降下速度は速度調節バルブ
9aで決捷る。同バルブ9aはプランジャー2の速度が
比較的小さくなるように、たとえば、もし一定の速度で
降下したならば樹脂の射出開始から充填完了捷で20秒
間を要する程度の速度に調節しておく。射出開始から樹
脂の粘度が充分低下していないと思われる一定時間(第
2図において領域a)、この速度で射出する。この時間
は樹脂の種類、金型の種類、形状、予備加熱時間の長短
により異なるが、3〜6秒間が適当である。所定の時間
に達すると、予めセットされたタイマー12、もしくは
プランジャー軸その他の駆動部に設けた位置検出スイッ
チにより、電磁弁1C)aを閉じ、同時に電磁弁1ob
を開ける。速度調節バルブ9bは速度調節バルブ9fL
に比してプランジャー速度が20〜30%大きくなるよ
うに設定されており、樹脂はこの時点から比較的大きな
速度で射出されるようになる。
このように、プランシャーによる樹脂射出速度を2段階
に切りかえることにより、樹脂が高粘度である間は小さ
な速度で射出されるだめ、特にカル4に近いキャビティ
ー6に納められた素子のボンディングワイヤーが受ける
ダメージを軽減でき、また、樹脂が低粘度になれば比較
的大きな速度で樹脂をΩ]出し、硬化によって樹脂の粘
度が再び高くならないうちにランナー終端のキャビティ
ー6にまで樹脂が到達するだめ、同キャビティー6内の
−z 子のボンデインクワイヤーがダメージをうけるこ
ともない。
なお、本発明の応用は本実施例に限られない。
必要によれば、電磁弁および速度調節バルブをそれぞれ
3以上設けてより細かな射出速度の変更を行なうことも
できる。
発明の効果 以上述べたように本発明によれば、プランジャーによる
樹脂射出速度を樹脂の粘度変化に応じてプランジャー降
下中に適度に変更制御することにより、大型の金型を用
いる封止工程においても、金型内の全キャビティーにわ
たって、素手のボンディングワイヤーへのダメージを小
さくシ、良好な封止を実現できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来装置例の油圧系統の接続とプランジャー、
金型部分の断面を示した概略図、第2図は樹脂の粘度変
化を示す特性図、第3図は本発明実施例装置の油圧系統
の接続とプランジャー、金型部分の断面を示した概略図
である。 1 ・・・・・ボット、2・・・・・・プランジャー、
3・・・・・・金型、4・・・・・カル、5・・・・・
ランナー、6・・・・・・キャビディー、7・・・・・
グラ/ジャーシリンダー、8・・・・・・油圧系、ga
 、9b・・・・・速度調節バルブ、10a。 10b・・・・・・電磁弁、11・・・・・・油圧源、
12・・・・タイマー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 δ 第2図 時間 第3図 45乙

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 プランジャーの圧力によシ封止用の樹脂を素子が納めら
    れたキャビティーに供給するものであって、前記プラン
    ジャーの降下を制御する油圧系統に少なくとも2以上の
    独立した速度調節パルプを有17、前記プランジャー降
    下中の降下速度を前記才対月昌 バルブにより変更することを特徴とする栴絣封止装置。
JP58098382A 1983-06-02 1983-06-02 樹脂封止装置 Pending JPS59222326A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58098382A JPS59222326A (ja) 1983-06-02 1983-06-02 樹脂封止装置

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58098382A JPS59222326A (ja) 1983-06-02 1983-06-02 樹脂封止装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59222326A true JPS59222326A (ja) 1984-12-14

Family

ID=14218314

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58098382A Pending JPS59222326A (ja) 1983-06-02 1983-06-02 樹脂封止装置

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JP (1) JPS59222326A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6371530U (ja) * 1986-10-30 1988-05-13
US6457963B1 (en) 1999-08-09 2002-10-01 Sony Corporation Resin-sealing apparatus

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6371530U (ja) * 1986-10-30 1988-05-13
US6457963B1 (en) 1999-08-09 2002-10-01 Sony Corporation Resin-sealing apparatus
SG97910A1 (en) * 1999-08-09 2003-08-20 Sony Corp Resin-sealing apparatus

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