JPS59221482A - 真空装置排気系の防振装置 - Google Patents
真空装置排気系の防振装置Info
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- JPS59221482A JPS59221482A JP9490083A JP9490083A JPS59221482A JP S59221482 A JPS59221482 A JP S59221482A JP 9490083 A JP9490083 A JP 9490083A JP 9490083 A JP9490083 A JP 9490083A JP S59221482 A JPS59221482 A JP S59221482A
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- Japan
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- vacuum
- vacuum pump
- vibration
- balance
- bellows
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- Pending
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
- F04B37/16—Means for nullifying unswept space
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Compressor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は直空装置排気系の防振装置に係り、特に、真空
ポンプの下方に真空ポンプの背圧を相殺するバランス用
真空室を設けた真空装置排気系の防振装置に関する。
ポンプの下方に真空ポンプの背圧を相殺するバランス用
真空室を設けた真空装置排気系の防振装置に関する。
電子ＦｊｊＪ微鏡や電子ビーム描画装置のような真空装
置においては、装置内を真空にするため真空ポンプを用
いているが、上記真空装置では真空ポンプが振動源にな
らないように防振処置が施され、又真空装置の設置、移
設工事等の簡便化のため真空ポンプを床面上に据付ける
ことなくベースに吊下げるようにしている。従来このよ
うな真空装置排気系の防振装置として第１図に示すよう
なものがある（公ＩＪｕ特許公報、昭５６−６０８９５
）。図において、１は真空装置、２は真空装置１の内
部に接続される主排気管であり、共に除振装置３及び架
台４を介して床５に取付けられるベース６に隣接して支
持されている。
置においては、装置内を真空にするため真空ポンプを用
いているが、上記真空装置では真空ポンプが振動源にな
らないように防振処置が施され、又真空装置の設置、移
設工事等の簡便化のため真空ポンプを床面上に据付ける
ことなくベースに吊下げるようにしている。従来このよ
うな真空装置排気系の防振装置として第１図に示すよう
なものがある（公ＩＪｕ特許公報、昭５６−６０８９５
）。図において、１は真空装置、２は真空装置１の内
部に接続される主排気管であり、共に除振装置３及び架
台４を介して床５に取付けられるベース６に隣接して支
持されている。
そして上記主排気管２の下部２には真空ポンプ１が振動
吸収用のベローズ８を介して取付けられ、実質的に上記
基台６に吊下げられる状態に保持されていると共に、こ
の真空ポンプ１の下９１′”ｄには、上記ｒ１空装置内
を真空にすることによって受けるｌ、ｃ’４：ｆポンプ
の背圧に見合った爪り９が取イ」けられている。すなわ
ち、この重り９により真空ポンプγが上方にＩ・ψ引さ
れ、上記ベローズ８が圧糾ｉされて機能を央うことを防
止するようにしている。尚第１図中、１０はベローズ８
が伸び過ぎるのを防止する企１金、１１は真空ポンプ７
のＬ１１゛気口である。
吸収用のベローズ８を介して取付けられ、実質的に上記
基台６に吊下げられる状態に保持されていると共に、こ
の真空ポンプ１の下９１′”ｄには、上記ｒ１空装置内
を真空にすることによって受けるｌ、ｃ’４：ｆポンプ
の背圧に見合った爪り９が取イ」けられている。すなわ
ち、この重り９により真空ポンプγが上方にＩ・ψ引さ
れ、上記ベローズ８が圧糾ｉされて機能を央うことを防
止するようにしている。尚第１図中、１０はベローズ８
が伸び過ぎるのを防止する企１金、１１は真空ポンプ７
のＬ１１゛気口である。
ところで真空装置が大型化し、又高性能化すると、これ
に応じた排気性能の大きい真空ポンプがｆｌｉｉｊえら
れ、ベローズもその排気性能に見合った大きなイｊ効ｔ
：ｈｉ？ｊｉ槓を有するものが用いられることに／ｆる
。しかしながら−Ｊ′記従来の２″（空装置Ｊｉ’ｌ”
ＭＣ系の防４）、４装置゛ｔにあっ°Ｃは、ベローズ８
の圧縮防止をｉｌｉ、’、７１リボンプ７の下Ω：６１
に取イ」けられた１’＜す９で実施しているので、］Ｉ
Ｖ、１］けられる重り９の車１１；を犬ぎくしなけれ（
：１ならないことになり、車りがｉ【くなると重り９の
取付はスペースも大きく口゛ると共に、組立、保守作業
がやりにくくなるという問題があった。又ｉＴｉす９が
重くなると、この重り９がベース６の除振装置３に直接
影響を及はし、架台全体の振動バランスを崩すので重り
９が取付けられる主排気管２のベースへの取付位置を変
更するか、除振装置３への荷重配分を変更しなければな
らないという問題があった。
に応じた排気性能の大きい真空ポンプがｆｌｉｉｊえら
れ、ベローズもその排気性能に見合った大きなイｊ効ｔ
：ｈｉ？ｊｉ槓を有するものが用いられることに／ｆる
。しかしながら−Ｊ′記従来の２″（空装置Ｊｉ’ｌ”
ＭＣ系の防４）、４装置゛ｔにあっ°Ｃは、ベローズ８
の圧縮防止をｉｌｉ、’、７１リボンプ７の下Ω：６１
に取イ」けられた１’＜す９で実施しているので、］Ｉ
Ｖ、１］けられる重り９の車１１；を犬ぎくしなけれ（
：１ならないことになり、車りがｉ【くなると重り９の
取付はスペースも大きく口゛ると共に、組立、保守作業
がやりにくくなるという問題があった。又ｉＴｉす９が
重くなると、この重り９がベース６の除振装置３に直接
影響を及はし、架台全体の振動バランスを崩すので重り
９が取付けられる主排気管２のベースへの取付位置を変
更するか、除振装置３への荷重配分を変更しなければな
らないという問題があった。
本発明は、上記従来の間居点に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、真空ポンプの下面に真空ポン
プの背圧を相殺するバランス用真空室を設けて、振動吸
収体の防振性を損なわないようにすると共に、防振装置
の取付スペースを杼力小さくシ、又その保守性をよくす
る一方、防振装置が架台の除振装置の振動バランスに影
響を及ばさない真空装置排気系の防振装置を提供するも
のである。そして本発明は、上記ベースに」二端を取付
けられた。支持部材の下部に形成された上向きの四部と
上記ｆａｔｅ ？！７ＩＩ吸収体の有効断面積と同一面
積を治して上記凹８部内に嵌挿され、四部の側壁との間
をバネ定数の低い弾性体で連結した真空ポンプの下面と
によりバランス用真空室を設け、」二記真空ポンプの作
動ニＩｓ’ｌｉ ＞１（ｉＬ、てバランス用１゛を空室
内を減圧するようにしたことを妻′旨としている。
その目的とするところは、真空ポンプの下面に真空ポン
プの背圧を相殺するバランス用真空室を設けて、振動吸
収体の防振性を損なわないようにすると共に、防振装置
の取付スペースを杼力小さくシ、又その保守性をよくす
る一方、防振装置が架台の除振装置の振動バランスに影
響を及ばさない真空装置排気系の防振装置を提供するも
のである。そして本発明は、上記ベースに」二端を取付
けられた。支持部材の下部に形成された上向きの四部と
上記ｆａｔｅ ？！７ＩＩ吸収体の有効断面積と同一面
積を治して上記凹８部内に嵌挿され、四部の側壁との間
をバネ定数の低い弾性体で連結した真空ポンプの下面と
によりバランス用真空室を設け、」二記真空ポンプの作
動ニＩｓ’ｌｉ ＞１（ｉＬ、てバランス用１゛を空室
内を減圧するようにしたことを妻′旨としている。
以下、本発明を添伺［う６ ｉｆ’、ｉに示す実施例に
基づきｎ（＝ ｔｉｌｌ ニｒ１１１！明すル。
基づきｎ（＝ ｔｉｌｌ ニｒ１１１！明すル。
第２図はイ・°発明に係る振動装置Ｕ１・気系の防振装
置の全体説明図である。図において、１は真空装置６゛
であり、従３Ｊｒ、と同ｃ１；に、床５に設置した架台
４に床振動の伝斤を防止する除振装置３を介して設（・
］たベース６上に載１；Ｊ、ｌされ、その直下にこの真
空ｊＪ５置１の内部に接続される主排気管２がＪ＋Ｖ付
けらＪｌている。そしてこの主Ｕ１．気管２の下方に、
振動吸収体であるベローズ８を介して↓゛モ？１″１．
ポンプフ取付けられ、この１４ｒ空ポンプ７は上記真空
装置１に辻ｊ１↑ｊすると共に実質的に上記ベース６に
吊下げられる状ル（、になっているが、従来とゲノ５す
、上記真空ポンプ７の下方には、真空装ｆｉ”ｊ １内
を真空にすることによって真空ポンプ１が」一方に１汲
引されるカを相殺するバランス用真空室１２が設けられ
ている。このバランス用真空室１２は支持部拐１３を介
して上記ベース６に保持される底板１４で形成される四
部１５と、下面７ａ押上板１８と止具１９により取付け
られるバネ定数の低い弾“１／Ｊ：体としてのベロフラ
ム１７を有して上記四部１５内に嵌挿され、凹部１５の
側壁１６との間を上記ベロフラム１１を撓ませるように
して連結すると共に、四部１５の開口上部を封鎖した真
空ポンプ７の下面１ａとで構成されている。そしてこの
ベロフラム１γは上記ベローズ８の有効断面積Ａと同一
の有効断面積Ｂを有すると共に、上記ベロフラム１γの
撓みにより所定の上下動及び水平動が自白になっている
。又四部１５の一側面には排気口２ｏが設けられ可撓９
♀２１を介して図示外のＩＩ＆’ｊｌポンプに接続さね
ている。そしてこの吸引ポンプは上記真空ポンプと連動
して作動し、バランス用真空室内を減圧している。尚第
２図中、２２は真空ポンプの排気口であり、ｏ■撓管２
３を介して、必要に応じて設けられる補助真空ポンプ（
図示外）に接続されるようになっている。
置の全体説明図である。図において、１は真空装置６゛
であり、従３Ｊｒ、と同ｃ１；に、床５に設置した架台
４に床振動の伝斤を防止する除振装置３を介して設（・
］たベース６上に載１；Ｊ、ｌされ、その直下にこの真
空ｊＪ５置１の内部に接続される主排気管２がＪ＋Ｖ付
けらＪｌている。そしてこの主Ｕ１．気管２の下方に、
振動吸収体であるベローズ８を介して↓゛モ？１″１．
ポンプフ取付けられ、この１４ｒ空ポンプ７は上記真空
装置１に辻ｊ１↑ｊすると共に実質的に上記ベース６に
吊下げられる状ル（、になっているが、従来とゲノ５す
、上記真空ポンプ７の下方には、真空装ｆｉ”ｊ １内
を真空にすることによって真空ポンプ１が」一方に１汲
引されるカを相殺するバランス用真空室１２が設けられ
ている。このバランス用真空室１２は支持部拐１３を介
して上記ベース６に保持される底板１４で形成される四
部１５と、下面７ａ押上板１８と止具１９により取付け
られるバネ定数の低い弾“１／Ｊ：体としてのベロフラ
ム１７を有して上記四部１５内に嵌挿され、凹部１５の
側壁１６との間を上記ベロフラム１１を撓ませるように
して連結すると共に、四部１５の開口上部を封鎖した真
空ポンプ７の下面１ａとで構成されている。そしてこの
ベロフラム１γは上記ベローズ８の有効断面積Ａと同一
の有効断面積Ｂを有すると共に、上記ベロフラム１γの
撓みにより所定の上下動及び水平動が自白になっている
。又四部１５の一側面には排気口２ｏが設けられ可撓９
♀２１を介して図示外のＩＩ＆’ｊｌポンプに接続さね
ている。そしてこの吸引ポンプは上記真空ポンプと連動
して作動し、バランス用真空室内を減圧している。尚第
２図中、２２は真空ポンプの排気口であり、ｏ■撓管２
３を介して、必要に応じて設けられる補助真空ポンプ（
図示外）に接続されるようになっている。
従って本実施例によれは、↓″工空ボンー７°７の下ｒ
Ｘｌ（にバランス用真空室１２を設け、該、（ランス用
真空室１２によって、直梨１シ；置１を真空にすること
により、真紫ポンプγが上方に吸引される力を相殺″し
、上ド方向の移動がないようにバランスさＵ゛たので、
真空ポンプ７に接続されるベローズ°８が月−ガイ、１
されることなく町１自山長で４幾能し、良好な防４Ｍ性
を石１持することができる。また、上記真空ポンプ７は
ベロフラム１γを介して上記支持部拐１３に連結されて
いるので、真空ポンプ１の振！助はベースＧ側には伝達
されない。又本実施例によれば、真空装Ｒ゛１゛の大型
化、高性能に伴って貞檗ポンプが大型化し、それにイ）
１′ってベローズが大型化し、有効１ｆ）ｉ ｒ（＋目
Ｉｊ１が大きくなっても、単に」１記バランス用真空室
を’ｌ’ｌｊ’； Ｄ’＜するベロフラムの有効断面積
を大きくずれはよく、従来のように大きな重りを必要と
ぜず又余分の取付スペースも必要としない。
Ｘｌ（にバランス用真空室１２を設け、該、（ランス用
真空室１２によって、直梨１シ；置１を真空にすること
により、真紫ポンプγが上方に吸引される力を相殺″し
、上ド方向の移動がないようにバランスさＵ゛たので、
真空ポンプ７に接続されるベローズ°８が月−ガイ、１
されることなく町１自山長で４幾能し、良好な防４Ｍ性
を石１持することができる。また、上記真空ポンプ７は
ベロフラム１γを介して上記支持部拐１３に連結されて
いるので、真空ポンプ１の振！助はベースＧ側には伝達
されない。又本実施例によれば、真空装Ｒ゛１゛の大型
化、高性能に伴って貞檗ポンプが大型化し、それにイ）
１′ってベローズが大型化し、有効１ｆ）ｉ ｒ（＋目
Ｉｊ１が大きくなっても、単に」１記バランス用真空室
を’ｌ’ｌｊ’； Ｄ’＜するベロフラムの有効断面積
を大きくずれはよく、従来のように大きな重りを必要と
ぜず又余分の取付スペースも必要としない。
次に第３図に本発明の第２の実ＤＩ、例を示している。
この実１ｆｆ！！例では、上記第１の実１７ｎｉ例で真
空ポンプが補助真空ポンプを必要とする場合、バランス
用真空室の排気口を真空ポンプの排気口に接続したもの
である。図において２２は真空ポンプ７の排気口であり
、可撓包・２３を介して図示外の補助真空ポンプに接続
されている。そしてバランス用真空室１２の排気口２０
は可撓管２１を介して上記真空ポンプ７の排気口２２に
連続されている。この場合、真空ポンプ及びバランス用
真空￥１２の排気を図示外の補助真空ポンプぞ同筒に行
うので、ベローズ８内とバランス用真空室１２の差圧に
よる吸引力は常詩無視しうる程度のものであり、こねに
よる真空ポンプ７の上下動はベロフラム１７で（ｈｚ収
可能であると共に、ベローズ８には異常な力が作用する
ことはない。
空ポンプが補助真空ポンプを必要とする場合、バランス
用真空室の排気口を真空ポンプの排気口に接続したもの
である。図において２２は真空ポンプ７の排気口であり
、可撓包・２３を介して図示外の補助真空ポンプに接続
されている。そしてバランス用真空室１２の排気口２０
は可撓管２１を介して上記真空ポンプ７の排気口２２に
連続されている。この場合、真空ポンプ及びバランス用
真空￥１２の排気を図示外の補助真空ポンプぞ同筒に行
うので、ベローズ８内とバランス用真空室１２の差圧に
よる吸引力は常詩無視しうる程度のものであり、こねに
よる真空ポンプ７の上下動はベロフラム１７で（ｈｚ収
可能であると共に、ベローズ８には異常な力が作用する
ことはない。
次に第４図に本発明の第３の実Ｍｉｉ例を示している。
この実施例は上記第２の実施例と異り、補助真空ポンプ
を使用しない場合の例である。
を使用しない場合の例である。
図において２４はベローズ８の近傍にＷｋ Ｉ〕られた
補助吸気口であり、バランス用真空室の排気口２０は可
撓管２１を介して上記補助吸気０２４に接続されている
。この場合ベローズ８内七バランス用Ｌ′ｒ空室１２と
の差圧は常時零に９ｔしく、ベローズ８に上下方向の吸
引力は作用しない。又ベローズ８に異常な力か作用する
こともない。
補助吸気口であり、バランス用真空室の排気口２０は可
撓管２１を介して上記補助吸気０２４に接続されている
。この場合ベローズ８内七バランス用Ｌ′ｒ空室１２と
の差圧は常時零に９ｔしく、ベローズ８に上下方向の吸
引力は作用しない。又ベローズ８に異常な力か作用する
こともない。
尚」−記各実！ｌｉｊ例において、バランス用真空室１
２が真空ポンプ７及び図示外の１１１１助↓゛１．空ポ
ンプにとって大きな負荷となる場合には、バランス用真
空室１２の刊気に１２０にバルブ等を設け、バランス用
し′Ｃ空室１２全１７ｊ−気した後、このバルブを閉じ
るようにすわばよい。
２が真空ポンプ７及び図示外の１１１１助↓゛１．空ポ
ンプにとって大きな負荷となる場合には、バランス用真
空室１２の刊気に１２０にバルブ等を設け、バランス用
し′Ｃ空室１２全１７ｊ−気した後、このバルブを閉じ
るようにすわばよい。
以上１説明したように、本発明に際る真空装置１ノ１気
糸の防振装置によれは、真空ポンプの下部にＬ′モ空装
置を真空にすることによって直空ポンプが受けるｊｊ、
：Ｈ４引力を相ｆ；３するバランス用真空室を設けたの
で、１ノ’： ｐＩｌ 吸’ＩＭ ’ｆ’ｆ’としての
ベローズがＩ４−４橢・）さ、ｌすること／４く、略自
由長でイ、ｊ・： ｆｒＥ：することができ、その防振
性が失われる恐れは全くない。
糸の防振装置によれは、真空ポンプの下部にＬ′モ空装
置を真空にすることによって直空ポンプが受けるｊｊ、
：Ｈ４引力を相ｆ；３するバランス用真空室を設けたの
で、１ノ’： ｐＩｌ 吸’ＩＭ ’ｆ’ｆ’としての
ベローズがＩ４−４橢・）さ、ｌすること／４く、略自
由長でイ、ｊ・： ｆｒＥ：することができ、その防振
性が失われる恐れは全くない。
又真空装置ｉ’ｉの大型化、篩性能化に伴って真空ポン
プが大型化し、それにイ゛１ってイ」動向面積の大ぎい
ベローズが用いられても、単にバランス用真空室の有効
断面積を拡大するだけで対応することができ、余分なス
ペースを必要としない。
プが大型化し、それにイ゛１ってイ」動向面積の大ぎい
ベローズが用いられても、単にバランス用真空室の有効
断面積を拡大するだけで対応することができ、余分なス
ペースを必要としない。
ざらに又、従来のように重Ｊ１４の大きい重りによって
架台全体のＪＭ Ｗｊバランスを崩す恐れもないので、
主排気管のベースへの取付位置を変更するか除振装置へ
の荷重１分を変更する必要もない。
架台全体のＪＭ Ｗｊバランスを崩す恐れもないので、
主排気管のベースへの取付位置を変更するか除振装置へ
の荷重１分を変更する必要もない。
第１図は従来の真空装置排気系の防振装置を示す全体説
明図、第２図は本発明に係る真空装置排気系の防振装置
の第一実施例を示す全体説明図、第３図は本発明の第二
実施例を示す要部説明図、第４図は本発明の第三実施例
を示す全体説明図である。 １・・・真空装置バ ２・・・主排気管３・・
・除振装置 ４・・・架台６°°°ベース
７・・・真空ポンプ８・・・振動吸収体（ベロ
ーズ） １２・−・バランス用真空室 １５・・・四部１７・
・・バネ定数の低い弾性体（ベロフラノ・）第１１’）
：１ 第 ２ 図
明図、第２図は本発明に係る真空装置排気系の防振装置
の第一実施例を示す全体説明図、第３図は本発明の第二
実施例を示す要部説明図、第４図は本発明の第三実施例
を示す全体説明図である。 １・・・真空装置バ ２・・・主排気管３・・
・除振装置 ４・・・架台６°°°ベース
７・・・真空ポンプ８・・・振動吸収体（ベロ
ーズ） １２・−・バランス用真空室 １５・・・四部１７・
・・バネ定数の低い弾性体（ベロフラノ・）第１１’）
：１ 第 ２ 図
Claims (1)
- 除振装ｆｅｆｆを介して架台に取付けられるベースに載
置される真空装置Ｎと、この工！−５空装置に連結され
る主ＪＪＩ’気り１と、この主排気管に弾性構造を有す
る振動吸収体を介して吊下げられる真空ポンプとを有す
る真空装置排気系の防振装置において、上記ベースに上
端を取付けられた支持部側の下部に形成された上向きの
四部と、上記振與１吸収体の有効１１ｒ面積と同一面積
を有して上記四部内に嵌挿され、四部の側壁との間をバ
ネ定数の低い弾性体で連結した真空ポンプの下面とによ
りバランス用真空室を設け、上記真空ポンプの作動と関
連してバランス用真空室内を減圧することを特殺とする
真空装置ｔｔ排気系の防振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9490083A JPS59221482A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 真空装置排気系の防振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9490083A JPS59221482A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 真空装置排気系の防振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59221482A true JPS59221482A (ja) | 1984-12-13 |
Family
ID=14122900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9490083A Pending JPS59221482A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 真空装置排気系の防振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59221482A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003049771A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-21 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプの接続構造及び真空ポンプ |
| KR101060068B1 (ko) | 2010-06-04 | 2011-08-29 | 현대위아 주식회사 | 진동시험장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5660895A (en) * | 1979-10-25 | 1981-05-26 | Jeol Ltd | Evacuation system of electron microscope |
| JPS5664195A (en) * | 1979-10-25 | 1981-06-01 | Jeol Ltd | Exhaust system in electron microscope or the like |
-
1983
- 1983-05-31 JP JP9490083A patent/JPS59221482A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5660895A (en) * | 1979-10-25 | 1981-05-26 | Jeol Ltd | Evacuation system of electron microscope |
| JPS5664195A (en) * | 1979-10-25 | 1981-06-01 | Jeol Ltd | Exhaust system in electron microscope or the like |
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| JP4672204B2 (ja) * | 2001-08-03 | 2011-04-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプの接続構造及び真空ポンプ |
| KR101060068B1 (ko) | 2010-06-04 | 2011-08-29 | 현대위아 주식회사 | 진동시험장치 |
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