JPS59203715A - 複合セラミックス粉末の製造方法 - Google Patents

複合セラミックス粉末の製造方法

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JPS59203715A
JPS59203715A JP58076430A JP7643083A JPS59203715A JP S59203715 A JPS59203715 A JP S59203715A JP 58076430 A JP58076430 A JP 58076430A JP 7643083 A JP7643083 A JP 7643083A JP S59203715 A JPS59203715 A JP S59203715A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は窒化アルミニウム粉末の表面を炭化ケイ素で被
覆した複合セラミックス粉末の製造方法に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
窒化アルミニウム(AIN )焼結体は耐熱性、耐熱衝
撃性、熱伝導性に優れているため最近、1− 高温材料としても注目されている。しかしながら、A7
N焼結体は化学的にやや不安定な性質があり、特に水分
と反応してアンモニアを作シながら、自身が酸化物に変
換される。このため、長期−間安定した機能が求められ
る部材への適用には問題があった。特に焼結体の原料と
なるAIN粉末は上記現象が顕著に現われ、樹脂へのフ
ィラーとして添加される場合も問題視されている。
このようなことから、本出願人は既に出願発明としてA
IN粉末表面に炭化ケイ素を被覆した化学的に安定で、
かつ良熱伝導性の複合セラミックス粉末を提案した。こ
うした複合セラミックス粉末の製造方法の一例として、
AIN粉末に外部から活性なSiとCを導入してAJN
粉末の表面に炭化ケイ素を沈着して被覆方法を記載した
しかしながら、この方法にあっては各AIN粉末に均一
かつ十分な炭化ケイ素皮膜を被覆できなかった。
〔発明の目的〕
本発明はAIN粉末に均一かつ十分な炭化ケイ素皮膜を
被覆した化学的に安定な勧セラミックス粉末を量産的に
製造し得る方法を提供しようとするものである。
〔発明の概要〕
本発明は窒化アルミニウム粉末の表面を炭化ケイ素で被
覆した複合セラミックス粉末の製造にあたり、メチル珪
酸に炭素粉末及び窒化アルミニウム粉末を添加した混合
粉末を不活性もしくは炭素成分の存在する雰囲気中で熱
処理を施して窒化アルミニウム粉末の表面を炭化ケイ素
で被覆せしめることを特徴とするものである。
上記メチルケイ酸(CH3SiO3/2)粉末は例えば
シリコーン工業から予剰に生産されるメチルトリクロル
シラン(cH3stc13X加水分解することによシ得
られる。
上記炭素粉末としては、例えばカーボンブラック粉末、
アセチレンブラック粉末、ファーネスブラック粉末等、
各種の炭素粉末を用いることができる。
上記メチルケイ酸粉末に対する炭素粉末の添加割合は該
メチルケイ酸粉末1重量部に対して炭素粉末を0.01
〜0.4重量部の範囲にすることが望ましい。この理由
は、炭素粉末の添加量を0.01重量部未満にすると、
メチルケイ酸中のケイ素に結合している酸素を十分に還
元できず、複合セラミックス粉末中に酸素分が残留する
恐れがあり、かといって0.4重量部を越えると、複合
セラミックス粉末の生産効率が低下するばかりか、その
後の脱炭処理に多大な時間を要する。
上記メチルケイ酸粉末に対する窒化アルミニウム粉末の
添加割合は該メチルケイ酸粉末1重量部に対して1.0
〜29.0重量部の範囲にすることが望ましい。この理
由は窒化アルミニウム粉末の添加量全1.0重量部未満
にすると、窒化アルミニウム粉末に比べて生成する炭化
ケイ素分が過剰となシ、窒化アルミニウム本来の電気的
絶縁性が損なわれる恐れがあり、かといってその量が2
9.0重量部を越えると、皮膜と々る炭化ケイ素分が不
足し、化学的に安定々複合セラミックス粉末が得難くな
る。
上記熱処理は1350〜1600℃の温度条件で行なう
ことが望ましい。この理由は熱処理温度を1350℃未
満にすると、反応が不十分となシ、かといって1600
℃を越えると、反応時の活性なケイ素化合物が窒化アル
ミニウム粉末の結晶に入シ込み複合セラミックス粉末の
熱的性質を損々わせる恐れがある。
上記熱処理時の雰囲気はアルゴン、ネオンなどの不活性
ガス或いはメタン等の炭素を含むガス、もしくはこれら
の混合ガスにする。
なお、熱処理によシ窒化アルミニウム粉末表面を炭化ケ
イ素で被覆した後は600〜800℃の空気中で脱炭処
理を行なう。
しかして、本発明によればメチルケイ酸粉末L、炭素粉
末と窒化アルミニウム粉末を添加した混合粉末を不活性
もしくは炭素成分の存在する雰囲気中で熱処理を施すこ
とによって、メチルケイ酸と炭素とが反応して個々の窒
化アルミ5− ニウム粉末周囲に気相状の炭化ケイ素が生じ、炭化ケイ
素が窒化アルミニウム粉末を核として沈着、成長する。
その結果、混合粉末中の個々の窒化アルミニウム粉末表
面を均一かつ充分な厚さの炭化ケイ素皮膜で被覆された
複合セラミックス粉末を簡単な操作で量産的に得ること
ができる。
〔発明の実施例〕
次に、本発明の詳細な説明する 実施例1 まず、平均粒径0.05mmのメチルケイ酸粉末1重量
部、平均粒径0.03μmのカーがンブラック粉末0.
2重量部及び平均粒径0.7μmの窒化アルミニウム粉
末28重量部からなる混合粉末を調製した1次いで、こ
の混合粉末をアルゴンガス中で1450℃、5時間熱処
理して反応を行なった。この後、空気中で700℃、3
時間の脱炭処理を行なった。
得られた合成粉末の組成を調べたところ、AIN 98
%、8102 %であった。また、得られ6− た合成粉末(複合セラミックス粉末)を5時間煮沸した
後の重量変化を調べたところ、klN粉末単体の場合、
14%の重量増加を示したのに対し、僅か1.2q6し
か重量増加が認められず、AIN粉末の表面が炭化ケイ
素皮膜で十分改質されていることが認められた。なお、
AINは水と反応して完全にAl2O5に変換されると
、理論上24.4%重量増加する。更に、得られた合成
粉末を成形し、焼成して造られた焼結体はAlN本来の
優れた熱的性質がほとんど損なわれていなかった。
実施例2 平均粒径0.05mmのメチルケイ酸粉末1重量部、平
均粒径0.03μmのカーがンブラック粉末0.3重量
部及び平均粒径0.7μmの窒化アルミニウム粉末1重
量部からなる混合粉末を実施例1と同様な方法で熱処理
し、脱炭処理を施して合成粉を製造した。
得られた合成粉末の組成はAIN 62.5 %、5i
C37,5チであった。また、実施例1と同様、煮沸法
で合成粉末の安定性を調べたところ、0.2%の重量増
加が認められただけで、はぼ完全に安定であることがわ
かった。更に、この合成粉末を用いて成形、焼成して得
た焼結体はAlN本来の熱的性質は変化しないものの、
電気抵抗の若干の低下が認められた。
〔発明の効果〕
以上詳述した如く、本発明によればAIN粉末に均一か
つ充分な膜厚の炭化ケイ素皮膜を被覆した化学的に安定
な複合セラミック粉末を量産的に製造でき、ひいてはこ
の複合セラミックス粉末を出発原料とすることにより化
学的に安定で、良熱電導性の焼結体を得ることができる
等顕著な効果を有する。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 窒化アルミニウム粉末の表面を炭化ケイ素で被覆した複
    合セラミックス粉末の製造にあたシ、メチルケイ酸粉末
    に炭素粉末及び窒化アルミニウム粉末を添加した混合粉
    末を不活性もしくは炭素成分の存在する雰囲気で熱処理
    を施して窒化アルミニウム粉末表面を炭化ケイ素で被覆
    せしめることを特徴とする複合セラミックス粉末の製造
    方法。
JP58076430A 1983-04-30 1983-04-30 複合セラミックス粉末の製造方法 Granted JPS59203715A (ja)

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