JPS59198459A - 浸透性硝子インクによる着色フオト硝子原板の製造法 - Google Patents

浸透性硝子インクによる着色フオト硝子原板の製造法

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JPS59198459A
JPS59198459A JP58072827A JP7282783A JPS59198459A JP S59198459 A JPS59198459 A JP S59198459A JP 58072827 A JP58072827 A JP 58072827A JP 7282783 A JP7282783 A JP 7282783A JP S59198459 A JPS59198459 A JP S59198459A
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Japan
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glass
ink
penetrating
layer
plate
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JP58072827A
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JPS633301B2 (ja
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Shigemochi Ooyama
栄望 大山
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OYAMA KOGAKU MEMORY CHIYOUKOUSHIYO KK
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OYAMA KOGAKU MEMORY CHIYOUKOUSHIYO KK
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はプリント基板、ICフォトマスク。
液晶板、ネームプレート等に応用する浸透性硝子インク
を使用することを特徴とする高精度の硝子原板に関する
ものである。
従来この種原板として古くからフィルム原板ものである
然して以上のほかクロームを蒸着したクローム硝子原板
が利用されているが該クローム硝子原板はフィルムに比
して寸法精度が高く且つ湿度や温度に因る影響も少なく
又縦横荷重に対して物理的強度に優れているのとクロー
ム蒸着膜は硝子と膨張係数が略等しいので安定性に富み
従ってフィルムに比して遥かに胴用件と光学的にも再現
性(元原版よりの)に優れ又静電発生がないので汚塵の
付着も少なく且つ除去も容易である等の諸利点′を具有
するがクローム蒸着膜の厚さが500A0〜toooA
0<及ぶので扱い中欠損したり傷損を生じ易く然もピン
ボールを存する等の欠点を具有し又高価な不利もある。
本発明は叙上在来の諸不利を解消するために硝子板面に
対し大阪市東区道修町3−23奥野製薬工業株式会社製
の「シルバースティン」又は英国ブライカラー社製の[
アンバーシルバースティン」なる浸透性硝子インクを塗
布し且つ洗滌して該インクを硝子板と面一な浸透層に形
成し以て上記従来のクローム蒸着膜より遥かに優れたフ
ォト硝子原板をに4)たものである。
今本発明の実施例を図面について下記すると、第1図(
A、)に示したように先づ拭取し清浄ならしめた硝子板
1の表面に、スクリーン印刷により奥野製薬工業製のシ
ルバースティン中アンバー色の浸透性硝子インク2を一
様に塗布し次でこれを200℃の温度にて乾燥してイン
ク中のガス抜きをなし次で今度は高温電気炉中において
450℃〜600℃の温度で焼付けした後洗滌して上面
のインクを除去することにより上記塗布インクの一部は
硝子板1の表面より7μ〜15μ深さの浸透層2′を形
成する。即ち金属イオン←ナトリウムイオンにより固着
し硝子板1と面一な浸透性インク付き硝子板1/(同図
(B)参照)となり該インク浸透部2′面は紫外線不透
過部面となる。
そこで今度は第1図(C)の如く上記インク浸透部つ 2′面を含む硝子板1′の上面一杯に化学銀を塗布層3
を形成した後頁に該層上面に耐蝕性剤として感光性フォ
トレジストの塗層4を投げ(第1図(B)参照)然る後
上記塗層4の上面に第2図(E)釦示す如くネガフィル
ム5を載置し二重ロック形式で光遮断下において紫外線
照射をするとレジスト現像されてフィルム5面の模様6
が硝子板1′に対し化学銀を介して蝕刻模様6′となる
斯くして常法によりマスキング、レジスト、化学銀等を
除去し且つ洗滌仕上げすることにより本フォト硝子原板
が得られる。(第2図(G)参照)斯くして得られた原
板面にこれ又常法により周知の二重ロック形式により光
遮断し被写体たる所要の硝子板を必要に応じて表面にク
ロームメッキを付し且つ耐蝕性膜としてレジストを塗布
して焼付ゆし次でクローム膜を除去してエツチングする
ことにより高精度の再割がなされる。
近時この種原板には高い精度が要求されてきたが古くか
らのフィルムは前記の如く静電発生による汚塵伺着のほ
か物理的にも満足されず又クローム硝子板においても亦
前記の如くピンボールがあったり扱い中傷損し易いのと
コスト的に不利で且つ量産にも不適である。
、然るに本発明の浸透性硝子インクの原板は静電発生の
おそれがないことは勿論表面が面〜で浸透層をなしてい
るので多少の傷にも支障がなく又組成」ニビンボールが
なく従って完全に紫外線を遮断し湿度、温度にも影響さ
れないのと相俟って量産に適する等前記在来の各原板に
みない緒条の優れた利点を具有するものであってフォト
硝子原板として極めて有利な発明である。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の実施例を示したものであって1、第1図(
A)は本発明における硝子表面にスクリーン印刷により
浸透性硝子インクを塗布し予備乾燥後高温焼付けをした
状態の斜面図、同図(B)は同上の状態より洗滌後上部
のインクを洗い流し硝子板の上面にこれと面一なインク
の浸透層が形成された状態の斜面図、同図(C)は同上
のインク浸透部上面に化学銀の塗層又は金属蒸着層を形
成した状態の斜面図、同図中)は同上の化学銀面上に感
光性フォトレジストを塗布した状態の斜面図、第2図(
E)は同上のフォトレジスト上にネガ又はポジフィルム
を載置し紫外線露光の状態を示す斜面図、同図の)は同
上のレジスト現像化学エツチング状態の一部欠截斜面図
、同図(G)はマスキング、レジスト、化学銀を除去し
洗滌仕上げした本発明原板の一部欠截斜面図である。 1は硝子板、2は浸透性硝子インク、2′は浸透層、3
は化学銀塗層、4は感光性フォトレジスト、5はネガフ
ィルム、6は模様、6′は蝕刻模様。 手続補正書 昭和58年5月L7日 特許片長1イ 若杉相夫殿 ]、Ji件の表示 3補正をする者 41件との関係   特rト出願人 郵便番号(101)成語(85i)70825ネlij
正命令の日刊    自   発明     緑   
  書 1、発明の名称   浸透性硝子インクによる着色フォ
ト硝子原板の製造法 2、特許請求の範囲 清浄な硝子板の表面にスクリーン印刷により浸透性硝子
インクを塗布し且つ予備乾燥後高温で焼付は次で洗滌し
て硝子表面と面一なインクの浸透層を形成し次で該イン
ク浸透層を含む硝子板の表面に金属蒸着又は化学銀引き
層を設けて該層の上面に、感光性フォトレジストを塗布
し次で該フォトレジストの上面にネガフィルムを載置し
て紫外線露光しレジスト現像及び化学銀のエツチングを
し更に硝子浸透層を弗化水素酸にてエツチングし然る後
マスキング、レジスト、化学銀等を除去して洗滌仕上げ
して得ることを特徴とする浸透性硝子インクによる着色
フォト硝子原板の製造法。 3、発明の詳細な説明 本発明はプリント基板、ICフォトマスク。 液晶板、ネームグレート等に応用する浸透性硝子インク
を使用することを特徴とする高精度の信子原板に関する
ものである。 従来この種原板として古くからフィルム原板が使用され
てきたがフィルムは材質上彎曲したり歪みや傷損し易い
のと静電気発生に因る汚塵の附着更には膨張係数が大で
ある等精度的に満足し得ないものである。 然して以上のをまがクロームを蒸層したり四−ム硝子原
板が利用されているが該クローム硝子原板σフィルム洗
比して寸法精度が高く月っ湿度や温度に因る影響も少な
く又縦横荷重に対して物理的強度に優れているのとクロ
ーム蒸4膜は硝子と#張係数が略等しいので安定性に富
み従ってフィルムに比して邊かにM用件と光学的にも再
現性(元原板よりの)に優れ又靜電発先がないので汚塵
の付着も少なく且つ除去も容易である等の諸利点を具有
するがクローム、vl:着膜の厚さが500八〇〜10
00 xに及ぶので扱い中欠損したり傷損を生じ易く然
もピンボールを存する等の欠点を具有しy、高価な不利
もある。 本発明は斜上在来の諸不利を解消するために硝子板面に
対し大阪市東区道修町3−23英grt製薬工業株式会
社製の「シルバースティンJ又1d英国ブライカラー社
製の1−アンバーシルバースティン」なる浸透性硝子イ
ンクを塗布し且つ洗滌して該インクを硝子板と面一なf
lyA、層に形成し以て上記従来のクローム蒸府膜より
遥かに優れたフォト硝子原板を得たものである。 今本発明の実施例を図面について下記すると、第1図(
A)K示したように先づ拭堆し清浄ならしめた硝子板1
0表面に、スクリーン印刷により英野製薬工業製のシル
バースティン中アンバー色の浸透性硝子インク2を一様
に塗布し次でこれを200℃の温度にて乾燥してインク
中のガス抜きをなし次で今度は高温電気炉中において4
50℃〜600℃の温度で焼付けした後洗滌して上面の
インクを除去することにより上記塗布インクの一部は硝
子板1の表面より7μ〜15μ深さの浸透層2′を形成
する。即ち金属イオンく→ナトリウムイオンにより固層
し硝子板1と面一な浸透性インク伺き硝子板1′(同図
(B)参照)となり該インク浸透部2′面は紫外線不透
過部面となる。 そこで今度は第1図(C)の如(上記インク浸透部2′
面を含む硝子板1′の上面一杯に化学銀引き層3を形成
した後頁忙該層上面に耐蝕性剤として感光性フォトレジ
ストの塗層4を設け(第1図(D)参照)然る後上記塗
層4の上面に第2図(E)に示す如くネガフィルム5を
載置し且つ光遮断下において紫外線照射をするとレジメ
ト現像されてフィルム5面の模様6が硝子板1′に対し
化学銀を介しエツチングにより判然たる蝕刻模様6′と
なる。(第2図(F′)参照) 更に浸透部2′を弗化水素酸にて7μ〜15μ程エツチ
ングをし6“となる。(第2図(G)参照)斯くして常
法によりマスキング、レジスト、化学銀等を除去し且つ
洗滌仕上げすることにより本フォト硝子原板が得られる
。(第21M1(G)参照)又応用として浸透硝子トの
表面にクロームメッキを付し且つ耐蝕性膜としてレジス
トを塗布して焼付は現像し次でクローム膜をエツチング
、更に浸透部を弗化水素酸にてエツチングすることによ
りクローム硝子原板と浸透インクフォト原板の利点をも
つ高精度の再割がなされる。 近時この種原板には高い精度が要求されてきたが古くか
らのフィルムは前記の如く静電気発生による汚塵付着の
ほか物理的にも満足されず又クローム硝子板においても
亦前記の如(ピンボールがあったり扱い中傷損し易いの
とコスト的に不利で且つ邦−産にも不適である。 然るに本発明の浸透性硝子インクの原板は静電気発生の
おそれがないことは勿論表面が面一で浸透層をなしてい
るので多少の傷にも支障がなく又組成上ピンボールがな
く従って完全に紫外線を退所し温度、湿度にも影響され
ないのと相俟って量産に適する等前記在来の各原板にみ
ない緒条の優れた利点を具有するものであってフォト硝
子原板として極めて有利な発明である。 4、図面の簡単な説明 図は本発明の実施例を示したものであって、第1図(A
)は本発明における硝子表面にスクIJ−ン印刷により
浸透性硝子インクを塗布し予備乾燥後品温焼付けをした
状態の斜面図、同図(B)は同上の状態より洗浄後上面
のインクを洗い流し硝子板の上面にこれと面一なインク
の浸透層が形成された状態の斜面図、同図(C)は同上
のインク浸透部上面に化学銀の塗層又は金属蒸着層を形
成した状態の斜面図、同図(D)は同上の化学銀(Rj
上に感光性フォトレジストを塗布した状態の斜面図、第
2図<E>U同上のフォトレジスト上にネガ又はポジフ
ィルムを載置し紫外線露光の状態を示す斜面図、同図(
F)は同上のレジスト現像化学エツチング状態の一部欠
截斜面図、同図(G)は硝子浸透部を弗化水素酸にてエ
ツチングをしマスキング、レジスト、化学銀を除去し洗
滌仕上げした本発明原板の一部欠截斜面図である。 1は硝子板、2は浸透性硝子インク、2′は浸透層、3
は化学銀糸層、4は感光性フォトレジスト、5はネガフ
ィルム、6は模様、6′は蝕’AIJ模様、6“は浸透
都硝子をエツチングした蝕刻模様。 夢2/4 ((J−) ノ′ ノ′

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 清浄な硝子板の表面にスクリーン印刷により浸透性硝子
    インクを塗布し且つ予備乾燥後高温で焼付は次で洗滌し
    て硝子表面と面〜なインクの浸透層を形成し次で該イン
    ク浸透層を含む硝子板の表面に金属蒸着又は化学銀を塗
    布して該化学銀塗層の上面に、感光性フォトレジストを
    塗布し且つ該フォトレジストの上面にネガフィルムを載
    置して紫外線露光しレジスト現像及び化学銀のエツチン
    グをした後マスキング、レジスト、化学銀等を除去して
    洗滌仕上げして得ることを特徴とする浸透性硝子インク
    による着色フォト硝子原板の製造法。
JP58072827A 1983-04-27 1983-04-27 浸透性硝子インクによる着色フオト硝子原板の製造法 Granted JPS59198459A (ja)

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JP58072827A JPS59198459A (ja) 1983-04-27 1983-04-27 浸透性硝子インクによる着色フオト硝子原板の製造法

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JPS633301B2 JPS633301B2 (ja) 1988-01-22

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ID=13500633

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6677590B2 (en) 1999-05-14 2004-01-13 Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kabushiki Flame sensor
CN102964065A (zh) * 2012-10-29 2013-03-13 晟光科技股份有限公司 一种ogs产品的生产过程中在玻璃基材上覆盖油墨层的方法

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CN102964065A (zh) * 2012-10-29 2013-03-13 晟光科技股份有限公司 一种ogs产品的生产过程中在玻璃基材上覆盖油墨层的方法

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