JPS59193042A - 位置決め方法 - Google Patents
位置決め方法Info
- Publication number
- JPS59193042A JPS59193042A JP6367584A JP6367584A JPS59193042A JP S59193042 A JPS59193042 A JP S59193042A JP 6367584 A JP6367584 A JP 6367584A JP 6367584 A JP6367584 A JP 6367584A JP S59193042 A JPS59193042 A JP S59193042A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- motor
- rotary shaft
- ball screw
- screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67144—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本光明は位置決め方法、特に部品全所定の方向に向けて
位置決めする位置決め方法に関する。
位置決めする位置決め方法に関する。
例えば、半導体装置は、リードフレームやステムに半導
体ベレット？載置し、リード！ｆｌｓと半導体ベレット
の電極と全金属細線で接続して製造される。この際、半
導体ベレットの電極面積は微少であるため、わずかなず
れでも、電気的機種１−０接続が不完全となり易く、按
続全（ｌ（（＋実にするため、生導体ペレット全予め位
置決めしてから供給するようにしている。
体ベレット？載置し、リード！ｆｌｓと半導体ベレット
の電極と全金属細線で接続して製造される。この際、半
導体ベレットの電極面積は微少であるため、わずかなず
れでも、電気的機種１−０接続が不完全となり易く、按
続全（ｌ（（＋実にするため、生導体ペレット全予め位
置決めしてから供給するようにしている。
この位糎決め？行う袋層よして、第１図及び第２図に示
す構造のものが一般に用いられる。即ち、１は基台、２
は基台ｌに支持された回転機構で、回転軸２ａ全基酋Ｉ
Ｖこ歩１自に配置灯している。３は１す１転１１１１Ｒ
２ａ ＶＣＩＪ ＊；ｉされ基台ユと平Ｙｆ Ｖ（−１
’Ｊｔ ｉｉ’＋された第１の取付台、４は第１σ）取
伺台３σ）ｌ端に固ノ茜された第１のモータて、その回
転軸４ａにボールネジ５全連結し、ボールネジ５全介し
て第２０〕取付台６全支持している。７は第２の取付台
６のコ端に固増さｎた第２のモータで、そα）回転軸７
ａｉＣｔ” −ル＊７８と連結し、ボール不ン８ ｋ
介Ｌ Ｔ截置台９全支持している。なお、第］、第２０
）取付台３．６′ｆｔ基台上に対して平行に保ったδン
ｆ／）支持装置ｉｔは省略している。こσ〕棟位激決め
装置は一般にＸＹＯテーブルと呼ばれている。
す構造のものが一般に用いられる。即ち、１は基台、２
は基台ｌに支持された回転機構で、回転軸２ａ全基酋Ｉ
Ｖこ歩１自に配置灯している。３は１す１転１１１１Ｒ
２ａ ＶＣＩＪ ＊；ｉされ基台ユと平Ｙｆ Ｖ（−１
’Ｊｔ ｉｉ’＋された第１の取付台、４は第１σ）取
伺台３σ）ｌ端に固ノ茜された第１のモータて、その回
転軸４ａにボールネジ５全連結し、ボールネジ５全介し
て第２０〕取付台６全支持している。７は第２の取付台
６のコ端に固増さｎた第２のモータで、そα）回転軸７
ａｉＣｔ” −ル＊７８と連結し、ボール不ン８ ｋ
介Ｌ Ｔ截置台９全支持している。なお、第］、第２０
）取付台３．６′ｆｔ基台上に対して平行に保ったδン
ｆ／）支持装置ｉｔは省略している。こσ〕棟位激決め
装置は一般にＸＹＯテーブルと呼ばれている。
この位置決め装置σフ・載置台９に半導体ウェハを分割
して形成した半導体ペレット′を載胤し、先ず第１−第
２のモータで・載置台９の位置出し、全し、こび〕泣匿
ＶＣある半導体ペレットの向き全修正してから取り出す
ようにしている。
して形成した半導体ペレット′を載胤し、先ず第１−第
２のモータで・載置台９の位置出し、全し、こび〕泣匿
ＶＣある半導体ペレットの向き全修正してから取り出す
ようにしている。
ところか、回１獣機構２には第１σつ取付台３より上部
の機構か負荷となり、大きな何重かかかるたけでなく、
載置台９０位位置よっては回転軸２ａまわりのモーメン
トか変化し、回転機構２０〕負荷か変動するため、尚津
動作を婆せることか困難であった。また、そのために回
転機構２に犬＠なモータや笛ＩＪ動機構も必要となり高
価となる問題かあった。
の機構か負荷となり、大きな何重かかかるたけでなく、
載置台９０位位置よっては回転軸２ａまわりのモーメン
トか変化し、回転機構２０〕負荷か変動するため、尚津
動作を婆せることか困難であった。また、そのために回
転機構２に犬＠なモータや笛ＩＪ動機構も必要となり高
価となる問題かあった。
不発明は上記問題点に蓄み提案きれたもσつで、回転機
構２〕負荷全小きくでき、１１１１単ｌ構造の位置決め
方法全提供する。
構２〕負荷全小きくでき、１１１１単ｌ構造の位置決め
方法全提供する。
以下に本発明？第３図及び第４図より説明する。
図において］−０は基台）１１は基台ｌＯ上に固着され
た第１のモータで、そσ〕同転ｌｌｌ１ｌ＋ １ ］、
ａにボールネジ１２全連結し、ポ゛−ル不ジコ２乞介
して取何台コ３を支持している。以下て゛第］σ）移送
機ｔｒｌ′ｆ全構成している。コ４は第１σ〕取イ＜」
台ｌ ３ Ｊに固層式した第２のモータて−、そ０９回
転軸１４ａにボールネジ１５を連結し、ボール不ン］−
５全介して第紀σ〕取付台１６７支持している。以上で
第２の移送機構全構成している。第２αつ取付台１６七
に回転機構１７′？ｔ１その回転１ｔＩＩＩｌ １７
ａ、 ２基台］Ｏに康１Ｋに配置パしてｌム有している
。そして回転→１ｌｌｌ１７ａに基台ユＯと平イテに・
威１鉦台１．８ｇ支持している。
た第１のモータで、そσ〕同転ｌｌｌ１ｌ＋ １ ］、
ａにボールネジ１２全連結し、ポ゛−ル不ジコ２乞介
して取何台コ３を支持している。以下て゛第］σ）移送
機ｔｒｌ′ｆ全構成している。コ４は第１σ〕取イ＜」
台ｌ ３ Ｊに固層式した第２のモータて−、そ０９回
転軸１４ａにボールネジ１５を連結し、ボール不ン］−
５全介して第紀σ〕取付台１６７支持している。以上で
第２の移送機構全構成している。第２αつ取付台１６七
に回転機構１７′？ｔ１その回転１ｔＩＩＩｌ １７
ａ、 ２基台］Ｏに康１Ｋに配置パしてｌム有している
。そして回転→１ｌｌｌ１７ａに基台ユＯと平イテに・
威１鉦台１．８ｇ支持している。
なお、第」・第２σ〕取イ」台］、 ３ 、 ］、 ６
乞ノ１Ｌ台１０に苅して平行に保つだめの支持装置は省
略している。
乞ノ１Ｌ台１０に苅して平行に保つだめの支持装置は省
略している。
こび〕位置決め方法て゛は、回転機構１７の負荷は載置
台１８σ）みて１１′Ｉ量である／こけてなく、回転軸
１７ａ１わりσ）モーメントはほぼ一定であるため、小
形σ〕モータで駆動できろ。また第１−第２ （１）千
−タ１１，１４に対しては回転機構１７か負荷となるか
、ボールネジ１２．１５で、負荷か分力されるため、′
負何増加σ）影響は小きい。またｌｋＪ造的にｎｒＪＲ
Ｌで、保′（」二点（φも容易となり、安価にできる。
台１８σ）みて１１′Ｉ量である／こけてなく、回転軸
１７ａ１わりσ）モーメントはほぼ一定であるため、小
形σ〕モータで駆動できろ。また第１−第２ （１）千
−タ１１，１４に対しては回転機構１７か負荷となるか
、ボールネジ１２．１５で、負荷か分力されるため、′
負何増加σ）影響は小きい。またｌｋＪ造的にｎｒＪＲ
Ｌで、保′（」二点（φも容易となり、安価にできる。
不発明による位置決め方法では、第１・第２のモータｌ
１ 、 ］−４で位置出し全して・この位置にある半
導体ペレット等の板戦屓吻σつ回さ全一定にすめ際に、
回転機構１７σ）回転軸１７ａか位置出り、 Ｌ ｆｔ
仮祇置物σ〕中・し・からずｔしているため、載置台１
８Ｕ）回転によって、ｆ低置吻σ）位置ずれ２生じるか
、第５図に示すように位ｔｑ出し原点の座標全（Ｘｏ
ｌ ｙｎ ）・回転軸１７ａの中心Ｏに対する回転半径
ｋ ｒ％扱載置吻が中心０の周り？回って所定の方間Ｖ
Ｃ向く角度全θとすればこα〕位ｔｉイから原点に戻す
ためσ）距離、ｘ＋ Ｖはｘ、＝１−ｒ■Ｓθ、ｙ”ｒ
ｓｉｎθ で、ｒ ＝ ７３７１５票−で表される。任
って距離Ｘ、ｙはｊ京点叩標（Ｘｏ ＋ ｙｏ）及び回
転角θで表さ【るため、容易に演算し位置補正すること
ができる。また倣小角闇回転して、位置補正し、４−４
±度微小角度回転して位置補正すること全繰返してもよ
いし、バターレ認識によって得らｎたテータ全ル！算し
位置補正してもよい。
１ 、 ］−４で位置出し全して・この位置にある半
導体ペレット等の板戦屓吻σつ回さ全一定にすめ際に、
回転機構１７σ）回転軸１７ａか位置出り、 Ｌ ｆｔ
仮祇置物σ〕中・し・からずｔしているため、載置台１
８Ｕ）回転によって、ｆ低置吻σ）位置ずれ２生じるか
、第５図に示すように位ｔｑ出し原点の座標全（Ｘｏ
ｌ ｙｎ ）・回転軸１７ａの中心Ｏに対する回転半径
ｋ ｒ％扱載置吻が中心０の周り？回って所定の方間Ｖ
Ｃ向く角度全θとすればこα〕位ｔｉイから原点に戻す
ためσ）距離、ｘ＋ Ｖはｘ、＝１−ｒ■Ｓθ、ｙ”ｒ
ｓｉｎθ で、ｒ ＝ ７３７１５票−で表される。任
って距離Ｘ、ｙはｊ京点叩標（Ｘｏ ＋ ｙｏ）及び回
転角θで表さ【るため、容易に演算し位置補正すること
ができる。また倣小角闇回転して、位置補正し、４−４
±度微小角度回転して位置補正すること全繰返してもよ
いし、バターレ認識によって得らｎたテータ全ル！算し
位置補正してもよい。
以上のように、不発明によれば、回転橙構σ）負荷音生
びくでき簡単な構成′□−Ｘ−Ｙ−θ方四〇〕位負決め
方法全実現できる。
びくでき簡単な構成′□−Ｘ−Ｙ−θ方四〇〕位負決め
方法全実現できる。
ｑ面σ〕亀ｊ単な説明
第１図は従来σ）位置決め装置？ａの市面図、第２図］
は第１図側面図、第３図は不発明に関するイＡ′／１ｉ
ｌ−１．決め装置の正ｍｉ図、第４図は第３図１１１１
ｍ図、第５図は不発明の位置補正０．）−要か）シ例”
ｅ ％！＋’、 ’、！１１する図面である。
は第１図側面図、第３図は不発明に関するイＡ′／１ｉ
ｌ−１．決め装置の正ｍｉ図、第４図は第３図１１１１
ｍ図、第５図は不発明の位置補正０．）−要か）シ例”
ｅ ％！＋’、 ’、！１１する図面である。
１０・・ 基台、
１１、コ−２，］３・・ 第１ Ｕ）移送様Ｂｉｉ、１
４．１３．１６ 第 ２ σ）イ多送（幾イ
ｊ＋′） 、１７ ・ 回転機構、 １’７ａ 回転軸、 １８ 載置台。
４．１３．１６ 第 ２ σ）イ多送（幾イ
ｊ＋′） 、１７ ・ 回転機構、 １’７ａ 回転軸、 １８ 載置台。
時計出願人 二チテン砲械体式会社
第１図
第２図
Claims (1)
- 基台に支持芒れ一方向に移送する第１の移送機構と１第
１σつ移送機構に支持されかつ第１の移送機構と直交す
る方向ＶＣ移送する第２の移送機構と、第２の移送機構
Ｖｔ支持されかつ第１・第２の移送機構により形成きれ
る移送平１１１に直交する回転軸全イ１する回嘲獣機憎
と、回転機構の回転軸に同右づれた械諏台と？設けるこ
とりこより、Ｘ−Ｙ−θ方向の位置決め全付うＣと全特
徴とする位置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6367584A JPS59193042A (ja) | 1984-03-31 | 1984-03-31 | 位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6367584A JPS59193042A (ja) | 1984-03-31 | 1984-03-31 | 位置決め方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59193042A true JPS59193042A (ja) | 1984-11-01 |
Family
ID=13236166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6367584A Pending JPS59193042A (ja) | 1984-03-31 | 1984-03-31 | 位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59193042A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624530A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-10 | Toshiba Corp | 位置決め搬出方法 |
| US6759818B2 (en) * | 2001-06-01 | 2004-07-06 | Ihi Aerospace Co., Ltd. | Electromotive actuator and method for controlling the same |
-
1984
- 1984-03-31 JP JP6367584A patent/JPS59193042A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624530A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-10 | Toshiba Corp | 位置決め搬出方法 |
| US6759818B2 (en) * | 2001-06-01 | 2004-07-06 | Ihi Aerospace Co., Ltd. | Electromotive actuator and method for controlling the same |
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