CN116435239A - 一种料盒承载平台、控制方法及半导体设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种料盒承载平台，电机组件与同步带轮组件安装在安装平板上，通过电机组件与同步带轮组件带动承载板旋转，角度调节组件安装在同步带轮组件的第二轮组处，角度调节组件包括金属折板、环形轨道、第一传感器及第二传感器，金属折板安装在第二轮组的轴承上且金属折板上包括第一指针及第二指针，环形轨道绕第二轮组一周而设，第一指针及第二指针分别用于触发第一传感器及第二传感器，第一传感器与第二传感器以第二轮组的轴心所成夹角是承载板旋转的角度。实现了料盒的360°旋转，解决了因OHT轨道与处理设备在水平面投影存在夹角，料盒无法直接转运的问题。

Description

一种料盒承载平台、控制方法及半导体设备
技术领域
本发明涉及半导体设备技术领域，尤其是涉及一种料盒承载平台、控制方法及半导体设备。
背景技术
FAB厂内对晶圆芯片的智造过程需要很多表面处理工序和检测工序，在制造厂中，布置了大量的专用处理设备，用于对晶圆表面进行各种处理、检测或者储存，而晶圆片的料盒需要在每个处理设备之间通过设备进行传输。在每一个处理设备的正面都会配置LoadPort（设备前端模块）用于接收转运设备所输送的料盒。
在晶圆料盒的自动化搬运系统中，经常采用OHT（高架空中运载车）来将晶圆料盒放置在Load Port上。OHT轨道在FAB厂内布置的方向通常是沿着厂内墙面的走向，但LoadPort所布置的方向则会根据工艺设备的样式或者厂内建筑体的布局来进行设置，因此，根据厂家的需求，Load Port的方向可能与OHT轨道的方向呈任意角度。
另外，有些类型的Load Port无法直接与OHT对接，如采用内嵌式机台的SMIF LoadPort，则需要通过在这类 Load Port的正面设置的辅助加载端口（Assistant Load Port以下简称ALP），对料盒进行间接转运。由于ALP正对Load Port，因此，ALP的方向同样可能与OHT轨道的方向呈任意角度。
而目前OHT的抓手可能不具备旋转功能，或者旋转角度有限，因此无法将晶圆料盒正确放置在LP或ALP上。
发明内容
本发明的目的在于提供一种料盒承载平台，以解决了现有技术中存在的OHT与处理设备之间存在夹角，无法将晶圆料盒正确放置在LP或ALP上的技术问题。
第一个方面，本发明实施例提供了一种料盒承载平台，包括：安装平板；电机组件；同步带轮组件，所述电机组件与所述同步带轮组件安装在所述安装平板上，所述同步带轮组件包括第一轮组与第二轮组，所述电机组件与所述第一轮组连接；承载板，所述承载板与所述第二轮组连接，所述电机组件带动所述第一轮组转动，从而带动所述第二轮组及承载板旋转；角度调节组件，所述角度调节组件安装在所述第二轮组处，所述角度调节组件包括金属折板、环形轨道、第一传感器及第二传感器，所述金属折板安装在所述第二轮组的轴承上且所述金属折板上包括第一指针及第二指针，所述环形轨道绕所述第二轮组一周而设，所述第一传感器固定在所述安装平板上，所述第二传感器安装在所述环形轨道上，所述第一指针及所述第二指针分别用于触发所述第一传感器及所述第二传感器，所述第一传感器与所述第二传感器以所述第二轮组的轴心所成夹角是所述承载板旋转的角度；控制器，所述控制器用于接收所述角度调节组件的信息并控制所述电机组件。
进一步的，所述第一指针与所述第二指针的连线垂直于所述安装平板所在的平面。
进一步的，所述金属折板还包括用于指示偏移的第三指针及第四指针，所述第三指针临近所述第一指针、且与所述第一指针的连线平行于所述安装平板所在的平面，所述第四指针临近所述第二指针、且与所述第二指针的连线平行于所述安装平板所在的平面；且所述第三指针与所述第四指针的连线不垂直于所述安装平板所在的平面。
进一步的，所述控制器基于所述第一传感器或所述第二传感器的触发状态，判断所述承载板是否发生偏移；所述料盒承载平台在运行时包括正常旋转阶段和等待静置阶段，在所述等待静置阶段，当料盒被放置在所述承载板上，若所述第一传感器或所述第二传感器是被触发状态，则所述控制器判断所述承载板未发生偏移；若所述第一传感器或所述第二传感器是未被触发状态，则所述控制器判断所述承载板发生偏移。
进一步的，所述料盒承载平台在运行时还包括偏移修正阶段，若所述控制器判断所述承载板发生偏移，所述料盒承载平台进入所述偏移修正阶段；所述控制器控制所述电机组件开启，使得所述金属折板绕所述第三指针指向所述第一指针的方向旋转，至所述第一传感器被再次触发；或，使得所述金属折板绕所述第四指针指向所述第二指针的方向旋转，至所述第二传感器被再次触发。
进一步的，在所述控制器中，预设第一标准时间间隔ΔT，所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第一传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔与所述第一标准时间间隔ΔT相比较，所述控制器判断所述承载板的偏移方向；在所述控制器中，预设第二标准时间间隔ΔT’，所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第二传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔与所述第二标准时间间隔ΔT’相比较，所述控制器判断所述承载板的偏移方向。
进一步的，所述第一指针与所述第三指针之间的距离为L1，所述第二指针与所述第四指针之间的距离为L2，所述承载板发生抖动时的最大偏移量为X，则有2X<L1<3X，2X<L2<3X。
进一步的，L1=L2。
进一步的，所述环形轨道的外圈设置360°的角度刻度标识，便于所述第二传感器调整位置。
进一步的，所述第一传感器及所述第二传感器均为光电传感器。
第二个方面，本发明实施例提供了一种料盒承载平台的控制方法，包括如下步骤：将所述第一传感器及所述第二传感器分别固定到指定位置；当从第一设备上接收所述料盒时，所述第一指针触发所述第一传感器，确保所述承载板未发生旋转，当所述料盒位于所述承载板上，所述控制器控制所述电机组件开启，旋转至所述第二指针触发所述第二传感器，所述电机组件关闭，此时所述承载板旋转指定角度；当从第二设备上接收所述料盒时，所述第二指针触发所述第二传感器，确保所述承载板已旋转指定角度，当所述料盒位于所述承载板上，所述控制器控制电机组件开启，旋转至所述第一指针触发所述第一传感器，所述电机组件关闭，此时所述承载板未发生旋转。
第三个方面，本发明实施例提供了一种料盒承载平台的控制方法，包括如下步骤：将所述第一传感器及所述第二传感器分别固定到指定位置；当从第一设备上接收所述料盒时，在所述料盒承载平台进入所述等待静置阶段，所述第一指针触发所述第一传感器，确保所述承载板未发生旋转，当所述料盒位于所述承载板上，所述第一指针仍然触发所述第一传感器，则所述控制器判断所述承载板未发生偏移，所述控制器控制所述电机组件开启，旋转至所述第二指针触发所述第二传感器，所述电机组件关闭，此时所述承载板旋转指定角度；当所述料盒位于所述承载板上，所述第一指针未触发所述第一传感器，则所述控制器判断所述承载板已发生偏移，所述料盒承载平台进入所述偏移修正阶段，对所述承载板的偏移角度完成修正后，再发出开启命令使得所述第二指针触发所述第二传感器，所述电机组件关闭，此时所述承载板旋转指定角度。
具体的，当从第二设备上接收所述料盒时，在所述料盒承载平台进入所述等待静置阶段，所述第二指针触发所述第二传感器，确保所述承载板已旋转指定角度，当所述料盒位于所述承载板上，所述第二指针仍然触发所述第二传感器，所述控制器判断所述承载板未发生偏移，所述控制器控制所述电机组件开启，旋转至所述第一指针触发所述第一传感器，所述电机组件关闭；当所述料盒位于所述承载板上，所述第二指针未触发所述第二传感器，所述控制器判断所述承载板已发生偏移，所述料盒承载平台进入所述偏移修正阶段，对所述承载板的偏移角度完成修正后，再发出开启命令使得所述第一指针触发所述第一传感器，所述电机组件关闭，此时所述承载板未发生旋转。
可选的，当从第一设备上接收所述料盒后，所述料盒承载平台进入所述偏移修正阶段包括：所述控制器控制所述电机组件开启，使得所述金属折板绕所述第三指针指向所述第一指针的方向旋转，在所述控制器中预设所述第一标准时间间隔ΔT，所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第一传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔与所述第一标准时间间隔ΔT相比较，所述控制器判断所述承载板的偏移方向；若所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第一传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔小于所述第一标准时间间隔ΔT，则所述控制器判断为所述第一指针触发所述第一传感器，所述控制器控制所述电机组件关闭，所述承载板的偏移角度完成修正；若所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第一传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔大于所述第一标准时间间隔ΔT，则所述控制器判断为所述第三指针触发所述第一传感器，所述控制器控制所述电机组件关闭，之后，所述控制器控制电机组件开启，使得所述金属折板绕所述第一指针指向所述第三指针的方向旋转，旋转至所述第一指针触发所述第一传感器，控制器控制所述电机组件关闭，所述承载板的偏移角度完成修正。
具体的，当从第二设备上接收所述料盒后，所述料盒承载平台进入所述偏移修正阶段包括：所述控制器控制所述电机组件开启，使得所述金属折板绕所述第四指针指向所述第二指针的方向旋转，在所述控制器中预设所述第二标准时间间隔ΔT’，所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第二传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔与所述第二标准时间间隔ΔT’相比较，所述控制器判断所述承载板的偏移方向；若所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第二传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔小于所述第二标准时间间隔ΔT’，则所述控制器判断为所述第二指针触发所述第二传感器，所述控制器控制所述电机组件关闭，所述承载板的偏移角度完成修正；若所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第二传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔大于所述第二标准时间间隔ΔT’，则所述控制器判断为所述第四指针触发所述第二传感器，所述控制器控制所述电机组件关闭，之后，所述控制器控制电机组件开启，使得所述金属折板绕所述第二指针指向所述第四指针的方向旋转，旋转至所述第二指针触发所述第二传感器，控制器控制所述电机组件关闭，所述承载板的偏移角度完成修正。
第四个方面，本发明实施例提供了一种半导体设备，包括如前项所述的料盒承载平台。
本发明实施例至少具有以下技术效果：
本发明实施例提供的一种料盒承载平台，将第一传感器作为固定传感器，第二传感器作为可调位置的传感器，第一指针及第二指针分别触发第一传感器及第二传感器时，传感器则会向控制器发出被触发的信号。因此，通过调节第二传感器在第二轮组的轴承周围的布置位置，可以调节轴承旋转到不同的角度位置，因此承载板上的料盒也会旋转至需要的角度。同时第二传感器能够地沿着环形轨道调整到0-360的任意角度位置，实现料盒的360°旋转，解决了因OHT轨道与处理设备在水平面投影存在夹角，料盒无法直接转运的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种料盒承载平台第一视角示意图；
图2为本发明实施例提供的一种料盒承载平台第二视角的部分结构示意图；
图3为本发明实施例提供的一种料盒承载平台的金属折板示意图；
图4为本发明实施例提供的一种料盒承载平台的另一种金属折板示意图；
图5为本发明实施例提供的一种料盒承载平台的承载板在偏移状态下的修正时序图；
图6为本发明实施例提供的一种半导体设备工作示意图。
图标：1-安装平板；2-电机组件；3-同步带轮组件；4-承载板；5-角度调节组件；31-第一轮组；32-第二轮组；50-金属折板；51-第一传感器；52-第二传感器；53-环形轨道；61-OHT轨道；62-OHT抓手；63-料盒；64-ALP中转设备；65-处理设备前端；66-处理设备；501-第一指针；502-第二指针；503-第三指针；504-第四指针。
具体实施方式
下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语（包括技术术语和科学术语），具有与本发明所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式 “一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本发明的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组合。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
第一个方面，请参阅图1至图3，本发明实施例提供了一种料盒承载平台，包括：安装平板1，电机组件2与同步带轮组件3安装在安装平板1上，同步带轮组件3包括第一轮组31与第二轮组32，电机组件2与第一轮组31连接；承载板4，承载板4与第二轮组32连接，电机组件2带动第一轮组31转动，从而带动第二轮组32及承载板4旋转；角度调节组件5，角度调节组件5安装在第二轮组32处，角度调节组件5包括金属折板50、环形轨道53、第一传感器51及第二传感器52，金属折板50安装在第二轮组32的轴承上且金属折板50上包括第一指针501及第二指针502，环形轨道53绕第二轮组32一周而设，第一传感器51固定在安装平板1上，第二传感器52安装在环形轨道53上，第一指针501及第二指针502分别用于触发第一传感器51及第二传感器52，第一传感器51与第二传感器52以所述第二轮组32的轴心所成夹角是承载板4旋转的角度；控制器，控制器用于接收角度调节组件5的信息并控制电机组件2。
本实施例中，将第一传感器51作为固定传感器，第二传感器52作为可调位置的传感器，第一指针501及第二指针502分别触发第一传感器51及第二传感器52时，传感器则会向控制器发出被触发的信号。因此，通过调节第二传感器52在第二轮组32的轴承周围的布置位置，可以调节轴承旋转到不同的角度位置。当轴承带动第一指针501旋转到第一传感器51时，承载板4是未旋转的状态，与处理设备正对，此时，将其上的料盒递送到处理设备上，或者从处理设备上将料盒取回来。当轴承带动第二指针502旋转到第二传感器52时，承载板4发生旋转，与OHT正对，此时，OHT可以垂直地将料盒放到承载板4上，或者从承载板4上将料盒取走。
其中可调位置的传感器，即第二传感器52设置在环形轨道53上，用户可根据OHT轨道和处理设备之间在水平面投影的夹角来设置第二传感器52在环形轨道53的位置，并进行固定。
同时，因为第一传感器51与第二传感器52的器件本身具有一定宽度，假如两传感器的触发点位于同一平面，则两触发点之间也具有一定的角度，则这个角度成为最小可调角度，比如20°。如果根据OHT轨道和处理设备之间在水平面投影的夹角所对应的需要旋转的角度小于这个最小可调角度，比如10°，那么是无法实现需求角度的旋转的。因此，此处以图2为参照，本实施例中设计使第二传感器52能够地沿着环形轨道53从第一传感器51内侧穿过，这样即可使得第二传感器52能够调整到0-360的任意角度位置。相应的，金属折板50上的指针设置为上下两个，用于分别除触发两个传感器。
本实施例中，在安装平板1、电机组件2、同步带轮组件3、承载板4、角度调节组件5与控制器的共同作用下，能够实现料盒的360°旋转，解决了因OHT轨道与处理设备在水平面投影存在夹角，料盒无法直接转运的问题。
可选的，第一指针501与第二指针502的连线垂直于安装平板1所在的平面。本实施例中，设置第一指针501与第二指针502的连线垂直于安装平板1所在的平面，能够使得角度调节组件5更加精准的实现对承载板4从0至360度的任意旋转角度的调节，因为此时第一指针501与第二指针502在安装平板1上的投影是重合的，对于角度调节的平面而言是同一根指针，因此会更加精准。
可选的，请参考图4，金属折板50还包括用于指示偏移的第三指针503及第四指针504，第三指针临近第一指针501、且与第一指针501的连线平行于安装平板1所在的平面，第四指针504临近第二指针502、且与第二指针502的连线平行于安装平板1所在的平面；且第三指针503与第四指针504的连线不垂直于安装平板所在的平面。
本实施例中，设置第三指针503及第四指针504是防止将料盒放在承载板4上时，可能出现抖动的情况，如果抖动过大，则可能进一步导致指针偏离传感器，造成控制器命令电机组件2进行错误地旋转。为避免该情况，在第一指针501与第二指针502相反的一侧进一步各自增加了一个防偏移的指针。
可选的，控制器基于第一传感器51或第二传感器52的触发状态，判断承载板4是否发生偏移；料盒承载平台在运行时包括正常旋转阶段和等待静置阶段，在等待静置阶段，当料盒被放置在承载板4上，若第一传感器51或第二传感器52是被触发状态，则控制器判断承载板4未发生偏移；若第一传感器51或第二传感器52是未被触发状态，则控制器判断承载板4发生偏移。
本实施例中，控制器利用第一传感器51或第二传感器52的触发状态来判断承载板4是否发生偏移，如果没有偏移，那就可以直接进行下一步旋转操作，如果发生偏移，则需要将偏移修正后再旋转。
可选的，料盒承载平台在运行时还包括偏移修正阶段，若控制器判断承载板4发生偏移，料盒承载平台进入偏移修正阶段；控制器控制电机组件2开启，使得金属折板50绕第三指针503指向第一指针501的方向旋转，至第一传感器51被再次触发；或，使得金属折板50绕第四指针504指向第二指针502的方向旋转，至第二传感器52被再次触发。
本实施例中，只要控制器判断出承载板4发生了偏移，以在第一传感器51的附近出现偏移为例，无论承载板4朝哪边偏移，金属折板50都是绕第三指针503指向第一指针501的方向旋转，至第一传感器51被再次触发，后续可通过第一传感器51被再次触发的时间间隔来判断偏移的方向。
可选的，在控制器中，预设第一标准时间间隔ΔT，控制器向电机组件2发出开启命令的时刻到第一传感器51被再次触发的时刻之间的时间间隔与第一标准时间间隔ΔT相比较，控制器判断承载板的偏移方向；在控制器中，预设第二标准时间间隔ΔT’，控制器向电机组件2发出开启命令的时刻到第二传感器52被再次触发的时刻之间的时间间隔为与第二标准时间间隔ΔT’相比较，控制器判断承载板的偏移方向。
本实施例中，第一指针触发第一传感器所需的时间小于第一标准时间间隔ΔT，第三指针触发第一传感器所需的时间大于第一标准时间间隔ΔT，第二指针触发第二传感器所需的时间小于第二标准时间间隔ΔT’，第四指针触发第二传感器所需的时间大于第二标准时间间隔ΔT’，控制器通过时间间隔的大小，判断承载板4的偏移方向。
可选的，第一指针501与第三指针503之间的距离为L1，第二指针502与第四指针504之间的距离为L2，承载板4发生抖动时的最大偏移量为X，则有2X<L1<3X，2X<L2<3X。
本实施例中，L1与L2都取此区间，L1与L2都大于2倍的承载板4的最大偏移距离，是为了判断是哪个指针触发了传感器。此处以承载板4原先的状态为未偏转状态，即第一指针501触发第一传感器51的情况进行说明。参见图2，图4及图5，当放上料盒，承载板4发生抖动，则此时没有指针触发第一传感器51，预先在控制器中设定第一标准时间间隔ΔT，不论承载板4朝哪个方向偏移，金属折板50都向顺时针方向旋转。若经过ΔT1段时间后，所用时间ΔT1<ΔT，则判断为第一指针501触发第一传感器51；若经过ΔT2段时间后，所用时间ΔT2>ΔT，则判断为第三指针503触发第一传感器51。假如L1小于2X，承载板4已经向顺时针方向偏移了X，那么第一传感器51被第三指针503再次触发所用的时间ΔT2，就有可能出现ΔT2<ΔT1的情况，这样会导致控制器发生误判，误认为是第一指针501触发了第一传感器51。
只有当L1与L2都大于2倍的承载板4的最大偏移距离时，不同指针触发传感器的时间间隔才有差异，便于控制器判断并进行下一步操作。但L1与L2也不能过大，过大会影响生产效率。
可选的，第一指针501与第三指针503之间的距离为L1，第二指针502与第四指针504之间的距离为L2，L1=L2。本实施例中，使得L1=L2，可以减少后续控制器中的相关参数设置，便于后续控制器判断偏移方向。
可选的，在环形轨道53的外圈设置360°的角度刻度标识，便于第二传感器52调整位置。优选的，将第一传感器51所在的位置设为180°角的位置，便于后续调节对照。
可选的，第一传感器51及第二传感器52均为光电传感器。本实施例中，两个传感器均采用光学传感器，当金属折板50上的指针挡住传感器的光路时，传感器则会向控制器发出被触发的信号。
第二个方面，本发明还公开了一种可调旋转角度的料盒承载平台的控制方法，包括如下步骤：将第一传感器51及第二传感器52分别固定到指定位置；当从第一设备上接收料盒时，第一指针501触发第一传感器51，确保承载板4未发生旋转，当料盒位于承载板4上，控制器控制电机组件2开启，使得第二指针502触发第二传感器52，电机组件2关闭，此时承载板4旋转指定角度；当从第二设备上接收料盒时，第二指针502触发第二传感器52，确保承载板4旋转指定角度，当料盒位于承载板4上，控制器控制电机组件2开启，旋转至第一指针501触发第一传感器51，电机组件2关闭，此时承载板4未发生旋转。
本实施例中，此处以图2及图3为参照，以第一设备为处理设备，第二设备为OHT（高架空中运载车）进行说明。当从处理设备上接收料盒时，此时第一指针501触发第一传感器51，确保承载板4未发生旋转，承载板4正对处理设备，当料盒位于承载板4上后，控制器控制电机组件2，旋转至第二指针502触发第二传感器52，电机组件2停止，此时承载板4旋转指定角度，承载板4正对OHT，OHT可将其上的料盒取走。
同样的，当从OHT上接收料盒时，此时第二指针502触发第二传感器52，确保承载板4旋转指定角度，承载板4正对OHT，当料盒位于承载板4上后，控制器控制电机组件2，旋转至第一指针501触发第一传感器51，电机组件2停止，此时承载板4未发生旋转，承载板4正对处理设备，可将料盒送至处理设备。
第三个方面，本发明还公开了一种可调旋转角度的料盒承载平台的控制方法，包括如下步骤：将第一传感器51及第二传感器52分别固定到指定位置；当从第一设备上接收料盒时，在料盒承载平台进入等待静置阶段，第一指针501触发第一传感器51，确保承载板4未发生旋转，当料盒位于承载板4上，第一指针501仍然触发第一传感器51，则控制器判断承载板4未发生偏移，控制器控制电机组件2开启，旋转至第二指针502触发第二传感器52，电机组件2关闭，此时承载板4旋转指定角度；当料盒位于承载板4上，第一指针501未触发第一传感器51，则控制器判断承载板4已发生偏移，料盒承载平台进入偏移修正阶段，对承载板4的偏移角度完成修正后，再发出开启命令使得第二指针502触发第二传感器52，电机组件2关闭，此时承载板4旋转指定角度。
当从第二设备上接收料盒时，在料盒承载平台进入等待静置阶段，第二指针502触发第二传感器52，确保承载板4已旋转指定角度，当料盒位于承载板4上，第二指针502仍然触发第二传感器52，控制器判断承载板4未发生偏移，控制器控制电机组件2开启，旋转至第一指针501触发第一传感器51，电机组件2关闭；当料盒位于承载板4上，第二指针502未触发第二传感器52，控制器判断承载板4已发生偏移，料盒承载平台进入偏移修正阶段，对承载板4的偏移角度完成修正后，再发出开启命令使得第一指针501触发第一传感器51，电机组件2关闭，此时承载板4未发生旋转。
可选的，当从第一设备上接收料盒后，料盒承载平台进入偏移修正阶段包括：控制器控制电机组件2开启，使得金属折板50绕第三指针503指向第一指针501的方向旋转，在控制器中预设第一标准时间间隔ΔT，控制器向电机组件2发出开启命令的时刻到第一传感器51被再次触发的时刻之间的时间间隔与第一标准时间间隔ΔT相比较，控制器判断承载板4的偏移方向；若控制器向电机组件2发出开启命令的时刻到第一传感器51被再次触发的时刻之间的时间间隔小于第一标准时间间隔ΔT，则控制器判断为第一指针501触发第一传感器51，控制器控制电机组件2关闭，承载板4的偏移角度完成修正；若控制器向电机组件2发出开启命令的时刻到第一传感器51被再次触发的时刻之间的时间间隔大于第一标准时间间隔ΔT，则控制器判断为第三指针503触发第一传感器51，控制器控制电机组件2关闭，之后，控制器控制电机组件2开启，使得金属折板50绕第一指针501指向第三指针503的方向旋转，旋转至第一指针501触发第一传感器51，控制器控制电机组件2关闭，承载板4的偏移角度完成修正。
具体的，当从第二设备上接收料盒后，料盒承载平台进入偏移修正阶段包括：控制器控制电机组件2开启，使得金属折板50绕第四指针504指向第二指针502的方向旋转，在控制器中预设第二标准时间间隔ΔT’，控制器向电机组件2发出开启命令的时刻到第二传感器52被再次触发的时刻之间的时间间隔与第二标准时间间隔ΔT’相比较，控制器判断承载板4的偏移方向；若控制器向电机组件2发出开启命令的时刻到第二传感器52被再次触发的时刻之间的时间间隔小于第二标准时间间隔ΔT’，则控制器判断为第二指针502触发第二传感器52，控制器控制电机组件2关闭，承载板4的偏移角度完成修正；若控制器向电机组件2发出开启命令的时刻到第二传感器52被再次触发的时刻之间的时间间隔大于第二标准时间间隔ΔT’，则控制器判断为第四指针504触发第二传感器52，控制器控制电机组件2关闭，之后，控制器控制电机组件2开启，使得金属折板50绕第二指针502指向第四指针504的方向旋转，旋转至第二指针502触发第二传感器52，控制器控制电机组件2关闭，承载板4的偏移角度完成修正。
本实施例中，此处以图2、图4及图5为参照，第一设备为处理设备，第二设备为OHT进行说明。当从处理设备上接收料盒时，此时第一指针501触发第一传感器51，确保承载板4未发生旋转，承载板4正对处理设备，当料盒位于承载板4上后，控制器判断承载板4是否发生偏移，如果第一指针501仍然触发第一传感器51，则控制器判断承载板4未发生偏移，控制器控制电机组件2，旋转至第二指针502触发第二传感器52，电机组件2停止，此时承载板4旋转指定角度，承载板4正对OHT，OHT可将其上的料盒取走。
如果第一指针501未触发第一传感器51，则控制器判断承载板4发生偏移，在经过ΔT0的时间间隔后，控制器控制电机组件2开启，使得金属折板50绕第三指针503指向第一指针501的方向旋转，在图2中即为顺时针方向旋转。预先在控制器中，预设第一标准时间间隔ΔT。
假如承载板4向逆时针方向偏移，在t1时刻，控制器向电机组件2发出开启命令，此时金属折板50顺时针方向旋转，则经过ΔT1段时间后，在t2时刻，第一传感器51被第一指针501触发，传感器信号中0代表未被触发，1代表被触发，所用时间ΔT1<ΔT，则控制器控制电机组件2关闭，此时对承载板4的偏移完成修正；之后，控制器控制电机组件2开启，旋转至第二指针502触发第二传感器52，电机组件2停止，此时承载板4旋转指定角度，承载板4正对OHT，OHT可将其上的料盒取走。
假如承载板4向顺时针方向偏移，在t1时刻，控制器向电机组件2发出开启命令，此时金属折板50顺时针方向旋转，则经过ΔT2段时间后，在t3时刻，第一传感器51被第三指针503触发，所用时间ΔT2>ΔT，则在t3时刻控制器控制电机组件2关闭，之后，在t4时刻，控制器控制电机组件2开启，使得金属折板50逆时针方向旋转，与之前的控制信号方向相反，旋转至t5时刻，第一指针501触发第一传感器51，控制器控制电机组件2关闭，此时对承载板4的偏移完成修正；之后，控制器控制电机组件2开启，旋转至第二指针502触发第二传感器52，电机组件2停止，此时承载板4旋转指定角度，承载板4正对OHT，OHT可将其上的料盒取走。
以上是以当从处理设备上接收料盒时为例，说明判断承载板4是否偏移及对其偏移进行修正的方法。当从OHT上接收料盒时，判断承载板4是否偏移及对其偏移进行修正的方法与上述情况类似，只不过判断的依据在于第二指针502是否触发第二传感器52，对承载板4的偏移进行修正时，无论其朝哪边偏移，都是先使金属折板50朝第四指针504指向第二指针502的方向旋转，参照图2为逆时针方向旋转，用第二传感器52再次被第二指针502或第四指针504触发的时间间隔来进行判断，确定后续的修正步骤。
第四个方面，本发明还公开了一种半导体设备，包括如前项所述的料盒承载平台。请参照图6，此处以ALP中转设备64包括料盒承载平台为例，从OHT上接收料盒并送至处理设备，OHT轨道61与处理设备66之间存在夹角，OHT抓手62不能直接将料盒63正确放置于处理设备前端65，因此需要先将料盒63放在ALP中转设备64上，ALP中转设备64的料盒承载平台先旋转一定的角度与OHT轨道61正对，当料盒63放置在料盒承载平台上后，料盒承载平台将料盒63旋转至正对处理设备前端65，此时ALP中转设备64再将料盒63放置于处理设备前端65，完成料盒63的流转。
本技术领域技术人员可以理解，本发明中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案可以被交替、更改、组合或删除。进一步地，具有本发明中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的其他步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。进一步地，现有技术中的具有与本发明中公开的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体状况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (14)

1.一种料盒承载平台，其特征在于，包括：
安装平板；
电机组件；
同步带轮组件，所述电机组件与所述同步带轮组件安装在所述安装平板上，所述同步带轮组件包括第一轮组与第二轮组，所述电机组件与所述第一轮组连接；
承载板，所述承载板与所述第二轮组连接，所述电机组件带动所述第一轮组转动，从而带动所述第二轮组及承载板旋转；
角度调节组件，所述角度调节组件安装在所述第二轮组处，所述角度调节组件包括金属折板、环形轨道、第一传感器及第二传感器，所述金属折板安装在所述第二轮组的轴承上且所述金属折板上包括第一指针及第二指针，所述环形轨道绕所述第二轮组一周而设，所述第一传感器固定在所述安装平板上，所述第二传感器安装在所述环形轨道上，所述第一指针及所述第二指针分别用于触发所述第一传感器及所述第二传感器，所述第一传感器与所述第二传感器以所述第二轮组的轴心所成夹角是所述承载板旋转的角度；
控制器，所述控制器用于接收所述角度调节组件的信息并控制所述电机组件。
2.根据权利要求1所述的料盒承载平台，其特征在于，所述第一指针与所述第二指针的连线垂直于所述安装平板所在的平面。
3.根据权利要求2所述的料盒承载平台，其特征在于，所述金属折板还包括用于指示偏移的第三指针及第四指针，所述第三指针临近所述第一指针、且与所述第一指针的连线平行于所述安装平板所在的平面，所述第四指针临近所述第二指针、且与所述第二指针的连线平行于所述安装平板所在的平面；
且所述第三指针与所述第四指针的连线不垂直于所述安装平板所在的平面。
4.根据权利要求3所述的料盒承载平台，其特征在于，所述控制器基于所述第一传感器或所述第二传感器的触发状态，判断所述承载板是否发生偏移；
所述料盒承载平台在运行时包括正常旋转阶段和等待静置阶段，在所述等待静置阶段，当料盒被放置在所述承载板上，若所述第一传感器或所述第二传感器是被触发状态，则所述控制器判断所述承载板未发生偏移；若所述第一传感器或所述第二传感器是未被触发状态，则所述控制器判断所述承载板发生偏移。
5.根据权利要求4所述的料盒承载平台，其特征在于，所述料盒承载平台在运行时还包括偏移修正阶段，若所述控制器判断所述承载板发生偏移，所述料盒承载平台进入所述偏移修正阶段；
所述控制器控制所述电机组件开启，使得所述金属折板绕所述第三指针指向所述第一指针的方向旋转，至所述第一传感器被再次触发；或，使得所述金属折板绕所述第四指针指向所述第二指针的方向旋转，至所述第二传感器被再次触发。
6.根据权利要求5所述的料盒承载平台，其特征在于，在所述控制器中，预设第一标准时间间隔ΔT，所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第一传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔与所述第一标准时间间隔ΔT相比较，所述控制器判断所述承载板的偏移方向；
在所述控制器中，预设第二标准时间间隔ΔT’，所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第二传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔与所述第二标准时间间隔ΔT’相比较，所述控制器判断所述承载板的偏移方向。
7.根据权利要求6所述的料盒承载平台，其特征在于，所述第一指针与所述第三指针之间的距离为L1，所述第二指针与所述第四指针之间的距离为L2，所述承载板发生抖动时的最大偏移量为X，则有2X<L1<3X，2X<L2<3X。
8.根据权利要求7所述的料盒承载平台，其特征在于，L1=L2。
9.根据权利要求1所述的料盒承载平台，其特征在于，所述环形轨道的外圈设置360°的角度刻度标识，便于所述第二传感器调整位置。
10.根据权利要求1所述的料盒承载平台，其特征在于，所述第一传感器及所述第二传感器均为光电传感器。
11.一种料盒承载平台的控制方法，基于权利要求1-2中任一项所述的料盒承载平台，其特征在于，包括如下步骤：
将所述第一传感器及所述第二传感器分别固定到指定位置；
当从第一设备上接收所述料盒时，所述第一指针触发所述第一传感器，确保所述承载板未发生旋转，当所述料盒位于所述承载板上，所述控制器控制所述电机组件开启，旋转至所述第二指针触发所述第二传感器，所述电机组件关闭，此时所述承载板旋转指定角度；
当从第二设备上接收所述料盒时，所述第二指针触发所述第二传感器，确保所述承载板已旋转指定角度，当所述料盒位于所述承载板上，所述控制器控制所述电机组件开启，旋转至所述第一指针触发所述第一传感器，所述电机组件关闭，此时所述承载板未发生旋转。
12.一种料盒承载平台的控制方法，基于权利要求6所述的料盒承载平台，其特征在于，包括如下步骤：
将所述第一传感器及所述第二传感器分别固定到指定位置；
当从第一设备上接收所述料盒时，在所述料盒承载平台进入所述等待静置阶段，所述第一指针触发所述第一传感器，确保所述承载板未发生旋转，当所述料盒位于所述承载板上，所述第一指针仍然触发所述第一传感器，则所述控制器判断所述承载板未发生偏移，所述控制器控制所述电机组件开启，旋转至所述第二指针触发所述第二传感器，所述电机组件关闭，此时所述承载板旋转指定角度；
当所述料盒位于所述承载板上，所述第一指针未触发所述第一传感器，则所述控制器判断所述承载板已发生偏移，所述料盒承载平台进入所述偏移修正阶段，对所述承载板的偏移角度完成修正后，再发出开启命令使得所述第二指针触发所述第二传感器，所述电机组件关闭，此时所述承载板旋转指定角度；
当从第二设备上接收所述料盒时，在所述料盒承载平台进入所述等待静置阶段，所述第二指针触发所述第二传感器，确保所述承载板已旋转指定角度，当所述料盒位于所述承载板上，所述第二指针仍然触发所述第二传感器，所述控制器判断所述承载板未发生偏移，所述控制器控制所述电机组件开启，旋转至所述第一指针触发所述第一传感器，所述电机组件关闭；
当所述料盒位于所述承载板上，所述第二指针未触发所述第二传感器，所述控制器判断所述承载板已发生偏移，所述料盒承载平台进入所述偏移修正阶段，对所述承载板的偏移角度完成修正后，再发出开启命令使得所述第一指针触发所述第一传感器，所述电机组件关闭，此时所述承载板未发生旋转。
13.根据权利要求12所述的料盒承载平台的控制方法，其特征在于，
当从第一设备上接收所述料盒后，所述料盒承载平台进入所述偏移修正阶段包括：
所述控制器控制所述电机组件开启，使得所述金属折板绕所述第三指针指向所述第一指针的方向旋转，在所述控制器中预设所述第一标准时间间隔ΔT，所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第一传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔与所述第一标准时间间隔ΔT相比较，所述控制器判断所述承载板的偏移方向；
若所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第一传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔小于所述第一标准时间间隔ΔT，则所述控制器判断为所述第一指针触发所述第一传感器，所述控制器控制所述电机组件关闭，所述承载板的偏移角度完成修正；
若所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第一传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔大于所述第一标准时间间隔ΔT，则所述控制器判断为所述第三指针触发所述第一传感器，所述控制器控制所述电机组件关闭，之后，所述控制器控制所述电机组件开启，使得所述金属折板绕所述第一指针指向所述第三指针的方向旋转，旋转至所述第一指针触发所述第一传感器，所述控制器控制所述电机组件关闭，所述承载板的偏移角度完成修正；
当从第二设备上接收所述料盒后，所述料盒承载平台进入所述偏移修正阶段包括：
所述控制器控制所述电机组件开启，使得所述金属折板绕所述第四指针指向所述第二指针的方向旋转，在所述控制器中预设所述第二标准时间间隔ΔT’，所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第二传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔与所述第二标准时间间隔ΔT’相比较，所述控制器判断所述承载板的偏移方向；
若所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第二传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔小于所述第二标准时间间隔ΔT’，则所述控制器判断为所述第二指针触发所述第二传感器，所述控制器控制所述电机组件关闭，所述承载板的偏移角度完成修正；
若所述控制器向所述电机组件发出开启命令的时刻到所述第二传感器被再次触发的时刻之间的时间间隔大于所述第二标准时间间隔ΔT’，则所述控制器判断为所述第四指针触发所述第二传感器，所述控制器控制所述电机组件关闭，之后，所述控制器控制所述电机组件开启，使得所述金属折板绕所述第二指针指向所述第四指针的方向旋转，旋转至所述第二指针触发所述第二传感器，所述控制器控制所述电机组件关闭，所述承载板的偏移角度完成修正。
14.一种半导体设备，其特征在于，包括如权利要求1-10中任一项所述的料盒承载平台。
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