JPS59187446A

JPS59187446A - 付着防止方法

Info

Publication number: JPS59187446A
Application number: JP58058674A
Authority: JP
Inventors: Takashi Miyatani; 孝宮谷
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1983-04-05
Filing date: 1983-04-05
Publication date: 1984-10-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、例えば平行平面加工において被加工物の砥石
への付着を防止するための付着防止方法に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

従来、板状の被加工物の両面を同時に平行平面加工する
には、被加工物を上砥石と下砥石とによ）挟圧すること
により行っていた。しかして、所定の厚さに被加工物を
研磨すると、上砥石を上昇させることによシ上砥石を下
砥石から離間させていた。このとき、被加工物のル：糸
・が軽いものでは、この被加工物がしばしば上砥石に付
着して上昇してしまうので、作業員が逐−手で上砥石か
ら取りはずしていた。ところで、このように被加工物が
上砥石に付着したまま上昇すると以下の不具合を惹起す
る。

（イ）被加工物が上砥石上昇中に突然上砥石から離れて
落下し、傷ついたり、破砕したりする。

（ロ）被加工物が、他の被加工物上に落下すれば、同時
に２個の被加工物が不良となり歩留が低下する。

（ハ）被加工物が上砥石と下砥石との両方に分散してし
まうと自動化の障害となる。

したがって、これらの不具合を回避するだめの方法が要
望されていた。

〔発明の目的〕

本発明は、上記事情を勘案してｋされたもので、上砥石
を上昇させる際、上砥石への被加工物の付着を防止する
付着防止方法を祈供することを目的とする。

〔発明の概要〕

上砥石と下砥石とにより被加工物の平行平面加工を行う
場合に、研磨加工終了後上砥石と下砥石とを相対的に離
間させる際、上砥石側から被加工物に向って流体を噴射
させ上砥石への被加工物の付着を防止するようにしたも
のである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。

第１図は、本実施例の付着防止方法に使用される研磨装
置を示している。円板状の補力１】工物（１）・・・は
、２個のキャリヤ（２＋、　（２＋に等配して４個ずつ
設けられだ円孔に回転自在に保持されている。これらキ
ャリヤ（２＋、　（２＋は、円筒状の下砥石（３）の研
磨面である上端面上に保持している被加工物ｆｌ）・・
・の下面が密接するように設けられている。また、キャ
リヤ（力、（２）の外周部には歯（４）・・・が形成き
れていて、外歯車となっている。これらキャリヤ（２＋
、（２＋は、図示せぬ支持体により下砥石（３）上ｙＡ
’４部を１ノ４１Ｂトするように同軸に固定された円筒
状の内歯）ｊｉ、　Ｉ５）　’ｌこ歯合されている。さ
らに、下砥石（３）の甲”Ｚ　７ｆｆｉｌＳには１．桟
軸（６）が挿設されている。そして、このジ吉（１山（
６）の」二端部には第１の平歯矩（７）が同軸に設けら
ノｔ、この平歯車（７）は、上記キャリヤ（２）、（２
）と歯合されている。この平歯車（７）の上面は、ギヤ
リヤｆ２）　、　（２）に保持された被加工物（１）・
・・の上面上り高い位↑とに４ン定されている。また、
基軸（６）の下、端部には、八′〜２の平歯車（８）が
同軸に設けられている。この第２の平歯車（８）は、歯
車列（→）を介して図示せ）１１第１の回転駆動機構に
より回転駆動されるようになっている。

さらに、下砥石（３）の下ｉ’ｉｉａ　ｊｆｌ側には円
１≦）状の保持体００）が同軸に連設されている。この
保付体叫の下咄部には、第３の平歯車（ＩＩ）が同軸に
設けられている。

そして、この第３の平歯車１１１）は、爾Ｊ４１夕す（
ｉ力を介して図示せぬ第２の回転部ｊ妨くべ構により回
転駆動されるようになっている。一方、下砥石（３）の
上方には、図示せぬ例えばエア拳シリンダなどの昇降駆
動機構が配設されている。この昇降駆動機構のビストン
ロンド（１３）の先端には、球体α（イ）が形成されて
いる。この球体（１４）には下砥石（３）と同軸の支軸
（１９の一端部が玉継手状に回転自在に嵌着されている
。

そして、この支軸（１９の他端部には円盤状の支持体０
６）が同軸に連結されている。この支持体（Ｉ６）の下
面には、この支持体ｕ６）と同軸、同径の円盤状の上砥
石（１７）が支持されている。この上砥石ｑ′７）の中
央部には、第２図に示すように、第１の平歯車（７）に
嵌合する内歯車（田が設けられている。さらに、支軸（
１つの中途部分には、ロータリジヨイント０匂が取付け
られている。このロータリジヨイント餞は、支軸（！（
ト）と一体的に回転する一対の可動部分（’、！Ｏ）、
＋２０）と、これら可動部分（イ）、■間に液密に介挿
された固定部分（２９とからなっている。この固定部分
θ１）には、導管Ｃ２渇が接続されている。この導管（
２２）は中途から導管（２２ａ）と導管（２２ｂ）とに
分岐している。そして、導管（２２ａ　）は、第１の切
換弁（？３を介して図示せぬ研削液供給機構に接続され
ている。他方、導管（２２ｂ）は、第２の切換弁（２４
）を介して図示せぬ圧縮空気源に接続されている。さら
に、第２図に示すように、上砥石ｕ′７）と支持体（１
６１とには、直径方向に等間隔で貫通孔（２５）・・・
が穿設されている。これら貫通孔（２５）・・・の支持
体（１６１（Ｎｉｌ開口には、各別に中途で分岐した導
管（２６）、（２６）の一端部が接続されている。

これら導管（２１’、）　、伽）の他端部は、ロータリ
ジヨイントα９に接続されている。

つぎに、上記構成の研磨装置を用いた本実施例の付着防
止方法について述べる。まず、被加工物（１）・・・を
キャリヤ（２）、（２）に保持させ、下面を下砥石（３
）に接触させる。しかして、昇降駆動機構を作動させ、
上砥石（１′θを矢印（２７ａ）方向に工師させ、内歯
車饅を第１の平歯車（力に歯合させるとともに、上砥石
（１ηを被加工物（１）・・・に一定圧力で圧接させる
。

ついで、第１の切換弁Ｃ１萄を開状態にして（このとき
第２の切換弁（２４）は閉状態にしておく。）、研削液
供給機構から研削液を導管（２壜、ロータリジヨイント
住傷、導管（ホ）を介して、上砥石（１７）の貫通孔Ｃ
２５１から噴出させる。それから、第１の回転駆動機構
を作動させ、歯車列（９）及び第２の平歯車（８）を介
して基軸（６）を矢印（２）方向に回転駆動させ第１の
平歯車（７）に歯合しているキャリヤ（２）ｉ２＋を内
歯車（５）の内周に沿って回転運動させる。これにとも
ない、第１の平歯車（力に歯合している上砥石（力も矢
印（（ト）方向に従動する。さ・らに、これと同時に、
第２の回転駆動機構を作動させ、歯車列Ｕり及び第３の
平歯車（１１）を介して下砥石（３）を矢印（２俤方向
に回転駆動する。

かくて、被加工物（１）・・・は、北砥石（１′Ｄと下
砥石（３）とによシ平行平面研削加工を受ける。しかし
て、所期の厚さにまで被加工物（１）・・・が加工され
ると、第１の切換弁臼）を閉状態に、第２の切換弁（２
４）を開状態にして、圧縮空気源に導管（２りを接続し
、貫通孔（２５１・・・から研削液の代りに圧縮空気を
噴射させながら、昇降駆動機構を作動させて矢印（２７
ｂ　）方向に徐々に上砥石０７）を上昇させる。すると
、上砥石１１７）と被加工物（１）・・・間に圧縮空気
が吹き付けられ、被加工物（１）・・・は下砥石（３）
に押し付けられる。その結果、上砥石（］７）は、被加
工物（１）・・・を付着することなく原位置にまで上昇
することができる。し７かして、下砥石（３）と基軸（
６）の回転を停止させ、研磨作業を完了する。

このように、本実施例の伺着防止方法によれば、研磨加
工終了後、上砥石（１７）を下砥石（３）から唖間させ
る際の上砥石への被加工物（１）・・・の付着がなくな
るので、被加工物（＋）・・・の落下にともなう千−傷
、破損が皆無となり歩留が向上する。しかも、被加工物
（１）・・・を確実に下砥石（３）の定位置に保持する
ことができるので自動化が容易に々る。

々お、上記実施例においては、−上砥石（力に設けられ
た貫通孔（２５）・・・は直径方向に一列であるが、８
３３図に示すように、貫通孔Ｃ３０＋・・・を研磨面金
ｉＫＩにわたって均一に分布させることにより、キャリ
ヤ（２）。

（２）が静止した状態でも被加工！ｒｉ（１）・・の付
着をシカ果的に防止することができる。さらに、上記実
ｈｊａ例においては、被加工物（］）・・・への付着防
止のたｄ）に圧縮空気をオ）］用（７ているが、研削液
の１′−１通孔からの噴出によっても同様の効果を得る
ことができる。

さらにまだ、上記実施例においては、被加工物（１）・
・・の付着を防止する際、上砥石αηは徐々に上昇させ
ているが、キャリヤ（２）、（２１の厚さの範囲内で一
担上昇を停止させ、被加工物（１）・・・がすべて下砥
石（３）に押し付けられた後、再び上昇させるようにし
てもよい。　　゛〔発明の効果〕本発明の付着防止方法によれば、被加工物が上砥石に付
着することがないので、上砥石上昇中に落下して破損し
たシ、他の被加工物を傷っけたりすることがなくなるの
で、歩留が向上する。しかも、下砥石の所定位置に被加
工物を確実に位置決めすることが可能であるので平行平
面研助装置の自動化が容易になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の付着防止方法の一実施例に用いられる
研磨装置の要部を示す斜視図、第２図は同じく上砥石の
下面図、第３図は他の実施例における上砥石の下面図で
ある。（１）：被加工物、　　　（３）：下砥石、＋１７）　
：上砥石、　　　（２５１，（至）二貫通孔。２＄＋　　　凶茅　２　　図第　３１２Ｊ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）上砥石と下砥石とによって平行平面加工された被
加工物の上記上砥石と上記下砥石との相対的離間の際の
上記上砥石への−ｓ墾楢；￥ｔ＋ｉヤ＠付着を防止する
付着防止方法において、上記上砥石に穿設された孔よシ
流体を上記被加工物に噴射させ上記被加工物の上記上砥
石への付着を防止することを特徴とする付着防止方法。
（２）流体は研削液であることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の付着防止方法。
（３）流体は圧縮空気であることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の付着防止方法。