JPS5918422A - 渦流量計用振動補償装置 - Google Patents
渦流量計用振動補償装置Info
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- JPS5918422A JPS5918422A JP57126732A JP12673282A JPS5918422A JP S5918422 A JPS5918422 A JP S5918422A JP 57126732 A JP57126732 A JP 57126732A JP 12673282 A JP12673282 A JP 12673282A JP S5918422 A JPS5918422 A JP S5918422A
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は渦流置針用の振動補償装置に関する。
（１）
被測定流体が流れる管路内に渦発生体を設け、その下流
にカルマン渦列が生じる際に引き起される上記渦発生体
の振動数から流量を測定する渦流量計は公知である。
にカルマン渦列が生じる際に引き起される上記渦発生体
の振動数から流量を測定する渦流量計は公知である。
然しなから、上記渦発生体の振動を検出するセンサは、
カルマン渦による振動のみならず、管路を伝ってくる各
種の振動ノイズ、例えばポンプの振動、ダンパの開閉振
動等も拾ってしまい、正確な流量測定が困難であった。
カルマン渦による振動のみならず、管路を伝ってくる各
種の振動ノイズ、例えばポンプの振動、ダンパの開閉振
動等も拾ってしまい、正確な流量測定が困難であった。
かかる問題に対処するために、例えば実開昭５７−１９
４６５号公報や実開昭５７−２８３７０号公報において
は、２個の振動検出センサを設け、一方の出力でシュミ
ットトリガ回路のトリガリングレベルを自動調整したり
、或いは両方の出力を合成処理することにより上記ノイ
ズを除去するようにした装置が提案されている。然しな
から、管路に対する２個の振動センサの取り付は位置が
異なっていてそのため両センサで採取されるノイズ信号
が同一波形でなかったり、或いは両振動センサの取り付
は位置を極めて厳密に調整する必要があるなどして、広
範囲の流量に対応しく２） 得るか否かという点からみると必ずしも充分なものでは
なかった。
４６５号公報や実開昭５７−２８３７０号公報において
は、２個の振動検出センサを設け、一方の出力でシュミ
ットトリガ回路のトリガリングレベルを自動調整したり
、或いは両方の出力を合成処理することにより上記ノイ
ズを除去するようにした装置が提案されている。然しな
から、管路に対する２個の振動センサの取り付は位置が
異なっていてそのため両センサで採取されるノイズ信号
が同一波形でなかったり、或いは両振動センサの取り付
は位置を極めて厳密に調整する必要があるなどして、広
範囲の流量に対応しく２） 得るか否かという点からみると必ずしも充分なものでは
なかった。
本発明は畝上の観点に立ってなされたものであり、その
目的とするところは、簡単且つ製造容兄な構造をもって
上記ノイズを略完全に除去し得る渦流置針用振動補償装
置を提供することにあり、その要旨とするところは、被
測定流体が流れる管路の側壁を貫通して管路内側へ伸び
る渦発生体に管路外側へ伸びる振動補償部を設け、上記
渦発生体の管路内側に該当する部分には第１の振動セン
サを、また管路外側に該当する振動補償部には第２の振
動センサをそれぞれ埋設し、上記第２の振動センサの出
力信号により上記第１の振動センサ、の出力信号中のノ
イズ成分を消去して、上記渦発生体のカルマン渦による
振動数のみに対応した周波数の信号を得るようにしたこ
とにある。
目的とするところは、簡単且つ製造容兄な構造をもって
上記ノイズを略完全に除去し得る渦流置針用振動補償装
置を提供することにあり、その要旨とするところは、被
測定流体が流れる管路の側壁を貫通して管路内側へ伸び
る渦発生体に管路外側へ伸びる振動補償部を設け、上記
渦発生体の管路内側に該当する部分には第１の振動セン
サを、また管路外側に該当する振動補償部には第２の振
動センサをそれぞれ埋設し、上記第２の振動センサの出
力信号により上記第１の振動センサ、の出力信号中のノ
イズ成分を消去して、上記渦発生体のカルマン渦による
振動数のみに対応した周波数の信号を得るようにしたこ
とにある。
以下、図面により本発明の構成の詳細を説明する。
第１図は本発明に係る振動補償装置を備えた渦流量針の
一実施例を示す断面図、第２図は第１図（３） に示した振動補償装置の回路構成の一実施例を示すブロ
ック図、第３図は本発明に係る振動補償装置の作動原理
を示す模式図、第４図は本発明振動補償装置に組み込ま
れる振動センサの他の一実施例を示す断面図、第５図は
第４図に示した振動ヒンサを用いる場合の回路構成を示
すブロック図、第６図及び第７図はそれぞれ振動センサ
の更に異なった実施例を示す斜視図、である。
一実施例を示す断面図、第２図は第１図（３） に示した振動補償装置の回路構成の一実施例を示すブロ
ック図、第３図は本発明に係る振動補償装置の作動原理
を示す模式図、第４図は本発明振動補償装置に組み込ま
れる振動センサの他の一実施例を示す断面図、第５図は
第４図に示した振動ヒンサを用いる場合の回路構成を示
すブロック図、第６図及び第７図はそれぞれ振動センサ
の更に異なった実施例を示す斜視図、である。
而して、第１図中、１はその内部を被測定流体が流れる
管路、２は上記管路１の外部から内部へ貫通するようネ
ジ３．３によって管路側壁に固定して設けられた例えば
三角柱等の棒状の渦発生体、４はその一端に形成された
第１の振動センサ心が管路の内側にまたもう一方の一端
に形成された第２の振動センサ４Ｂが管路のり１側に位
置するよう上記渦発生体の内腔２ａ内に埋設された振動
センサ、５は内腔２ａの内部に上記振動センサ４を固着
せしめるガラス封着体、６は上記渦発生体２の外端近く
に装着され調整ネジ６ａによって所望の位置に調整固定
されるバランスウェイトである。
管路、２は上記管路１の外部から内部へ貫通するようネ
ジ３．３によって管路側壁に固定して設けられた例えば
三角柱等の棒状の渦発生体、４はその一端に形成された
第１の振動センサ心が管路の内側にまたもう一方の一端
に形成された第２の振動センサ４Ｂが管路のり１側に位
置するよう上記渦発生体の内腔２ａ内に埋設された振動
センサ、５は内腔２ａの内部に上記振動センサ４を固着
せしめるガラス封着体、６は上記渦発生体２の外端近く
に装着され調整ネジ６ａによって所望の位置に調整固定
されるバランスウェイトである。
（４）
１１の振動センサ４Ａと第２の振動センサ４Ｂとを有す
る振動センサ４は、平板状の金属基板４０と、その管路
内側の一端の両側面に固着された圧電素子４１．４２と
、上記圧電素子４１．４２の外面に蒸着又は金ペースト
燃成等の手段によりそれぞれ被着された金属電極４３．
４４と、金属基板４０の管路外側の一端の両側面に固着
された圧電素子４５．４６と、上記圧電素子４５．４６
の外面にそれぞれ被着された金属電極４７．４８とから
成っている。従って、第１の振動センサ４八部分におい
ては、金属基板４０と圧電素子４１と電極４３とによっ
て１つの圧電センサ４ｐが形成され、またこれに対向し
て、金属基板４０と圧電素子４２と電極４４とによって
もう１つの圧電センサ４ｑが形成されるようになってい
る。一方、第２の振動センサ４Ｂ部分においても同様に
、金属基板４０と圧電素子４５と電極４７とによって１
つの圧電センサ４ｒが形成され、またこれに対向して、
金属基板４０と圧電素子４６と電極４８とによってもう
１つの圧電センサ４ｓが形成されるようになっている。
る振動センサ４は、平板状の金属基板４０と、その管路
内側の一端の両側面に固着された圧電素子４１．４２と
、上記圧電素子４１．４２の外面に蒸着又は金ペースト
燃成等の手段によりそれぞれ被着された金属電極４３．
４４と、金属基板４０の管路外側の一端の両側面に固着
された圧電素子４５．４６と、上記圧電素子４５．４６
の外面にそれぞれ被着された金属電極４７．４８とから
成っている。従って、第１の振動センサ４八部分におい
ては、金属基板４０と圧電素子４１と電極４３とによっ
て１つの圧電センサ４ｐが形成され、またこれに対向し
て、金属基板４０と圧電素子４２と電極４４とによって
もう１つの圧電センサ４ｑが形成されるようになってい
る。一方、第２の振動センサ４Ｂ部分においても同様に
、金属基板４０と圧電素子４５と電極４７とによって１
つの圧電センサ４ｒが形成され、またこれに対向して、
金属基板４０と圧電素子４６と電極４８とによってもう
１つの圧電センサ４ｓが形成されるようになっている。
上記の如く構成された平板状の振動センサ４を（５）
渦発生体２の内腔２ａ内に取り（＝ｌけるときには、電
極４ｐと４９の対向方向及び電極４ｒと４３の対向方向
がいずれも、管路１内の流体の流れの方向と直角になる
ように、即ち第１図に示す如く流れの上流側若しくは下
流側から見たときに電極４ｐと４９が左右に、また電極
４ｒと４５も左右に対向するように配置する。
極４ｐと４９の対向方向及び電極４ｒと４３の対向方向
がいずれも、管路１内の流体の流れの方向と直角になる
ように、即ち第１図に示す如く流れの上流側若しくは下
流側から見たときに電極４ｐと４９が左右に、また電極
４ｒと４５も左右に対向するように配置する。
振動センサ４を渦発生体２の内腔２ａに固着させるため
にガラス封着体５を用いた理由は、振動センサを周囲か
ら完全に絶縁する目的のほか、振動センサ４を渦発生体
２と完全に一体化して振動させるためであり、且つまた
耐熱性の向上を目的とするものである。従って、前述の
目的を達するものであれば、樹脂、セラミック等のもの
であってもよいことはいうまでもない。
にガラス封着体５を用いた理由は、振動センサを周囲か
ら完全に絶縁する目的のほか、振動センサ４を渦発生体
２と完全に一体化して振動させるためであり、且つまた
耐熱性の向上を目的とするものである。従って、前述の
目的を達するものであれば、樹脂、セラミック等のもの
であってもよいことはいうまでもない。
第２図は上記の如く構成された第１及び第２の振動セン
サからの出力信号を処理するための回路のブロック図で
あり、図中、４Ａは前記の圧電センサ４ｐ及び４ｑから
成る第１の振動センサ、４Ｂは前記の圧電センサ４ｒ及
び４ｓから成る第２の振動センナ、（６） ７はチャージアンプ、８はローパスアクティブフィルタ
、９はシュミットトリガ回路である。
サからの出力信号を処理するための回路のブロック図で
あり、図中、４Ａは前記の圧電センサ４ｐ及び４ｑから
成る第１の振動センサ、４Ｂは前記の圧電センサ４ｒ及
び４ｓから成る第２の振動センナ、（６） ７はチャージアンプ、８はローパスアクティブフィルタ
、９はシュミットトリガ回路である。
而して、以上の如く構成された本発明にががる振動補償
装置は下記の如く作動する。
装置は下記の如く作動する。
即ち、被測定流体の流れによって、渦発生体２の管路１
内の部分（本明細書中において「渦発生部」という。）
の下流には左右交互にカルマン渦列が発生し、そのとき
渦発生部が流れと略直角の方向即ち第１図中左右方向に
振動する。この振動は、渦発生体２の内腔２ａ中に固着
された上記第１の振動センサ４＾の圧電センサ４ｐ及び
４ｑによって検出され、渦発生体２の振動数に応じた出
力信号が得られる。このとき、圧電センサ４ｐと４ｑは
差動的に接続されているため、各圧電センサの２倍の出
力が得られるものである。然しなから、この第１の振動
センサ４Ａからの出力信号には、上記カルマン渦列によ
る振動のほかに、管路１を伝播してくる外部振動に基づ
くノイズが混入している。第１の振動センサの圧電セン
サ４ｐと４ｑは前記の如く流れの方向と直角方向に対向
しているため、流れの（７） 方＠ｌ’： ｉＱっ１こ振動は検知しにくり、仮に検知
したとしても両電極が差動的に接続されているため互い
に打ち消し合って、ノイズとなる虞れはないが、流れと
渦発生体とに直角な方向の管路の振動は、管路への渦発
生体２の固定部を伝って渦発生部に伝播しカルマン渦列
による振動と共に検知されてしまうのである。
内の部分（本明細書中において「渦発生部」という。）
の下流には左右交互にカルマン渦列が発生し、そのとき
渦発生部が流れと略直角の方向即ち第１図中左右方向に
振動する。この振動は、渦発生体２の内腔２ａ中に固着
された上記第１の振動センサ４＾の圧電センサ４ｐ及び
４ｑによって検出され、渦発生体２の振動数に応じた出
力信号が得られる。このとき、圧電センサ４ｐと４ｑは
差動的に接続されているため、各圧電センサの２倍の出
力が得られるものである。然しなから、この第１の振動
センサ４Ａからの出力信号には、上記カルマン渦列によ
る振動のほかに、管路１を伝播してくる外部振動に基づ
くノイズが混入している。第１の振動センサの圧電セン
サ４ｐと４ｑは前記の如く流れの方向と直角方向に対向
しているため、流れの（７） 方＠ｌ’： ｉＱっ１こ振動は検知しにくり、仮に検知
したとしても両電極が差動的に接続されているため互い
に打ち消し合って、ノイズとなる虞れはないが、流れと
渦発生体とに直角な方向の管路の振動は、管路への渦発
生体２の固定部を伝って渦発生部に伝播しカルマン渦列
による振動と共に検知されてしまうのである。
一方、第２の振動センサ４Ｂは管路１を伝播してくる外
部振動のみを検知するようになっている。
部振動のみを検知するようになっている。
即ち、カルマン渦列による渦発生体２の渦発生部の振動
は、上記渦発生体がネジ３，３によって管路１にしっか
り固定しであるため、この固定部より外側（本明細書中
において「振動補償部」という。）へは伝達されず、そ
のため第２の振動センサ４Ｂは管路１を伝播してくる外
部振動のみを検知するものである。なお、外部振動のう
ち流れと渦発生体とに直角な方向の振動のみを検知する
点では、第１の振動センサと同様である。
は、上記渦発生体がネジ３，３によって管路１にしっか
り固定しであるため、この固定部より外側（本明細書中
において「振動補償部」という。）へは伝達されず、そ
のため第２の振動センサ４Ｂは管路１を伝播してくる外
部振動のみを検知するものである。なお、外部振動のう
ち流れと渦発生体とに直角な方向の振動のみを検知する
点では、第１の振動センサと同様である。
ここで、第３図を用いて、管路から伝わる外部振動に基
づく渦発生体２の振動状態を説明する。
づく渦発生体２の振動状態を説明する。
（８）
管路１から図中点線の矢符で示すような左方向への振動
が加わると渦発生体２の渦発生部と振動補償部は固定点
を支点としていずれも点線矢符で示す如く図中右方向へ
湾曲して一点鎖線２′で示す如く変形し、また図中実線
の矢符で示すような右方向への振動が加わるといずれも
実線矢符で示す −如く図中左方向へ湾曲して二点鎖線
２“で示す如く変形する。このため、外部振動は第１及
び第２の振動センサ４八及び４Ｂにおいて同一の波形と
して検知される。但し、第２の振動センサによって検知
されるのは、上記の如き外部振動に基づく振動とカルマ
ン渦列に基づく振動とが合成された振動である。
が加わると渦発生体２の渦発生部と振動補償部は固定点
を支点としていずれも点線矢符で示す如く図中右方向へ
湾曲して一点鎖線２′で示す如く変形し、また図中実線
の矢符で示すような右方向への振動が加わるといずれも
実線矢符で示す −如く図中左方向へ湾曲して二点鎖線
２“で示す如く変形する。このため、外部振動は第１及
び第２の振動センサ４八及び４Ｂにおいて同一の波形と
して検知される。但し、第２の振動センサによって検知
されるのは、上記の如き外部振動に基づく振動とカルマ
ン渦列に基づく振動とが合成された振動である。
そこで、第１の振動センサ４八と第２の振動センサ４Ｂ
を差動的に接続すれば、第１の振動センサ４Ａの出力信
号中に含まれるノイズ信号が、第２の振動センサ４Ｂか
らの出力信号によって相殺され、カルマン渦列振動によ
る信号のみが取り出されるものである。振動センサ４Ａ
及び４Ｂは高インピーダンス素子であるため、この出力
をチャージアンプ７（９） により電圧変動に変換し、ローパスアクティブフィルタ
８により渦発生体２の振動とは無関係の高周波成分をカ
ットし、然るのちシュミットトリガ回路９により矩形波
パルスに変換して、カルマン渦列による振動数のみを反
映したパルス信号を得るものである。この出力パルスを
カウントするごとにより被測定流体の流量が知られる。
を差動的に接続すれば、第１の振動センサ４Ａの出力信
号中に含まれるノイズ信号が、第２の振動センサ４Ｂか
らの出力信号によって相殺され、カルマン渦列振動によ
る信号のみが取り出されるものである。振動センサ４Ａ
及び４Ｂは高インピーダンス素子であるため、この出力
をチャージアンプ７（９） により電圧変動に変換し、ローパスアクティブフィルタ
８により渦発生体２の振動とは無関係の高周波成分をカ
ットし、然るのちシュミットトリガ回路９により矩形波
パルスに変換して、カルマン渦列による振動数のみを反
映したパルス信号を得るものである。この出力パルスを
カウントするごとにより被測定流体の流量が知られる。
而して、本発明において、第１の振動センサ４八と第２
の振動センサ４Ｂを１本の渦発生体２の内部に埋設した
ことによる効泉は次の点にある。即ち、両振動センサを
１本の渦発生体中において一方は管路１の内側に他方は
外側に配置することにより、両者には管路１から全く同
一の外部振動が伝えられることになり、従って、管路１
からのノイズ信号は両振動センサにおいて振動の方向等
に無関係に常に全く同一の波形で採取され、これによっ
て両振動センサの出力を合成したときにノイズ部分が完
全に相殺されることである。被測定流体が液体で、渦発
生体２の渦発生部が上記液中にあるのに対し振動補償部
は大気中にあるために生じる両（１０） 音間の振動モードの相違、或いは渦発生体２の渦発生部
と振動補償部の質量や形状の相違その他の外部要因に基
づく両者間の振動モードの相違は、バランスウェイト６
を渦発生体２上で所望の位置に移動させ固定することに
よって取り除くことができる。
の振動センサ４Ｂを１本の渦発生体２の内部に埋設した
ことによる効泉は次の点にある。即ち、両振動センサを
１本の渦発生体中において一方は管路１の内側に他方は
外側に配置することにより、両者には管路１から全く同
一の外部振動が伝えられることになり、従って、管路１
からのノイズ信号は両振動センサにおいて振動の方向等
に無関係に常に全く同一の波形で採取され、これによっ
て両振動センサの出力を合成したときにノイズ部分が完
全に相殺されることである。被測定流体が液体で、渦発
生体２の渦発生部が上記液中にあるのに対し振動補償部
は大気中にあるために生じる両（１０） 音間の振動モードの相違、或いは渦発生体２の渦発生部
と振動補償部の質量や形状の相違その他の外部要因に基
づく両者間の振動モードの相違は、バランスウェイト６
を渦発生体２上で所望の位置に移動させ固定することに
よって取り除くことができる。
第４図は、振動センサ４の第１図に示したものとは異な
った実施例を示している。第４図中、５０は平板状の金
属基板、５１．５２は金属基板５０の両側面にそれぞれ
固着された圧電素子、５３．５４は上記圧電素子５１．
５２の一端外面に蒸着又は金ペースト焼成等の手段によ
りそれぞれ被着されたの金属電極、５５．５６は圧電素
子５１．５２のもう一方の一端外面に被着された金属電
極である。金属基板５０と圧電素子５１と電極５３とに
よって１つの圧電センサ５ｐが形成され、これに対向し
て、金属基板５０と圧電素子５２と電極５４とによって
もう１つの圧電センサ５ｑが形成され、これら２つの圧
電センサ５１１１． ５ｑによって、前記渦発生体の渦
発生部内に配置される第１の振動センサ５八が構成され
る。また、金属基板５０と圧電素子５１と電極５５とに
よって１つの圧電センサ５ｒが形成され、これに対向し
て、金属基板５０と圧電素子５２と電極５６とによって
もう１つの圧Ｑｉヒンサ５ｓが形成され、これら２つの
圧電センサ５ｒ、 ５ｓによって、前記渦発生体の振動
補償部内に配置される第２の振動センサ５Ｂが構成され
る。金属基板５０からは端子５７が、電極５３と５４と
からは両者の極性を逆にして接続した端子５８が、電極
５５と５６とからは両者の極性を逆にして接続した端子
５９が、それぞれ引き出されている。
った実施例を示している。第４図中、５０は平板状の金
属基板、５１．５２は金属基板５０の両側面にそれぞれ
固着された圧電素子、５３．５４は上記圧電素子５１．
５２の一端外面に蒸着又は金ペースト焼成等の手段によ
りそれぞれ被着されたの金属電極、５５．５６は圧電素
子５１．５２のもう一方の一端外面に被着された金属電
極である。金属基板５０と圧電素子５１と電極５３とに
よって１つの圧電センサ５ｐが形成され、これに対向し
て、金属基板５０と圧電素子５２と電極５４とによって
もう１つの圧電センサ５ｑが形成され、これら２つの圧
電センサ５１１１． ５ｑによって、前記渦発生体の渦
発生部内に配置される第１の振動センサ５八が構成され
る。また、金属基板５０と圧電素子５１と電極５５とに
よって１つの圧電センサ５ｒが形成され、これに対向し
て、金属基板５０と圧電素子５２と電極５６とによって
もう１つの圧Ｑｉヒンサ５ｓが形成され、これら２つの
圧電センサ５ｒ、 ５ｓによって、前記渦発生体の振動
補償部内に配置される第２の振動センサ５Ｂが構成され
る。金属基板５０からは端子５７が、電極５３と５４と
からは両者の極性を逆にして接続した端子５８が、電極
５５と５６とからは両者の極性を逆にして接続した端子
５９が、それぞれ引き出されている。
第５図は、第４図に示した振動センナからの出力を処理
するための回路構成を示している。第５図中、５八は上
記第１の振動センサ、５Ｂは上記第２の振動センサ、７
−１は第１の振動センサの前記出力端子５７及び５８に
接続されるチャージアンプ、７−２は第２の振動センサ
の前記出力端子５７及び５９に接続されるチャージアン
プ、１０は加算又は減算回路、１１は出力可変の増幅器
、８はローパスアクティブフィルタ、９はシュミットト
リガ回路である。この回路は、第１の振動Ｑンサ論の出
力レベルと第２の振動センサ５Ｂの出力レベルが異なる
場合に有効である。即ち、第１の振動センサ５Ａの出力
中に含まれるノイズの波形と第２の振動センサ５Ｂの出
力波形とは前記の如く基本的には同一波形であるが、渦
発生体２の渦発生部と振動補償部とで振動の振幅等が異
なり、そのため両者の出力レベルが相違する場合がある
。そこで、第５図に示す回路においては、第２の振動セ
ンサ５Ｂの出力を出力可変の増幅器１１でｍ節して、チ
ャージアンプ７−１を通じて得られる第１の振動センサ
５への出力レベルと同レベルにし、然るのち両者を加算
回路又は減算回路１０で合成してノイズ信号を除去する
ようにしたものである。ローパスアクティブフィルタ８
及びシュミットトリガ回路９の機能は第２図において説
明したものと同様である。
するための回路構成を示している。第５図中、５八は上
記第１の振動センサ、５Ｂは上記第２の振動センサ、７
−１は第１の振動センサの前記出力端子５７及び５８に
接続されるチャージアンプ、７−２は第２の振動センサ
の前記出力端子５７及び５９に接続されるチャージアン
プ、１０は加算又は減算回路、１１は出力可変の増幅器
、８はローパスアクティブフィルタ、９はシュミットト
リガ回路である。この回路は、第１の振動Ｑンサ論の出
力レベルと第２の振動センサ５Ｂの出力レベルが異なる
場合に有効である。即ち、第１の振動センサ５Ａの出力
中に含まれるノイズの波形と第２の振動センサ５Ｂの出
力波形とは前記の如く基本的には同一波形であるが、渦
発生体２の渦発生部と振動補償部とで振動の振幅等が異
なり、そのため両者の出力レベルが相違する場合がある
。そこで、第５図に示す回路においては、第２の振動セ
ンサ５Ｂの出力を出力可変の増幅器１１でｍ節して、チ
ャージアンプ７−１を通じて得られる第１の振動センサ
５への出力レベルと同レベルにし、然るのち両者を加算
回路又は減算回路１０で合成してノイズ信号を除去する
ようにしたものである。ローパスアクティブフィルタ８
及びシュミットトリガ回路９の機能は第２図において説
明したものと同様である。
第６図は、第１図または第４図に示したような平板状の
センサではなく、円筒状にした振動センサの一実施例を
示している。即ち、第６図に示された振動センサ４は、
円筒状の金属管６０と、その一端外周を囲繞して固着さ
れた圧電素子６１と、も（１３） う一方の一端外周を囲繞して固着された圧電素子６２と
、圧電素子６１の外周に蒸着又は金ペースト焼成等の手
段により互いに対向して被着された２枚の金属電極６３
．６４と、圧１ｉ素子６２の外周に互いに対向して被着
された２枚の金属電極６５．６６とにより構成されてい
る。金属管６０と圧電素子６１と電極６３とによって１
つの圧電センサ６ｐが形成され、これに対向して、金属
管６０と圧電素子６１と電極６４とによってもう１つの
圧電センサ６ｑが形成され、これら２つの圧電センサｓ
ｐ、 ６ｑによって、前記渦発生体の渦発生部内に配置
される第１の振動センサ６Ａ−ｈ＜構成される。また、
金属管６０と圧電素子６２と電極６５とによって１つの
圧電センサ６ｒが形成され、これに対向して、金属管６
０と圧電素子６２と電極６６とによってもう１つの圧電
センサ６Ｓが形成され、これら２つの圧電センサ６ｒ、
６ｓによって、前記渦発生体の振動補償部内に配置さ
れる第２の振動センサ６Ｂが構成される。この振動セン
サ４を前記渦発生体２の内部に取り付けるときには、電
極６３と６４の対向方向及び電極６５と６６の対向方向
がいずれ（１４） も、管路１内の流体の流れの方向と直角になるように、
即ち第１図に示した場合と同様に、流れの上流側若しく
は下流側から見たときに電極６３と６４が左右に、また
電極６５と６６も左右に対向するように配置する。
センサではなく、円筒状にした振動センサの一実施例を
示している。即ち、第６図に示された振動センサ４は、
円筒状の金属管６０と、その一端外周を囲繞して固着さ
れた圧電素子６１と、も（１３） う一方の一端外周を囲繞して固着された圧電素子６２と
、圧電素子６１の外周に蒸着又は金ペースト焼成等の手
段により互いに対向して被着された２枚の金属電極６３
．６４と、圧１ｉ素子６２の外周に互いに対向して被着
された２枚の金属電極６５．６６とにより構成されてい
る。金属管６０と圧電素子６１と電極６３とによって１
つの圧電センサ６ｐが形成され、これに対向して、金属
管６０と圧電素子６１と電極６４とによってもう１つの
圧電センサ６ｑが形成され、これら２つの圧電センサｓ
ｐ、 ６ｑによって、前記渦発生体の渦発生部内に配置
される第１の振動センサ６Ａ−ｈ＜構成される。また、
金属管６０と圧電素子６２と電極６５とによって１つの
圧電センサ６ｒが形成され、これに対向して、金属管６
０と圧電素子６２と電極６６とによってもう１つの圧電
センサ６Ｓが形成され、これら２つの圧電センサ６ｒ、
６ｓによって、前記渦発生体の振動補償部内に配置さ
れる第２の振動センサ６Ｂが構成される。この振動セン
サ４を前記渦発生体２の内部に取り付けるときには、電
極６３と６４の対向方向及び電極６５と６６の対向方向
がいずれ（１４） も、管路１内の流体の流れの方向と直角になるように、
即ち第１図に示した場合と同様に、流れの上流側若しく
は下流側から見たときに電極６３と６４が左右に、また
電極６５と６６も左右に対向するように配置する。
第７図は、円筒状の振動センサの更に異なった実施例を
示しており、金属管７０の外周全面に圧電／ 素子７１を固着し、その一端外周に第１のセンサを構成
する金属電極７２．７３を被着せしめ、他端外周に第２
のセンサを構成する金属電極７４．７５を被着せしめた
ものである。
示しており、金属管７０の外周全面に圧電／ 素子７１を固着し、その一端外周に第１のセンサを構成
する金属電極７２．７３を被着せしめ、他端外周に第２
のセンサを構成する金属電極７４．７５を被着せしめた
ものである。
第６図または第７図に示した円筒状振動センサからの出
力信号を処理する回路としては、第２図または第５図に
示した回路をそのまま利用できる。
力信号を処理する回路としては、第２図または第５図に
示した回路をそのまま利用できる。
而して、第６図または第７図に示したような円筒状振動
センサを用いる場合の利点は、渦発生体内に振動センサ
を固定する際の製造が容易になることである。即ち、圧
電素子等を用いた振動センサは前記の如く周囲との絶縁
を完全にするためその電極部分をガラス等で封着する必
要があるが、従来はこのガラス封着にあたり封着部分に
粉末ガラスを充填しこれを高温下で溶融させ固化させる
という方法、又はプリフォームガラスにて行う方法をと
っていた。然しなから、前者の方法は、溶融同化後のガ
ラスの体積は粉末時のそれよりも減少するので、上記の
作業を数回繰り返す必要があった。更に、後者の方法で
は、プリフォームガラスが複雑な構造となり、高価とな
るという欠点がある。これに対して、第６図または第７
図に示したような円筒形の振動センサを使用すれば、渦
発生体の内腔２ａの内壁と振動センサ４の外壁との間に
円筒状ガラス管又はプリフォームガラスを挿入して溶融
固化させることが可能であり、その場合ガラス管又はプ
リフォームガラスは溶融固化によって体積がそれ以上減
少することはないので、１回の作業でガラス封着が完了
するものである。尚、プリフォームガラスを作る場合も
、円柱であり簡単な構造なので安価に作ることができる
。
センサを用いる場合の利点は、渦発生体内に振動センサ
を固定する際の製造が容易になることである。即ち、圧
電素子等を用いた振動センサは前記の如く周囲との絶縁
を完全にするためその電極部分をガラス等で封着する必
要があるが、従来はこのガラス封着にあたり封着部分に
粉末ガラスを充填しこれを高温下で溶融させ固化させる
という方法、又はプリフォームガラスにて行う方法をと
っていた。然しなから、前者の方法は、溶融同化後のガ
ラスの体積は粉末時のそれよりも減少するので、上記の
作業を数回繰り返す必要があった。更に、後者の方法で
は、プリフォームガラスが複雑な構造となり、高価とな
るという欠点がある。これに対して、第６図または第７
図に示したような円筒形の振動センサを使用すれば、渦
発生体の内腔２ａの内壁と振動センサ４の外壁との間に
円筒状ガラス管又はプリフォームガラスを挿入して溶融
固化させることが可能であり、その場合ガラス管又はプ
リフォームガラスは溶融固化によって体積がそれ以上減
少することはないので、１回の作業でガラス封着が完了
するものである。尚、プリフォームガラスを作る場合も
、円柱であり簡単な構造なので安価に作ることができる
。
本発明は畝上の如く構成されるから、本発明によるとき
は、簡単且つ製造容具な構造でありながらＳ／Ｎ比の小
さい優れた渦流置針用振動補償装置が提供されるもので
ある。
は、簡単且つ製造容具な構造でありながらＳ／Ｎ比の小
さい優れた渦流置針用振動補償装置が提供されるもので
ある。
なお、本発明の構成は畝上の実施例に限定されるもので
なく、例えば、渦発生体２の夕）部形状やその固定方法
、渦発生体内への振動センサの固定方法、振動センサに
おける圧電素子や金属電極の形成状態、第１及び第２の
振動センサの出力を合成処理する回路構成、等々は必要
に応じて本発明の目的の範囲内で適宜設計変更すること
が可能であり、また第１及び第２の振動センサを必ずし
も１本の金属基板または金属管上に一体的に形成する必
要はなく渦発生体内にそれぞれ別箇に切り離して埋設す
ることも可能であり、本発明はそれらすべての変更実施
例を包摂するものである。
なく、例えば、渦発生体２の夕）部形状やその固定方法
、渦発生体内への振動センサの固定方法、振動センサに
おける圧電素子や金属電極の形成状態、第１及び第２の
振動センサの出力を合成処理する回路構成、等々は必要
に応じて本発明の目的の範囲内で適宜設計変更すること
が可能であり、また第１及び第２の振動センサを必ずし
も１本の金属基板または金属管上に一体的に形成する必
要はなく渦発生体内にそれぞれ別箇に切り離して埋設す
ることも可能であり、本発明はそれらすべての変更実施
例を包摂するものである。
第１図は本発明に係る振動補償装置を備えた渦流量計の
一実施例を示す断面図、第２図は第１図に示した振動補
償装置の回路構成の一実施例を示すブロック図、第３図
は本発明に係る振動補償装置の作動原理を示す模式図、
第４図は本発明振動（１７） 補償装置に組み込まれる振動センサの他の一実施例を示
す断面図、第５図は第４図に示した振動センサを用いる
場合の回路構成を示すブロック図、第６図及び第７図は
それぞれ振動センサの更に異なった実施例を示す斜視図
、である。 １−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−一管路２
−・・−・−・・−−−一−−−−−−−−−−渦発生
体２ａ−−−−−−−−−−−−−−・−・・内腔４・
−−−−−−−−−−−−−−・−・−・・−振動セン
サ４Ａ・−・・−一−−−−・−・−・・−一−−第１
の振動センサ４トー・−−−一−−−−−−−−−−−
−−第２の振動センサ５・−−−−・・・−・・・−・
・−・−−−−一−ガラス封着体６−・−−−−一−−
−−−−−−−・−・・・・・・バランスウェイト７−
−−−−−−−−一・−一一一一・・−一一−チャージ
アンプ８−−−−−−−−−−−−−・−・・ローパス
アクティブフィルタ９−−−−−−・−−一−−−−−
−−−・・・−シュミットトリガ回路Ｖ！狛出願人
オーバル機器工業株式会社代理人（７５２４）最上正太
部 （１８）
一実施例を示す断面図、第２図は第１図に示した振動補
償装置の回路構成の一実施例を示すブロック図、第３図
は本発明に係る振動補償装置の作動原理を示す模式図、
第４図は本発明振動（１７） 補償装置に組み込まれる振動センサの他の一実施例を示
す断面図、第５図は第４図に示した振動センサを用いる
場合の回路構成を示すブロック図、第６図及び第７図は
それぞれ振動センサの更に異なった実施例を示す斜視図
、である。 １−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−一管路２
−・・−・−・・−−−一−−−−−−−−−−渦発生
体２ａ−−−−−−−−−−−−−−・−・・内腔４・
−−−−−−−−−−−−−−・−・−・・−振動セン
サ４Ａ・−・・−一−−−−・−・−・・−一−−第１
の振動センサ４トー・−−−一−−−−−−−−−−−
−−第２の振動センサ５・−−−−・・・−・・・−・
・−・−−−−一−ガラス封着体６−・−−−−一−−
−−−−−−−・−・・・・・・バランスウェイト７−
−−−−−−−−一・−一一一一・・−一一−チャージ
アンプ８−−−−−−−−−−−−−・−・・ローパス
アクティブフィルタ９−−−−−−・−−一−−−−−
−−−・・・−シュミットトリガ回路Ｖ！狛出願人
オーバル機器工業株式会社代理人（７５２４）最上正太
部 （１８）
Claims (2)
- （１）取付部を挾んで互いに同軸に形成される振動補償
部と渦発生部とから成り管路側壁に取り付けられ上記渦
発生部が管路側壁を貫通して管路内側に挿通される渦発
生体と、管路内側にある上記渦発生部中に埋設される第
１の振動センサと、管路外側にある上記振動補償部中に
埋設される第２の振動センサから構成される渦流置針用
振動補償装置。 - （２）上記第２の振動センサの出力信号により上記第１
の振動センサの出力信号中のノイズ成分を消去し上記渦
発生体のカルマン渦による振動数のみに対応した周波数
の信号を出力する信号処理回路を具備した特許請求の範
囲第１項記載の渦流置針用振動補償装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57126732A JPS5918422A (ja) | 1982-07-22 | 1982-07-22 | 渦流量計用振動補償装置 |
| US06/515,090 US4526040A (en) | 1982-07-22 | 1983-07-18 | Oscillation compensating apparatus for vortex flow meter |
| EP83107079A EP0100931B1 (en) | 1982-07-22 | 1983-07-19 | Oscillation compensating apparatus for vortex flow meter |
| DE8383107079T DE3371941D1 (en) | 1982-07-22 | 1983-07-19 | Oscillation compensating apparatus for vortex flow meter |
| CA000432864A CA1189349A (en) | 1982-07-22 | 1983-07-21 | Oscillation compensating apparatus for vortex flow meter |
| KR1019830003366A KR870000458B1 (ko) | 1982-07-22 | 1983-07-21 | 와류량계용 진동 보상장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57126732A JPS5918422A (ja) | 1982-07-22 | 1982-07-22 | 渦流量計用振動補償装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5918422A true JPS5918422A (ja) | 1984-01-30 |
| JPS6332127B2 JPS6332127B2 (ja) | 1988-06-28 |
Family
ID=14942508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57126732A Granted JPS5918422A (ja) | 1982-07-22 | 1982-07-22 | 渦流量計用振動補償装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4526040A (ja) |
| EP (1) | EP0100931B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5918422A (ja) |
| KR (1) | KR870000458B1 (ja) |
| CA (1) | CA1189349A (ja) |
| DE (1) | DE3371941D1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS607024U (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-18 | オ−バル機器工業株式会社 | 微小変動圧力検出器 |
| JPS6023721U (ja) * | 1983-07-26 | 1985-02-18 | オ−バル機器工業株式会社 | 渦流量計渦検出装置 |
| JPS6130823U (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-24 | オ−バル機器工業株式会社 | 渦流量計 |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3377936D1 (de) * | 1982-11-25 | 1988-10-13 | Oval Eng Co Ltd | Vortex flow meter |
| DE3484674D1 (de) * | 1983-12-02 | 1991-07-11 | Oval Eng Co Ltd | Wirbeldurchflussmesser. |
| DE3544198A1 (de) * | 1985-12-13 | 1987-06-19 | Flowtec Ag | Wirbelstroemungsmesser |
| US4862750A (en) * | 1987-02-11 | 1989-09-05 | Nice Gerald J | Vortex shedding fluid velocity meter |
| US5095760A (en) * | 1989-05-08 | 1992-03-17 | Lew Hyok S | Vortex flowmeter with dual sensors |
| US4984471A (en) * | 1989-09-08 | 1991-01-15 | Fisher Controls International, Inc. | Force transmitting mechanism for a vortex flowmeter |
| US5209125A (en) * | 1989-12-22 | 1993-05-11 | The Foxboro Company | Piezoelectric pressure sensor |
| US5003827A (en) * | 1989-12-22 | 1991-04-02 | The Foxboro Company | Piezoelectric differential pressure vortex sensor |
| US5313843A (en) * | 1990-01-29 | 1994-05-24 | Fuji Electric Co., Ltd. | Karman vortex flow meter |
| US5197336A (en) * | 1990-01-29 | 1993-03-30 | Fuji Electric Co., Ltd. | Karman vortex flow meter |
| US5220842A (en) * | 1990-12-31 | 1993-06-22 | Lew Hyok S | Vortex generator-sensor with pivotally balanced mass distribution |
| US5247838A (en) * | 1991-12-19 | 1993-09-28 | Badger Meter, Inc. | Double wing vortex flowmeter |
| DE4143202C1 (ja) * | 1991-12-30 | 1993-02-04 | Rota Yokogawa Gmbh & Co Kg, 7867 Wehr, De | |
| US5347873A (en) * | 1993-04-09 | 1994-09-20 | Badger Meter, Inc. | Double wing vortex flowmeter with strouhal number corrector |
| US5561249A (en) * | 1993-12-23 | 1996-10-01 | Nice; Gerald J. | Insertable flow meter with dual sensors |
| DE4441129A1 (de) * | 1994-11-21 | 1996-05-23 | Junkalor Gmbh | Meßwertgeber für einen Wirbeldurchflußmesser |
| KR100232471B1 (ko) * | 1996-06-05 | 1999-12-01 | 류정열 | 차체 진동을 고려한 연료량 검출방법 |
| US5869772A (en) * | 1996-11-27 | 1999-02-09 | Storer; William James A. | Vortex flowmeter including cantilevered vortex and vibration sensing beams |
| US5804740A (en) * | 1997-01-17 | 1998-09-08 | The Foxboro Company | Capacitive vortex mass flow sensor |
| DE19723006A1 (de) * | 1997-06-02 | 1998-12-03 | Bailey Fischer & Porter Gmbh | Verfahren und Meßeinrichtung mit Sensoranordnung zur Signalerfassung und -verarbeitung bei Wirbel- und Dralldurchflußmessern |
| US7073394B2 (en) * | 2004-04-05 | 2006-07-11 | Rosemount Inc. | Scalable averaging insertion vortex flow meter |
| US6973841B2 (en) * | 2004-04-16 | 2005-12-13 | Rosemount Inc. | High pressure retention vortex flow meter with reinforced flexure |
| JP4158980B2 (ja) * | 2004-07-15 | 2008-10-01 | 株式会社オーバル | マルチ渦流量計 |
| KR100868046B1 (ko) * | 2006-11-28 | 2008-11-11 | 주식회사 세 바 | 와류식 유량계 |
| DE102008025365A1 (de) | 2008-05-27 | 2009-12-03 | Stübbe, Peter | Nicht invasive Zahnbrücke und das Verfahren und die Vorrichtung zu ihrer Herstellung |
| DE102010056279B4 (de) * | 2010-12-24 | 2013-07-04 | Abb Technology Ag | Vortex-Durchflussmessgerät mit optimierter Temperaturerfassung |
| CN102279025B (zh) * | 2011-06-30 | 2013-02-20 | 福建上润精密仪器有限公司 | 插入式传感器集成体的集成式气体质量流量计 |
| DE102012220505B4 (de) * | 2012-11-09 | 2016-10-20 | Gestra Ag | Überwachung eines Kondensatableiters |
| GB201300403D0 (en) * | 2013-01-10 | 2013-02-20 | Smiths Medical Int Ltd | Flow sensors and apparatus |
| US9513147B2 (en) * | 2013-11-04 | 2016-12-06 | South Jersey Engineering & Research, LLC | Flowmeter comprising piezoelectric sensor |
| CN105006991A (zh) * | 2015-07-22 | 2015-10-28 | 上海交通大学 | 叠层压电式井下能量采集装置 |
| JP2017067726A (ja) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | サーパス工業株式会社 | カルマン渦流量計 |
| FR3117589B1 (fr) * | 2020-12-11 | 2023-07-28 | La Rochelle Univ | Dispositif de mesure d’au moins un paramètre d'écoulement d'un fluide |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5115467A (en) * | 1974-07-29 | 1976-02-06 | Hokushin Electric Works | Karumanuzuoryoshita daikokeiryuryokei |
| US3991613A (en) * | 1975-03-10 | 1976-11-16 | Corning Glass Works | Sensing element for flow meter |
| US4186599A (en) * | 1976-12-29 | 1980-02-05 | Rosemount Inc. | Vortex shedding flowmeter assembly |
| GB1601548A (en) * | 1977-05-30 | 1981-10-28 | Yokogawa Electric Works Ltd | Flow metering apparatus |
| GB2008752B (en) * | 1977-11-14 | 1982-03-31 | Yokogawa Electric Works Ltd | Vortex flow meter |
| DD141352A1 (de) * | 1979-02-09 | 1980-04-23 | Gisela Schmiedeberg | Anordnung zur wirbel-volumenstrommessung |
| US4270391A (en) * | 1979-08-24 | 1981-06-02 | Fischer & Porter Co. | Frequency-responsive filter for flowmeter transmission system |
| US4362061A (en) * | 1981-02-04 | 1982-12-07 | Yokogawa Electric Works, Ltd. | Vortex shedding flow measuring device |
| JPS5860217A (ja) * | 1981-10-06 | 1983-04-09 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 渦流量計 |
-
1982
- 1982-07-22 JP JP57126732A patent/JPS5918422A/ja active Granted
-
1983
- 1983-07-18 US US06/515,090 patent/US4526040A/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-07-19 DE DE8383107079T patent/DE3371941D1/de not_active Expired
- 1983-07-19 EP EP83107079A patent/EP0100931B1/en not_active Expired
- 1983-07-21 CA CA000432864A patent/CA1189349A/en not_active Expired
- 1983-07-21 KR KR1019830003366A patent/KR870000458B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS607024U (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-18 | オ−バル機器工業株式会社 | 微小変動圧力検出器 |
| JPS6023721U (ja) * | 1983-07-26 | 1985-02-18 | オ−バル機器工業株式会社 | 渦流量計渦検出装置 |
| JPH0128420Y2 (ja) * | 1983-07-26 | 1989-08-30 | ||
| JPS6130823U (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-24 | オ−バル機器工業株式会社 | 渦流量計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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