JPS5918284A - 排気装置 - Google Patents
排気装置Info
- Publication number
- JPS5918284A JPS5918284A JP12568582A JP12568582A JPS5918284A JP S5918284 A JPS5918284 A JP S5918284A JP 12568582 A JP12568582 A JP 12568582A JP 12568582 A JP12568582 A JP 12568582A JP S5918284 A JPS5918284 A JP S5918284A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- panel
- temperature
- discharging chamber
- controlled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、排気装置に係り、特にクライオポンプを用い
る排気装置に関するものである。
る排気装置に関するものである。
従来、クライオポンプを用いる排気装置としては、被排
気室内の圧力により、周波数変換器で周波数を変化させ
圧縮機の回転数を変化させて、被排気室内の圧力を任意
圧力に制御可能な温度に吸着パネルに供給される作動ガ
スの温度、即ち吸着パネルの温度を調節するものが知ら
れている。
気室内の圧力により、周波数変換器で周波数を変化させ
圧縮機の回転数を変化させて、被排気室内の圧力を任意
圧力に制御可能な温度に吸着パネルに供給される作動ガ
スの温度、即ち吸着パネルの温度を調節するものが知ら
れている。
このような排気装置では、周波数変換器が太きいため、
全体として装置が大型化するといった欠点があった。ま
た、吸着パネルの温度で調節するのに、圧縮機の回転数
を変化させ作動ガスの温度を変化させる必要があるため
、圧力制御の応答性が低下するといった欠点があった。
全体として装置が大型化するといった欠点があった。ま
た、吸着パネルの温度で調節するのに、圧縮機の回転数
を変化させ作動ガスの温度を変化させる必要があるため
、圧力制御の応答性が低下するといった欠点があった。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点を解消するこ
とで、小型化された排気装置を提供することにある。
とで、小型化された排気装置を提供することにある。
本発明の特徴は、被排気室に設けられた圧力検出手段で
熱負荷を制御可能な加熱手段をクライオポンプの吸着パ
ネルに付設したことで、周波数変換器な用いずに被排気
室内の圧力を任意圧力に制御可能な温度に吸着パネルの
温度を調節できるようにしたことにある。
熱負荷を制御可能な加熱手段をクライオポンプの吸着パ
ネルに付設したことで、周波数変換器な用いずに被排気
室内の圧力を任意圧力に制御可能な温度に吸着パネルの
温度を調節できるようにしたことにある。
本発明の一実施例を図面により説明する。
図面で、１段吸着パネル１０と２段吸着パネル１１と冷
却体１２と容器１３とよりなるクライオポンプ１４が、
被排気室旬に導管（資）で連結されている。導管ｙ」に
は、例えば、ゲートパルプ和か設けられている。２段吸
着パネル１１には、加熱手段、例えば、ヒータ１５が付
設され、被排気室銀には、圧力検出手段、例えば、圧力
センサー２１が設けられている。
却体１２と容器１３とよりなるクライオポンプ１４が、
被排気室旬に導管（資）で連結されている。導管ｙ」に
は、例えば、ゲートパルプ和か設けられている。２段吸
着パネル１１には、加熱手段、例えば、ヒータ１５が付
設され、被排気室銀には、圧力検出手段、例えば、圧力
センサー２１が設けられている。
圧力制御装置５０は、入出力制御器５１と電源出力器５
２とで構成され、電源ωに接続されている。また、圧力
センサー２１は入出力制御器５１に、ヒータ１５は電源
出力器５２にそれぞれ接続されている。
２とで構成され、電源ωに接続されている。また、圧力
センサー２１は入出力制御器５１に、ヒータ１５は電源
出力器５２にそれぞれ接続されている。
被排気室（９）内の圧力は、圧力センサー２１で検出さ
れ、信号が入出力制御器５１に出力される。入出力制御
器５１では、予めセットされている値と比較演算され、
電源出力器５２に制御信号が出力される。
れ、信号が入出力制御器５１に出力される。入出力制御
器５１では、予めセットされている値と比較演算され、
電源出力器５２に制御信号が出力される。
これにより電源出力器５２からヒータ１５に供給される
電力が調節されヒータ１５での熱負荷が制御される。こ
のため、２段吸着パネル１１の温度は被排気室回内の圧
力を任意圧力に制御可能な温度に調節され、その結果、
２段吸着パネル１１へのガスの吸着又は２段吸着パネル
１１からのガスの枚用により被排気室夏向の圧力は任意
圧力に制御される。
電力が調節されヒータ１５での熱負荷が制御される。こ
のため、２段吸着パネル１１の温度は被排気室回内の圧
力を任意圧力に制御可能な温度に調節され、その結果、
２段吸着パネル１１へのガスの吸着又は２段吸着パネル
１１からのガスの枚用により被排気室夏向の圧力は任意
圧力に制御される。
本実施例のような排気装置では、次のような効果が得ら
れる。
れる。
（１） 周波数変換器を用いずに被排気室内の圧力を
任意圧力に制御可能な温度に吸着パネルの温度を調節で
きるので、排気装置を小型化できる。
任意圧力に制御可能な温度に吸着パネルの温度を調節で
きるので、排気装置を小型化できる。
（２）吸着パネルの温度なヒータにより直接的に調節で
きるので、圧力制御の応答性を向上できる。
きるので、圧力制御の応答性を向上できる。
なお、本実施例では、ヒータを２段吸着パネルに付設し
ているが、その他に、吸着又は放出したいガスの種類に
よってヒータを１段吸着パネルに付設しても、また、両
方の吸着パネルに付設しても良い。また、加熱手段は、
圧力検出手段で熱負荷を制御可能な加熱手段であれば、
ガス又は液体を熱媒体とする加熱器であっても良い。
ているが、その他に、吸着又は放出したいガスの種類に
よってヒータを１段吸着パネルに付設しても、また、両
方の吸着パネルに付設しても良い。また、加熱手段は、
圧力検出手段で熱負荷を制御可能な加熱手段であれば、
ガス又は液体を熱媒体とする加熱器であっても良い。
本発明は、以上説明したように、被排気室に設けられた
圧力検出手段で熱負荷を制御可能な加熱手段を吸着パネ
ルに付設したことで、周波数変換器を用いずに被排気室
内の圧力を任意圧力に制御可能な温度に吸着パネルの温
度を調節できるので、クライオポツプを用いた排気装置
を小型化できる効果がある。
圧力検出手段で熱負荷を制御可能な加熱手段を吸着パネ
ルに付設したことで、周波数変換器を用いずに被排気室
内の圧力を任意圧力に制御可能な温度に吸着パネルの温
度を調節できるので、クライオポツプを用いた排気装置
を小型化できる効果がある。
図面は、本発明による排気装置の一実施例を示す系統図
である。 １０・・・・・・１段吸着パネル、１１・・・・ ２段
吸着パネル、１４・・・・・クライオポツプ、１５・・
曲ヒータ、ｍ・・・・・・被排気室、２１・・・・・圧
力センサー、め叫圧カ制御装厘
である。 １０・・・・・・１段吸着パネル、１１・・・・ ２段
吸着パネル、１４・・・・・クライオポツプ、１５・・
曲ヒータ、ｍ・・・・・・被排気室、２１・・・・・圧
力センサー、め叫圧カ制御装厘
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被排気室に設けられた圧力検出手段で熱負荷を制御
可能な加熱手段をクライオポンプの吸着パネルに付設し
たことを特徴とする排気装置。 ２ 前記加熱手段をヒータとした特許請求の範囲第１項
記載の排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12568582A JPS5918284A (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12568582A JPS5918284A (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5918284A true JPS5918284A (ja) | 1984-01-30 |
Family
ID=14916141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12568582A Pending JPS5918284A (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5918284A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS614874A (ja) * | 1984-06-20 | 1986-01-10 | Hitachi Ltd | クライオポンプ |
| JPH02252982A (ja) * | 1989-03-27 | 1990-10-11 | Arubatsuku Kuraio Kk | クライオポンプ |
| JPH08217237A (ja) * | 1994-11-28 | 1996-08-27 | Elpatronic Ag | 対象物を搬送装置に供給するための方法及び装置 |
| US7913496B2 (en) | 2005-12-23 | 2011-03-29 | Westport Power Inc. | Apparatus and method for pumping a cryogenic fluid from a storage vessel and diagnosing cryogenic pump performance |
| CN102734124A (zh) * | 2011-04-14 | 2012-10-17 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及真空排气方法 |
-
1982
- 1982-07-21 JP JP12568582A patent/JPS5918284A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS614874A (ja) * | 1984-06-20 | 1986-01-10 | Hitachi Ltd | クライオポンプ |
| JPH02252982A (ja) * | 1989-03-27 | 1990-10-11 | Arubatsuku Kuraio Kk | クライオポンプ |
| JPH08217237A (ja) * | 1994-11-28 | 1996-08-27 | Elpatronic Ag | 対象物を搬送装置に供給するための方法及び装置 |
| US5720587A (en) * | 1994-11-28 | 1998-02-24 | Dietschi; Roland | Process and arrangement for feeding an article into a conveying arrangement |
| US7913496B2 (en) | 2005-12-23 | 2011-03-29 | Westport Power Inc. | Apparatus and method for pumping a cryogenic fluid from a storage vessel and diagnosing cryogenic pump performance |
| CN102734124A (zh) * | 2011-04-14 | 2012-10-17 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及真空排气方法 |
| CN102734124B (zh) * | 2011-04-14 | 2015-01-21 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及真空排气方法 |
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