JP2008292103A - クライオポンプ及びその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】駆動電源周波数を、運転可能な範囲内で最小の周波数に引き下げても第一冷却ステージ6の温度が目標温度まで上昇しないときに、第一冷却ステージ6を加熱して目標温度に維持することができる制御手段を有する。
【選択図】図1
Description
2 二段式冷凍機
3 圧縮機
4 駆動電源供給器
5 インバータ
6 第一冷却ステージ
7 第二冷却ステージ
8 クライオパネル
9 輻射シールド
10 ルーバー
11 ケーシング
12 電気ヒータ
13 第一温度センサ
14 第二温度センサ
15 高圧ホース
16 第一温度設定・制御器
17 第二温度設定・制御器
18 加熱制御器
19 加熱電源供給器
Claims (2)
- 第一冷却ステージと第二冷却ステージとを有する二段式冷凍機を用いたクライオポンプにおいて、当該冷凍機の駆動電源周波数が、駆動可能な範囲内で最小の周波数である時、前記第一冷却ステージを加熱して目標温度を維持することを特徴とするクライオポンプの制御方法。
- 第一冷却ステージと第二冷却ステージを有する二段式冷凍機、該二段式冷凍機を駆動する駆動電源、及び、前記第一ステージを所定の温度に加熱制御する加熱手段を具備し、前記加熱手段は、駆動電源の駆動周波数が最小の時に第一冷却ステージを加熱して目標温度に維持することができる制御手段を有することを特徴とするクライオポンプ。
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