JPS59179365A - サ−マルヘツド発熱体上の保護膜の製造方法 - Google Patents
サ−マルヘツド発熱体上の保護膜の製造方法Info
- Publication number
- JPS59179365A JPS59179365A JP58053661A JP5366183A JPS59179365A JP S59179365 A JPS59179365 A JP S59179365A JP 58053661 A JP58053661 A JP 58053661A JP 5366183 A JP5366183 A JP 5366183A JP S59179365 A JPS59179365 A JP S59179365A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective film
- sputtering
- heating element
- thermal head
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
この発明は、サーマルヘッドの発熱体上の保護膜（５ｉ
Ｏｚ ＋ ５ｉｘＮ４）を簡単な工程で、しかも良質な
ものを得ることができるようにしたサーマルヘッド発熱
体上の保護膜の製造方法に関する。
Ｏｚ ＋ ５ｉｘＮ４）を簡単な工程で、しかも良質な
ものを得ることができるようにしたサーマルヘッド発熱
体上の保護膜の製造方法に関する。
（従来の技術）
第１図は従来のサーマルヘッドの発熱部における断面図
である。この第１図において、１はアルミナのような熱
伝導性のよい材料で形成された放熱板であり、この放熱
板１上にガラス層よりなる保温層２、発熱体３が順次形
成されている。この発熱体３上に給電体４、発熱体３の
ための保護膜５、感熱紙に対する保護膜６が順次形成さ
れている。
である。この第１図において、１はアルミナのような熱
伝導性のよい材料で形成された放熱板であり、この放熱
板１上にガラス層よりなる保温層２、発熱体３が順次形
成されている。この発熱体３上に給電体４、発熱体３の
ための保護膜５、感熱紙に対する保護膜６が順次形成さ
れている。
この保護膜５，６の形成に際し、まず、５１０２による
保護膜５の形成の状態すなわち、第２図に示すように発
熱体４丑でを形成した状態の試料Ａをベルジャ１００内
の試料台１０１上に載置する。
保護膜５の形成の状態すなわち、第２図に示すように発
熱体４丑でを形成した状態の試料Ａをベルジャ１００内
の試料台１０１上に載置する。
このベルジャ１００内には、試料台１０１に対向してＳ
ｉＯ２ターゲット１０４を有するＲＦ’を極１０２が配
置されており、ベルジャ１００の下部より、真空ポンプ
（図示せず〕で排気するようになっている。排気したベ
ルジャ１００内にＡｒガス１０３を充填させた状態で、
ＲＦ電極１０３と試料台１０１間にＲＦ電圧を印加させ
て、スパッタして保護膜５を形成する。
ｉＯ２ターゲット１０４を有するＲＦ’を極１０２が配
置されており、ベルジャ１００の下部より、真空ポンプ
（図示せず〕で排気するようになっている。排気したベ
ルジャ１００内にＡｒガス１０３を充填させた状態で、
ＲＦ電極１０３と試料台１０１間にＲＦ電圧を印加させ
て、スパッタして保護膜５を形成する。
このようにして、発熱体３および給電体４上に５ｉ０２
による保護膜５が形成された試料Ｂをベルジャ１００か
ら取り出して、次に、第３図に示すように、ベルジャ２
００内の試料台２０１に載置させる。このベルジャ２０
０も上記と同様にして、試料台２０１に対向するように
、８１３Ｎ４ターゲツト２０４を有するＲＦ電極２０２
が配置されており、ベルジャ２００は真空ポンプ（図示
せず）で排気して、ＲＦ電極２０２と試料台２０１間に
ＲＦｔ圧を印加することにより、スパッタして、Ｓｉ３
Ｎ４による保護膜６を形成する。かくして、第１図に示
したようなサーマルヘッドの発熱部が形成される。
による保護膜５が形成された試料Ｂをベルジャ１００か
ら取り出して、次に、第３図に示すように、ベルジャ２
００内の試料台２０１に載置させる。このベルジャ２０
０も上記と同様にして、試料台２０１に対向するように
、８１３Ｎ４ターゲツト２０４を有するＲＦ電極２０２
が配置されており、ベルジャ２００は真空ポンプ（図示
せず）で排気して、ＲＦ電極２０２と試料台２０１間に
ＲＦｔ圧を印加することにより、スパッタして、Ｓｉ３
Ｎ４による保護膜６を形成する。かくして、第１図に示
したようなサーマルヘッドの発熱部が形成される。
上述のようにして形成された、２層の保護膜５゜６は優
れた信頼性を有するが、２度に分けてスパッタすること
は製造工程が多くなると言う問題がある。
れた信頼性を有するが、２度に分けてスパッタすること
は製造工程が多くなると言う問題がある。
（発明の目的）
この発明は、上記従来の欠点を除去するためになされた
もので、優れた信頼性をもつ２層の保護膜（５ｉ０２
＋５ｉｓＮ４）の製造工程を減少できるサーマルヘッド
発熱体上の保護膜の製造方法を提供することを目的とす
る。
もので、優れた信頼性をもつ２層の保護膜（５ｉ０２
＋５ｉｓＮ４）の製造工程を減少できるサーマルヘッド
発熱体上の保護膜の製造方法を提供することを目的とす
る。
（発明の構成）
この発明のサーマルヘッド発熱体上の保護膜の製造方法
は、発熱体上の保護膜をＳｉターゲットを使用して最初
にスパッタ装置のス・母ツタガスを（０２＋ Ａｒ ）
としてＳ ｉｏｚによる第１の保護膜を形成し、この第
１の保護膜の形成後ス・七ツタ装置Ｈの真空を破らずに
ス・９ツタガスを（Ｎ２ ＋Ａｒ ）とし、てＳｉ３Ｎ
４による第２の保護膜を形成するようにしたものである
。
は、発熱体上の保護膜をＳｉターゲットを使用して最初
にスパッタ装置のス・母ツタガスを（０２＋ Ａｒ ）
としてＳ ｉｏｚによる第１の保護膜を形成し、この第
１の保護膜の形成後ス・七ツタ装置Ｈの真空を破らずに
ス・９ツタガスを（Ｎ２ ＋Ａｒ ）とし、てＳｉ３Ｎ
４による第２の保護膜を形成するようにしたものである
。
（実施例）
以下、この発明のサーマルヘッド発熱体上の保護膜の製
造方法の実施例について図面に基づき説明スルっザーー
ｑルヘッドとしては従来と同じ構造を有するので、第１
図を用いて説明する。２層の保護膜５，６をつける前せ
で製造し１こサーマルヘッドをＳｉターゲットをもつス
パッタ装置に装着する。
造方法の実施例について図面に基づき説明スルっザーー
ｑルヘッドとしては従来と同じ構造を有するので、第１
図を用いて説明する。２層の保護膜５，６をつける前せ
で製造し１こサーマルヘッドをＳｉターゲットをもつス
パッタ装置に装着する。
第４図はこのスパッタ装置を示すものであり、図中の３
００はベルジャである。ベルジャ３００内には試料台３
０１とＲＦ電極３０２が対向して配置されている。ＲＦ
電極３０２にはＳｔメタ−ット３０４が設けられている
。
００はベルジャである。ベルジャ３００内には試料台３
０１とＲＦ電極３０２が対向して配置されている。ＲＦ
電極３０２にはＳｔメタ−ット３０４が設けられている
。
また、ベルジャ３００は真空ポンプ（図示せず）により
排気されるようになっており、内部にはＣＯａ ＋Ａｒ
）のスパッタガス３０４と（Ｎ２＋Ａｒ）のスパッタ
ガス３０５が切り換えて充填されるようになっている。
排気されるようになっており、内部にはＣＯａ ＋Ａｒ
）のスパッタガス３０４と（Ｎ２＋Ａｒ）のスパッタ
ガス３０５が切り換えて充填されるようになっている。
このベルジャ３００内の試料台３０１上に、第２図で示
した試料Ａを載置した状態で、（Ｏｚ＋Ａｒ）のスパッ
タガスを充填して試料台３０１とＲＦ電極３０２間にＲ
Ｆ雷電圧印加してス・母ツタすると、この（０２＋Ａｒ
）の混合したスフ９ツタガス３０４による反応性スパ
ッタリングで５ｔ（ｈによる第１層目の保護膜５を発熱
体３と給電体４上に所望の膜厚までつける。
した試料Ａを載置した状態で、（Ｏｚ＋Ａｒ）のスパッ
タガスを充填して試料台３０１とＲＦ電極３０２間にＲ
Ｆ雷電圧印加してス・母ツタすると、この（０２＋Ａｒ
）の混合したスフ９ツタガス３０４による反応性スパ
ッタリングで５ｔ（ｈによる第１層目の保護膜５を発熱
体３と給電体４上に所望の膜厚までつける。
次に、（０２＋Ａｒ ）の混合ガスによるスパッタガス
３０４の充填を止め、充分に真空ポンプで真空を回復し
た後、ベルジャ３００内に（１’ｈ＋Ａｒ）の混合ガス
によるスパッタガス３０５を入れ、反応性スパッタリン
グで５ｉｓＮ４による第２層目の保護膜６を所望の膜厚
まで、第１層目の保護膜５上につける。
３０４の充填を止め、充分に真空ポンプで真空を回復し
た後、ベルジャ３００内に（１’ｈ＋Ａｒ）の混合ガス
によるスパッタガス３０５を入れ、反応性スパッタリン
グで５ｉｓＮ４による第２層目の保護膜６を所望の膜厚
まで、第１層目の保護膜５上につける。
この方法によれば、２度に分けて製造するよりも、製造
工程を減少させられるとともに、ＳｉＯ２の第１層目の
保護膜５の製造後、その表面を大気に触れさせず真空の
まま、引き続いて５ｉｓＮ４による第２層目の保護膜６
を製造できるので、２度に分けて製造するよりも良質な
保護膜が得られるという利点がある。
工程を減少させられるとともに、ＳｉＯ２の第１層目の
保護膜５の製造後、その表面を大気に触れさせず真空の
まま、引き続いて５ｉｓＮ４による第２層目の保護膜６
を製造できるので、２度に分けて製造するよりも良質な
保護膜が得られるという利点がある。
（発明の効果）
以上のように、この発明のサーマルヘッド発熱体上の保
護膜の製造方法によれば、発熱体上の第１層目の保護膜
をＳｉターゲットを用いて（０２＋Ａｒ）のスパッタガ
スにより、スパッタリングして形成し、引き続き真空を
破ることなく （Ｎｘ ＋ Ａｒ ）のスパッタガスで
スミ４ツタして第２層目の５ｉｓＮ＜の保護膜を形成す
るようにしたので、５ｉ０２と５ｉａＮ４七による２層
の保護膜を従来方法より簡単に、しかも良質なものとし
て製造できるというオリ点がある。これにとも乞い、低
価格、長寿命のサーマルヘッドの製造に利用することが
できる。
護膜の製造方法によれば、発熱体上の第１層目の保護膜
をＳｉターゲットを用いて（０２＋Ａｒ）のスパッタガ
スにより、スパッタリングして形成し、引き続き真空を
破ることなく （Ｎｘ ＋ Ａｒ ）のスパッタガスで
スミ４ツタして第２層目の５ｉｓＮ＜の保護膜を形成す
るようにしたので、５ｉ０２と５ｉａＮ４七による２層
の保護膜を従来方法より簡単に、しかも良質なものとし
て製造できるというオリ点がある。これにとも乞い、低
価格、長寿命のサーマルヘッドの製造に利用することが
できる。
第１図はサーマルヘッドの要部断面図、第２図および第
３図はそれぞれ従来のサーマルヘッド発熱体上の保護膜
の製造方法の工程説明図、第４図はこの発明のサーマル
ヘッド発熱体上の保穫膜の製造方法の一実施例の工程説
明図である。 】・・・放熱板、２・・・保温層、３・・・発熱体、５
，６・・・保護膜、３００・・・ベルジャ、３０１・・
・試料台、３０２・・・ＲＦ電極、３０３・・・Ｓｉタ
ーゲット、３０４・・・（Ｏｚ＋Ａｒ ）のスパッタガ
ス、３０５・・・（Ｎ２＋Ａ）のスパッタガス、Ａ・・
・試料。 將許出願人 沖電気工業株式会社 「０ く
３図はそれぞれ従来のサーマルヘッド発熱体上の保護膜
の製造方法の工程説明図、第４図はこの発明のサーマル
ヘッド発熱体上の保穫膜の製造方法の一実施例の工程説
明図である。 】・・・放熱板、２・・・保温層、３・・・発熱体、５
，６・・・保護膜、３００・・・ベルジャ、３０１・・
・試料台、３０２・・・ＲＦ電極、３０３・・・Ｓｉタ
ーゲット、３０４・・・（Ｏｚ＋Ａｒ ）のスパッタガ
ス、３０５・・・（Ｎ２＋Ａ）のスパッタガス、Ａ・・
・試料。 將許出願人 沖電気工業株式会社 「０ く
Claims (1)
- スパッタ装置のＳｉターゲットを用いて（Ｏｚ＋Ａｒ）
による第１のスパッタガスでスパッタしてサーマルヘッ
ドの発熱体上に５ｉＯｚによる第１の保護膜を形成し、
引き続き、上記スパッタ装置の真空を破らすに（Ｎ２
＋Ａｒ ）による第２のスパッタガスを用いてスパッタ
して第１の保護膜上に５ｉ３Ｎ４ｉｃよる第２の保護膜
を形成することを特徴とするサーマルヘッド発熱体上の
保護膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58053661A JPS59179365A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | サ−マルヘツド発熱体上の保護膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58053661A JPS59179365A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | サ−マルヘツド発熱体上の保護膜の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59179365A true JPS59179365A (ja) | 1984-10-11 |
Family
ID=12949034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58053661A Pending JPS59179365A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | サ−マルヘツド発熱体上の保護膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59179365A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61235164A (ja) * | 1985-04-12 | 1986-10-20 | Hitachi Ltd | 感熱記録ヘツド |
| JPH01286863A (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-17 | Nhk Spring Co Ltd | サーマルヘッド |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP58053661A patent/JPS59179365A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61235164A (ja) * | 1985-04-12 | 1986-10-20 | Hitachi Ltd | 感熱記録ヘツド |
| JPH01286863A (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-17 | Nhk Spring Co Ltd | サーマルヘッド |
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