JPS61235164A - 感熱記録ヘツド - Google Patents
感熱記録ヘツドInfo
- Publication number
- JPS61235164A JPS61235164A JP7641185A JP7641185A JPS61235164A JP S61235164 A JPS61235164 A JP S61235164A JP 7641185 A JP7641185 A JP 7641185A JP 7641185 A JP7641185 A JP 7641185A JP S61235164 A JPS61235164 A JP S61235164A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon dioxide
- film
- hole
- polyimide resins
- recording head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、二層配緘傳遺よりなる感熱記録ヘッドに係り
、籍に保!11膜を効率よ(形成するに好適な層関杷鍬
腹に関するものである。
、籍に保!11膜を効率よ(形成するに好適な層関杷鍬
腹に関するものである。
従来の感熱ヘッドは1例えは日独エレクトロニクス(1
982年9月15日号)の第119頁におよび第2図に
示すよプに発熱抵抗体1の熱による抵抗体r−の浮上り
防止用の珠!l1y43はSin、/Ta、0.よりな
り場間杷m展5はポリイミド糸衝脂にて形成されていた
。しかし1発熱抵抗体1を押えつける目的の4#、謹涙
3を層閤杷緻膜5としても用いる点については配慮され
ていなかった。尚図中2は第1配線、4はm岸耗襄およ
び6は第2配蔵である。
982年9月15日号)の第119頁におよび第2図に
示すよプに発熱抵抗体1の熱による抵抗体r−の浮上り
防止用の珠!l1y43はSin、/Ta、0.よりな
り場間杷m展5はポリイミド糸衝脂にて形成されていた
。しかし1発熱抵抗体1を押えつける目的の4#、謹涙
3を層閤杷緻膜5としても用いる点については配慮され
ていなかった。尚図中2は第1配線、4はm岸耗襄およ
び6は第2配蔵である。
本発明の目的は、保睦展を層関杷鍬換としても用い、ポ
リイミド糸OR脂と併用することにより、層閤杷鰍換の
欠陥をな(しだ尊属感熱ヘッドを従供することにある。
リイミド糸OR脂と併用することにより、層閤杷鰍換の
欠陥をな(しだ尊属感熱ヘッドを従供することにある。
本発明は上述の目的を達成するために、珠護族として用
いた二I!11S!Xを層闇杷鰍換としても用い、ポリ
イミド糸衡脂と併用することにより相互に欠陥な惰いあ
い無欠陥の層間杷鰍換を形成丁Φものである。
いた二I!11S!Xを層闇杷鰍換としても用い、ポリ
イミド糸衡脂と併用することにより相互に欠陥な惰いあ
い無欠陥の層間杷鰍換を形成丁Φものである。
以下、本発明の一夾JM例を帛1図により説明する。発
熱抵抗体1及び第1漕配線2をバターン形成した故、保
!!!展の二酸化珪素3を全国に形成する。発P/6抵
抗体1の上部には、記録紙に対するll1lt摩耗換と
してプラズマ輩化珪索7を部分的に形成する。層間ie
鰍換として用いる二酸化珪累5は、エツチングによるス
ルーホールな形成する。その上に更にポリイミド系樹脂
を迩布し、発熱億抗体1上及び二酸化珪素3のスルーホ
ール部をエツチング忙て除去する。スルーホール部の形
状は、二版化珪素5に対してポリイミド系樹Bn5を小
さくすることにより二戚化辻X3のスルーホール邸テー
パーが形成されない場合にもポリイきド糸11f脂5に
て被援され第二層配蛾6の段切れ防止に幼果がある。
熱抵抗体1及び第1漕配線2をバターン形成した故、保
!!!展の二酸化珪素3を全国に形成する。発P/6抵
抗体1の上部には、記録紙に対するll1lt摩耗換と
してプラズマ輩化珪索7を部分的に形成する。層間ie
鰍換として用いる二酸化珪累5は、エツチングによるス
ルーホールな形成する。その上に更にポリイミド系樹脂
を迩布し、発熱億抗体1上及び二酸化珪素3のスルーホ
ール部をエツチング忙て除去する。スルーホール部の形
状は、二版化珪素5に対してポリイミド系樹Bn5を小
さくすることにより二戚化辻X3のスルーホール邸テー
パーが形成されない場合にもポリイきド糸11f脂5に
て被援され第二層配蛾6の段切れ防止に幼果がある。
耐摩耗膜の1ラズマ窒化珪素7は、二酸化珪素3のスル
ーホール形成後に行なプことも回層である。
ーホール形成後に行なプことも回層である。
本夾應例忙よれは、エツチング性の患い換買の二敗化珪
系でも層関杷IR課として用いることができる効果があ
る。又、大Ixl槓の層関杷絨換を二層構造にすること
により無欠陥で形成できる効果がある。
系でも層関杷IR課として用いることができる効果があ
る。又、大Ixl槓の層関杷絨換を二層構造にすること
により無欠陥で形成できる効果がある。
不発F!AKよれば、Ii%1に層関杷隷膜のポリイミ
ド系樹脂の属厚を従来の号にすることができるので、材
料費の低減ができる。第2に1層関杷縁襄を二層構造に
することにより相互に欠陥を補いあい層閾杷嫌換の欠陥
な無(丁ことかできる。第3に、耐摩耗膜に硬い珪化珪
Xを用いることにより保護膜と耐摩耗膜のm淳を減少し
。
ド系樹脂の属厚を従来の号にすることができるので、材
料費の低減ができる。第2に1層関杷縁襄を二層構造に
することにより相互に欠陥を補いあい層閾杷嫌換の欠陥
な無(丁ことかできる。第3に、耐摩耗膜に硬い珪化珪
Xを用いることにより保護膜と耐摩耗膜のm淳を減少し
。
発熱抵抗1体からの熱々軍の向上により、印画特性が向
上し発熱抵抗体への印加電力の低減に効果がある。
上し発熱抵抗体への印加電力の低減に効果がある。
第1図は本発明の薄層感熱ヘッドの一例を示す縦l!T
(2)図、帛2図は、従来の薄層感熱ヘッドの板前DI
]図である。
(2)図、帛2図は、従来の薄層感熱ヘッドの板前DI
]図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、発熱抵抗体の保護膜として圧縮応力の大きい二酸化
珪素とプラズマ窒化珪素の二層膜を用いたことを特徴と
する感熱記録ヘッド。 2、特許請求の範囲第1項記載の保護膜を形成する二酸
化珪素膜とポリイミド樹脂膜とをもって層間絶縁膜を二
層構造化したことを特徴とする感熱記録ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60076411A JPH0626912B2 (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | 感熱記録ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60076411A JPH0626912B2 (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | 感熱記録ヘツド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61235164A true JPS61235164A (ja) | 1986-10-20 |
JPH0626912B2 JPH0626912B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=13604492
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60076411A Expired - Lifetime JPH0626912B2 (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | 感熱記録ヘツド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0626912B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57152968A (en) * | 1981-03-19 | 1982-09-21 | Ricoh Co Ltd | Manufacture of thermal head |
JPS59179365A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-11 | Oki Electric Ind Co Ltd | サ−マルヘツド発熱体上の保護膜の製造方法 |
JPS59225973A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-19 | Hitachi Ltd | サ−マルヘツド |
-
1985
- 1985-04-12 JP JP60076411A patent/JPH0626912B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57152968A (en) * | 1981-03-19 | 1982-09-21 | Ricoh Co Ltd | Manufacture of thermal head |
JPS59179365A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-11 | Oki Electric Ind Co Ltd | サ−マルヘツド発熱体上の保護膜の製造方法 |
JPS59225973A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-19 | Hitachi Ltd | サ−マルヘツド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0626912B2 (ja) | 1994-04-13 |
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