JPS61235164A - 感熱記録ヘツド - Google Patents

感熱記録ヘツド

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Publication number
JPS61235164A
JPS61235164A JP7641185A JP7641185A JPS61235164A JP S61235164 A JPS61235164 A JP S61235164A JP 7641185 A JP7641185 A JP 7641185A JP 7641185 A JP7641185 A JP 7641185A JP S61235164 A JPS61235164 A JP S61235164A
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JP
Japan
Prior art keywords
silicon dioxide
film
hole
polyimide resins
recording head
Prior art date
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Granted
Application number
JP7641185A
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English (en)
Other versions
JPH0626912B2 (ja
Inventor
Mamoru Morita
守 森田
Kenji Furuta
健二 古田
Kazuhisa Fujita
和久 藤田
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
    • B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
    • B41J2/335—Structure of thermal heads

Landscapes

  • Electronic Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、二層配緘傳遺よりなる感熱記録ヘッドに係り
、籍に保！１１膜を効率よ（形成するに好適な層関杷鍬
腹に関するものである。
〔発明の背景〕
従来の感熱ヘッドは１例えは日独エレクトロニクス（１
９８２年９月１５日号）の第１１９頁におよび第２図に
示すよプに発熱抵抗体１の熱による抵抗体ｒ−の浮上り
防止用の珠！ｌ１ｙ４３はＳｉｎ、／Ｔａ、０．よりな
り場間杷ｍ展５はポリイミド糸衝脂にて形成されていた
。しかし１発熱抵抗体１を押えつける目的の４＃、謹涙
３を層閤杷緻膜５としても用いる点については配慮され
ていなかった。尚図中２は第１配線、４はｍ岸耗襄およ
び６は第２配蔵である。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、保睦展を層関杷鍬換としても用い、ポ
リイミド糸ＯＲ脂と併用することにより、層閤杷鰍換の
欠陥をな（しだ尊属感熱ヘッドを従供することにある。
〔発明の概要〕
本発明は上述の目的を達成するために、珠護族として用
いた二Ｉ！１１Ｓ！Ｘを層闇杷鰍換としても用い、ポリ
イミド糸衡脂と併用することにより相互に欠陥な惰いあ
い無欠陥の層間杷鰍換を形成丁Φものである。
〔発明の夷画例〕
以下、本発明の一夾ＪＭ例を帛１図により説明する。発
熱抵抗体１及び第１漕配線２をバターン形成した故、保
！！！展の二酸化珪素３を全国に形成する。発Ｐ／６抵
抗体１の上部には、記録紙に対するｌｌ１ｌｔ摩耗換と
してプラズマ輩化珪索７を部分的に形成する。層間ｉｅ
鰍換として用いる二酸化珪累５は、エツチングによるス
ルーホールな形成する。その上に更にポリイミド系樹脂
を迩布し、発熱億抗体１上及び二酸化珪素３のスルーホ
ール部をエツチング忙て除去する。スルーホール部の形
状は、二版化珪素５に対してポリイミド系樹Ｂｎ５を小
さくすることにより二戚化辻Ｘ３のスルーホール邸テー
パーが形成されない場合にもポリイきド糸１１ｆ脂５に
て被援され第二層配蛾６の段切れ防止に幼果がある。
耐摩耗膜の１ラズマ窒化珪素７は、二酸化珪素３のスル
ーホール形成後に行なプことも回層である。
本夾應例忙よれは、エツチング性の患い換買の二敗化珪
系でも層関杷ＩＲ課として用いることができる効果があ
る。又、大Ｉｘｌ槓の層関杷絨換を二層構造にすること
により無欠陥で形成できる効果がある。
〔発明の効果〕
不発Ｆ！ＡＫよれば、Ｉｉ％１に層関杷隷膜のポリイミ
ド系樹脂の属厚を従来の号にすることができるので、材
料費の低減ができる。第２に１層関杷縁襄を二層構造に
することにより相互に欠陥を補いあい層閾杷嫌換の欠陥
な無（丁ことかできる。第３に、耐摩耗膜に硬い珪化珪
Ｘを用いることにより保護膜と耐摩耗膜のｍ淳を減少し
。
発熱抵抗１体からの熱々軍の向上により、印画特性が向
上し発熱抵抗体への印加電力の低減に効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の薄層感熱ヘッドの一例を示す縦ｌ！Ｔ
（２）図、帛２図は、従来の薄層感熱ヘッドの板前ＤＩ
］図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、発熱抵抗体の保護膜として圧縮応力の大きい二酸化
    珪素とプラズマ窒化珪素の二層膜を用いたことを特徴と
    する感熱記録ヘッド。 ２、特許請求の範囲第１項記載の保護膜を形成する二酸
    化珪素膜とポリイミド樹脂膜とをもって層間絶縁膜を二
    層構造化したことを特徴とする感熱記録ヘッド。
JP60076411A 1985-04-12 1985-04-12 感熱記録ヘツド Expired - Lifetime JPH0626912B2 (ja)

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JPH0626912B2 JPH0626912B2 (ja) 1994-04-13

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57152968A (en) * 1981-03-19 1982-09-21 Ricoh Co Ltd Manufacture of thermal head
JPS59179365A (ja) * 1983-03-31 1984-10-11 Oki Electric Ind Co Ltd サ−マルヘツド発熱体上の保護膜の製造方法
JPS59225973A (ja) * 1983-06-08 1984-12-19 Hitachi Ltd サ−マルヘツド

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57152968A (en) * 1981-03-19 1982-09-21 Ricoh Co Ltd Manufacture of thermal head
JPS59179365A (ja) * 1983-03-31 1984-10-11 Oki Electric Ind Co Ltd サ−マルヘツド発熱体上の保護膜の製造方法
JPS59225973A (ja) * 1983-06-08 1984-12-19 Hitachi Ltd サ−マルヘツド

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