JPS59169905A - 金属複酸化物の製造方法 - Google Patents
金属複酸化物の製造方法Info
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- JPS59169905A JPS59169905A JP4381283A JP4381283A JPS59169905A JP S59169905 A JPS59169905 A JP S59169905A JP 4381283 A JP4381283 A JP 4381283A JP 4381283 A JP4381283 A JP 4381283A JP S59169905 A JPS59169905 A JP S59169905A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、２種以上の金属と酸素でなる複酸化物を製造
する方法に係シー特に微粒子でなる複酸化物を得る方法
に関する。
する方法に係シー特に微粒子でなる複酸化物を得る方法
に関する。
例えば磁性材料として用いられるフェライトや、磁気記
録材料、レーザ用材料、センザ材社等に使用されるラン
タニドと鉄の複酸化物は、従来、２価の金属の酸化物と
３価の鉄の酸化物を粉末状態で混合して、例えば１３０
０υ〜１．５００℃に加熱して反応させることによるも
のであった。しかし、このような方法では固体粒子の混
合物を反応させるこ、とじよる本質的な組成の不均一性
と、高温反応を必要とするため得られるフェライトの粒
子径が大きく、粒度分布も太きいため【二、高性能、高
信頼性の微細加工の可能な高寸法精度の材料を製造する
ことができなかった。また、従来方法によると、原料と
なる酸化物を混合して高温で反応させた時に、粒子どう
しが接触している表面間の反応、拡散でしかフェライト
層が形成されず、粒子の深部は元のままであるので、均
一性の高いフェライ）１得るには、加熱反応と粉砕の作
業を繰シ返さなければならない。このため、製造に長時
間を要する上、犬がかシな粉砕装置が必要でるＱ、かつ
高温を保持するため（二人型の炉が必要となる。
録材料、レーザ用材料、センザ材社等に使用されるラン
タニドと鉄の複酸化物は、従来、２価の金属の酸化物と
３価の鉄の酸化物を粉末状態で混合して、例えば１３０
０υ〜１．５００℃に加熱して反応させることによるも
のであった。しかし、このような方法では固体粒子の混
合物を反応させるこ、とじよる本質的な組成の不均一性
と、高温反応を必要とするため得られるフェライトの粒
子径が大きく、粒度分布も太きいため【二、高性能、高
信頼性の微細加工の可能な高寸法精度の材料を製造する
ことができなかった。また、従来方法によると、原料と
なる酸化物を混合して高温で反応させた時に、粒子どう
しが接触している表面間の反応、拡散でしかフェライト
層が形成されず、粒子の深部は元のままであるので、均
一性の高いフェライ）１得るには、加熱反応と粉砕の作
業を繰シ返さなければならない。このため、製造に長時
間を要する上、犬がかシな粉砕装置が必要でるＱ、かつ
高温を保持するため（二人型の炉が必要となる。
さらに、粉砕と加熱を繰り返すため、異物混入が避けら
れず、高純度のも−のが得【二くいという欠点があった
。
れず、高純度のも−のが得【二くいという欠点があった
。
本発明はこのような問題点に鑑み、液相に於ける低温（
約１００υ前後以下）反応によって製造するようにした
もので、反応に犬がかりな装置を要せず、分子サイズの
微粒子で高純度の令Ａ ＊轍す物を短時間で製造する方
法を提供することを目的としてなされたものである。
約１００υ前後以下）反応によって製造するようにした
もので、反応に犬がかりな装置を要せず、分子サイズの
微粒子で高純度の令Ａ ＊轍す物を短時間で製造する方
法を提供することを目的としてなされたものである。
本発゛明は、中間生成物として金属アルコキシドを生成
され、複数種類の金属アルコキシド、または金属アルコ
キシドと金属／−ライドとを加水分解して複酸化物を生
成させることと、各反応時に金属に吸収されるレーザ光
を照射することを特徴とするものである。
され、複数種類の金属アルコキシド、または金属アルコ
キシドと金属／−ライドとを加水分解して複酸化物を生
成させることと、各反応時に金属に吸収されるレーザ光
を照射することを特徴とするものである。
本発明によって製造しうる複酸化物は、アルコキシド化
できる金属を含み、複酸化物として安定であるものをす
べて含んでおシ、また、アルコキシド化できないＷ、Ｍ
Ｏ等の金属であっても、ノ１ライド化できる場合は、他
のアルコキシド化した金属との加水分解反応によって複
酸化物を得ることができる。
できる金属を含み、複酸化物として安定であるものをす
べて含んでおシ、また、アルコキシド化できないＷ、Ｍ
Ｏ等の金属であっても、ノ１ライド化できる場合は、他
のアルコキシド化した金属との加水分解反応によって複
酸化物を得ることができる。
また、アルコキシド化の方法としては、金属／・ライド
をアルコールに溶解し、アンモニアガスを通して加温す
ることによって金属アルコキシドを溶液の形で生成させ
る方法が採用できる。また、別の方法として、アルカリ
金°属のアルコキシドを作ハ該アルカリ金属のアルコキ
シドと他の金属のアルコキシドまたは金属ノ１ライドと
をベンゼン等の溶媒中で加温して反応させることによシ
複合アルコキシドを作シ、該複合アルコキシドと他の金
属アルコキシドま、たは金属ノーライドとを溶媒中で加
温し反応させることによｐてアルカリ金属の代ｈ Ｄ
＋”−前記他の金属アルコキシドまたは金属ノ１ライド
の金属で置換した複合アルコキシドを生成させる方法も
採用できる。
をアルコールに溶解し、アンモニアガスを通して加温す
ることによって金属アルコキシドを溶液の形で生成させ
る方法が採用できる。また、別の方法として、アルカリ
金°属のアルコキシドを作ハ該アルカリ金属のアルコキ
シドと他の金属のアルコキシドまたは金属ノ１ライドと
をベンゼン等の溶媒中で加温して反応させることによシ
複合アルコキシドを作シ、該複合アルコキシドと他の金
属アルコキシドま、たは金属ノーライドとを溶媒中で加
温し反応させることによｐてアルカリ金属の代ｈ Ｄ
＋”−前記他の金属アルコキシドまたは金属ノ１ライド
の金属で置換した複合アルコキシドを生成させる方法も
採用できる。
また、本発明にて用いるアルコールとしては、メタノー
ル、エタノール、グロパノール、ペンタノール等、常温
ないしは１．００υ以下の加温状態で液体となるものが
用いられる。また、本発明において用いられる金属ハラ
イドのハロゲン元素としては、一般的にはＣｌであるが
、Ｆｌ Ｂｒ、、Ｉであってもよい。また、アルカリ金
属のアルコキシドを中間生成物として用いる場合は、ア
ルカリ金属としては、一般的にはＮａが用いられるが、
ＬｉやＫも用いられる。
ル、エタノール、グロパノール、ペンタノール等、常温
ないしは１．００υ以下の加温状態で液体となるものが
用いられる。また、本発明において用いられる金属ハラ
イドのハロゲン元素としては、一般的にはＣｌであるが
、Ｆｌ Ｂｒ、、Ｉであってもよい。また、アルカリ金
属のアルコキシドを中間生成物として用いる場合は、ア
ルカリ金属としては、一般的にはＮａが用いられるが、
ＬｉやＫも用いられる。
本発明は、前述のようなアルコキシド化およびハライド
化等の反応時において、レーザ光を照射させることによ
シ反応を促進させる０そのレーザ光は、金属が選択吸収
する波長のものであることが反応を促進する上で必要で
ある。選択吸収を行わせる（二は、金属の吸収波長に近
い波長のレーザ光を照射することが有効である。金属の
吸収波長は下記のように１０（ｎｍ）オーダ、すなわち
、紫外ないしは近赤外の波長の短い領域であるから、こ
の波長領域に発振波長を有するレーザ装置が用いられ、
一般的（二はＡｒイオン等の希ガスイオンを材料とした
気体レーザ装置が用いられるが、使用条件や反応物質に
よっては他のレーザ装置も用紗う°ることメ可能である
ことは言うまでもない。
化等の反応時において、レーザ光を照射させることによ
シ反応を促進させる０そのレーザ光は、金属が選択吸収
する波長のものであることが反応を促進する上で必要で
ある。選択吸収を行わせる（二は、金属の吸収波長に近
い波長のレーザ光を照射することが有効である。金属の
吸収波長は下記のように１０（ｎｍ）オーダ、すなわち
、紫外ないしは近赤外の波長の短い領域であるから、こ
の波長領域に発振波長を有するレーザ装置が用いられ、
一般的（二はＡｒイオン等の希ガスイオンを材料とした
気体レーザ装置が用いられるが、使用条件や反応物質に
よっては他のレーザ装置も用紗う°ることメ可能である
ことは言うまでもない。
く金属の吸収波長・・・単位ｎｍ＞
Ｔｂ−・・２１９； Ｃｄ−２７５，’６； Ｃｅ
・＝２９６： Ｋｕ−３９４，３； Ｓｍ＝・４０
１．６； Ｐｒ−４４４； Ｎｉ・−・４６ｓ；Ｃ
ｕ−５３３； Ｎａ・・−５６ｓ ＜ａｃＡ（０，ＩＮ）に溶解させた時の吸収波長・・単
位ｎｍ＞Ｔｂ・・・２１９； ０ｅ−２５３，２９６
； Ｇｄ・・−２７２，７゜２７５．６； Ｅｒ・
＝３７９，５２３．５，６５４： Ｋｕ−３９４，３
；Ｓｍ−＝４０１．６，１０９５； Ｈｏ・＝４１６
，５３６．５，６４１；Ｐｒ−４４０，４８２，５９０
： Ｎｄ−−−５７５−５，８６８：Ｙｂ・・・９５
０，９７３ 〈クロライドの吸収波長・・・・・・単位ｎｍ＞Ｃ！ｕ
２Ｃ１２・＝２１０．２７０： ＦｅＣ１２＝−２４
０，２７３；５ｎＣ７２−２４３； ｕｉａｉＪ２−
３４５次に複酸化物の一例として、Ｐ ｒ３Ｆ ｅ、
０，２を得る場合の工程について説明する。まず、Ｐｒ
０ｌａを得るため、Ｐｒ２Ｏ３とＮＨ，Ｏｌ の各粉末
を１：３のモル比で混合して１５Ｗのアルゴンレーザ装
置により、Ｐｒの吸収波長４４４ｎｍに近い４５８ｎｍ
の波長のレーザ光を加えながら加熱することにより、Ｐ
ｒ２Ｏ３とＮＨ４Ｃｌとの均一な混溶物を作シ、これに
エタノールを加えてＰｒ０７３を沈澱物として生成させ
、続いてＰｒＣ１１３を１過にょ９分離し、真空吸引に
よりエタノールを除去した。このようにして得られたＰ
ｒ０Ａ３の０．００５モルをイソプロピルアルコールと
ベンゼンとを等量混合した溶媒１１００ｄ１溶がし、０
０１４モル（Ｐｒｃ１３の３倍量）のＬ１金属を加え、
６０ 、Ｄ〜７０℃で還流（加熱により生じた蒸気を冷
却し液化して反応液中に戻す処理）を行いつつ、前記と
同様のアルゴンレーザ装置によってレーザ光の照射を行
った。これによってＰｒのイソプロピルアルコールとの
アルコキシドを生成させた。このアルコキシドは常温で
固体であって、ベンゼン等の有機溶媒に不溶であるが、
反応にまり生成したＬＩＣｌは溶解しているので、濾過
（二より沈澱物として該ｊｒのアルコキシドを分離した
。
・＝２９６： Ｋｕ−３９４，３； Ｓｍ＝・４０
１．６； Ｐｒ−４４４； Ｎｉ・−・４６ｓ；Ｃ
ｕ−５３３； Ｎａ・・−５６ｓ ＜ａｃＡ（０，ＩＮ）に溶解させた時の吸収波長・・単
位ｎｍ＞Ｔｂ・・・２１９； ０ｅ−２５３，２９６
； Ｇｄ・・−２７２，７゜２７５．６； Ｅｒ・
＝３７９，５２３．５，６５４： Ｋｕ−３９４，３
；Ｓｍ−＝４０１．６，１０９５； Ｈｏ・＝４１６
，５３６．５，６４１；Ｐｒ−４４０，４８２，５９０
： Ｎｄ−−−５７５−５，８６８：Ｙｂ・・・９５
０，９７３ 〈クロライドの吸収波長・・・・・・単位ｎｍ＞Ｃ！ｕ
２Ｃ１２・＝２１０．２７０： ＦｅＣ１２＝−２４
０，２７３；５ｎＣ７２−２４３； ｕｉａｉＪ２−
３４５次に複酸化物の一例として、Ｐ ｒ３Ｆ ｅ、
０，２を得る場合の工程について説明する。まず、Ｐｒ
０ｌａを得るため、Ｐｒ２Ｏ３とＮＨ，Ｏｌ の各粉末
を１：３のモル比で混合して１５Ｗのアルゴンレーザ装
置により、Ｐｒの吸収波長４４４ｎｍに近い４５８ｎｍ
の波長のレーザ光を加えながら加熱することにより、Ｐ
ｒ２Ｏ３とＮＨ４Ｃｌとの均一な混溶物を作シ、これに
エタノールを加えてＰｒ０７３を沈澱物として生成させ
、続いてＰｒＣ１１３を１過にょ９分離し、真空吸引に
よりエタノールを除去した。このようにして得られたＰ
ｒ０Ａ３の０．００５モルをイソプロピルアルコールと
ベンゼンとを等量混合した溶媒１１００ｄ１溶がし、０
０１４モル（Ｐｒｃ１３の３倍量）のＬ１金属を加え、
６０ 、Ｄ〜７０℃で還流（加熱により生じた蒸気を冷
却し液化して反応液中に戻す処理）を行いつつ、前記と
同様のアルゴンレーザ装置によってレーザ光の照射を行
った。これによってＰｒのイソプロピルアルコールとの
アルコキシドを生成させた。このアルコキシドは常温で
固体であって、ベンゼン等の有機溶媒に不溶であるが、
反応にまり生成したＬＩＣｌは溶解しているので、濾過
（二より沈澱物として該ｊｒのアルコキシドを分離した
。
一方、Ｆｅ（ＱＥｔ）ｓ （ただしＥｔはエタノールの
略称である）を以下の工程にょジ合成した。無水のＦｅ
Ｃ４３１，５ｇをエタノール１５０−ｇ、！；ベンゼン
１００−の混合溶媒に溶解し、アンモニアガスを通し、
かつｋＪｅ イオンレーザ装置にょシ、３３７ｎｍの波
長のレーザ光を加えつつ、７０℃で反応させ、生成物と
して溶媒Ｃ二溶解しているＦｅ（Ｃ＋Ｅｔ）、とＮＨ，
Ｃ１を得た。次に減圧下で溶媒を除去し、代シにベンゼ
ン２５０−を加えてベンゼンに不溶なＮＨ４Ｃｌ を沢
別し、純粋なＦｅ（ＯＥｔ）、 が溶解しているベン
ゼン溶液とした。
略称である）を以下の工程にょジ合成した。無水のＦｅ
Ｃ４３１，５ｇをエタノール１５０−ｇ、！；ベンゼン
１００−の混合溶媒に溶解し、アンモニアガスを通し、
かつｋＪｅ イオンレーザ装置にょシ、３３７ｎｍの波
長のレーザ光を加えつつ、７０℃で反応させ、生成物と
して溶媒Ｃ二溶解しているＦｅ（Ｃ＋Ｅｔ）、とＮＨ，
Ｃ１を得た。次に減圧下で溶媒を除去し、代シにベンゼ
ン２５０−を加えてベンゼンに不溶なＮＨ４Ｃｌ を沢
別し、純粋なＦｅ（ＯＥｔ）、 が溶解しているベン
ゼン溶液とした。
次にＰｒのイングロパノールのアルコキシドとＦｅ（ｏ
Ｅｔ）ｓの各ベンゼン溶液とをＰｒ：ｐ’ｅのモル比が
３＝５となるように混合して７０℃で還流した後、Ｈ２
０″！、たは５９６アンモニア水を加え、還流を行いな
がら、かつアルゴンレーザ装置によって４５８ｎｍのレ
ーザ光を照射しつつ加水分解を行った。これにょ９生成
した沈澱物を濾過により溶媒から分離し、沈澱物を蒸溜
水で洗い＋７０℃で乾燥させ、Ｐｒ３Ｆθ５０１□を得
た。なお、付着水の除去は、４００℃〜９００υ程度で
仮焼することによシ行え、結晶化できることが確かめら
れている。
Ｅｔ）ｓの各ベンゼン溶液とをＰｒ：ｐ’ｅのモル比が
３＝５となるように混合して７０℃で還流した後、Ｈ２
０″！、たは５９６アンモニア水を加え、還流を行いな
がら、かつアルゴンレーザ装置によって４５８ｎｍのレ
ーザ光を照射しつつ加水分解を行った。これにょ９生成
した沈澱物を濾過により溶媒から分離し、沈澱物を蒸溜
水で洗い＋７０℃で乾燥させ、Ｐｒ３Ｆθ５０１□を得
た。なお、付着水の除去は、４００℃〜９００υ程度で
仮焼することによシ行え、結晶化できることが確かめら
れている。
このような工程によってＰｒ３Ｆθ、Ｃ１２を製造し次
場合、レーザ光を各反応時又は所望の反応時に照射すれ
ば、反応速度が数倍速くなシ、レーザ光を照射しない場
合に比べ、数分の１の時間ですみ（すなわち、レーザ光
を照射しない場合、１０〜２０時間要したものが、約１
〜３時間で完了する）、大幅な時間短縮が可能となった
。また、レーザ光を照射しない場合は、粒子径の平均は
約５００Ａ程度であったが、レーザ光照射にょシ約３ｏ
ｏス程度となった。
場合、レーザ光を各反応時又は所望の反応時に照射すれ
ば、反応速度が数倍速くなシ、レーザ光を照射しない場
合に比べ、数分の１の時間ですみ（すなわち、レーザ光
を照射しない場合、１０〜２０時間要したものが、約１
〜３時間で完了する）、大幅な時間短縮が可能となった
。また、レーザ光を照射しない場合は、粒子径の平均は
約５００Ａ程度であったが、レーザ光照射にょシ約３ｏ
ｏス程度となった。
また、前記のようにレーザ光を照射した場合、同時に３
２ＫＨ２，ｌ５０Ｗの超音波を反応液に加えながら反応
させた場合、反応時間はさらに名に短縮され、さらに粒
子サイズも）５０Ａとなシ、よシ微細な粒子が得られた
。
２ＫＨ２，ｌ５０Ｗの超音波を反応液に加えながら反応
させた場合、反応時間はさらに名に短縮され、さらに粒
子サイズも）５０Ａとなシ、よシ微細な粒子が得られた
。
次に別の実施例としてアルカリ金属部用いる例ニツイテ
説明スル。ｉｆ金属Ｎａ０．１モル全エタノール１００
−に加えて７ｏυで還流することによ、！１）ＮａＯＥ
ｔを生成させた。一方Ｆｅ（ｏＥｔ）３のベンゼン溶液
を前述のような工程によって作シ・、Ｎ ａ ： Ｆ
ｅのモル比が１＝１となるように混合して７０υで前記
４５８ｎｍの波長の１５Ｗのレーザ光照射のもとで還流
させナトリウム鉄複合エトキシドを合成し、これにＦｅ
：Ｎ１＝２＝１となるようにＮｉＣ！１２を加え、前記
と同じ波長のレーザ光を照射しながら７０℃で還流させ
、Ｎａ とＮｉ との置換反応を行わせ、Ｎｉ （Ｆｅ
（ＯＥｔ）４）２を合成した。反応終了後、沈澱物とし
て生成したＮａ０ｌを濾過によシ除去し、再びレーザ光
を照射しながら大過剰の水を加えて加水分解を行い、約
８０℃で還流を続けた後、沈澱物をＰ別し、前記と同様
に蒸溜水で洗浄し、７０υで乾燥した。
説明スル。ｉｆ金属Ｎａ０．１モル全エタノール１００
−に加えて７ｏυで還流することによ、！１）ＮａＯＥ
ｔを生成させた。一方Ｆｅ（ｏＥｔ）３のベンゼン溶液
を前述のような工程によって作シ・、Ｎ ａ ： Ｆ
ｅのモル比が１＝１となるように混合して７０υで前記
４５８ｎｍの波長の１５Ｗのレーザ光照射のもとで還流
させナトリウム鉄複合エトキシドを合成し、これにＦｅ
：Ｎ１＝２＝１となるようにＮｉＣ！１２を加え、前記
と同じ波長のレーザ光を照射しながら７０℃で還流させ
、Ｎａ とＮｉ との置換反応を行わせ、Ｎｉ （Ｆｅ
（ＯＥｔ）４）２を合成した。反応終了後、沈澱物とし
て生成したＮａ０ｌを濾過によシ除去し、再びレーザ光
を照射しながら大過剰の水を加えて加水分解を行い、約
８０℃で還流を続けた後、沈澱物をＰ別し、前記と同様
に蒸溜水で洗浄し、７０υで乾燥した。
このようなアルカリ金属を用いることにより、Ｎｉ フ
ェライトの他（二、ＣＯフェライトやＣｕ フェライト
、Ｚｎフェライト等他のフェライトを合成することも可
能で盛る。
ェライトの他（二、ＣＯフェライトやＣｕ フェライト
、Ｚｎフェライト等他のフェライトを合成することも可
能で盛る。
以上述べたように、本発明の方法は中間生成物としてア
ルコキシドを生成させ、加水分解によシ複酸化物を生成
させ、反応時にレーザ光を照射す・る方法でろって、反
応な液相で進行させることが可能であり、均一化と高純
度化が可能となる上、レーザ光照射によって反応が著る
しく迅速化して製造時間が短縮され、さらに超微細粉粒
が得られる。また、本発明（二、よれば、粉砕や高温加
熱が不要になることから、大がかりな装置が不要になる
。
ルコキシドを生成させ、加水分解によシ複酸化物を生成
させ、反応時にレーザ光を照射す・る方法でろって、反
応な液相で進行させることが可能であり、均一化と高純
度化が可能となる上、レーザ光照射によって反応が著る
しく迅速化して製造時間が短縮され、さらに超微細粉粒
が得られる。また、本発明（二、よれば、粉砕や高温加
熱が不要になることから、大がかりな装置が不要になる
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 アルコールと金属ハライドとを該金属ハライドに
選択吸収されるレーザ光を照射しながら反応させること
によシ金属アルコキシドを作シ、該金属アルコキシドの
２種以上のものどうし、または該金属アルコキシドの工
種以上のものと金属ハライドとを、少なくともこれらの
金属化合物のりちの１種以上のものに吸収されるレーザ
光を照射しながら加水分解反応を行わせて微粒子でなる
金属複酸化物を生成させることを特徴とする金属複酸化
物の製造方法。 ２、前記レーザ光照射時に、さらに超音波も反応溶液（
Ｚ加えることを特徴とする特許請求の範囲／ 第１項記載の金属複酸化物の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4381283A JPH0244765B2 (ja) | 1983-03-16 | 1983-03-16 | Kinzokufukusankabutsunoseizohoho |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4381283A JPH0244765B2 (ja) | 1983-03-16 | 1983-03-16 | Kinzokufukusankabutsunoseizohoho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59169905A true JPS59169905A (ja) | 1984-09-26 |
| JPH0244765B2 JPH0244765B2 (ja) | 1990-10-05 |
Family
ID=12674147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4381283A Expired - Lifetime JPH0244765B2 (ja) | 1983-03-16 | 1983-03-16 | Kinzokufukusankabutsunoseizohoho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0244765B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6325206A (ja) * | 1986-07-16 | 1988-02-02 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミツク粉末の製造方法 |
| FR2677558A1 (fr) * | 1991-06-14 | 1992-12-18 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de fabrication de poudres ultrafines inorganiques par couplage aerosols-laser. |
| JPH0558605A (ja) * | 1991-08-29 | 1993-03-09 | Mitsubishi Materials Corp | セラミツク複合粉体の製造方法 |
| US5531182A (en) * | 1989-03-31 | 1996-07-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of making a semiconductor thin-film |
| CN1079080C (zh) * | 1999-09-08 | 2002-02-13 | 中国科学院广州化学研究所 | 一种具有特殊形态氧化锌超微粒子的制备方法 |
-
1983
- 1983-03-16 JP JP4381283A patent/JPH0244765B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6325206A (ja) * | 1986-07-16 | 1988-02-02 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミツク粉末の製造方法 |
| US5531182A (en) * | 1989-03-31 | 1996-07-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of making a semiconductor thin-film |
| FR2677558A1 (fr) * | 1991-06-14 | 1992-12-18 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de fabrication de poudres ultrafines inorganiques par couplage aerosols-laser. |
| JPH0558605A (ja) * | 1991-08-29 | 1993-03-09 | Mitsubishi Materials Corp | セラミツク複合粉体の製造方法 |
| CN1079080C (zh) * | 1999-09-08 | 2002-02-13 | 中国科学院广州化学研究所 | 一种具有特殊形态氧化锌超微粒子的制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0244765B2 (ja) | 1990-10-05 |
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