JPS5916514A - フイルタ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はフィルターに関する。

一般に液体等のゴミを濾過するフィルターには円板状の
ディスクフィルターと円筒状のカートリッジフィルター
の二種類に大別できる。

カートリッジフィルターは第１図に示すようにフィルタ
ー１をフィルターハウジング２に装着して使用する。一
般洗液体流６はフィルターの外側３（−次側）からフィ
ルター１を通シフイルターの内側４（二次側）流れるよ
うに流し、濾過を行う。

通常は二次側の出口５が上になるようにフィルターハウ
ジングを取りつけるが、フィルターを使用する装置の構
成上第２図に示すようにフィルターの二次側の出口５が
下になるようにフィルターハウジングを取シつけなくて
はならない場合がある。

このような場合、液体を流すと、第２図のように空気が
、フィルター上部７に残る。空気は一般に液体用のフィ
ルターを通過出来ない為、二次側４に空気が残シ、二次
側から流出する液体中に泡を生じさせる原因となる。

フィルターは半導体工業など微細なパターンを化学エツ
チングするエツチング液の濾過等に多く使われている。

エツチングの場合エツチング液中のごみはエツチング残
シの原因として問題である事は言うまでもないが、エツ
チング液中の泡も被エツチング物に付着した場合エツチ
ング残シの原因になる為、エツチング液中の泡は充分取
シ除かれる必要がある。

しかし、前に述べた通シ、フィルターハウジングをフィ
ルターの二次側出口が下になるように取シつけた場合、
濾過されたエツチング液には、泡が多量にふくまれてお
シ、問題となっていた。

本発明は斯る点に鑑みなされたものであシ、すなわち、
フィルターの二次側に空気が残さないようにフィルター
の二次側に空気抜きを備えている事を特徴とするフィル
ターにある。

以下第３図を用いて本発明の詳細な説明する。

フィルターの二次側４内部にフィルターの上部から出口
５まで達するようなパイプ８をパイプホルダー９で固定
する。本発明によるフィルターを使用した場合フィルタ
ーの二次側の空気はパイプ８を通じて、出て行く為、液
体を流し始めた時には液中に泡を生じるが、フィルター
内部が液で満された後は液中に泡を生じない。

以上述べた通夛本発明によれば濾過された液体中に泡が
生じない為、エツチング液の濾過等液中の泡をきらう液
体の濾過には大きく貢献する物である。

【図面の簡単な説明】

第１図は通常のカートリッジフィルターの使用例を示す
断面図、第２図はフィルターの出口を下に向けて使用し
た例を示す断面図、第３図Ａは本発明の実施例を示す断
面図、第３図Ｂの一部の底面図である。 図中、１・・・・・・フィルター、２・・・・・・フィ
ルターハウジング、３・・・・・・フィルターの一次側
、４・・・・・・フィルターの二次側、５・・・・・・
フィルターの出口、６・・・・・・液体の流れ方向、７
・・・・・・フィルター二次側にたまった空気、８・・
・・・・空気抜きパイプ、９・・・・・・パイプホルダ
ー、１０・・・・・・空気の流れ方向である。 箭１　区 第　７　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 円筒状のカートリッジフィルターであって、フィルター
   の二次側に空気抜きのバイブを備えている事を特徴とす
   るフィルター。