JPS59165102A - シ−ケンス制御装置 - Google Patents
シ−ケンス制御装置Info
- Publication number
- JPS59165102A JPS59165102A JP3927283A JP3927283A JPS59165102A JP S59165102 A JPS59165102 A JP S59165102A JP 3927283 A JP3927283 A JP 3927283A JP 3927283 A JP3927283 A JP 3927283A JP S59165102 A JPS59165102 A JP S59165102A
- Authority
- JP
- Japan
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- abnormality
- retry
- robot
- abnormality occurs
- sequence
- Prior art date
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- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/406—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by monitoring or safety
- G05B19/4063—Monitoring general control system
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/34—Director, elements to supervisory
- G05B2219/34467—Try again program
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Safety Devices In Control Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ロボット等の比較的異常の発生の多い設備全
制御するシステムに係シ、特に、設備側の重大な故障に
起因されない異常が発生した場合、その動作を別のワー
クについて再実行することによシ設備の信頼性全向上す
〜る装置に関する。
制御するシステムに係シ、特に、設備側の重大な故障に
起因されない異常が発生した場合、その動作を別のワー
クについて再実行することによシ設備の信頼性全向上す
〜る装置に関する。
第１図はロボットによる部品取付ステーションの構成例
を示す。第１図において１１は組立ロボット、１２は部
品供給コンベア、１３は作業テーブル、１４は作業中の
パレット、１５はネジ締装置である。これらの設備は第
２図に示すように動作する。同図において、（ａ）は作
業テーブル動作シーケンス、 （ｂ）は組立ロボット動
作シーケンス、 （Ｃ）はネジ締め装置動作シーケンス
を示す。第２図において、ボックス１０１〜１２３は各
設備の単位動作を示し、ボックスとボックスを結ぶ実矢
印は、矢印の出発点のボックスに曹かれた動作が完了し
た時に、矢印の終点のボックスに書かれた単位動作が起
動さｎる事を示す。破線の矢印は異なる設備間の単位動
作の同期、排他をとるためのインターロック信号であシ
、この信号が省設備のインク−ロック待ち動作で受信式
れるとや作シーケンスが次のステップへと進められる。
を示す。第１図において１１は組立ロボット、１２は部
品供給コンベア、１３は作業テーブル、１４は作業中の
パレット、１５はネジ締装置である。これらの設備は第
２図に示すように動作する。同図において、（ａ）は作
業テーブル動作シーケンス、 （ｂ）は組立ロボット動
作シーケンス、 （Ｃ）はネジ締め装置動作シーケンス
を示す。第２図において、ボックス１０１〜１２３は各
設備の単位動作を示し、ボックスとボックスを結ぶ実矢
印は、矢印の出発点のボックスに曹かれた動作が完了し
た時に、矢印の終点のボックスに書かれた単位動作が起
動さｎる事を示す。破線の矢印は異なる設備間の単位動
作の同期、排他をとるためのインターロック信号であシ
、この信号が省設備のインク−ロック待ち動作で受信式
れるとや作シーケンスが次のステップへと進められる。
同時にインターロック信号がＯＦＦにリセットされる。
なお、第２図（ｂ）のロボットの動作シーケンスは、プ
ログラム名″１０”として登録されている。
ログラム名″１０”として登録されている。
第２図において、組立ロボット１１が、コンベア１２か
ら部品ヲハレット１４にのせる動作１１３と、ネジ締装
置１５がネジ締めをする動作１２２は、相互にインター
ロックがかけられてお）、２つの動作が同時に行なわれ
ないように排他されている。これはパレット１４上で組
立ロボット１１とネジ締装置１５のアームが衝突するの
を防止するためである。
ら部品ヲハレット１４にのせる動作１１３と、ネジ締装
置１５がネジ締めをする動作１２２は、相互にインター
ロックがかけられてお）、２つの動作が同時に行なわれ
ないように排他されている。これはパレット１４上で組
立ロボット１１とネジ締装置１５のアームが衝突するの
を防止するためである。
ロボットの信頼性は、他の自動化機器のそれと比べて低
く、部品を運ぶ途中で落とす、部品を倒す、といった異
常が発生する。この様な場合、どの様な原因で異常が発
生したか分からないため、ロボットを止めて、人間が原
因を調べ復帰させる。
く、部品を運ぶ途中で落とす、部品を倒す、といった異
常が発生する。この様な場合、どの様な原因で異常が発
生したか分からないため、ロボットを止めて、人間が原
因を調べ復帰させる。
しかし１組立ロボットが部品を運ぶ途中に部品を落とす
といった場合では、ロボツｌ、正常でろりても、部品の
太き芒が標準より少し小さい、あるｒは１部品の表面が
標準より少しなめらかであるという部品側の理由で異常
が発生することも多い。
といった場合では、ロボツｌ、正常でろりても、部品の
太き芒が標準より少し小さい、あるｒは１部品の表面が
標準より少しなめらかであるという部品側の理由で異常
が発生することも多い。
この様な部品側の理由で生じるような、異常時にもステ
ーション全体を止めることは１作業の稼動率を不用に低
下させることになる。この他、ロボット側に起因する異
常であっても、瞬間的な電圧の低下等の偶発的で再現性
のないような原因によるものも、必ずしもステーション
全体ケ止める必要はない。
ーション全体を止めることは１作業の稼動率を不用に低
下させることになる。この他、ロボット側に起因する異
常であっても、瞬間的な電圧の低下等の偶発的で再現性
のないような原因によるものも、必ずしもステーション
全体ケ止める必要はない。
本発明の目的は、上記の従来技術の欠点を無くし、ロボ
ットに起因しない異常時にはステーション全体を止める
ことなく、自動的に作業を継続できる制御方式を提供す
る事にある。
ットに起因しない異常時にはステーション全体を止める
ことなく、自動的に作業を継続できる制御方式を提供す
る事にある。
本発明の特徴は、ステーションにおいて異常か生じた場
合、異常を生じた動作を繰シ返し実行させ、異常が繰シ
返し現われる場合には、ロボット側に起因する故障であ
ると見なし、ステーションを停止させる等の処ｔｌを実
施させることである。
合、異常を生じた動作を繰シ返し実行させ、異常が繰シ
返し現われる場合には、ロボット側に起因する故障であ
ると見なし、ステーションを停止させる等の処ｔｌを実
施させることである。
先に述べた部品側に起因する異常の場合、部品を変えて
再実行はぜれば、異常は生じない。従って異′だを生じ
た動作を再実行させることにより、部品に起因する等の
偶発的な異常と、ロボットに起因する等の修理？要する
異常を区別することができる。このためには、ある動作
を行なった回数を数えておく必要がある。部品の梢度が
悪いような場合には、１度の再実行たけでは、ロボット
側の故障か部品が原因かの区別が難しく、数回、再動作
全行なわせる必要がある。
再実行はぜれば、異常は生じない。従って異′だを生じ
た動作を再実行させることにより、部品に起因する等の
偶発的な異常と、ロボットに起因する等の修理？要する
異常を区別することができる。このためには、ある動作
を行なった回数を数えておく必要がある。部品の梢度が
悪いような場合には、１度の再実行たけでは、ロボット
側の故障か部品が原因かの区別が難しく、数回、再動作
全行なわせる必要がある。
以上のような磯り目を実現するため、本発明では、異常
処理装置に、異常が生じた時に再実行を行なわせる動作
ごとに、再実行の７ｔめのｉ作ジ−タンスと、許容する
再実行回数を登録しておく。異常が生じると、異常処理
装置は指定された再実行シーケンスを起動し、同時にカ
ウンターの再実行の回数を加算して行く。再実行回数が
指定の許容再実行回数をオーバすると、１報を出し、シ
ステムを止める。
処理装置に、異常が生じた時に再実行を行なわせる動作
ごとに、再実行の７ｔめのｉ作ジ−タンスと、許容する
再実行回数を登録しておく。異常が生じると、異常処理
装置は指定された再実行シーケンスを起動し、同時にカ
ウンターの再実行の回数を加算して行く。再実行回数が
指定の許容再実行回数をオーバすると、１報を出し、シ
ステムを止める。
以下、本発明の一実施例を詳細に説明する。第３図は本
発明の一実施例の構成を示したもので、３１にシーケン
スコントローラ、３２はロボット制御装置、３４はロボ
ット動作教示データ用メモリ、１３は回転テーブル、１
１はプレイバック式の組立ロボット、１５はネジ締装置
である。３５は異常処理装置、３７はリトライメモリ、
３８は警報装置、３６１１−３：部品落下検出装置で、
作業エリアの床に敷いた感圧マットである。
発明の一実施例の構成を示したもので、３１にシーケン
スコントローラ、３２はロボット制御装置、３４はロボ
ット動作教示データ用メモリ、１３は回転テーブル、１
１はプレイバック式の組立ロボット、１５はネジ締装置
である。３５は異常処理装置、３７はリトライメモリ、
３８は警報装置、３６１１−３：部品落下検出装置で、
作業エリアの床に敷いた感圧マットである。
畜て、正常時には、シーケンスコントローラ３１、ロボ
ット制御装置３２、ロボット動作教示データ用メモリ°
３４によって、第２図に示したシーケンスが実行される
。以下、異常発生時の処理について説明する。異常が発
生すると部品落下検出装置３６から信号が異常処理装置
３５に送られる。異常処理装置３５は、第４図に示した
りトライ表ヲリトライメモリ３７から読みこむ。リトラ
イ表には、異常を生じた動作ごとにリトライプログラム
名と最大リトライ回数が登録されている。
ット制御装置３２、ロボット動作教示データ用メモリ°
３４によって、第２図に示したシーケンスが実行される
。以下、異常発生時の処理について説明する。異常が発
生すると部品落下検出装置３６から信号が異常処理装置
３５に送られる。異常処理装置３５は、第４図に示した
りトライ表ヲリトライメモリ３７から読みこむ。リトラ
イ表には、異常を生じた動作ごとにリトライプログラム
名と最大リトライ回数が登録されている。
同−の動作が複数のシーケンス中に現われ、異な記する
ことができる。第４図の例では、第２図（ｂ）のプログ
ラム名６１０”中の動作１１１と、第５図（ａ）のプロ
グラム名″′１１”中の動作１３２が、ともに同じ「部
品をつかむ」という動作で、共通のりトライプログラム
”１１”と最大リトライ回数２がセットされている。異
常処理装置３５は、異常が発生した時のロボットの動作
番号をロボット制御装置３２から受けとシ、リトライ衣
の異常発生動作番号に対応するりトライプログラムを実
行させる。ＩＪ ）ライブログラムの例を第５図に示す
。
ことができる。第４図の例では、第２図（ｂ）のプログ
ラム名６１０”中の動作１１１と、第５図（ａ）のプロ
グラム名″′１１”中の動作１３２が、ともに同じ「部
品をつかむ」という動作で、共通のりトライプログラム
”１１”と最大リトライ回数２がセットされている。異
常処理装置３５は、異常が発生した時のロボットの動作
番号をロボット制御装置３２から受けとシ、リトライ衣
の異常発生動作番号に対応するりトライプログラムを実
行させる。ＩＪ ）ライブログラムの例を第５図に示す
。
第５図（ａ）は、第２図（ｂ）の動作シーケンス中の「
部品をつかむ」動作１１１中に異常が生じた場。
部品をつかむ」動作１１１中に異常が生じた場。
合に対するリトライシーケンスでプログラム名″１１”
トシてロボット動作教示データ用メモリ３４に登録され
ている。異常が発生した時点でのロボットの位置は不定
であるので、まずロボットを、待機位置へ移動させる（
１１１）。次に異常を発生した時の動作である「部品を
つかむ」（１３２１−行ない、それが成功すると異常処
理装置３５に報告する。以下は第２図（ｂ）の正常時の
シーケンスと同じで、インタロック信号を待ち（１３３
）、パレットに部品をのせ（１３４）、待機位置へ移動
（１３５）する。リトライシーダンスが完了すると第２
図（ｂ）のプログラム″′１０”を呼び、正常をシーケ
ンスに戻る。第５図（ｂ）は、第２図（ｂ）゛の動作シ
ーケンス中の「パレットに部品をのせる」動作１１３で
異常が生じた場合に対するリトライシーケンスである。
トシてロボット動作教示データ用メモリ３４に登録され
ている。異常が発生した時点でのロボットの位置は不定
であるので、まずロボットを、待機位置へ移動させる（
１１１）。次に異常を発生した時の動作である「部品を
つかむ」（１３２１−行ない、それが成功すると異常処
理装置３５に報告する。以下は第２図（ｂ）の正常時の
シーケンスと同じで、インタロック信号を待ち（１３３
）、パレットに部品をのせ（１３４）、待機位置へ移動
（１３５）する。リトライシーダンスが完了すると第２
図（ｂ）のプログラム″′１０”を呼び、正常をシーケ
ンスに戻る。第５図（ｂ）は、第２図（ｂ）゛の動作シ
ーケンス中の「パレットに部品をのせる」動作１１３で
異常が生じた場合に対するリトライシーケンスである。
これはプログラム名″′１３ｎとしてロボット動作教示
データ用メモリ３４に登録されている。異常が発生した
時点でのロボットの位置は第５図（ａ）の場合と同様不
定であるため、ロボットを待機位置へ移動させ（１４１
）、部品をつかむ（１４２）。次に異常を発生したとき
の動作でおる「パレットに部品をのぜるＪ （１４３）
ｆｆｉ行ない、それが１ｇ功すると異常処理装［３５に
報告する。以下第５図（ａ）と同様、リトライシーケン
スが完了すると、第２図（ｂ）のプログラム１１０＃を
呼び正常なシーケンスに戻る。
データ用メモリ３４に登録されている。異常が発生した
時点でのロボットの位置は第５図（ａ）の場合と同様不
定であるため、ロボットを待機位置へ移動させ（１４１
）、部品をつかむ（１４２）。次に異常を発生したとき
の動作でおる「パレットに部品をのぜるＪ （１４３）
ｆｆｉ行ない、それが１ｇ功すると異常処理装［３５に
報告する。以下第５図（ａ）と同様、リトライシーケン
スが完了すると、第２図（ｂ）のプログラム１１０＃を
呼び正常なシーケンスに戻る。
異常発生動作に対するリトライが実行されるたびに、現
リトライ数はカウントマツプされ、リトライ衣に登録さ
れている最大リトライ数までリトライしても、異常が繰
９返される場合は異常処理装置３５が、警報装置３８に
警報を出す。
リトライ数はカウントマツプされ、リトライ衣に登録さ
れている最大リトライ数までリトライしても、異常が繰
９返される場合は異常処理装置３５が、警報装置３８に
警報を出す。
異常処理装置３５の動作のフローを第６図に示す。異常
が発生すると、ｅｎｔｒｙ ｌがスタートし、部品落下
検出装置３６からの入力を読みこみ（ボックス７０）、
ロボット制御装置３２から停止動作番号を読み込む（ボ
ックス７１）。この停止動作Φが、ＩＪ Ｉ−ライ衣の
異常発生動作番号欄に存在しなシすれば、アラームを発
生しくボックス７８）、リトライ衣のすべての現すトラ
イ数欄を０にリセット（ボックス７９）して終了する。
が発生すると、ｅｎｔｒｙ ｌがスタートし、部品落下
検出装置３６からの入力を読みこみ（ボックス７０）、
ロボット制御装置３２から停止動作番号を読み込む（ボ
ックス７１）。この停止動作Φが、ＩＪ Ｉ−ライ衣の
異常発生動作番号欄に存在しなシすれば、アラームを発
生しくボックス７８）、リトライ衣のすべての現すトラ
イ数欄を０にリセット（ボックス７９）して終了する。
停止動作が、リトライ衣に存在すれば、対応する最大リ
トライ回数と現すトライ数ゲリトライ表よりｇみ込む（
ボ、ツクスフ４）。も゛し、現リトライ数が最大リトラ
イ数未満であれば（ボックス７５）、リトライ衣の現リ
トライ数をカウントアツプして（ボックス７６）、リト
ライプログラム名をリトライ衣から読与、ロボット制御
装置３２に送信（ボックス７７）する。もしリトライ衣
から読み込んだ現リトライ数が最大リトライ回数以上と
なると（ボックス７５）、アラーム全発生しくボックス
７８゛〕、リトライ衣の現リトライ数を０にリセット（
ボックス７９）する。また、ロボット制御装置３２から
、リトライして「成功した」という報告を受けた場合、
ｅｎｔｒｙ ２がスタートして、′リトライ衣の現リト
ライ数１ｏにリセットする（ボックス７９）。
トライ回数と現すトライ数ゲリトライ表よりｇみ込む（
ボ、ツクスフ４）。も゛し、現リトライ数が最大リトラ
イ数未満であれば（ボックス７５）、リトライ衣の現リ
トライ数をカウントアツプして（ボックス７６）、リト
ライプログラム名をリトライ衣から読与、ロボット制御
装置３２に送信（ボックス７７）する。もしリトライ衣
から読み込んだ現リトライ数が最大リトライ回数以上と
なると（ボックス７５）、アラーム全発生しくボックス
７８゛〕、リトライ衣の現リトライ数を０にリセット（
ボックス７９）する。また、ロボット制御装置３２から
、リトライして「成功した」という報告を受けた場合、
ｅｎｔｒｙ ２がスタートして、′リトライ衣の現リト
ライ数１ｏにリセットする（ボックス７９）。
本実施例によれば、第２図（ｂ）に示した組立ロボット
１１の動作シーケンスの中で部品ヲ落とす等の異常が発
生した場合、ＩＪ ）ライ衣に、異常発生動作に対応し
て、リトライプログラム名、最大リトライ数を登録、し
ておけば、ロボット教示用メモリ３４にめらかじめ記憶
されているリトライシーケンスが選択され、偶発的に発
生する異常時にもステーションを停止させることなく対
処することができる。また、再実行を行なっている際に
別の異常が生じた場合でも、リトライ表の異常発生動作
番号欄にリトライシーケンス中の動作番号を指定するこ
とにより対応することができる。さらに、重大な異常の
場合には、リトライ表中の異常発生動作番号欄に、該当
する動作番号を入れないことで、従来と同様にステーシ
ョンを停止しアラームを出すことができる。
１１の動作シーケンスの中で部品ヲ落とす等の異常が発
生した場合、ＩＪ ）ライ衣に、異常発生動作に対応し
て、リトライプログラム名、最大リトライ数を登録、し
ておけば、ロボット教示用メモリ３４にめらかじめ記憶
されているリトライシーケンスが選択され、偶発的に発
生する異常時にもステーションを停止させることなく対
処することができる。また、再実行を行なっている際に
別の異常が生じた場合でも、リトライ表の異常発生動作
番号欄にリトライシーケンス中の動作番号を指定するこ
とにより対応することができる。さらに、重大な異常の
場合には、リトライ表中の異常発生動作番号欄に、該当
する動作番号を入れないことで、従来と同様にステーシ
ョンを停止しアラームを出すことができる。
なお、本実施例では１部品落下検出装置３６として作業
エリアの床に敷いた感圧マットを用いているが、ロボッ
ト自体が持っている荷重センサや、ステーションを監視
している視覚認識装置などを、異常発生の検出装置とし
て用いる構成も可能である。
エリアの床に敷いた感圧マットを用いているが、ロボッ
ト自体が持っている荷重センサや、ステーションを監視
している視覚認識装置などを、異常発生の検出装置とし
て用いる構成も可能である。
また、異常処理装置３５を、ロボット制御装置３２と独
立に設けているが、これらを統合して１つの制御装置内
に実装することも可能である。
立に設けているが、これらを統合して１つの制御装置内
に実装することも可能である。
木兄１明によれば、偶発的に発生する異常時に設備を止
めることなく対処することができ、設備の稼動率を向上
させることができる。また、設備の保守のための労力も
減少させることができる。
めることなく対処することができ、設備の稼動率を向上
させることができる。また、設備の保守のための労力も
減少させることができる。
第１図は部品′取付ステーションの構成図、第２図は部
品取付ステーションにおける設備の同期排他動作シーケ
ンスを示す図、第３図は本発明の１実施碗の全体構成図
、第４図はりトライ表を示す図、第５図はりトライプロ
グラムの動作シーケンスを示す図、第６図は異常処理装
置の動作フローである。 ３５・・・異常処理装置、３７・・・リトライメモリ、
３８・・・警報装置、３２・・・ロボット制御装置、３
６・・・部品落下検出装置、３４・・・ロボット動作数
示デ舅１図 ￥ｌ Ｚ 口 （ｏＬ） （ｂ）
（こ）￥１３ 図 ￥１４ 図 充 ５ 固 （α） （
ｂン％ ６ 図
品取付ステーションにおける設備の同期排他動作シーケ
ンスを示す図、第３図は本発明の１実施碗の全体構成図
、第４図はりトライ表を示す図、第５図はりトライプロ
グラムの動作シーケンスを示す図、第６図は異常処理装
置の動作フローである。 ３５・・・異常処理装置、３７・・・リトライメモリ、
３８・・・警報装置、３２・・・ロボット制御装置、３
６・・・部品落下検出装置、３４・・・ロボット動作数
示デ舅１図 ￥ｌ Ｚ 口 （ｏＬ） （ｂ）
（こ）￥１３ 図 ￥１４ 図 充 ５ 固 （α） （
ｂン％ ６ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、定められた順序で繰シ返し設備の動作を実行させる
手段と、設備の動作の異常を検出する手一段と金持つ制
御システムにおいて、異常を生じた動作を再実行させる
手段と、再実行の回数を計数する手段とを設け、異常が
生じると所定の回数までは該動作を再実行し、所定の再
実行回数を越えると別の所定の動作を行なわせることを
特徴とするシーケンス制御装置。 ２ 請求の範囲第１項の異常を生じた動作全再実行させ
る手段において、再実行の対象となる動作と、該動作を
再実行させるためのシーケンスを区別する情報を記憶す
る部分を設け、少なくとも１つ以上の動作に対し異なっ
た再実行を行なわせることを特徴とするシーケンス制御
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3927283A JPS59165102A (ja) | 1983-03-11 | 1983-03-11 | シ−ケンス制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3927283A JPS59165102A (ja) | 1983-03-11 | 1983-03-11 | シ−ケンス制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59165102A true JPS59165102A (ja) | 1984-09-18 |
Family
ID=12548515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3927283A Pending JPS59165102A (ja) | 1983-03-11 | 1983-03-11 | シ−ケンス制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59165102A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016043227A1 (ja) * | 2014-09-20 | 2016-03-24 | 株式会社イシダ | 質量計測装置 |
-
1983
- 1983-03-11 JP JP3927283A patent/JPS59165102A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016043227A1 (ja) * | 2014-09-20 | 2016-03-24 | 株式会社イシダ | 質量計測装置 |
| JP2016061748A (ja) * | 2014-09-20 | 2016-04-25 | 株式会社イシダ | 質量計測装置 |
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