JPS59158221A - ホイル材をプレ−ト状加工片の両面に貼付する装置 - Google Patents

ホイル材をプレ−ト状加工片の両面に貼付する装置

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JPS59158221A
JPS59158221A JP58223385A JP22338583A JPS59158221A JP S59158221 A JPS59158221 A JP S59158221A JP 58223385 A JP58223385 A JP 58223385A JP 22338583 A JP22338583 A JP 22338583A JP S59158221 A JPS59158221 A JP S59158221A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔本発明の分野〕 本発明は、真空手段に接続された一対の供給手段によっ
てホイルまたは類似材料（以下、ホイル材とする）を供
給し、その前端をプレート状加工片に付着してセグメン
トの長さに切断し、加工片ｖをうまく間に案内する一対
の回転駆動積層ロールによって、ホイル材をプレート状
加工片の両面番；貼付する装置および方法に関するもの
である。
〔背景技術〕
ラミネーターと呼ばれるかかる装置は、例えば、回路パ
ネル上にフォトレジスト層を貼付するのしこ使用される
。元来、例えば、保護ポリエチレン層、フォトレジスト
層、マイラー保護層からなり、ローラから供給されるホ
イル・ウェブは、連続的し；供給されるパネルの両面に
連続的に積層され、こうして得られたリンク・チェーン
が、続いて加工片の当該エツジでオープン・カットされ
ていた。
米国特許第３６５８６２９号により改良された方法では
、ホイル・ウェブを両面に供給するための、真空手段に
接続された一対のドラムが設けられており、ドラムの周
囲のプレッシャ・ストリップが、ホイル・ウェブを付着
させる働きをし、ホイル・ウェブは保護層の除去後、ド
ラムが連続回転しているためにその全長にわたってドラ
ムの周囲からはがされる。続いて、加工片が、加熱され
た積層ロールの間を通過して、ホイルが最終的に貼付さ
れる。この設計の欠点は、ホイルがドラム周囲から早ま
って外れることがあり、その結果力して制しきれずに、
加工片の表面に接触し、そこでしわができる危険のある
ことである。その」二、一定の長さのホイル・セグメン
トしか、そのラミネータで切断できず、従って予め定め
られた寸法のパネルしか加工できない。
米国特許第４０２５３８０号に記載されているラミネー
タで、改良が達成された。この場合すベリ機構中を前後
に動く真空ペイル（ｖａｃｕｕｍ　ｂａｊｌ）によって
、ホイル・ウェブが加熱された加工片の前端に、貼付さ
れ、ラミネータ・ロールが働く前に前端が、付着される
。位置検出器スイッチが、ペイルおよびカッター機構を
動作させるが、異なる長さの加工片とホイル・セグメン
トを扱えるように、調節することかできる。ホイル・セ
グメントの後端は、切断後、真空シュー（ｖａｃｕｕｍ
　５ｈｏｅ）によって、引っ張られ、セグメントが、早
まって加工片の表面と接触することが防止される。
これらの既知の装置にもとづく操作の欠点は、積層中に
加工片が連続的に動かず、その大部分が既に積層してい
るホイルを必要な長さに切断する際に、停止しなければ
ならないことである。この−積層中に、パネルが停まる
ことが、しばしば望ましくない予重合（ｐｒｅｐｏｌｙ
ｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ）を引き起こす。というのは、加
工片自体が予め加熱されている場合でも、積層物が加工
片表面に、確実に貼布されるようにするために、積層ロ
ールが加熱されているからである。従って、フォトレジ
ストで、被覆された加工片は、静止中に望ましくない集
中的な熱にさらされる。この欠点は、パネルの導線が複
雑になるにつれて重大になってくる。従って回路パター
ンの微細化が進むに連れて、この問題点は、ますます重
要になってきている。
〔本発明の概要〕
プレ−１〜状加工片が、連続的に前進する間に、処理工
程を実施でき、また貼付すべきホイルの均一な加工なら
びにそれに応じた前記加工片の被覆品質の向上が達成さ
れるようなやり方で、前記加工片にホイルを貼付する装
置および方法をもたらすことが１本発明の目的である。
本発明の装置は、次の特徴を有する構成をなす。
即ち、 ホイル材を曲面部分の外側表面に吸着させることができ
る一対の回転ドラムと、前記一対の回転ドラムの間でプ
レート状加工片を当該加工片の両面に前記ホイル材を貼
付させるように案内する一対の回転ロールとをｉｌＪえ
た、ホイル材をプレ−１〜状加工片の両面に貼付する装
置において、前記回転ドラムを横断面が扇形をなす少な
くとも２つの交換可能なドラム・セグメン１−で構成し
、前記扇形の弧の長さを前記加工片に貼付するホイル材
の長さに対応させるとともに、前記扇形の角度を当該角
度の総和が３６０°よりも小さくなるようにし、前記加
工片に対する前記ドラム・セグメントの位置を前記回転
ドラムの遠心方向に沿って調節できるようにしたことを
特徴とする構成である。
また、本発明の方法は、次のステップを有する構成をな
す。即ち、 前記ホイル材を、前記ドラム・セグメントの曲面部分の
外側表面に吸着させて供給し、前記ホイル材を前記ドラ
ム・セグメントの後端部で切断し、 前記ドラム・セグメントの前端部が前記加工片の前端と
位置合わせされる角位置まで、前記ドラム・セグメント
を回転させ、 前記ドラム・セグメントの前端部が前記加工片の前端に
接触するまで、前記加工片に向って１）η記ドラム・セ
グメントを並進移動させ、 前記ドラム・セグメン１〜の前端部における前記ホイル
材に対する吸着を解除しながら、前記ドラム・セグメン
トを前記並進移動から戻して回転させ、 前記回転ロールを、前記加工片のへ端の両側番：位置さ
せ、 前記ホイル材が、前記ドラム・セグメントから取り去ら
れるまで、前記ドラム・セグメントを反転させ、 前記加工片の通過後、前記回転ロールを元の位置に戻す
ステップである。
そして、本発明の装置および方法は、上記のような構成
によって、処理工程を中断することなく連続的にプレー
ト状加工片の両面にホイル材をＩＩＩ！ｉイ・」できる
ようにしたものである。従って、先行技術における加工
片を静止させて集中的な熱にさらすことが、本発明の装
置および方法によって解決される。
〔本発明の実施例〕
第１図において、回路パネルないし、回転板１０、例え
ば銅で被覆されエポキシ樹脂に浸漬された、寸法５００
Ｘ５００ｍｍ厚さ約０．５ｍｍ（７）ものが、貯蔵Ｈ３
、スタックなどがら個別に供給され、炉１２中に運ばれ
るが、炉の入口区域１．２Ｅで」二向きに置かれて傾い
た運搬装置１４　（図面では概略的にのみ示す）によっ
て炉中をその位置に運ば九る。炉１２内の温度および回
路板］、０の送り周期は、回路ＦｉＸＯが炉１２がら出
るとき、その出口区域１２Ａで約１２０　’Ｃの温度に
なるような値である。
回路板には、炉から出さ五た後、ロール対１８によって
垂直ガイド１６中を下方に運ばれ、積層−部２０に達す
る。！ｌ￥ｌ部層ｏの構造と機能の詳細については、後
説する。ここでは、基本的配置についてのみ明記する。
回路板１ｏは、ボイル用の送りトラム２４の間および積
層ロール２６の間を通過する。１つのフォトレジスト・
ホイル・ウェブ２８が供給ドラム３ｏがらロール３２．
３４．３６．３８を経て、送りドラム２２に被着され、
真空手段によって、その周囲に固定される。このために
、送りドラム２２の周囲には対応する孔が設けられてい
る。この孔は、真空源に接続され、ホイル・ウェブがそ
の幅全体にわたって送りドラム２２の回転運動に追従す
るようなやり方で、ドラムの周ｖ石に分布している。供
給ドラム３ｏがら巻き取られるホイル・ウェブ２８は、
片面が保護ポリエチレン箔、他の片面が保護マイラ一層
で覆われた、フォトレジスト層がらなっている。保護ポ
リエチレン膜は、ロール３６を通過する間にはぎ取られ
、ドラム４ｏに巻きつけられる。両面積層用積層部２０
は、回路板１０の垂直ガイドＩ６に関して対称に設計さ
れており、徒って回路板１０の両方の面を処理するよう
になっている。回路板１０は、積ＭｆｊＩＩ２０を通過
した後、放出シューｈ　（ｅｊｅｃｔ　ｃｌ＋ｕ仁ｅ）
４２に達し、そこでコンベア・ベルト４４に載せられ、
次の処理ステップ、例えば露光部に運ばれる。
上記に説明した１回路板１ｏが積層部２ｏを垂直に通過
する配置は、例えば回路板輸送中に重力を利用すること
ができるような特定の利点をもっている。しかし、例え
ばスペース上の理由がらその方がより適当な場合には、
炉が垂直に配置されて必要スペースが少なくなる、回路
板が水平に通過する配置をもたらすことも可能である。
次に第２八図ないし第２Ｇ図を参照しながら、積層部２
０の構造と積層工程の個々のステップについて説明する
。先に指摘したように、回路板が通過する積層部の平面
は対称面であり、右側の各部分の構造と機能は左側のも
のと同じである。従って、以下で左側の構成成分および
、工程についてだけ説明する場合でも、その説明が右側
にもあてはまるものである。また、図には積層工程に、
直接参加する部品だけを描いである。
図面に明記されているように、送りドラム２２は、互に
い独立に遠心方向に移動調節でき（第２Ｃ図参照）かつ
各位置で送りドラム２２の軸２３の周りを回転できる、
２の等しいセグメント２２Ａおよび２２Ｂからなってい
る。送りドラム２２の間には、積層ロール２６があるが
、これは第２Ｅ図に矢印で示すように、上方および、内
側方向に移動調節できる。ドラム・セグメント２２Ａ、
２２Ｂならびに積層ロール２６の移動調節は、図面に示
していない駆動手段、例えば、すベリ機構と連結した電
磁石によって実施される。積層ロール２６の上には、１
つの真空チャック４６が、積層ロール２６の軸の周りで
第２八図ないし第２Ｄ図および第２Ｇ図に描いた位置な
らびに、第２Ｅ図および第２Ｆ図の位置をとることがで
きる程度に、回転できるように配置されている。送りド
ラム２２の反対側では、せん断力４８が、ホイル２４を
切断するために、図面の平面に対して垂直に移動できる
ように送り、ドラムの周囲に案内されている。
第２Ａ図は、積層された回路板の放出後、新しい回路板
の供給前の開始位置にある、積層部２０を表わしている
。ロール３６を経て供給されたホイル２８が、その以前
に切断された前端を、第２Δ図によれば、セグメント２
２Ａの右端（２時の位置）にして、ドラムの周囲にもた
せて置かれている。ぜん断力４８はこのとき、ホイル・
セグメン１−２４八がセグメン１〜２２Ａの周囲」二に
載るように、セグメン１〜２２Ａ、２２Ｂの周囲に置か
れたホイルの幅だけ、横方向に移動している。セグメン
ト２２Ａおよび２２Ｂの周囲上のホイルは、真空によっ
て、静止状態に保たれており、その目的で、セグメント
２２Ａ、２２Ｂの周囲には、対応する孔がついていて、
セグメント中の真空室と連結している。図面に描かれて
いるように、セグメント２２Ａ、２２Ｂはそれぞれ、第
２Ａ図ないし第２Ｇでは、３つの真空室に細分割されて
いる。
セグメント２２Ａおよび２２Ｂは、別の角度をもつセグ
メントと、交換可能であり、使用されるセグメントは、
その周囲の長さが、積層される加工片の長さと厳密に一
致し、従って切断されたホイル・セグメンＩ〜が加工片
の長さと一致するようになる。
第２Ｂ図では、（上側）ドラム・セグメント２２Ａは、
セグメント周囲平面の前端部が正確に水平位置になるま
で、すなわち、左側と右側の２つの上側セグメント２２
Ａの前端部が互いに向き合うまで、時計回り方向の回転
を行っている。
その間に次の回路板１０が上方から供給され、第２Ｃ図
に示すように、セグメント２２Ａは同時に内側へ動き、
両面からのホイル・セグメント２１１Δの始めを回路板
１０の前端に押しつけ、その工程中、フカ１〜レジスト
層の組成および、回路板が加熱されているために、接着
作用がある。
第２Ｄ図に＠廊を示したように、ドラム・セグメント２
２Ａは、次に再び引込み（長い矢印）同時に小さい矢印
で示すように付着されたホイルの引張り作用を受けて、
さらに回転す乞。ホイル・セグメン１〜２４Ａが付着さ
れるのと同時に、ドラム・セグメント２２の対応する真
空室２２Ａの１番ｌ」が、オフに切り換わる、すなわち
、ホイルがドラ１１の周囲から容易にはずれるようにな
っている。
第２Ｅ図では、積層ロール２６は、このとき曲った矢印
で示すように、回路板の前端でホイル上に載るように」
二方および内側方向に移動調節されている。
その工程中、（この時開始した積層工程中でホイルが入
射角に維持され、回路板での制御できない溶着（ｔｙｅ
ｌｄｉｎｇ）が防止されるように、）真空シュー４６が
ホイルの入射角で挿入さ肛る。
第２Ｆ図は、積層中にホイルがどのようにして予め定め
た張力の下でセグメント２２Ａからはぎとられ、真空シ
ュー４６の上に載せられるのかを示したものである。
その間中、セグメント２２Ａは回転中にセグメント２２
Ｂに接触し、矢印で示すように回転運動する−０ 回路板１０が積層された後、第２Ｇ図に示すように積層
ロール２６がリセットされて、真空シュー４６はその元
の位置に戻り、同時にセグメント２２Ａおよび２２Ｂは
、第２Ａ図の開始位置をとり、そこで次のホイルセグメ
ントが切断刃４８によって切断される。
第２Ｄ、２Ｅ、２Ｆ図で特に明示するように。
ホイルの大きい入射角が付着および積層中に維持され、
ホイルの張力は制御され、溶着の開裂（しｅａｒｉｎｇ
）は起り得ない。
次の加工片用のホイル・セグメン１〜２４　Ａ　ｉ’ｌ
′Ｎ積層工程の開始前に切断され、従ってこの工程が中
断なしに連続的に実施できることは、本発明の特に有利
な点である。
【図面の簡単な説明】 第１図は、連続的前進操作中の回路パネルを両面積層す
るための装置の概略的な全体側面図である。第２八図な
いし第２Ｇ図は、全積層サイクルの各段階で様々な位置
にある積層部の最も重要な構成成分を表した側面図であ
る。 ２２・・・・ドラ１１．２２Ａ、２２Ｂ・・・−トラム
・セグメント、２６・・・・積層ロール。 出願人　インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・
コーポレーション 代理人　弁理士　岡　　１）　次　　生（外１名） 第１頁の続き ＠発　明　者　カール・ハインッ・ホグトドイッ連邦共
和国７０３３ヘレンベ ルク・ドロミテンシュトラーセ ２番地

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ホイル材を曲面部分の外側表面に吸着させることができ
    る一対の回転ドラムと、前記一対の回転ドラムの間でプ
    レート状加工片を当該加工片の両面に前記ホイル材を貼
    付させるように案内する一対の回転ロールとを備えた、
    ホイル材をプレート状加工片の両面に貼付する装置にお
    いて、前記回転ドラムを横断面が扇形をなす少なくとも
    ２つの交換可能なドラム・セグメントで構成し、曲屈扇
    形の弧の長さを前記加工片に貼付するホイル材の長さに
    対応させるとともに、前記扇形の角度を当該角度の総和
    が３６０°よりも小さくなるようにし、前記加工片に対
    する前記ドラム・セグメン１−の位置を前記回転ドラム
    の遠心方向に沿って調節できるようにしたことを特徴と
    する前記装置。
JP58223385A 1983-02-18 1983-11-29 ホイル材をプレ−ト状加工片の両面に貼付する装置 Granted JPS59158221A (ja)

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