JPS59148380A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ガスレーザ装置、特に光出力の低雑音化を図
ったガスレーザ装置に関する。

従来、ガスレーザ装置では光出力の安定化全図るため、
レーザ管の放電電流を検出してそれが一定になるように
放電電流を制御する帰還回路が用いられている。すなわ
ち、第１図に示すように直流電源１の一つの出力端をレ
ーザ管４のカソード８に接続し、他端をトランジスタ２
および電流検出抵抗３全通してレーザ管４のアノード９
に接続する。そしてレーザ管４の放電電流全電流検出抵
抗３で検出し、その出力電圧′と、基準電源４の出力電
圧との差電圧を比較増幅器６で増幅し、トランジスタ２
０ベースに供給し、差電圧が０になるように制御してい
る。しかし、電流検出抵抗３から比較増幅器６までの距
離は通常数１０センチメートル程度と長くなるためシー
ルド線を使用しても外来雑音（特に商用電源雑音）が混
入し、比較増幅器３の出力に外来雑音が混入するため、
トランジスタ２によって放電電流が外来雑音で変調され
、レーザ出力１５に外来雑音が現われる。そのため、レ
ーザ出力１５を使用する光学機器に悪影響を与える。

本発明の目的は、前記欠点を改善し、レーザ出力光を使
用する光学機器に良質の雑音の少ない、レーザ出力全提
供できるガスレーザ装置全提供することにある。

本発明は、ガスレーザ管の放電電流を発光ダイオードに
より光に変換し、その元を元ファイバーケーブル全通し
て光検出器で検出し、その値が一定ＶＣなるように放電
電流を制御する帰還回路全具備し、外来雑音（％ＶＣ商
用電源雑音）を除去することを特徴とする・ 次ＶＣ第２図に示した実施例ＶＣついて本発明全具体的
に説明する。

本発明によれば、直流電源１の一つの出力端をレーザ管
４のカソード８に接続し、他端をトランジスタ２および
電流検出抵抗３全通してレーザ管４のアノード９に接続
すると、レーザ管４は放電し、光共振器５，５′により
、レーザ光１５が発振する。そしてレーザ管４のアノー
ド９．カソード８間の放電電流は、電流検出抵抗３　Ｖ
ＣＪ：フ検出され、その出力電圧は抵抗１０全通して、
発光ダイオード１１に供給され放電電流に比例した光に
変換される。前記放電電流に比例した発光ダイオード１
１の光は光フアイバ−ケーブル１２全通して光検出器１
３に供給され、光検出器１３の出方電圧は抵抗１４の両
端に現われる。すなわち電流検出抵抗３の出力電圧は光
フアイバ−ケーブル１２全通して比較増幅器６に電気的
に直結できるため、外来雑音（特に商用電源雑音）は、
混入しない。

よって比較増幅器６の出力には外来雑音は現われス、ト
ランジスタ２によって制御される放電電流には外来雑音
は混入せず、レーザ光１５にも外来雑音は現われない。

以上のようＶＣ％不発不発上れば、外来雑音光の無い良
質のレーザ光が得られる。ガスレーザ装置を提供できる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のガスレーザ装置を示すブロック図、第２
図は本発明の一実施例を示すブロック図である。 １・・・・・・直流電源、２・・・・・・電流制御素子
（電流制御用トランジスタ）、３・・・・・・電流検出
抵抗、４・・・・・・レーザ管、５．５’・・・・・・
光共振器、６・・・・・・比較増幅器、７・・・・・・
基準電源、８・・・・・・カソード、９・・・・・・ア
ノード、１０．１４・・・・・・抵抗、１１・・・・・
・発光ダイオード、１２・・・・・・プ℃ファイバケー
ブル、１３・・・・光検出器、１５・・・・・・レーザ
光。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ガスレーザ管と、このレーザ管全放電させる電力を供給
   するための直流電源と、前記レーザ管の放電電流回路に
   挿入された電流検出抵抗の出力電圧を光に変換する発光
   ダイオードと、前記発光ダイオードの光を光フアイバー
   ケーブルを通して検出し、その値が一定になるように放
   電電流全制御する帰還回路とを具備することを特徴とす
   るガスレーザ装部。