JPS59146056A - 印刷配線板用基板に形成された光重合性樹脂フイルムの焼付法 - Google Patents
印刷配線板用基板に形成された光重合性樹脂フイルムの焼付法Info
- Publication number
- JPS59146056A JPS59146056A JP58020353A JP2035383A JPS59146056A JP S59146056 A JPS59146056 A JP S59146056A JP 58020353 A JP58020353 A JP 58020353A JP 2035383 A JP2035383 A JP 2035383A JP S59146056 A JPS59146056 A JP S59146056A
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- resin film
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0082—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
不発明に、印桐配純叛の製造上程で行ｌわ９る銅ゲに積
層板ば光映化飼カ目のエツチングレジストを形成させる
等の、印刷配線板用基板に形り又δｔした九血合性樹脂
フィルムの焼付法に関する。
層板ば光映化飼カ目のエツチングレジストを形成させる
等の、印刷配線板用基板に形り又δｔした九血合性樹脂
フィルムの焼付法に関する。
従来、銅張積層板ｆ（光硬化側１１ｔｊ （／ｒエノナ
ングレジスト會形欣させるく９の焼句方〆ムは本発明に
乙の」ニラ１点Ｃ九みてｌさｔ斤も（／ｉで印Ｘａ＋＋
鉦勝板用羞＋１ｙ、ＶＣ光却台性側舶フ、ｆルムγ形成
し、九律付注樹脂フィルムに製版フィルムγ本ね、こノ
ーしら才焼付恢の透明支持板と透明フレキンプルフィル
ムとでＩＱさみ！（空状脣にして露光オイｊン９ν。
ングレジスト會形欣させるく９の焼句方〆ムは本発明に
乙の」ニラ１点Ｃ九みてｌさｔ斤も（／ｉで印Ｘａ＋＋
鉦勝板用羞＋１ｙ、ＶＣ光却台性側舶フ、ｆルムγ形成
し、九律付注樹脂フィルムに製版フィルムγ本ね、こノ
ーしら才焼付恢の透明支持板と透明フレキンプルフィル
ムとでＩＱさみ！（空状脣にして露光オイｊン９ν。
打法ｒ（於て、製版フィルムと舟明ンレキシプルフィル
ムとの１０］妊、製版フィルムぼ抜する面ば空気排出欝
τ収ζに透明板ｒ顕１〈Ｃとｒ吋伎とするものである。
ムとの１０］妊、製版フィルムぼ抜する面ば空気排出欝
τ収ζに透明板ｒ顕１〈Ｃとｒ吋伎とするものである。
第１凶に不発明の方法γ丁子もので、ｉｒｕ元１合性フ
ィルムを形成した印Ａ１１ｌ配麿板用基敬。
ィルムを形成した印Ａ１１ｌ配麿板用基敬。
２ （／、Ｔネガ又はポジノイル！・の製版フィルム、
６は透明板、４は透明ンレギシプルフィルム、５は焼付
機の透明支持板、６は真ごとホン１．７は紫外１７１ラ
ンプ、８Ｄ反射鋭である。
６は透明板、４は透明ンレギシプルフィルム、５は焼付
機の透明支持板、６は真ごとホン１．７は紫外１７１ラ
ンプ、８Ｄ反射鋭である。
透明４μは１タリえば６明ガラス板か幻−なしく、製版
フィルム妊懐する囲ｖｃ空気排出τ７４か収けら７−シ
ている。
フィルム妊懐する囲ｖｃ空気排出τ７４か収けら７−シ
ている。
第２凶、第３凶？；ｉ透明カラス機の一大施例盆小−３
−もので９ｉ′コ虚明ガラス板であり、表裏両１ｈＪ堤
戸）台わ−Ｖ Ｉｒ−ネカ又はポジフィルムの！４１ｍ
フィルムとの哉ｐＪ′ＪｉｌＩＩＪになるカラス表面」
−゛ば紫外線透議ノイルム１０孕徽眉し、そいフイルム
ン部分Ｆ３すに切り剥してガラス板の中火から端部へ放
射状Ｖ（孕：気９１．出ｔ４（７１１才６（ける。この
焼料用ガラス＆げ焼イ１ｍ（／−１カラス叡５とＪ富化
ビニルフィルム４−Ｃげきみ０み具を状７級時ＶＣ発生
する製版フィルム（／Ｊ Ｊ）１ ＠ ’Ｆ： ３Ｎ”
＆ ｓかつ、焼付７４１ カフ ス板５Ｕ敵けに空気
排ｎｌ廊１１からザ気牙抜さ、製版フィルム２とドラ・
１ンイルムンラミネートシタ沖巧丘オ貞Ｊ曽＆１ （
／Ｊ真真状状態完全にする。
−もので９ｉ′コ虚明ガラス板であり、表裏両１ｈＪ堤
戸）台わ−Ｖ Ｉｒ−ネカ又はポジフィルムの！４１ｍ
フィルムとの哉ｐＪ′ＪｉｌＩＩＪになるカラス表面」
−゛ば紫外線透議ノイルム１０孕徽眉し、そいフイルム
ン部分Ｆ３すに切り剥してガラス板の中火から端部へ放
射状Ｖ（孕：気９１．出ｔ４（７１１才６（ける。この
焼料用ガラス＆げ焼イ１ｍ（／−１カラス叡５とＪ富化
ビニルフィルム４−Ｃげきみ０み具を状７級時ＶＣ発生
する製版フィルム（／Ｊ Ｊ）１ ＠ ’Ｆ： ３Ｎ”
＆ ｓかつ、焼付７４１ カフ ス板５Ｕ敵けに空気
排ｎｌ廊１１からザ気牙抜さ、製版フィルム２とドラ・
１ンイルムンラミネートシタ沖巧丘オ貞Ｊ曽＆１ （
／Ｊ真真状状態完全にする。
このより７ｉ：透り月俸とし′Ｃにｊｌ 汐（）欠−
は；６〜５１捕１の透明力クスン用い５表碌両［ｍ貼り
音わ一＋！：Ｔ不力又にポジフィルムとの（妥）Ｑ！Ｉ
＋函＋Ｖくなる力２ス衣而π透明脱１５〜５０μＩｎの
紫りを線透廁フィルム領カラス全αＩ］に接尤しそ−の
Ｊ表革、しにフィルム’Ｋ ｌｌ’ｉ４５〜１５ ｍｍ
′７：ｉｌ）外的Ｖ（切り剥し、３６ ｋ ｌ−ｆフ
ィルムとカラス次面ば段差につけ、空気抽出溝となるよ
′）Ｖ（Ｌ、 ｔｃものか良い。又、−ぞ−の苧気ｊ井
出餌の形状にガラス板ｑ）中火から端部へ放射状ｖ（シ
ｙｒもＱ）か良い。、 焼１・１１夕、机１恨し、うＹ、１紐化盈目ｉｉｉ ｌ
／ンストげ、エツチングレジスト、メッキＦ／ジスｌ−
，ンルダーＬ・シストとじて便用さノ１，４１０ 印刷配線板用基似としξ←［、ｆｆ’ｌ＋Ｉｌ ’ｊＪ
＊槓漸恨、回路板、絶縁板省か１史用ｊｌシろ。
は；６〜５１捕１の透明力クスン用い５表碌両［ｍ貼り
音わ一＋！：Ｔ不力又にポジフィルムとの（妥）Ｑ！Ｉ
＋函＋Ｖくなる力２ス衣而π透明脱１５〜５０μＩｎの
紫りを線透廁フィルム領カラス全αＩ］に接尤しそ−の
Ｊ表革、しにフィルム’Ｋ ｌｌ’ｉ４５〜１５ ｍｍ
′７：ｉｌ）外的Ｖ（切り剥し、３６ ｋ ｌ−ｆフ
ィルムとカラス次面ば段差につけ、空気抽出溝となるよ
′）Ｖ（Ｌ、 ｔｃものか良い。又、−ぞ−の苧気ｊ井
出餌の形状にガラス板ｑ）中火から端部へ放射状ｖ（シ
ｙｒもＱ）か良い。、 焼１・１１夕、机１恨し、うＹ、１紐化盈目ｉｉｉ ｌ
／ンストげ、エツチングレジスト、メッキＦ／ジスｌ−
，ンルダーＬ・シストとじて便用さノ１，４１０ 印刷配線板用基似としξ←［、ｆｆ’ｌ＋Ｉｌ ’ｊＪ
＊槓漸恨、回路板、絶縁板省か１史用ｊｌシろ。
印刷配線＆γネ９遁する除（／Ｊ掌、・、１・４力法Ｖ
（滉付Ｊ４１カラス板才（中剤し真空状悪才イ１７？匠
Ｊ−なことしくより表倶両［ｉｆ−＋貼り骨わ七−イ、
カメｒＡポジフィルムの焼付回路の表裏ズＬ／か無くな
り、衣岩１１１Ｊ鯖１）ｌＩ目精度か同士′ｇる。父、
ハシ、句回路Ｕ、） Ｑ−シミか蜘、〈ηす、焼付回路
寸法梢朋か同上丁ゐ０実施例 ４）１図ＶＣｙｉ＼丁方法ＶＣより、焼付けｒ竹い銅張
積層板げ光硬化樹脂のエッナングレジス）ｋ形成し、エ
ツチングしＩす］路７形ルにした。焼付カラス板と１−
て、第２．５図匹示すよ′）な透明カラス也ｆ便用１．
．．′ｆｒ、、 ｌす１路位ＩＫ梢震（使用ネガフィル
ｌ、（７Ｊ表裏貼り付わせ精度０．０５ｍ１［ｌに対す
る変化Ｍ ） （Ｄ Ｏ，０２〜０．０３ ｍｍ１ｐＪ
Ｌ＆寸法精度（使用ネガフィルムＱノライン幅Ｑ、１５
ｒｎ＋ｎＫ対する’ＡＡＥ量） ｉＪ Ｏ，０１〜０．
０３ｍｍであッｋ。
（滉付Ｊ４１カラス板才（中剤し真空状悪才イ１７？匠
Ｊ−なことしくより表倶両［ｉｆ−＋貼り骨わ七−イ、
カメｒＡポジフィルムの焼付回路の表裏ズＬ／か無くな
り、衣岩１１１Ｊ鯖１）ｌＩ目精度か同士′ｇる。父、
ハシ、句回路Ｕ、） Ｑ−シミか蜘、〈ηす、焼付回路
寸法梢朋か同上丁ゐ０実施例 ４）１図ＶＣｙｉ＼丁方法ＶＣより、焼付けｒ竹い銅張
積層板げ光硬化樹脂のエッナングレジス）ｋ形成し、エ
ツチングしＩす］路７形ルにした。焼付カラス板と１−
て、第２．５図匹示すよ′）な透明カラス也ｆ便用１．
．．′ｆｒ、、 ｌす１路位ＩＫ梢震（使用ネガフィル
ｌ、（７Ｊ表裏貼り付わせ精度０．０５ｍ１［ｌに対す
る変化Ｍ ） （Ｄ Ｏ，０２〜０．０３ ｍｍ１ｐＪ
Ｌ＆寸法精度（使用ネガフィルムＱノライン幅Ｑ、１５
ｒｎ＋ｎＫ対する’ＡＡＥ量） ｉＪ Ｏ，０１〜０．
０３ｍｍであッｋ。
尚、透明ガラス板７使用しない絢・汁ｒよ、七ノ１＋：
ｖｔ、０．０７〜［１，１２ｆｕｍ、０．０５〜０．１
０ ｍｎ＋Ｔあっｋ。
ｖｔ、０．０７〜［１，１２ｆｕｍ、０．０５〜０．１
０ ｍｎ＋Ｔあっｋ。
４．１ヌ１面のｉｌｉ ｉｆ”、 Ｚ欣明第１凶は本発
明の方法γ示す焼付機の市「面図、第２図、第５図れ↓
、透明機（／ＪそｉＬぞｒＬ助面図、平面図′Ｔ：ある
。
明の方法γ示す焼付機の市「面図、第２図、第５図れ↓
、透明機（／ＪそｉＬぞｒＬ助面図、平面図′Ｔ：ある
。
符号Ｑ）ｉｌ”！、明
１、印刷配絢也用基板
２、製版フィルム
５、透明機
４、 Ｊ明フレキシブルフィルム
５、焼付機の巧明支持仮
９、透明ガラス板
１１、空気排出溝
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 印刷配腺板用基似１／ｉ光本台性樹脂フィルムを
形成し、光重付性街脂フィルムｆ（製版２イルムオ車ね
、こ扛ら？焼付様の透明支持板と透明フレキシブルフィ
ルムとでにさみ兵窒状態匠して躇光紮１■う焼付法ｖｃ
於て、製版フィルムと透明フレキシブルフィルムとＣ〕
間６゜製版フィルムπ接する血π空気排出ＩＦ＋ ｋ叔
けた逍明板γ直くことγ％畝とする印刷配勝板用基板ｆ
（形成遊杆に光重付性樹脂フィルムσ）焼イ」ｔｚテ。 ２、透明板か５Ｈの透明ガラス＆衣面に透明膜１５〜５
０μの紫外線透過フィルムτ懐増し、そのフィルムを幅
５〜１５ｍｍでかつカラス仮中央から焔都へ放射状ｒ（
切＋ｊ ＱＩＪ した空気排出１ｋｒ収ｌ′ｊ′πｔｔ
大ガラス叡である省許艙求の範囲第１項記載の印刷配肪
根用基也匠形尿さ扛た光垂台性樹脂フィルムの焼付法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58020353A JPS59146056A (ja) | 1983-02-09 | 1983-02-09 | 印刷配線板用基板に形成された光重合性樹脂フイルムの焼付法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58020353A JPS59146056A (ja) | 1983-02-09 | 1983-02-09 | 印刷配線板用基板に形成された光重合性樹脂フイルムの焼付法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59146056A true JPS59146056A (ja) | 1984-08-21 |
| JPH048785B2 JPH048785B2 (ja) | 1992-02-18 |
Family
ID=12024747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58020353A Granted JPS59146056A (ja) | 1983-02-09 | 1983-02-09 | 印刷配線板用基板に形成された光重合性樹脂フイルムの焼付法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59146056A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0267600A2 (en) * | 1986-11-12 | 1988-05-18 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for selectively curing a liquid photosensitive resin by masking exposure |
| FR2608795A1 (fr) * | 1986-12-18 | 1988-06-24 | Photomeca Sa | Dispositif de maintien pour leur insolation par ultraviolet des plaques de resine photosensible et machine d'insolation equipee de ce dispositif |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5260705A (en) * | 1975-11-13 | 1977-05-19 | Dainippon Screen Mfg | Photoosensitive holder for step and repeat machine |
| JPS54107402U (ja) * | 1978-01-13 | 1979-07-28 | ||
| JPS56109354A (en) * | 1980-02-01 | 1981-08-29 | Yamatoya Shokai:Kk | Photosensitive plate equipping device of composer |
-
1983
- 1983-02-09 JP JP58020353A patent/JPS59146056A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5260705A (en) * | 1975-11-13 | 1977-05-19 | Dainippon Screen Mfg | Photoosensitive holder for step and repeat machine |
| JPS54107402U (ja) * | 1978-01-13 | 1979-07-28 | ||
| JPS56109354A (en) * | 1980-02-01 | 1981-08-29 | Yamatoya Shokai:Kk | Photosensitive plate equipping device of composer |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0267600A2 (en) * | 1986-11-12 | 1988-05-18 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for selectively curing a liquid photosensitive resin by masking exposure |
| FR2608795A1 (fr) * | 1986-12-18 | 1988-06-24 | Photomeca Sa | Dispositif de maintien pour leur insolation par ultraviolet des plaques de resine photosensible et machine d'insolation equipee de ce dispositif |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH048785B2 (ja) | 1992-02-18 |
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