JPS59142025A - 表面機械加工用改良型方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は加工物の機械加工に関するものであって、更に
詳細には、加工物の表面の形成　及び／又は　加工物表
面の構造を改善する方法及び装置に関するものである。

本発明を適用する事の可能な機械加工プロセスは、ト・
−タル７オームｔｉ１ｂｉ加工即ち全体形状Ｕ１械加工
（ＴＦＭ）　、電気化学的８Ｎ械加工（ＥＣＭ）、電気
化学的研削（ＥＣＧ）、放電加工（Ｅ　Ｄ　Ｍ　）等が
ある。これらのプロセスに於いて、研磨切削マスク又は
加工物表面の電気化学的エツチング乃至は電気化学的付
着を行なう為に使用される導電性電極、又は研磨切削マ
スクと電極との組合せが　・使用される。゛これらのプ
ロセスの全てに於いて、機械加工中に表面をフラッシュ
、即ち洗浄して加工物　及び／又は　電極物質の屑を除
去することが必要である。電気化学的プロセスに於いて
は、“°熱点°′の発生を防止する為に流体に十分な流
れを与えねばならない。ＥＣＭ及びＥＣＧに於いては、
この洗浄用の流体は電解液であり、一方ＥＤＮｉプロセ
スに於い−Ｃ使用される洗浄用の流体は絶縁性油等であ
る。ＴＦト１，１プロセスに於いて使用される洗浄用流
体は、通常、グラファイト電極の機械加工に於いて使用
されるＥＤＭ油と同等な濾過した油で６５る。

従来、全体形状機械加工用の切削マスクは機械加工され
るべき加工物の鏡像を形成する型孔内に研磨粒子を浮遊
させたエポキシをモールド成形することによって製造さ
れていた。このマスクは、又、多数の通路を有する特別
の受板状にモールド成形されていた。マスクが完全にモ
ールド成形されると、受板の通路をドリル成形用のガイ
ドとして使用し形状全体を貫通してドリルにより孔を穿
設させていた。これらの孔を使用してマスクの裏側から
前側の加工物と係合する表面へポンプによって洗浄用流
体の供給を行なう。洗浄用流体の孔をドリルで穿設した
後に、切削表面は、通常、ガラス等でブラスティングを
行ない仕上を行なう。

従来のＴＦＭ方法及び装置の例は米国特許第４．１３２
．０３８号及び第３，６６３，７８６号に記載されてい
る。

本発明は以上の点に鑑みなされたものであって、加工物
の表面を洗浄用流体で洗浄する改善した技術を提供する
ことを目的とする。本発明の別の目的とするところは、
電極、特にＥＣＭ、ＥＣＧ及びＥＥＭプロセスに使用さ
れる電極の製造方法及び装置を提供することを目的とす
る。本発明の更に別の目的とすると仁ろは、加工物の表
面に於ける洗浄用流体の流動を改善することである。

本発明の更に別の目的とするところは、３次元の加工物
の異なった表面を形成したり又はそれと適合する為に容
易に変化させることの可能な電極又は電極を形成する為
の切削マスクを提供することである。

本発明の１実施例は、機械加工されるべき異なった表面
を形成するか又はそれと適合する為に複数個の管又は棒
状要素を一体とし変化可能に拘束させている電極又は電
極を形成する為の切削マスクを有するものである。これ
ら管の中空部分　及び／又は　それらの間の間隙は、加
工物表面へ洗浄流体を供給する為の流路として機能する
。棒状要素が使用される場合には、棒状要素間の間隙が
洗浄用流体の流路として機能する。一方、管と棒状要素
とを一体的に組合せ、管　及び／又は　種々の要素間の
間隙を洗浄用流体の流路として使用することも可能であ
る。更に、これらの流路の幾つかを機械加工される表面
へ流体を供給する為の流路として使用し、一方その他の
ものを機械加工されている表面から流体を排除する為に
使用することが可能である。

本発明の別の実施例に於いては、電極乃至は切削マスク
を各々が接着物質でプレコートされている複数個の粒子
又はファイバをモールド成形表面内又はその上に載置す
ることによって形成することが可能である。粒子乃至は
ファイバが接着剤によって一体化されるが接着剤が粒子
乃至はファイバの間の間隙を充填することがなく従って
大略有孔性の物体を形成することが可能である様に十分
な熱を付与する。次いで、かくしてモールド成形された
有孔性の物体を冷却して接着物質を硬化させる。この様
に有孔性の物体とすることにより、加工物表面を機械加
工する際に洗浄用流体を加工物表面へ通過させることが
可能である。これらの粒子又はファイバは研磨性の性質
を有するものであっても良く、その場合には、加工物表
面の機械仕上を行なうことが可能であり、−万有孔性の
物体を導電性とするこ゛とにより、加工物表面の電気化
学的加工を行なう場合の電極として機能させることが可
能である。一方、化学的及び機械的加工の組合せ又は電
気化学的及び機械的加工の組合せを加工物表面に施すこ
とが可能である。前述した熱可塑性接着剤の代りに、粒
子又はファイバを一体的に結合させる為にエポキシ状の
接着剤等の様な熱硬化性接着剤を使用することも可能で
ある。

接着剤と粒子又はファイバとの間の割合を制御すること
により、硬化させた後の物体内の相互接続用間隙の量を
制御することが可能である。

別の実施例に於いては、モールド表面に離型剤のコーテ
ィング層を付与し、且つ磁気的に配向させることの可能
な長円形の粒子乃至はファイバを離型剤に付与し、磁界
を付与して長円形の粒子ハ１゜ 至はファイバをその各々の長手軸がモールド表面に対し
て略垂直になる様に配向させ且っ離型剤を貫通してモー
ルド表面に接触する様にさせる。次いで、離型剤内に埋
込ま灯てぃない粒子又はファイバの部分の上にエポキシ
樹脂等の様な接着剤を付与′し、且つ接着剤を硬化させ
て、モールド成形させた物体をモールド表面から取出し
離型剤を除去する。モールド表面上の離型剤の厚さ乃至
は深さが結合された粒子からなる完成された研磨物体か
らどれだけ研磨性粒子乃至はファイバが突出するかとい
うことを決定する。又、使用される粒子の数及び寸法と
使用される研磨物質の量及びタイプが結合された研磨性
粒子乃至はファイバに於ける有孔量を決定する。この実
施例では、接着剤から延出乃至は突出する粒子又はファ
イバの切削点乃至は研磨点がかなり一様に分布しており
、従って研磨動作に於いて工具を使用する際に一層一様
な研磨パターンが発生する。

更に、加工物と加工工具との間に相対的な運動を与える
ことが可能であり、この運動は回転型のものであっても
、軌道に沿って移動するものであっても、往復運動する
ものであっても、又はこれらの組合せであっても良い。

この様な相対的な運動を行なわせる為の装置の典型的な
例としては、米国特許第４，２３０，９２６号（Ｇ　ａ
ｕｍｏｎｄ）　、第４，１５２、５７０号（１ｎｏｕｅ
）　、第　４，０７５，８９７号（Ｓ　ｃｈｍｉｄｔ）
等に掲載されている。

以下、添付の図面を参考に本発明の具体的実施の態様に
ついて詳細に説明する。第１図に関し説明すると、弛緩
的に保持された一層の棒状乃至は管状要素１０がＥＤＭ
Ｎ極のパターン上に、載置されており、これらの要素は
シフトすることが可能であり（第１図に示した如く垂直
方向）且つパターン１１の形状に適合する。パターン１
１の形状に大略適合させた後に、バンド１６又はその他
の形態の締結手段によって一層の要素１０の周りを緊結
しこれらの要素を拘束する。第２図に示した如く、次い
で、これら一群の要素を加工物１２を機械加工するのに
使用される調節可能のチャック１８等によって保持させ
る。一群の要素１０の上部へ洗浄流体を供給し、加工物
１２の機械加工中加工物１２の表面へそれを介して強制
的に供給させる。本発明に於いては、一群の要素１０を
保持する為に他の手段を使用することも可能である。

例えば、調節可能なチャック１８の代りに、接着剤を収
納している容器を使用することが可能であり、それによ
り一層の要素１０を結合させて一層永久的に固着させる
ことが可能である。しかしながら、第１図に示した如く
形成された一層の要素１０を使用して一定の数の加工物
の正面構造を形成したり又は改善したりする場合には、
バンド１６　及び／又は　チャック１８の様な調節可能
な締結手段を使用することが得策であり、その場合には
、同一の一層の要素１０を再度使用して異なった形状を
有する加工物表面の機械加工を行なう場合に再度形態を
変化させることが可能である。

一群の要素１０は種々の断面形状を有することが可能で
あり、その幾つかを第３図乃至第６図に示しである。第
３図に於いては、棒２２は大略その断面が８面体であり
、一体向に寄せ集められた場合には、それらの間に間隙
１３を形成し洗浄用流体の流路を形成する。第４図は管
状要素２４を示しており、管状要素２４の中空部分が間
隙１３と共に洗浄用流体に対する流路を形成する。尚、
これら流路の幾つかを加工物表面へ流体を供給する為に
使用し、その他のものを加工物表面から流体を排除する
為に使用することが可能である。更に、種々の要素１０
を接着剤により一体的に固着させることが可能であり、
且つ間隙１３の幾つか又はその全てを部分的又は全体的
に接着剤で充填することが可能である。第５図は略矩形
の棒を２７で示した如く角を落したものを配列して使用
しており、一体化された場合に一層しっかりと拘束する
ことが可能であり、且つ棒と棒との間に一層大きな間隙
１３を与えることが可能である。第６図の要素は元々断
面が円形のものであるが、それを修正して平坦な表面３
１を形成し且つ湾曲部分３２が残存されている。棒状要
素３０として示しであるが、想像線３３で示した如く、
要素３０を管状の構成とすることが可能である。

本発明の幾つかの適用場面に於いては、機械加工される
表面に対しより一層適合させる為に加工物と近接し且つ
係合する一層の要素の端部を変更可能であることが望ま
しい。更に、この様な端部の変更を行なうことにより、
ある適用場面に於いては、加工物表面の洗浄効果を向上
させることが可能である。棒乃至は管の端部を特定の表
面に対して適合することが望まれる場合には、Ｍ１図の
パターン１１を一層の要素１０よりも更に研磨性の高い
物質で構成し、且つパターン１１と一層の要素１０との
間に相対的な運動を与え、一群の要素１０の先端部をパ
ターン１１によって研磨し一層緊密に加工物表面と適合
させることが可能である。第７図乃至第９図はこの様に
先端部を変更させる種々の例を示しており、第７図は二
重面取り構成４１を有する管状要素４０を示している。

第１　・ ８図は斜面部４５と平坦部４６とを有する管状要素４４
を示しており、第９図は面取りした部分４９を有する棒
状要素４８を示している。

第１０図は本発明の別の実施例を示しており、この場合
に、電極５０又は電極を形成する為の切削マスクは有孔
性の物体であり、従って洗浄用の流体が加工物１２の表
面へ流動するか又はそれを介して強制的に流動されるこ
とが可能である。切削マスク又は電極５０は、複数個の
個別的にコ−ティングされている粒子乃至はファイバを
型孔内に載置し且つ有孔性の物体をモールド成形するこ
とによっ゛Ｃ形成される。個々の粒子乃至はファイバの
コーティングはシアノアクリレ−１・又はその伯の接着
剤バインダとすることが可能であり、加熱することによ
り多少溶融して粒子乃至はフンフィバを１個の物体に一
体結合させ、洗浄用流体を流動さけることが可能な多数
の相互接続された孔乃至は間隙を形成する。一方、この
結合剤はエポキシ状の接着剤等の様な熱硬化性接着剤と
することが可能である。

切削マスクを貫通して通路乃至は孔をドリルで穿設する
必要がなく、且つ切削マスクの面と近接乃至は係合する
加工物の多数の孔を介して洗浄用流体が流動するここが
可能であるので、屑は一層効果的に洗浄され且つ櫟械加
工を一層能率的に行なうことが可能である。切削マスク
５０の外側表面からの流体の流れを方向付けたり制限し
たりする為に、６０で示した如く、非有孔性のコープ、
インクを設けることが可能である。

第１１Ａ図乃至第１１Ｄ図に関し説明すると、従来の研
磨切削マスクは研磨粒子をランダムに分散させた接着剤
の塊をモールド表面上に載置しその塊を硬化させること
によって製造している。その後に、通常、スチール製の
受板を設けて剛性を与え、次いで、硬化させた物体を取
除いてモールド表面の鏡像を露出させる。別の従来の方
法に於いては、モールド表面へ接着剤又は研磨粒子を有
する結合剤の薄いコーティングを付与し、この接着剤及
び研磨粒子の薄いコーティングを硬化させた後に、エポ
キシ等の様な付加的な接着剤を付与し、且つ剛性を向上
させる為にスチール製の受板を付与する。

モールド表面へ研磨性のエポキシと研磨性の切削粒子の
混合物を付与する場合に問題がある。即ち、これらの粒
子はランダムに配向すると共に位置されており、従って
モールドの表面上に研磨粒子が不均一に分布し、その結
果不均一な研磨表面が形成される。更に、モールド表面
から取除いた後に、形成した切削マスクは表面を粗くし
て研磨粒子の切削端部を露出させねばならない。この様
に表面を粗くすることば、通常、第１１Ｃ図に示した如
く、ガラスの破片等によって物体表面をブラスティング
することによって行なう。この様なブラスティングの際
に、研磨粒子が物体に必ずしも十分に埋込まれていない
為に、これら研磨粒子が部分的に物体から脱落する場合
がある。

この様な問題は本発明の方法及び装置によって解消され
ている。第１２Ａ図乃至第１２Ｄ図に関し説明すると、
大略長円形の研磨粒子乃至はファイバ７５が、接着剤７
６の一部又は全てを付与する前又は付与する際に、モー
ルド７０の表面７０に対し直交して配向されている。“
長円形粒子７５がモールド表面７２に対して垂直に配向
するということは、静電気力又は磁気力又は電磁力によ
って行なうことが可能である。

例えば、これら長円形粒子乃至はファイバ７５の特定の
配向を行なわせる為に、適宜の方向を与えた電磁界を使
用することが可能である。この方向付を行なう為に磁石
又は電磁石を使用する場合には、これらの粒子を鉄製の
コーティング等の様な磁気的に影響を受ける物質でコー
トすることが可能であり、又粒子７５を少なくとも部分
的に鉄又はその適宜の合金で構成することにより粒子７
５が磁気的な影響を受ける様にすることが可能である。

切削マスクの有孔率を向上させる為に、研磨粒子７５と
共にモールド表面上に管をランダムに分散して付与する
ことが可能であり、これらの管を同様に磁気的に影響を
受ける物質で処理したり構成したりして、これらの管が
長円形の粒子７５と共にモールド表面７２に対し直交し
て配向される様にすることが可能である。

勿論、静電気力を使用して長円形状の粒子及び管を配向
させる場合には、これらの粒子及び管が磁気的に影響を
受けるものである必要がないという利点を有する。更に
、洗浄用流体の流路を形成する為に使用されている管は
棒状乃至は中実のものとすることが可能であり、且つ研
磨物体を形成した後に選択的に溶融可能（この用語は、
溶かしたり蒸発させたりすることによって除去するとい
う意味も有している）とすることが可能である。

完成した研磨物体を貫通して洗浄用流体用の流路を設け
る為に、静電気力及び電磁力による配向方法の両方に於
いてこの様に溶融可能な棒乃至は管を使用することが可
能である。長円形の粒子乃至はファイバ７５を使用する
場合には、接着剤７６内に粒子が更に強く機械的に埋込
まれ、物体の表面を粗くさせる場合に粒子が接着剤から
脱落するという問題は存在しない。この様なアンカー効
果により、機械加工中に粒子が接着剤から脱落した場合
にその様に脱落した粒子により処理中の表面上に傷が付
けられたり窪みが形成されたりすることが防止される。

又、研磨粒子の切削エツジ乃至は切削点を露出させる為
に前述したブラスティングを行なう代りに化学的エツチ
ングを使用することが可能である。

更に、研磨物体を形成する過程中に、研磨粒子を付与す
る前にモールド表面７２へ十分な厚さを有する離型剤７
７を付与することが可能である。離型剤７７を付与する
ことの利点は、研磨物体をモールド表面から取除いた場
合に、長円形粒子７５の切削エツジ乃至は切削点を露出
させる為に研磨物体の表面を粗くする処理が必要ないか
殆ど必要ないということである。以上、図面に示した構
成に関しての説明を行なったが、以下図面からは容易に
読取ることの不可能な本発明の他の部分について説明を
行なう。例えば、切削マスタ乃至は電極は機械的な研磨
加工、化学的機械加工、電気化学的機械加工、それらの
組合せに使用することが可能である。例えば、切削用マ
スタ乃至は電極１０の要素は、切削マスタ乃至は電極５
０のファイバ又は粒子の様に研磨性のものであっても非
研磨性のものであっても良い。更に、電気化学的な研削
の場合には、研削マスタ乃至は電極１０の研磨要素は電
気的な絶縁体とすることが可能であり、切削マスタ乃至
は電極５０を形成するのに使用される接着物質は導電性
のものとすることが可能である。更に、ファイバ又は粒
子が互いに係合する様に切削マスタ乃至は電極５０を形
成する場合には、非導電性の接着用バインダを使用すれ
ば良い。

更に、適宜の電解液を使用することにより、電気化学的
な機械加工を行なう為の電極として機能する為には種々
の実施例の要素又は粒子が導電性であるということは必
ずしも必要なことではない。

要素として使用するのに適した物質としては金属、水晶
、ガラス等がある。成る適用場面に於いては、棒状乃至
は管状の機械加工要素が可撓性であることが好適であり
、−万能の適用場面に於いては、それらが剛性を有する
ことが必要とされる。

上述した装置を使用する１方法に於いては、１０Ｍプロ
セス等に使用する電極又は電極パターン等の様な３次元
物体を用意し、第１図に示した如くその上に長尺要素１
０を配置させ、これらの要素を一体的に緩く保持しなが
らこれらの要素に振動を与えてこれらの要素が前記３次
元物体の表面と略適合させる配列とさせ、これらの要素
をグループとして一体的に拘束するものである。更に、
前記３次元物体を除去する前又は除去した後の何れかに
於いて、接着剤を付与してこれらの要素を一体的に固着
させることが可能である。接着剤を付与することに加え
て又はその代りに、グループ化した要素１０を、かくの
如くして形成した３次元工具に対向して加工物を支持す
ることが可能であると共に工具と加工物との間のフィー
ド方向に対し略垂直な面内に於いて工具と加工物との間
に相対的な運動（例えば、回転運動、軌道に沿った運動
、振動、往復運動、又はこれらの運動の組合せ）を与え
ることが可能な装置のチャック１８等に定着させること
が可能である。ＥＣＭ又はＥＤＭに於いては、機械的な
研磨動作が必要とされない場合には、機械加工中に加工
物と工具との間にギャップを維持することが可能である
。一方、工具を加工物内に進める場合には、機械的な研
磨が発生しない様にそれらの間が非接触状態である様に
する事が可能である。切削マスタ乃至は電ｔｌｌｉ　５
０及び第１２Ａ図乃至第１２０図に示したものを使用す
る方法は上述した例の場合と略同様である。

以上、本発明の具体的実施の態様について詳細に説明し
たが、本発明はこれら具体例にのみ限定されるべきもの
ではなく、本発明の技術的範囲を逸脱することなしに種
々の変形が可能であることは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例を示した正面図、第２図は本
発明の別の実施例を示した正面図、第３図乃至第６図は
本発明の個別的な切削マスタ乃至は電極要素の幾つかの
実施例を示した各断面図、第７図乃至第９図は本発明に
於いて使用することの可能な切削マスタ乃至は電極要素
に於ける幾つかの異なった先端形状を示した各部分的正
面図、第１０図は有孔性の切削マスタ乃至は電極を使用
した本発明の１実施例を示した正面図、第１１Ａ図乃至
第１１Ｄ図は従来の工具及び結合した研磨粒子を示した
各説明図、第１２Ａ図乃至第１２Ｄ図は整合された長円
形の研磨粒子乃至はファイバを有する有孔性の切削工具
の別の実施例を示した各説明図、である。 （符号の説明） １０：　棒状乃至は管状要素 １２：　加工物 １３：　間隙 １ｄ：　調節可能なチャック ５０：　切削マスタ（電極） ７５：　長円形切削粒子（ファイバ） ７６：　接着剤 ７７：　離型剤 特許出願人　　　エクスツルード　ホーンリミテッド 図面の１１１よ（内容に変更なし） 手続補正書 昭和５９年　１月２１日 特許庁長官　　若　杉　和　夫　　殿 １、事件の表示　　　昭和５８年　特　許　願　第　２
１６４１３　　号２、発明の名称　　　表面機械加工用
改良型方法及び装置３、補正をする者 事件との関係　　　特許出願人 名称　　エクスツルード　ホーン　リミテッド４、代理
人 ５、補正命令の日付　　　自　　発 ６．７ｉｌｉ正により増加する発明の数　　　な　　し
７、補正の対象　　　　　図　　面、　委　任　状８、
補正の内容　　　　　別紙の通り

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、電極の機械加工に使用する電極乃至は切削マスクを
   製造する方法に於いて、１表面を有する３次元物体を用
   意し、第１端及び第２端を有する複数個の緩く一体化し
   た長尺の機械加工用要素を用意すると共に前記要素をそ
   れらの長手軸が前記表面及び前記表面に近接した前記第
   １＃Ｍと略直交する様に配設させ、前記要素を移動させ
   ると共に前記第１端を前記表面と接触させて前記第１端
   を前記表面の形状と略適合させ、前記第１端部が前記表
   面の形状と略適合しており且つそれを貫通して洗浄用流
   体の流路を有するグループとして前記要素を一体的に拘
   束し、前記グループを前記表面との接触から取除く、上
   記各工程を有することを特徴とする方法。 ２、特許請求の範囲第１項に於いて、前記要素が略管状
   であり前記流路を与えていることを特徴とする方法。 ３、特許請求の範囲第１項に於いて、前記要素が棒状で
   あり、前記要素間の間隙によって前記流路を与えている
   ことを特徴とする方法。 ４、特許請求の範囲第１項に於いて、前記移動を行なう
   工程に於いて、前記要素を振動させることを特徴とする
   方法。 ５、特許請求の範囲第１項に於いて、前記拘束する工程
   に於いて、前記要素を一体的に締着させることを特徴と
   する方法。 ６、特許請求の範囲第１項に於いて、更に、前記要素へ
   接着物質を付与し、且つ前記移動を行なった後に前記接
   着剤を固化させて前記拘束を行なうことを特徴とする方
   法。 ７、特許請求の範囲第６項に於いて、前記接着物質が熱
   可塑性物質であることを特徴とする方法。 ８、特許請求の範囲第１項に於いて、更に、前記第１端
   を加工して前記各要素の第１端を前記形状の１部と適合
   させることを特徴とする特許９、特許請求の範囲第８項
   に於いて、前記表面が研磨物質を有しており、且つ前記
   第１端を加工する工程に於いて、前記グループと前記表
   面との間に相対的な運動を与え、且つ前記第１端を研磨
   して前記第１端の各々を前記形状の１部と適合させるこ
   とを特徴とする方法。 １０、特許請求の範囲第９項に於いて、前記相対的運動
   を与える工程が、軌道に沿って運動を与えることを特徴
   とする方法。 １１、特許請求の範囲第９項に於いて、前記相対的運動
   を与える工程が、振動を与えることを特徴とする方法。 １２、特許請求の範囲第９項に於いて、前記相対的運動
   を与える工程が、回転運動を与えることを特徴とする方
   法。 １３゜電極の機械加工に使用する電極乃至は切削マスク
   を製造する方法に於いて、研磨粒子及び接着物質の混合
   物を用意し、前記混合物をモールド表面上に載置し、前
   記接着物質によって前記粒子を接着させ前記モールド表
   面に略適合した有孔性で研磨性の物体を形成し、前記物
   体を前記モールド表面から取除く、上記各工程を有する
   ことを特徴とする方法。 １４、特許請求の範囲第１３項に於いて、更に、前記有
   孔性物体の１８５を非有孔性の物質でコーティングする
   ことを特徴とする方法。 １５、特許請求の範囲第１３項に於いて、更に、前記混
   合物の割合を制御し前記粒子を接着した際の前記物体内
   の相互接続用の間隙及び有孔率を確立することを特徴と
   する方法。 １６、特許請求の範囲第１５項に於いて、前記接着物質
   が熱硬化性であることを特徴とする方法。 １７、特許請求の範囲第１５項に於いて、前記接着剤が
   熱可塑性であることを特徴とする方法。 １８、特許請求の範囲第１３項に於いて、更に、１１＠ 前記混合物内に溶融性の粒子を設は前記溶融性の粒子を
   溶融させることにより前記物体を有孔性とさせることを
   特徴とザる方法。 １９、電極の機械加工に使用する電極乃至は切削マスタ
   を製造する方法に於いて、各々が略長円状であり且つそ
   の長軸、に沿って磁気的に配向することの可能な研磨粒
   子をモールド表面上に付与し、磁界を付与し前記粒子を
   その長軸が略前記モールド表面に対し又直交づる様に磁
   気的に配向させ、前記粒子に接着物質を付与し、且つ、
   前記配向を行なった後に前記接着物質を硬化させて前記
   モールド表面に略適合した研磨物体を形成し、前記物体
   を前記モールド表面から取除く上記各工程を有すること
   を特徴とする方法。 ２、特許請求の範囲第１９項に於いて、更に、硬化を行
   なった後に前記粒子間に間隙が形成され前記研磨物体が
   有孔性となる様に前記接着物質の量を制御することを特
   徴とする方法。 ２、特許請求の範囲第１９項に於いて、更に、前記粒子
   を鉄物質でコーティングし前記粒子が前記磁界を印加す
   ることにより磁気的に配向可能であることを特徴とする
   方法。 ２、特許請求の範囲第１９項に於いて、更に、前記粒子
   を付与する前に前記モールド表面へ離型剤を付与する工
   程を有しており、その場合に前記配向を行なった後に前
   記粒子が前記離型剤を貫通し且つ前記モールド表面に接
   触すると共に前記接着物質を硬化した後に前記離型剤の
   厚さだけ前記接着物質から突出する様に離型剤を付与し
   、前記離型剤を前記物体から取除く事を特徴とする方法
   。 ２３、電極を機械加工するのに使用する電極乃至は切削
   マスタを製造する方法に於いて、各々が略長円状であり
   且つ長軸に沿って静電気的に配向可能な研磨粒子をモー
   ルド表面に付与し、電界を付与し前記粒子の各々に分極
   を誘起し前記粒子をその長軸が略前記モールド表面と直
   交する様に配向させ、前記粒子に接着物質を付与し、且
   つ前記配向を行なった後に前記接着物質を硬化して前記
   モールド表面に略適合した研磨物体を形成し、前記物体
   を前記モールド表面から取除く、上記各工程を有するこ
   とを特徴とする方法。 ２、特許請求の範囲第２３項に於いて、更に、前記粒子
   を付与する前に前記モールド表面へ離型剤を付与し、そ
   の際に前記配向を行なった後に前記粒子が前記離型剤を
   貫通し且つ前記モールド表面と接触し且つ前記発着物質
   を硬化した後に前記離型剤の厚さだけ前記接着物質から
   突出する様に離型剤を付与し、前記離型剤を前記物体か
   ら取除く、上記各工程を有することを特徴とする方法。 ２、特許請求の範囲第２３項に於いて、前記粒子の幾つ
   かが可溶性の粒子であり、前記可溶性の粒子を溶融させ
   て前記物体を貫通して洗浄流体用の流路を与えることを
   特徴とする方法。 ２６．３次元加工物の表面を形成する電極に於いて、各
   々が大略長軸を具備すると共に第１端と第２端とを具備
   した複数個の機械要素を有しており、前記要素はそれら
   の長軸が略互いに平行であり且つ前記第１端が略前記表
   面の鏡像に適合する様にグループとして拘束されており
   、前記グループを貫通して前記表面へ洗浄流体を供給す
   る手段とを有することを特徴とする電極。 ２、特許請求の範囲第２６項に於いて、前記供給手段が
   少なくとも１個の管状機械加工要素を有することを特徴
   とする電極。 ２、特許請求の範囲第２６項に於いて、前記供給手段が
   拘束された要素間の間隙を有することを特徴とする電極
   。 ２、特許請求の範囲第２６項に於いて、前記要素が石英
   棒であることを特徴どする電極。 ３０、特許請求の範囲第２６項に於いて、前記要素がガ
   ラスファイバであることを特徴とする方法。 ３１、特許請求の範囲第２６項に於いて、前記要素が金
   夙棒であることを特徴とする電極。 ３２、特許請求の範囲第２６項に於いて、前記要素がガ
   ラス管であることを特徴とする方法。 ３３、特許請求の範囲第２６項に於いて、前記要素の各
   々が断面に於いて略多角形形状の外側表面を有すること
   を特徴とする電極。 ３４．３次元加工物の表面を機械加工する電極に於いて
   、外側表面の少なくとも１部が前記加工物表面の略鏡像
   を与える様に形成されている有孔性物体を有しており、
   前記有孔性物体が洗浄用流体を通過させることが可能で
   ある様にそれを貫通して設けられている間隙を有するこ
   とを特徴とする電極。 ３５、特許請求の範囲第３４項に於いて、前記有孔性物
   体の前記外側表面が非有孔性物質で選択的にコーティン
   グされており、前記洗浄用流体の流れ方向が与えられて
   いることを特徴とする電極。 ３６、特許請求の範囲第３４項に於いて、前記有孔性物
   体が接着物質によって一体的に結合されている研磨粒子
   を有することを特徴とする電極。 ３７、特許請求の範囲第３６項に於いて、前記接着物質
   が熱可塑性物質であることを特徴とする電極。 ３８、特許請求の範囲第３６項に於いて、前記接着剤が
   シアノアクリレートであることを特徴とする電極。 ３９、特許請求の範囲第３４項に於いて、前記有孔性物
   体の接着物質が導電性であり、又前記加工物に接触する
   前記研磨粒子が電気的な絶縁体であることを特徴とする
   電極。 ４０、特許請求の範囲第３６項に於いて、更に、前記機
   械加工中に前記研磨粒子の各々が前記加工物質へ向かっ
   て特定の距離だけ前記接着物質から突出していることを
   特徴とする電極。 ４１、特許請求の範囲第３４項に於いて、前記接着物質
   赤熱硬化性物質であることを特徴とする電極。 ４２、加工物の表面を特定の形状へ機械加工する装置に
   於いて、各々が長軸と第１端と第２端とを具備しており
   前記第１端が前記特定形状の略鏡像である軌跡を画定す
   る様に一体的にグループ化されている複数個の機械加工
   要素と、前記軌跡を維持する為に前記要素を一体的なグ
   ループに拘束する手段と、前記第２端に近接した洗浄流
   体供給源と、前記供給源から前記流体を前記グループを
   介して前記表面へ供給する手段と、前記グループ化した
   要素を前記表面へフィードさせる手段と、前記要素と前
   記表面との間に前記フィード方向と略直交した方向に相
   対的運動を与える手段とを有することを特徴とする装置
   。 ４３、特許請求の範囲第４２項に於いて、前記拘束手段
   が接着物質を有することを特徴とする特置。 ４４．特許請求の範囲第４２項に於いて、前記拘束手段
   が前記要素を受納すると共に定着させる調節可能なチャ
   ックを有することを特徴とする装置。 ４５、特許請求の範囲第４２項に於いて、前記拘束手段
   が前記グループ化した要素の周りに締着させたバンドを
   有する装置。 ４６、特許請求の範囲第４３項に於いて、前記接着物質
   が熱可塑性物質を有することを特徴とする装置。 ４７、特許請求の範囲第４３項に於いて、前記接着物質
   がシアノアクリレートを有することを特徴とする装置。 ４８、特許請求の範囲第４２項に於いて、前記流体供給
   手段が前記流体に対する流路を与える為の前記要素間の
   間隙を有することを特徴とする装置。 ４９、特許請求の範囲第４２項に於いて、前記流体供給
   手段が前記要素を管状とすることによって前記流体に対
   する流路を与えることを特徴とする装置。 ５０、特許請求の範囲１４２項に於いて、前記流体供給
   手段が前記グループ化した要素を貫通して設けられてい
   る流路を有しており、前記相対的運動によって前記流体
   が前記機械加工中に前記表面へポンプ動作されることを
   特徴とする装置。 ５１、特許請求の範囲第４２項に於いて、前記フィード
   手段が前記グループ化した要素をそれらの長手軸と略平
   行に往復運動をさせる手段を有することを特徴とする装
   置。 ５２、特許請求の範囲第４２項に於いて、前記相対的運
   動が旋回運動を有することを特徴とする装置。 ５３、特許請求の範囲第４２項に於いて、前記相対的運
   動が往復動運動を有することを特徴とする装置。 ５４、特許請求の範囲第４２項に於いて、前記相対的運
   動が軌道に沿った運動を有することを特徴とする装置。 ５５、特許請求の範囲第４２項に於いて、前記相対的運
   動が回転運動を有することを特徴とする装置。 ５６、特許請求の範囲第４２項に於いて、更に、前記軌
   跡を変化させ別の特定の形状の鏡像を略画定する手段を
   有することを特徴とする装置。 ５７、特許請求の範囲第４２項に於いて、前記洗浄用流
   体が電解液を有することを特徴とする装置。 ５８、特許請求の範囲第４２項に於いて、前記洗）ｐ流
   体が絶縁体を有することを特徴とする装置。 ５９．３次元加工物の表面の仕上を行なう装置に於いて
   、各々が長軸を具備すると共に第１端と第２端とを具備
   しており略長軸に泊って個別的に移動可能である様に緩
   く一体的にグループ化されている複数個の機械加工要素
   と、前記要素を略前記長軸に沿って移動させて前記第１
   端を第１位置から第２位置へ移動させて前記第２位置に
   於いて前記第１端の軌跡により前記表面と略適合した軌
   跡を画定する様に前記要素を移動させる手段と、前記第
   １端で前記軌跡を画定させたまま前記要素をグループと
   して一体的に拘束する手段と、前記第２端に近接して設
   けられた洗浄流体の供給源と、前記供給譚から前記グル
   ープを介して前記表面へ前記流体を供給する手段と、前
   記グループ化した要素と前記加工物との間に相対的運動
   を与えて前記表面の仕上を行なう手段とを有することを
   特徴とする装置。 ６０、特許請求の範囲第５９項に於いて、前記仕上げ工
   程中に前記第１端を前記表面と接触させ前記表面を前記
   要素で研磨させる手段を有することを特徴とする装置。 ６１、特許請求の範囲第５９項に於いて、更に、前記仕
   上げ工程中に前記グループの前記第１端を前記表面から
   離隔させてその間にギャップを与える手段を有すること
   を特徴とする装置。 ６２、特許請求の範囲第５９項に於いて、前記第１端が
   前記表面のパターンと係合することによって前記軌跡が
   決定されることを特徴とする装置。 ６３、特許請求の範囲第５９項に於いて、前記第１端が
   前記表面と係合することによって前記軌跡が決定される
   ことを特徴とする装置。 ６４、特許請求の範囲第６１項に於いて、前記洗浄流体
   が電解液を有することを特徴とする装置。 ６５、特許請求の範囲第６１項に於いて、前記洗浄流体
   が絶縁体を有することを特徴とする装置。 ６６、加工物の表面を機械加工する装置に於いて、外側
   表面の少なくとも１部が前記加工物表面の略鏡像を与え
   る様に形成されている有孔性物体を有しており、前記有
   孔性物体が洗浄流体を通過させることを可能である様に
   貫通して設けられている間隙を有しており、前記有孔性
   物体と接続することの可能な流体供給源を有しており、
   前記有孔性物体を前記加工物表面に対してフィードさせ
   且つ前記加工物と前記物体との間に於いて前記フィード
   方向と略直交する方向に相対的運動を与えて前記機械加
   工を行なわせる手段を有しており、前記供給源からの前
   記流体を前記間隙を介して前記加工物表面へ供給する手
   段を有していることを特徴とする装置。 ６７、特許請求の範囲第６６項に於いて、前記有孔性物
   体が接着物質によって一体的に結合されている研磨粒子
   を有することを特徴とする装置。 ６８、特許請求の範囲第６６項に於いて、前記外側表面
   が非有孔性物質によって選択的にコーティングされてお
   り、前記洗浄流体に対して方向性を与えていることを特
   徴とする装置。 ６９、特許請求の範囲第６６項に於いて、前記有孔性物
   体が少なくとも部分的に導電性であり、且つ前記洗浄流
   体が電解液を有することを特徴とする装置。 ７０、特許請求の範囲第６６項に於いて、前記有孔性物
   体が少なくとも部分的に導電性であり、且つ前記洗浄流
   体が絶縁体を有することを特徴とする装置。