JPS59139139A - 金属薄膜型磁気記録媒体の製造法 - Google Patents
金属薄膜型磁気記録媒体の製造法Info
- Publication number
- JPS59139139A JPS59139139A JP1177383A JP1177383A JPS59139139A JP S59139139 A JPS59139139 A JP S59139139A JP 1177383 A JP1177383 A JP 1177383A JP 1177383 A JP1177383 A JP 1177383A JP S59139139 A JPS59139139 A JP S59139139A
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- JP
- Japan
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- film
- thin film
- temperature
- medium
- magnetic recording
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は金属磁性薄膜を高分子フィルム基材に真空蒸着
、イオンブレーティング、スパッタＩＪ ング等の手段
で形成させて成る金属薄膜型磁気記録媒体の製造法に関
するものである。
、イオンブレーティング、スパッタＩＪ ング等の手段
で形成させて成る金属薄膜型磁気記録媒体の製造法に関
するものである。
従来の構成とその問題点
従来、磁気記録媒体として、高分子フィルムを基材とし
、その面（片面及び両面）にγ−Ｆｅ２Ｏ３゜ＣｒＯ２
，Ｆａ−Ｎｉ等の磁性粉末をバインダー樹脂で固定した
塗布型磁気記録媒体があり、現在主流を２・、ジ しめている。
、その面（片面及び両面）にγ−Ｆｅ２Ｏ３゜ＣｒＯ２
，Ｆａ−Ｎｉ等の磁性粉末をバインダー樹脂で固定した
塗布型磁気記録媒体があり、現在主流を２・、ジ しめている。
通常、磁気記録媒体の基材となる高分子フィルムには、
熱可塑性樹脂を２軸に延伸したものが用いられ、延伸率
は長手方向（以下ＭＤ方向と呼ぶ）と巾方向（以下ＴＤ
力方向呼ぶ）で異なり、ＭＤ方向の延伸率がより大きい
のが一般である。
熱可塑性樹脂を２軸に延伸したものが用いられ、延伸率
は長手方向（以下ＭＤ方向と呼ぶ）と巾方向（以下ＴＤ
力方向呼ぶ）で異なり、ＭＤ方向の延伸率がより大きい
のが一般である。
かかる延伸フィルムは、ガラス転位温度以上に加熱され
ると熱収縮を生じ、再び常温にもどしても、残留変形音
生じた１まになっている。
ると熱収縮を生じ、再び常温にもどしても、残留変形音
生じた１まになっている。
塗布型磁気記録媒体の製造工程では、バインダー樹脂を
乾燥、硬化する時に、基材である高分子フィルムは加熱
されるが、一般にこの加熱温度は高分子フィルムの熱変
形湯度（またはガラス転位温度）より低くおさえられて
いるため、高分子フィルムの熱収縮によるカールが出し
ることはない。
乾燥、硬化する時に、基材である高分子フィルムは加熱
されるが、一般にこの加熱温度は高分子フィルムの熱変
形湯度（またはガラス転位温度）より低くおさえられて
いるため、高分子フィルムの熱収縮によるカールが出し
ることはない。
近年、記録密度の向上をはかるために、塗布型媒体とは
異なる金属薄膜型媒体が盛んに検討され。
異なる金属薄膜型媒体が盛んに検討され。
すでに一部実用化されている。この金属薄膜型媒体は強
磁性金属を真空蒸着！イオンブレーティング、スパッタ
リング等の公知の薄膜形成手段で、３ ｌ −７゛ 直接高分子フィルム基村上に形成させたもので、優れた
配録再生特性を示すことが知られている。
磁性金属を真空蒸着！イオンブレーティング、スパッタ
リング等の公知の薄膜形成手段で、３ ｌ −７゛ 直接高分子フィルム基村上に形成させたもので、優れた
配録再生特性を示すことが知られている。
かかる薄膜形成手段においては金属の蒸発源からの輻射
熱や蒸発金属原子の潜熱、スパッタリングにおけるプラ
ズマ等により高分子フィルムはガラス転位温度以上に加
熱され、収縮する。一方、蒸発金属原子は高分子フィル
ム面上で再結晶し、薄膜となるが、この過程で金属薄膜
も収縮する。媒体のカールは高分子フィルムの収縮率と
金属薄膜の収縮率の兼合いで決定されるが、通常高分子
フィルムの収縮率は金属薄膜より極めて大きく、第１図
に示す如く金属薄膜が外にカールする。第１図は基材で
ある高分子フィルム１の面上に磁気記録層である金属薄
膜２を形成させる過程で高分子フィルム１がガラス転位
温度以上に加熱された場合の媒体のカールの状態を示し
たものである。矢印３は高分子フィルム１の収縮率を、
矢印４は金属薄膜２の収縮率全示し矢印の長さは収縮率
の大きさを表わしており、高分子フィルム１の収縮率が
太きいために金属薄膜２を外側にカールする。
熱や蒸発金属原子の潜熱、スパッタリングにおけるプラ
ズマ等により高分子フィルムはガラス転位温度以上に加
熱され、収縮する。一方、蒸発金属原子は高分子フィル
ム面上で再結晶し、薄膜となるが、この過程で金属薄膜
も収縮する。媒体のカールは高分子フィルムの収縮率と
金属薄膜の収縮率の兼合いで決定されるが、通常高分子
フィルムの収縮率は金属薄膜より極めて大きく、第１図
に示す如く金属薄膜が外にカールする。第１図は基材で
ある高分子フィルム１の面上に磁気記録層である金属薄
膜２を形成させる過程で高分子フィルム１がガラス転位
温度以上に加熱された場合の媒体のカールの状態を示し
たものである。矢印３は高分子フィルム１の収縮率を、
矢印４は金属薄膜２の収縮率全示し矢印の長さは収縮率
の大きさを表わしており、高分子フィルム１の収縮率が
太きいために金属薄膜２を外側にカールする。
このようにカールした媒体をテープ状、又はディスク状
に加工したものは磁気ヘッドとのヘッドクツｆが悪＜、
スペーシングロスによる記録再生信号のエンベロツブ変
動が大きくなる。
に加工したものは磁気ヘッドとのヘッドクツｆが悪＜、
スペーシングロスによる記録再生信号のエンベロツブ変
動が大きくなる。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点全解消し、媒体のそり（カー１
のを発生しない製造法を提供するもので、カールをなく
すことにより記録再生時の磁気ヘッドと磁気記＠媒体と
の走行性を改良し、記録再生信号のエンベローブ変動特
性、ドロップアウト特性を改善することを目的とするも
のである。
のを発生しない製造法を提供するもので、カールをなく
すことにより記録再生時の磁気ヘッドと磁気記＠媒体と
の走行性を改良し、記録再生信号のエンベローブ変動特
性、ドロップアウト特性を改善することを目的とするも
のである。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するためになされたもので、金
属薄膜形成過程における高分子フィルムの収縮率全金属
薄膜の収縮率に合せるよう、高分子フィルムを前もって
熱処理をすることにより、結果的にカールのない媒体の
製造全可能にしたものである。
属薄膜形成過程における高分子フィルムの収縮率全金属
薄膜の収縮率に合せるよう、高分子フィルムを前もって
熱処理をすることにより、結果的にカールのない媒体の
製造全可能にしたものである。
実施例の説明
本発明による媒体の製造法では高分子フィルム６ ・
ε は第２図に示す工程全通過するため常温→Ｔ＋（°Ｃ）
ｑし →常温→Ｔ２（℃）常温なる温度サイクルケ経験するこ
とになる。薄膜形成工程に高分子フィルムの受ける温度
Ｔ２ （℃） ｌ−を薄膜形成手段、および薄膜形成装
置の特性により左右されるが、薄膜形成条件を固定する
ことにより、ある特定の温度となる。
ε は第２図に示す工程全通過するため常温→Ｔ＋（°Ｃ）
ｑし →常温→Ｔ２（℃）常温なる温度サイクルケ経験するこ
とになる。薄膜形成工程に高分子フィルムの受ける温度
Ｔ２ （℃） ｌ−を薄膜形成手段、および薄膜形成装
置の特性により左右されるが、薄膜形成条件を固定する
ことにより、ある特定の温度となる。
一般にスパッタリング法は真空蒸着法よりも低いＴ２（
℃）になり、９０℃〜１３０℃の間にある。
℃）になり、９０℃〜１３０℃の間にある。
例えば２ＫＷのターゲットサイズが８×１８インチのマ
グネトロンスパッタ装置ではターゲットからの距離が１
０Ｃｍの所でＴ２は約１２０℃程になる。第３図に第２
図の工程における高分子フィルムの受ける温度履歴とし
て、二軸延伸のポリエステルフィルム（ＰＥＴフィルム
）に温度サイクルを加えた場合、Ｔ２ ｉｌ ２０ ℃
とした時の熱処理温度Ｔ１の変化に対する寸法変形率の
変化を示す。
グネトロンスパッタ装置ではターゲットからの距離が１
０Ｃｍの所でＴ２は約１２０℃程になる。第３図に第２
図の工程における高分子フィルムの受ける温度履歴とし
て、二軸延伸のポリエステルフィルム（ＰＥＴフィルム
）に温度サイクルを加えた場合、Ｔ２ ｉｌ ２０ ℃
とした時の熱処理温度Ｔ１の変化に対する寸法変形率の
変化を示す。
寸法変形率とは温度Ｔ１の熱処理をほどこしたＰＥＴフ
ィルムを、長さｌの短冊状にし、温度Ｔ２６ ・ し 負の呟は収縮率を、正の値は伸び率を示す。第３図から
明らかなように、適切な熱処理温度Ｔ１ｆ選ぶことによ
り、望みの収縮率金有するＰＥＴフィルムが得られるこ
とがわかる。例えば、薄膜形式時の収縮率が○である金
属薄膜を形成させることを仮定すれば、１３８℃で熱処
理したＰＥＴフィルムを用いれば、寸法変形率がＱであ
るため。
ィルムを、長さｌの短冊状にし、温度Ｔ２６ ・ し 負の呟は収縮率を、正の値は伸び率を示す。第３図から
明らかなように、適切な熱処理温度Ｔ１ｆ選ぶことによ
り、望みの収縮率金有するＰＥＴフィルムが得られるこ
とがわかる。例えば、薄膜形式時の収縮率が○である金
属薄膜を形成させることを仮定すれば、１３８℃で熱処
理したＰＥＴフィルムを用いれば、寸法変形率がＱであ
るため。
カールのない媒体を得ることができる。最適の熱処理温
度を決定するには、必ずしも金属薄膜の収縮率全知る必
要はなく、数点の温度で熱処理金したＰＥＴフィルムの
テストサンプルに金属薄膜を形成し、カール度と熱処理
温の関係を第４図に示すようなグラフに表わせば、カー
ル度が○になる熱処理温度が求する。カール度とは第６
図に示す簡便な方法で測定した値を用いる。すなわち、
媒体６全長さＬ（６ｃｍ）の短冊状にし、媒体６の一端
６Ａｉ固定台６にクランプ７で固定した時に、一方の一
端６Ｂの高さＨ（ｃｍ）とするとＨ／Ｌをカール度とす
る。金属薄膜を外にカールする場合を正のカール度とし
、内にカールする場合を負のカール度とする。
度を決定するには、必ずしも金属薄膜の収縮率全知る必
要はなく、数点の温度で熱処理金したＰＥＴフィルムの
テストサンプルに金属薄膜を形成し、カール度と熱処理
温の関係を第４図に示すようなグラフに表わせば、カー
ル度が○になる熱処理温度が求する。カール度とは第６
図に示す簡便な方法で測定した値を用いる。すなわち、
媒体６全長さＬ（６ｃｍ）の短冊状にし、媒体６の一端
６Ａｉ固定台６にクランプ７で固定した時に、一方の一
端６Ｂの高さＨ（ｃｍ）とするとＨ／Ｌをカール度とす
る。金属薄膜を外にカールする場合を正のカール度とし
、内にカールする場合を負のカール度とする。
第４図にある特定の条件下で０．２７μｍの厚さのコバ
ルト金属膜−１ＰＥＴフイルム上に形成した時のカール
度と熱処理温度との関係を示す。
ルト金属膜−１ＰＥＴフイルム上に形成した時のカール
度と熱処理温度との関係を示す。
この図からこの膜形成条件では１３０℃で熱処理全した
ＰＥＴフィルムを用いればカールのない媒体が得られる
ことがわかる。
ＰＥＴフィルムを用いればカールのない媒体が得られる
ことがわかる。
上記実施例で得られた金属薄膜型磁気記録媒体の断面図
全第６図に示す。
全第６図に示す。
高分子フィルム１９強磁性金属薄膜２ともにその圧縮率
は矢印３，４で示すように等しくなり、カールは生じな
い。
は矢印３，４で示すように等しくなり、カールは生じな
い。
以上述べたように不実施例の特徴を要約すると以下のよ
うになる。
うになる。
（１）熱収縮率の大きい高分子フィルムを用いること
Ｑ） この高分子フィルム全熱処理し、望みの熱収縮率
？有する熱処理済高分子フィルムを作ること （３） この熱処理済高分子フィルム上に金属薄膜を
形成すること ここで高分子フィルムの材質は本質的な問題ではなく、
要（：１大きく熱収縮する高分子フィルムであればよく
、例えばポリエステル、ポリカーボネイトラ ポリエ
ナレノ、ポリプロピＶ７等の延伸フィルムが好ましい。
？有する熱処理済高分子フィルムを作ること （３） この熱処理済高分子フィルム上に金属薄膜を
形成すること ここで高分子フィルムの材質は本質的な問題ではなく、
要（：１大きく熱収縮する高分子フィルムであればよく
、例えばポリエステル、ポリカーボネイトラ ポリエ
ナレノ、ポリプロピＶ７等の延伸フィルムが好ましい。
また、金属薄膜の形成手段は真空蒸着、イオ／ブレーテ
ィノグ、スパッタリングに限定されるものではなく、基
材上に薄膜を形成した時に金属薄膜自体が収縮筐たは伸
張し、かつ、基材の高分子フィルムに熱変形を生じさせ
る手段であればよい。
ィノグ、スパッタリングに限定されるものではなく、基
材上に薄膜を形成した時に金属薄膜自体が収縮筐たは伸
張し、かつ、基材の高分子フィルムに熱変形を生じさせ
る手段であればよい。
以下に具体例ケ示す。
具体例１
６０μｍ厚のポリエステルフィルムを用意し、比較のた
めに同一チャノバー内に２つのフィルムサンプルをセッ
トした。１つは生フイルムサンプル（熱処理葡していな
いもの）で、もう１つは熱処理を行ったフィルムサメグ
ルで、この両者のフィルムサンプル上にコバルト金属薄
膜を形成し、媒体を作成した。
めに同一チャノバー内に２つのフィルムサンプルをセッ
トした。１つは生フイルムサンプル（熱処理葡していな
いもの）で、もう１つは熱処理を行ったフィルムサメグ
ルで、この両者のフィルムサンプル上にコバルト金属薄
膜を形成し、媒体を作成した。
９ 〕
フィルムの熱処理は１３０’Ｃの恒温槽中で１０分間行
った。コバルト金属薄膜の形成手段にＲＦスパソタリ／
グ法であり、スパツクリ７グ条件は以下の通りであった
。
った。コバルト金属薄膜の形成手段にＲＦスパソタリ／
グ法であり、スパツクリ７グ条件は以下の通りであった
。
（１）使用ガス アルゴン
（２）ガス圧 ８Ｘ １０ ｔｏｒｒ（３）
投入電力 １５０Ｗ （４膜形成速度 ４５０人／分 （６） スパッタリング時間 ６分間０）膜厚
０．２７μｍ 生フイルムを用いた媒体（す７ブルＡ）のカール度は＋
０．６４であり、熱処理したフィルムを用いた媒体（サ
ンプルＢ）のカール度はほぼＯであった０ 具体例２ 厚さ７５μｍ、巾５０ＣＬ 長さ２０ ｍの長尺ポリエ
チレンテレフタレートフィルム１１３Ｆ５℃に加熱した
直径２０ｃｍ金属ローラに密着させ、連続に熱処理を行
い、その後前記の熱処理済長尺フィルムの片面にマグネ
トロ／スパッタリング装置で１０ ′パ〕゛ パーマロイ層とコバルト−クローム層の膜を形成し、長
尺の垂直磁気記録媒体を製作した。
投入電力 １５０Ｗ （４膜形成速度 ４５０人／分 （６） スパッタリング時間 ６分間０）膜厚
０．２７μｍ 生フイルムを用いた媒体（す７ブルＡ）のカール度は＋
０．６４であり、熱処理したフィルムを用いた媒体（サ
ンプルＢ）のカール度はほぼＯであった０ 具体例２ 厚さ７５μｍ、巾５０ＣＬ 長さ２０ ｍの長尺ポリエ
チレンテレフタレートフィルム１１３Ｆ５℃に加熱した
直径２０ｃｍ金属ローラに密着させ、連続に熱処理を行
い、その後前記の熱処理済長尺フィルムの片面にマグネ
トロ／スパッタリング装置で１０ ′パ〕゛ パーマロイ層とコバルト−クローム層の膜を形成し、長
尺の垂直磁気記録媒体を製作した。
不具体例に使用したスパンタリング条件全以下に示す。
（１） ターゲットサイズ ８×１８インチ（
２） 使用ガス アルゴン（３）投入電力
２ＫＷ （４）フィルム送りスピード ５ｃｍ／ｍ１ｎ（６
９フィルム−ターゲット間圧ＩＪｆｔ １０Ｃｍまた熱
処理条件は以下の通りである。
２） 使用ガス アルゴン（３）投入電力
２ＫＷ （４）フィルム送りスピード ５ｃｍ／ｍ１ｎ（６
９フィルム−ターゲット間圧ＩＪｆｔ １０Ｃｍまた熱
処理条件は以下の通りである。
（１）金属ローラー径 ２０ Ｃｍ（２） フ
ィルム密着長さ ４５ｃｍ（３） フィルム送
りスピード ４ＣＩＩｌ／ ｍ１ｎ（４）テンジョ
ン ３．５ｋｇ上記の条件で製造した媒体はパ
ーマロイ層０・３μｍ、コバルト・クローム層０・４μ
ｍの厚さを有しており、保磁力は４５０（０８）のもの
であり九この媒体のカールはほとんど認められず、記録
再生特性はすこぶる良好なものであった。
ィルム密着長さ ４５ｃｍ（３） フィルム送
りスピード ４ＣＩＩｌ／ ｍ１ｎ（４）テンジョ
ン ３．５ｋｇ上記の条件で製造した媒体はパ
ーマロイ層０・３μｍ、コバルト・クローム層０・４μ
ｍの厚さを有しており、保磁力は４５０（０８）のもの
であり九この媒体のカールはほとんど認められず、記録
再生特性はすこぶる良好なものであった。
発明の効果
１１ ′ 。
以上のように本発明に基づく製造方法では、延伸した高
分子フィルムに前工程としての熱処理をほどこしたのち
、前記高分子フィルタ上に強磁性金属薄膜を形成するも
ので、こうすることにより、強磁性金属薄膜形成後の媒
体カールをなくすことが可能となり、良好な走行性を有
し、かつ、記録再生特性の優れた媒体を得ることができ
る。
分子フィルムに前工程としての熱処理をほどこしたのち
、前記高分子フィルタ上に強磁性金属薄膜を形成するも
ので、こうすることにより、強磁性金属薄膜形成後の媒
体カールをなくすことが可能となり、良好な走行性を有
し、かつ、記録再生特性の優れた媒体を得ることができ
る。
第１図は従来の金属薄膜型磁気記録媒体の断面図、第２
図は本発明による金属薄膜型磁気記録媒体の製造工程全
示す図、第３図はポリエチレンテレフグレートフィルム
の熱処理温度と寸法変形率との関係を示す図、第４図は
カール度と熱処理温度との関係を示す図、第６図はカー
ル度を測定するための装置の原理図、第６図は本発明の
金属薄膜型磁気記録媒体の断面図である。 １・・・・・・基材である高分子フィルム、２・・・・
・・強磁性金属薄膜、３・・・・・・高分子フィルムの
収縮率、４・・・・・・金属薄膜の収縮率、６・・・・
・・媒体、５Ａ、５Ｂ・・・・・・媒体の端面、６・・
・・・・固定台、７・・・・・・クランプ。 第３図 第４図
図は本発明による金属薄膜型磁気記録媒体の製造工程全
示す図、第３図はポリエチレンテレフグレートフィルム
の熱処理温度と寸法変形率との関係を示す図、第４図は
カール度と熱処理温度との関係を示す図、第６図はカー
ル度を測定するための装置の原理図、第６図は本発明の
金属薄膜型磁気記録媒体の断面図である。 １・・・・・・基材である高分子フィルム、２・・・・
・・強磁性金属薄膜、３・・・・・・高分子フィルムの
収縮率、４・・・・・・金属薄膜の収縮率、６・・・・
・・媒体、５Ａ、５Ｂ・・・・・・媒体の端面、６・・
・・・・固定台、７・・・・・・クランプ。 第３図 第４図
Claims (1)
- （１）延伸した高分子フィルム全熱処理する前工程と、
前記前工程で熱処理した前記高分子フィルム面上に、金
属薄膜形成手段により強磁性金属薄膜全形成する工程全
有することを特徴とする金属薄膜型磁気記録媒体の製造
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1177383A JPS59139139A (ja) | 1983-01-27 | 1983-01-27 | 金属薄膜型磁気記録媒体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1177383A JPS59139139A (ja) | 1983-01-27 | 1983-01-27 | 金属薄膜型磁気記録媒体の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59139139A true JPS59139139A (ja) | 1984-08-09 |
Family
ID=11787283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1177383A Pending JPS59139139A (ja) | 1983-01-27 | 1983-01-27 | 金属薄膜型磁気記録媒体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59139139A (ja) |
-
1983
- 1983-01-27 JP JP1177383A patent/JPS59139139A/ja active Pending
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