JPS61126632A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の強磁性金属またはそれ
らの合金からなる磁性金属薄膜を有する磁気記録媒体の
製造方法に関するものである。

従来の技術 近年、磁気記録装置の高記録密度化に伴ない、従来から
使用されているγ−Ｆ　ｅ　２０３の針状結晶をバイン
ダーと共にベースフィルムに塗布した塗布型記録媒体に
対し、金属薄膜型磁気記録媒体の研究開発が行なわれて
いる。この型の磁気記録媒体は非磁性のベースフィルム
の上に、真空蒸着法。

スパッタリング法、イオンブレーティング法等の方法に
より磁性金属薄膜を形成するものであり、塗布型記録媒
体に比べ薄くできることから高記録密度化の点から有利
である。まだ、従来の長手記録方式に対し、同じく、真
空蒸着法、スパッタリング法、イオンブレーティング法
等の方法により、垂直磁気異方性を有する金属磁性層を
形成した記録媒体に信号記録する垂直磁気記録方式が提
案されており、この方式によれば、従来の磁気記録方式
の１ｏ倍程度の高記録密度が可能になる。

以下図面を参照しながら、従来の金属薄膜型磁気記録媒
体の製造方法について説明する。

第１図は、一般的な磁気記録媒体の製造装置の真空槽内
部の正面図である。図において、１は巻き出しロール、
２は巻き出しロール１から供給された基板フィルム、３
は基板フィルム２が密着して走行する円筒状キャン、４
は基板フィルム２が巻き取られる巻き取りロール、５は
円筒状キャン３に対向して設置された磁性金属蒸発源で
ある。

発明が解決しようとする問題点 以上のような磁気記録媒体の装造装置において、巻き出
しロール１から供給された基板フィルム２は、円筒状キ
ャン３に密着走行し、円筒状キャン３に対向して設置さ
れた磁性金属蒸発源５から飛び出した磁性金属粒子が基
板フィルム２の表面に付着し磁性膜が形成され、表面に
磁性膜が形成された基板フィルム２は巻き取りロール４
に巻き取られる。２層膜にするためには、磁性金属をか
えて、この工程をくりかえす。このとき、磁性金属蒸発
源５からの輻射熱による基板フィルム２の熱負けを防ぐ
ために、巻き出しロール１には基板フィルム２の供給と
は逆方向に、また巻き取りロールーには基板フィルム２
巻き取りの方向に張力を加え、さらに円筒状キャン３を
一定温度に保ち基板フィルム２に可撓性をもたせ、基板
フィルム２を円筒状キャン３に密着させている。

ここで、上記の基板フィルム２に加えられた張力は、基
板フィルム２を円筒状キャン３に密着させて基板フィル
ム２の熱負けを防止するだけで、特に張力の磁気特性に
及ばず効果については何も考慮されず、基板フィルム２
が熱負けしない範囲で設定されている。しかしながら、
記録層を下地層の上に堆積させる時の磁性金属蒸発源６
からの輻射熱と上記基板フィルム２に加えられた張力に
よって下地層の磁気特性が変わってしまうだめ、特性の
安定した磁気記録媒体を得ることが困難であるという欠
点を有していた。

そこで本発明は以上のような欠点を解消するもので、磁
気特性が優れ、しかも安定して作製できる磁気記録媒体
の製造方法を提供するものである。

問題点を解決するだめの手段 本発明の基本構成は、下地層の上に記録層を堆積する際
に、下地層に３０７／−以上の実効的張力を加え、かつ
９０℃以上の温度で記録層を形成するようにしたもので
ある。

作　　用 本発明は支持基板上に形成された透磁率が１０００以上
の下地層に実効的な張力を加えながら記録層を形成する
ために、記録層形成時の温度によシ下地層の保磁力を１
００゜以下とすることができ、下地層の特性を最適化す
ると同時に磁気特性の優れた記録媒体が得られる。

この場合下地層は透磁率がｉ　ｏｏｏ以上であることが
望ましく、下地層に加えられる実効的な張力としては３
０グ／−以上であることが好ましい。

また下地層に前記実効的な張力を加えた状態で記録層を
形成する際の温度としては９０℃以上で行うことが望ま
しく、この場合下地層の保磁力を１００゜以下の最適な
値にすることができる。

実施例 以下に本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。

基板フィルムとして６０μｍ厚のポリエステルフィルム
を用い、下地層の材質として７８４Ｎｉのパーマロイ（
ＩＩＳＰＣ相当）、記録層として１９ｗｔ％　ＣｒのＣ
ｏＣｒ合金をスバ、タリング法で基板フィルム上に堆積
させる際、基板温度１００℃、基板フィルムの張力をポ
リエステルフィルムの断面に対し２４０　ｆ／−の割合
いで加えた状態で、パーマロイ膜厚０５μｍ一定で下地
層を作製して、この下地層の上にＣｏＣｒ０記鎌層を０
．２μｍ厚だけ堆積させる際、０．５μｍ厚の下地層に
ポリエステルフィルムの膜厚ｔ８とヤング率Ｅｓ　の積
ｔ　ｓＥＢと下地層膜厚ｔｐとヤング率Ｅｐの積ｔｐＥ
ｐとの比率で決まる実効的な張力的８０１／−を加えた
状態で基板温度を変えて記録層を堆積させた時の下地パ
ーマロイ層の保磁力Ｈｃの変化を第２図に示す。この時
、下地パーマロイ層は、ＣｏＣｒ層堆積時の基板温度の
熱および磁性金属蒸発源からの輻射熱による熱履歴を受
けている。垂直磁気記録において、下地パーマロイ層の
軟磁気特性は重要で、記録時にはヘッドの一部として作
用し、Ｈｏは少なくても１ｏＱｏ以下かつ透磁率が１α
℃以上でなくてはならない。このことから、Ｃｏ　Ｃｒ
層堆積時の基板温度は第２図に示すように９０℃以上に
設定しなければならない。一方Ｈ０が２０８以下になる
と再生時にバルク・・ウゼン効果によるノイズが発生す
るため、基板温度の上限としては１６０℃が望ましい。

また第３図にこの時に下地層に加える張力を変化させた
時の下地パーマロイ層の保磁力の変化を示す。第３図に
おいて、１１は基板温度を９０℃、１２は１６０℃にそ
れぞれ保った場合での保磁力の変化である。この図から
下地層に加わる実効的なテンションが３０１／−以上で
あれば、テンション下での熱処理によって下地パーマロ
イ層のＨｏが１ｏＱｏ以下に減小し、垂直磁気記録媒体
として十分性能を発揮する値となることがわかる。実効
的なテンションの上限値は、媒体のカーリングや表面状
態等できまり、はぼ１０ｏＯｆ／−である。これらのこ
とにもとづいて次のような条件で二層膜構造の磁気記録
媒体をマグネトロンスパッタリング法で作製した。下地
パーマロイ層は、スパッタリングガスをＡｒ　　、ガス
圧を８　Ｘ　１０−５ｔｏｒｒ。

投入電力３ＫＷ、基板温度を９０℃の条件で厚さ０．６
μｍとし、記録層Ｃｏ　Ｃｒについては、Ａｒガス圧を
８×１０　　ｔｏｒｒ　、投入電力１．５ＫＷ、　　基
板温度１３０℃とし、下地パーマロイ層に８０　？　／
ｍａの張力を加えて、０．３μｍそれぞれ形成した。こ
の２層膜での下地パーマロイ層の保磁力は３．４０゜と
なり、下地層の特性として要求される最適値となった。

さらに、下地パーマロイを形成する際に９０℃と比較的
低い温度で膜形成を行な−でいるため、基板ポリエステ
ルフィルムからのオリゴマー発生がなく、表面性がきわ
めて良好で、その上、パーマロイ形成時の温度が低いた
め、ポリエステルフィルムの熱収縮も少なく、媒体のわ
ん曲（カーリング）が発生せず、この点からも非常にす
ぐれた媒体であることがわかる。

なお、基板としては、ポリエステルフィルムに限らず何
でもよく、例えば、カプトン等の耐熱フィルムについて
も、下地パーマロイの作製条件は下地層形成後で記録層
の形成時に下地層の特性を制御できることから、かなり
緩和され、条件を広くとることができ、フィルムの熱収
縮にあった条件で作製することによって、わん曲のない
、下地層の磁気特性のすぐれた媒体をうろことができる
。

発明の効果 本発明は、記録層を形成する際に下地層に張力を加え、
９０℃以上の温度で形成するもので、このことにより、
下地層の特性が磁気記録媒体として良くなり、その結果
、表面性が良く、わん曲のない媒体が、下地層の特性を
下地層形成時に特に注意深い制御をすることなく、安定
して作製できるという優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は磁気記録媒体の製造装置の真空槽内部を示す正
面図、第２図は張力下で熱履歴を受けた時の下地層の保
磁力の変化を示す線図で、縦軸は保磁力（０，）、横軸
は履歴温度（℃）、第３図は、下地層熱履歴における張
力の効果を示す線図で、縦軸は保磁力（Ｏｏ）　、横軸
は張力（グ／ｍａｒ）である。 １・・・・・・巻キ出シロール、２・・・・・・基板フ
ィルム、３・・・・・・クーリングキャン、４・・・・
・・巻き取りロール、５・・・・・磁性金属蒸発源。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 ５磁性全属綽光源

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）支持基板上に透磁率が１０００以上の下地層を形
   成し、前記下地層に３０ｇ／ｍｍ＾２以上の実効的な張
   力を加えた状態で、９０℃以上の温度で情報が磁気記録
   される記録層を形成することを特徴とする磁気記録媒体
   の製造方法。
2. （２）下地層としてＮｉとＦｅを主成分とする合金を用
   いたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気
   記録媒体の製造方法。