JPS5924449A - 磁気記録フイルムの製造方法 - Google Patents

磁気記録フイルムの製造方法

Info

Publication number
JPS5924449A
JPS5924449A JP57134884A JP13488482A JPS5924449A JP S5924449 A JPS5924449 A JP S5924449A JP 57134884 A JP57134884 A JP 57134884A JP 13488482 A JP13488482 A JP 13488482A JP S5924449 A JPS5924449 A JP S5924449A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
temperature
heat treatment
roll
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57134884A
Other languages
English (en)
Inventor
Seizo Watanabe
征三 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp, Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Corp
Priority to JP57134884A priority Critical patent/JPS5924449A/ja
Priority to US06/516,943 priority patent/US4446170A/en
Publication of JPS5924449A publication Critical patent/JPS5924449A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers

Landscapes

  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Thin Magnetic Films (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はプラスチックフィルム等をペースにして磁性材
料を薄層形成した磁気記録フィルムの製造方法に関する
近年、高密度記録媒体として、薄膜型の磁気テープが注
目されている。この薄膜型磁気テープは真空蒸着法、電
子ビーム蒸着法、スパッタリング法又はイオングレーテ
ィング法等により製造されるが、磁性体粒子をバインダ
とともにベースフィルムに塗布して製造される従来の塗
布型磁気テープに比して、磁性層の厚さを極めて薄くす
ることができる。このため、薄膜型磁気テープは記録/
再生の高域周波数Irケ性が改良され、記録時間が長く
高密度記録に適しているという利点がある。
然るに、長時間記録用薄膜磁気チーブにおいては、ベー
スフィルムが極めて薄いため、イースフィルム上に金属
等の磁性桐材を蒸着する際に、ベースフィルムが蒸発源
からの輻射熱及び蒸発金属原子が保有する潜熱等により
熱損傷を受け、フィルムにシワが発生する。−!た、蒸
発金属原子が再結晶して薄膜となる過程において、薄膜
の収縮による内部応力が発生し、この内部応力によって
ベースフィルムは磁性層が内側になるようにカールを起
してしまう。而して、大きなシワが発生した磁気テープ
を使用すると、ドロップアウトが発生し、オた、カール
していチが悪化するとともに、巻き乱れが発生したυす
る不都合がある。
本願出願人は上述の不都合を解消すべく、蒸着処理後の
フィルムに所定の張力を付与しつつフィルムを熱収縮が
生じる温度以上に加熱することによυ、カール・シワを
除去する技術を既に提案した(特願昭56−51547
)。これにより、カール・シワが除去され、所期の目的
は達せられたが、磁気テープの出力変動を十分に抑制す
る迄には至っていない。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであって、シ
ワ及びカールが除去され、捷た出力変動が抑制されて均
一な磁気特性を有する磁気記録フィルムの製造方法を提
供することを目的とする。
本願発明者は磁気テープの出力変動を発生させる要因に
ついて、種々検電した結果、カール・シンを除去する加
熱処理の後フィルム上の磁性層に残存する局所的な熱歪
(熱応力)が出力変動の主因であると推測することがで
きた。即ち、加熱処理によりフィルムに熱収縮が生じて
カール・シワが除去され、マクロ的な熱歪は除去されて
いるのであるが、ミクロ的にみると、ベースフィルムの
収縮が不均一であることから、ベースフィルム上の磁性
層には局所的なφ(応力)が残存していると考えられる
。この磁性層の局所的な熱歪が磁気特性を不均一に−J
−る要因であると予想される。本発明は、上述の如き観
点に立ってなされたものであって、加熱処理の後、その
加熱処理温度以下の温度に1q加熱することニヨυ、ベ
ースフィルムの不均一な熱収縮による局所的な歪を除去
し、ベースフィルムの否により磁性層内に生じる内部応
力を消失さ、1えて磁気テープの出力変動を抑制し、磁
気特性の均一化を図ったものである。即ち、本発明に係
る磁気記録フィルムの製造方法は、磁性層が形成された
フィルムに所定の張力を打力しつつ熱収縮が生じる所定
の第1温度壕で加熱した後冷却する加熱処理を施し、次
いで前記第1温度よυ低温の第2温度に加熱した後冷却
する再加熱処理’を施すことを特徴とするものである。
以下、本発明の実施例について添付の図面を参照して説
明する。先ず、プラスチックフィルム等のベースフィル
ムに磁性材料を蒸着する工程について説明する。第1図
は巻取型真空蒸着装置の模式図である。真空ポンプ19
により排気されるようにしたハウジング10内には、送
出リール1ノ及び巻取リール16が配設されている。そ
して、リール11に設置されたコイル状のベースフィル
ム1は、リール11の回転によυ巻きほどかれた後、テ
ンションローラ12、ガイドローラ13、冷却キャン1
4及びガイドローラ15に夫々巻き掛りもれ、リール1
6に巻き取られるようになつ1いる。フィルム1の走行
は、リール1゛6の回転軸に結合されたサーボモータ(
図示せず)等を駆動源として行われる。フィルム1の走
行速度は所定範囲になるようにザーポコントロールされ
る。テンションローラ12によシフィルム1にノ< ツ
クテンションを印加することによって、フィルム1に付
与される張力を所定値に保持するようにしである。
なお、テンションローラ12の替りに、ベルトヌリッグ
機構を設けるか、又はリール1ノ及び16にテンション
サーボ機構を股ジノることとしてもよい。このようなデ
ンション゛リーボ機構としては、本願出願人によυ提案
された特願昭55−92482号「テンションローデ装
置」又は特願昭55−115385号[)゛ンションサ
ーゼ装置」が公知である。
冷却キャン14の直下域には、蒸発源18が配置されて
いる。蒸発源18内には、Nl にッケル)、Co (
コバルト)、Fe (鉄)又はガーネット型磁性体等の
磁性拐料2が収容されている。
そして、冷却キャン14の下方に目−1冷却キヤン14
と蒸発源18との対向域に開【−1を有するスクリーン
17が設置されている。従つ”C1磁性材料2が蒸発源
18から抵抗加熱法、高周波肋導加熱法又は可、子ビー
ム加熱法等によυ加熱されて気化すると、その蒸発原子
(又は分子)3はスクリーン17の開口を通過して冷却
キャーン14の下端部に転動しているフィルム1に付着
する。そして、フィルム1に付着した蒸発原子(又は分
子)3はフィルムJ上で再結晶化して磁性層が形成され
る。而して、フィルム1は蒸発源18からの輻射熱又は
蒸発原子の潜熱によシ熱損傷を受けてシワが発生し、蒸
発原子の再結晶薄膜化によυ磁性層が収縮してカールが
発生する。
次に、磁性層が形成されたフィルム1を加熱処理して、
そのカール・シワを除去する工程について説明する。第
2図はフィルム1がリール16(第1図参照)側に巻き
取られてコイル状に形成されたフィルムロール20の模
式図である。蒸発源18により蒸着処理されたフィルム
1は一定の張力が付与された状態で巻取リール16側の
ハブ21に巻き取られる。また、ロール20のフィルム
終端は端止めテープ22によシロール20の周面に固定
されている。このように、ロール20のフィルム1には
、薄膜形成時のフィルム張力と略々等しい均一な張力が
その全長に亘って付与されているから、ロール20を加
熱槽(図示せず)に装入し5、ロール20全体を□熱・
処1理・′するととにより、l持別の張力付与手段を設
けることなくフィルム1を加熱処理することができる。
仁の加熱処理における熱処理条件の1例を第3図に、横
軸に時間をとシ、また縦軸に加熱槽の槽内温度をとって
示す。先ず、コイル状のフィルムロール20を加熱槽に
装入し、その槽内温度を一昇温速度b 、/$1 tで
昇温させ、−・日、フィルム1の熱収縮が生ずる温度よ
シ若干低い未反応温度TIOに保持する。こilは、フ
ィルム1が熱収縮反応を開始する直前に、フィルム1の
温度を一定温度TIOに保持することにより、ロール2
0内のフィルム1の温度分布を均一化し、更に熱収縮反
応前と熱収縮反応時との温度差を減少させるためである
。ロール20全体が略々均一な温度に達した後、加熱槽
の槽内温度をフィルム1の熱収縮反応が徐々に生ずる熱
収縮反応温度(第1温度)T2Oに1で上昇させる。こ
の反応温度、T2Oへの加熱により、フィルム1のカー
ル・シワを除去する。次いで加熱槽を冷却速度b2/!
L2で冷却する。なお、この昇温速度す、/a、及び冷
却速度b2/lL2の絶対値は略曾同値になるように選
定するのが好ましい。これにより、ロール20かもカー
ルを容易且つ美麗に除去することができ、ロール20の
冷却の際にシワを発生させることもない。オだ、加熱冷
却速度及び加熱温度等の最適熱処理条件は、使用するベ
ースフィルムの材質、磁性材料の種類及び磁性層の層厚
等により適宜変更すべきものである。更に、フィルム1
に加える張力が過少であるとシワ又はカールを除去する
ことはできず、一方張力が過大であるとフィルム1を不
必要に伸ばしてしまうため、フィルム−1に加えるべき
張力は適切に設定する必要がある。この加熱処理時のフ
ィルム張力は、蒸着膜形成時のフィル張力と略々同一と
すれば上記のような問題は生じない。
本発明方法においては、上述の如くフィルム1を加熱処
理した後、加熱処理における加熱温度(第1温度)よシ
低温の第2温度にて再加熱処理する。この再加熱処理は
、例えば以下の如くして行う。先ず、加熱処理したロー
ル20を一旦巻きtlどき、フィルム1に蒸着処理時の
張力と略々同一の張力を付与しつつ再度コイル状に巻回
してロール20(第2図参照)を形成する。次いで、ロ
ール20を加熱処理用に使用した加熱槽に装入し、槽内
温度を前記第1温度より低温の第2温度に上昇させる。
そ(7て、槽内温度を所定時間だけ第2温度に保持1−
た後、下降させてロール20を冷却する。なお、この場
合に昇温速度及び冷却速度を略々同一にするのが好まし
いが、フィルム1の拐質及びフィルム1上の磁性材料の
種類等に応じて、加熱温度(第2温度)、昇温速度及び
冷却速度等の熱処理条件を適宜設定する。
而して、加熱処理後のベースフィルム・1にはカール・
シワを除去するための熱収縮が局所的に生じておシ、こ
の熱収縮量が不均一であるため、ベースフィルム1上の
磁性層に局所的な熱歪(熱応力)が生じていると考えら
れる。ところが、本発明の如く、加熱処理後に再加熱処
理を施すことによ勺、ベースフィルム1の不均一な熱収
縮による磁性層の内部応力が消失せしめられ、磁気特性
が均一となって磁気データとしての出力変動が抑制され
る。
上述の如くシ工、ベースフィルム1上に磁性層を蒸着形
成した後、加熱処理及び再加熱処理を施してカール・シ
フを除去し磁性層の局所的熱歪を除去した磁抵記録フィ
ルムは、その幅方向に複数個に切断され、所定幅の磁気
データ製品に加工される。
上記実施例においては、加熱処理及び再加熱処理を、加
熱槽にフィルム1がコイル状に券面されたロール201
e装入して行うこととしたが、この加熱処理又は再加熱
処理子以下に示す如き装置、にて行うことも可能である
。第4図はヒータ3x、32の中間にフィルムIf非接
触的に、走行させることにより、フィルム1を加熱スる
装置の模式図である。蒸着処理後又は加熱処理後のロー
ル33は送出リール34に設置される。
そして、−ロール33から巻きtlどかれたフィルム1
はガイドローラ35 、36 、 、? 7 、31J
にその走行軌跡を規制されて巻取リール39に送出され
、リール39に巻き取られる。而して、ガイドローラ3
6及び37の中間ケ二は、フィル゛ム1の通過域の上下
に適長間隔を卦いてヒータ3ノ及び32が配設されてお
り、リール34゜39に設けられたテンシ、ンサーボ機
構等によシ、フィルム1に所定の張力を付与12つつ、
ヒータ3ノ及び32の加熱によりフィルム1に所定の熱
処理を施すことができる。第5図に模式的に示す装置は
、ガイドローラ36及び37間に2対のヒータJ 1 
a e J 2 a i!;′31 b e 32bを
設置したものである。このようにフィル1.10走行方
向にヒータを2対又は3対以上設置することKよル、フ
ィルム1に対する熱処理条件の設定自由度が大となシ、
フィルムIの平坦度及び磁気特性を一層向上させること
ができる。
第6図はフィルム1を熱ロール4ノに一転動接触させる
ことによりフィルム1に所定の熱処理を施す装置の模式
図である。熱ロール4ノはヒータ及び感温素子(いずれ
も図示せず)を内股してあシ、ロール41の表面温度は
常に所定の温度(前記第1温度又は第2温度)に保持さ
れるようになっている。そして、ロール42がリール4
3に設置され、ロール42から巻きはどかれたフィルム
1けガイドローラ44(熱ロール41及びガイドローラ
45に巻き掛けられてリール46に送出され、リール4
6に巻取られる。
この過程で、フィルム1は熱ロール4111C転勤接触
し、所定の温度に加熱される。
次に、本発明方法の効果について説明する。
第7図(a) 、 (b)及び第8図(、) 、 (b
)はいずれも磁気テープの出力特性であシ、周波数50
00Hz 。
−5dBで自己録音・古手したデータである。いずれも
ベースフィルムは64μm厚のポリエステルフィルムで
あり、このフィルム上にコバルト合金からなる磁性層を
約28001厚に蒸着形成しである。第7図(b)、第
8図(b)はフィルム上に磁性層を蒸着形成した後、熱
ローラ(第6図参照)にて、加熱温度130℃、フィル
1・走行速度5w分の熱処理条件で加熱処理したフィル
ムから製造された磁気データについでの出力特性である
。また、第47図(8)は加熱処理後のフィル1・を加
熱槽に装入し、常温から120℃まで2時間で昇温させ
た後、120℃に2時間保持し、次いで常温まで2時間
で冷却して再加熱処理し7たフィルムから製造された磁
気データについてのLl、1力特性である。更に、第8
図(、)は加熱処理後、熱ローラにて、加熱温度120
℃、フィル1・走行速度6m/分の熱処理条件で再加熱
処理したフィルムから製造された磁気データ0VLつい
での出力特性である。図から明らかな如く、加熱処理を
してフィルムのカール・シワを除去しただけのもの(第
7図(b)、第8図(b))は、約0.5dBの小さな
ピッチの出力ムラと1分車υ2〜3回の割合で生ずる大
ピツチの出力ムラとが存在Jる。これに対し、再加熱処
理を伺加したもの(第7図(IL) 、第8図(a))
は、1」力変mlが極めて小さく、再加熱処理によシ出
力変動が著しく低下することがわかる。
以上詳細に説明した如く、本発明は磁性層が形成された
フィルJ・を加熱処理した後再加熱処理するものである
から、フィルムのカール・シワが除去されると共に、磁
性層の熱歪が除去され、出力変動が極めて小さく均一な
磁気特性を示す磁気記録フィルムを製造することができ
る。
また、再加熱処理は加熱処理に使用した装置を使用する
ことができるので、再加熱用の特別の装置は不要であり
、加熱温度等の熱処理条件を変更設定するだけで賓易に
再加熱処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は巻取型真空蒸着装置の模式図、第2図はフィル
ムロール20の模式図、第3図は熱処理条件の1例を示
すグラフ、第4図及び第5図はヒータによる熱処理装置
の模式図、第6図は熱ロールによる熱処理装置の模式図
、第7図(ハ) 、 (b)及び第8図(、) 、 (
b)は本発明の効果を示すグラフである。 1・・・フィルム、2・・・7A発源、12・・・テン
ションローラ、14・・・冷却キャン、20 、33.
42・・・ロール、31 、 、? 2 、31^13
2FI、31b+32b・・・ヒータ、4ノ・・・熱ツ
ール。 出願人代理人  弁理士 鈴 江 武 彦+1J   
      Iコ        2υ   (hr、
)第 4 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)磁性層が形成されたフィルムに所定の張力を付与
    しつつ熱収縮が生じる所定の第1温度まで加熱した後冷
    却する加熱処理を施し、次いで前記第1温度よシ低温の
    第2温度に加熱した後冷却する再加熱処理を施すことを
    特徴とする磁気記録フィルムの製造方法1゜
JP57134884A 1982-08-02 1982-08-02 磁気記録フイルムの製造方法 Pending JPS5924449A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57134884A JPS5924449A (ja) 1982-08-02 1982-08-02 磁気記録フイルムの製造方法
US06/516,943 US4446170A (en) 1982-08-02 1983-07-25 Method of manufacturing a magnetic recording film of a thin metallic film type

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57134884A JPS5924449A (ja) 1982-08-02 1982-08-02 磁気記録フイルムの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5924449A true JPS5924449A (ja) 1984-02-08

Family

ID=15138754

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57134884A Pending JPS5924449A (ja) 1982-08-02 1982-08-02 磁気記録フイルムの製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4446170A (ja)
JP (1) JPS5924449A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60217521A (ja) * 1984-04-12 1985-10-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体の製造方法
JPS61278032A (ja) * 1985-05-31 1986-12-08 Hitachi Maxell Ltd 磁気記録媒体の製造方法およびその装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6262433A (ja) * 1985-09-13 1987-03-19 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気記録媒体の製造方法
US5236790A (en) * 1989-03-31 1993-08-17 Ampex Systems Corporation Restored magnetic recording media and method of producing same
US5288541A (en) * 1991-10-17 1994-02-22 International Business Machines Corporation Method for metallizing through holes in thin film substrates, and resulting devices

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60217521A (ja) * 1984-04-12 1985-10-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体の製造方法
JPS61278032A (ja) * 1985-05-31 1986-12-08 Hitachi Maxell Ltd 磁気記録媒体の製造方法およびその装置

Also Published As

Publication number Publication date
US4446170A (en) 1984-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4489124A (en) Process for forming thin film, heat treatment process of thin film sheet, and heat treatment apparatus therefor
JPS5924449A (ja) 磁気記録フイルムの製造方法
JPH01149223A (ja) 磁気記録媒体のカール修正装置
US4999220A (en) Method for manufacturing perpendicular magnetic recording medium
JP2827218B2 (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS62127229A (ja) フイルムの熱処理方法
JPS63845B2 (ja)
JPS62209730A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPH052731A (ja) 垂直磁気記録媒体
JPS60111345A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS59167832A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPH103663A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS5898844A (ja) 磁気記録媒体の製造法
JPS5826317A (ja) 金属薄膜型磁気記録媒体の生産方法
JPS61163272A (ja) 薄膜の製造方法及び該方法に使用する装置
JPS60133546A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPH03266219A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS60150237A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS59165410A (ja) 強磁性薄膜形成装置
JPS61242332A (ja) 垂直磁気記録媒体の製造装置
JPS6174828A (ja) フイルムの熱処理方法
JPS58115634A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS60147933A (ja) 磁気記録媒体製造装置
JPS63109167A (ja) 金属薄膜の製造装置
JPS6132219A (ja) 垂直磁気記録媒体の製造方法