JPS59129481A - 発光受光装置 - Google Patents

発光受光装置

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JPS59129481A
JPS59129481A JP58004085A JP408583A JPS59129481A JP S59129481 A JPS59129481 A JP S59129481A JP 58004085 A JP58004085 A JP 58004085A JP 408583 A JP408583 A JP 408583A JP S59129481 A JPS59129481 A JP S59129481A
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emitting
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transistors
pair
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Michihiko Arai
新井 亨彦
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Oki Electric Industry Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/12Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof structurally associated with, e.g. formed in or on a common substrate with, one or more electric light sources, e.g. electroluminescent light sources, and electrically or optically coupled thereto

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  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) この発明は5発光受元トランジスタを利用し。
内部記憶セルおよび外部との情報信号の交換や制御をも
行わせる発光受光装置に関する。
(従来技術) 従来1元学的記憶装置は光デイスク装置に見られるごと
く機械的操作が入るため、情報の書き込み、読み出し速
度が遅い欠点を有していた。
また、半導体レーザを用いたメモリの提案があり、超高
速のメモリ装置が可能と考えられてrるが、その装置構
成において製作上極めて精密な加工を必要とし、また、
その使用上の制御性も極めて困難を伴うことが予想され
ているなどの欠点を有していた。
さらに* I)npn型負性抵抗発元発光素子を用いた
ものが考えられたが、その特性の制御使用法の困難性な
どに幾つかの欠点を有してrた。
(発明の目的) この発明は、これら従来の欠点を除去するためになされ
たもので、簡易に構成でき、制御性に優れ、使用条件範
囲が広く、安定な動作を有し、外部電気信号により容易
に制御できかつ内部的に光学的信号と操作を利用できる
発光受光装置を提供することを目的とする。
(発明の構成) この発明の発光受光装置は、外部電気制御信号および受
光光線により第1の1対の発光受光トランジスタをオン
、オフさせて2値の状態で記憶。
読み出し操作を行なう記憶セルを楊成し、この第1の1
対の発光受光トランジスタの発光光線および相対的バイ
アス電位の変fヒに応じて第2の1対の発光受光トラン
ジスタをオン、オフさせて記憶セルの読み出し、書き込
み操作を行なう各発光受光トランジスタの発光光線を導
光路により伝達するようにしたものである。
(実施例) 以下、この発明の発光受光装置の実施例について図面に
基づき説明する。第1図はその第1の実施例の模式図で
ある。その構成は電気的要素と光学的要素を共に含んで
いる。図中Q1〜Q4 は発光受光トランジスタであり
、化合物半導体たとえばGaAs、 AlGaAs、 
InP、 InGaAsP  などm−v族化合物半導
体で作られており、電気的には通常の/<イボーラトラ
ンジスタと同様な電流増巾作用を有しており5元学的に
は広い波長範囲に亘る受光感度をもつ充電変換機能を有
し、かつ比較的狭い波長範囲の発光をする電流光変換機
能を有するトランジスタである。また大電流を通電する
とベース領域付近でレーザ発光をする場合もある。
この第1図の電気回路はフリップフロップ回路を記憶セ
ルとして構成しである。したがってこの回路は電気的に
は通常行われている変形もある。
また* Al * As * Asはコレクタ側バイア
ス端子、A2 * A4 + Asはエミッタ側バイア
ス端子b Bl + B2はベース側バイアス端子であ
る。
コレクタ側バイアス端子A+ + At I As I
 A8  はそれぞれ横力向の他のセルとの共通線W+
 、 Wz +Ws 、 W4 (語選択線)で接続結
線されている。この共通fRW+ 、 %  け伺れか
一方か両方を同時に用いてよく、−!た。共通線Ws 
+ W4  は共通としてもよく、さらに共通線画とも
共通としてもよい。
エミッタ側バイアス端子A4 * As は読み出しお
よび書き込み用のデジットa(ビット線) D+ 、D
+に接続されていて縦方向の他のセルと共通に連結され
ている。
ベース側バイアスR1、B2  端子は縦方向の共通線
D2 、1)、  IL接続されているが、横方向の共
通線と接続してもよい。
R1−八 け電気抵抗であって、それぞれ発光受光トラ
ンジスタQ+ −Q4の電気的および光学的動作条件を
決定するためのものである。さらに他の抵抗やダイオー
ドやトランジスタを付加した回路変形は簡易化のため省
略する。
ペース側バイアス端子B1は抵抗RIk介して発光受光
トランジスタQ3のベースに接続されている。
この発光受光トランジスタQ3のコレクタは抵抗R3を
介してコレクタ側バイアス端l子A3に接続されている
。また、エミッタはエミッタ側/櫂イアス端子A4に接
続されている。
同様にして、ベース側バイアス端子11hは抵抗島を通
して発光受光トランジスタQ4のベースに接続されてい
る。この発光受光トランジスタQ4のコレクタは抵抗R
4を介してコレクタ側バイアス端子Asに接続され、そ
のエミッタは工ずツタ側バイアス端子んに接続されてい
る。
また、発光受光トランジスタQ+ 、 Q2 はフリツ
ブフロ71回路の主体をなすものである。発光受光トラ
ンジスタQ+のベースは発光受光トランジスタQ2のコ
レクタに接続され5発光受元トランジスタQ!のベース
は発光受光トランジスタQ1のコレクタに接続されてい
る。
両発光受元トランジスタQ+、(b  のコレクタはそ
れぞれ抵抗R1,&を通してコレクタ側バイアス端子A
Iに接続されている。両発光受光トランジスタQ+ 、
 Q雪  の工ばツタはエミッタ側/(イアス端子んに
接続されている。
一方、 F+ 、Fa 、Fs 、Fa は導光路(フ
ァイノく)で、たとえば5光学ガラスや透明樹脂などで
構戊される。
導光路F1は発光受光トランジスタQ1とG3の尤の導
入捷たけ射出部32.34(ともに第3図参照)に対向
じている。
害元路ド2は発光受光トランジスタQt 、 G4の元
の導入丑たは射出部33 、35 (ともに第3図参照
)に対向している。
導光路)3の一端は出力出射元口I+に対向しており、
他端は発光受光トランジスタQ3の尤の導入または射出
部34に対向している。
さらに、44元路F3の一端は出力出射元口■2に対向
している。この導光路F’aの他端は発光受光トランジ
スタQ4の元の導入または射出部35に対向している。
導光路F3とF2にはそれぞれ光学フィルタG1゜缶が
設けられている。この光学フィルタG1. G2はある
波長領域のみ低減衰量で通過させ、他の波′長領域では
高減衰量で通過を阻止するものであり。
干渉フィルタや回折格子や光学ガラスフィルタなどで実
現可能のものである。
なお、Cは発光受光トランジスタQ1. G2.Qs。
94間を互に光学的に絶縁分離させるための遮光部で、
たとえば光学的吸収材、たとえば黒色樹脂や液体、粉末
、黒色固体などの絶縁体で構成し得るものである。また
、光学フィルタG+ 、 Gz は不可欠なものではな
い。
次に、以上のように構成されたこの発明の発光受光装置
の動作について説明する。発光受光トランジスタQ+、
(hから発光した元はそれぞれ導光路F1.F2から発
光受光 トランジスタQs、Q4へ入射し、デジット線
D+ 、Dtを通る受光電流として検出される。
また、同時にその受光電流にしたがって発光受光トラン
ジスターI G4が発光もするので、導光路Fg * 
F4 b光学フィルタGs 、 Gs ’e通って出力
出射元口L 、 h より出射光としても検出可能であ
る。
発光受光トランジスタQ1〜Q4からの発光する波長は
必ずしも同一の波長である必要はなく、異なる波長であ
ることを利用する場合もある。
第2図は第1図の回路動作を時系列的に示したものの一
例である。この例では共通線W+ 、Ws 。
W4はほぼ同一の正電位に固定されているものとし、ベ
ース側バイアス端子B1.B2もt1ホ同一の正電位に
あるものと仮定している。
したがって、この回路動作は共通線W2.書き込み用デ
ジット線D1.D、が接続されている工ずツタ側バイア
ス端子A2 、 A4 * Aa  の電位によってほ
ぼ決定する。
定常状態の記憶状態ではエミッタ側バイアス端子A2の
電位をコレクタ側バイアス端子へ1の電位より僅かに低
くしておく。そのとき、これらの端子に接続されている
発光受光トランジスタQ1.Q2けクリップフロップ回
路を構成しているので、その何れか一方がオン、他方が
オフの状態になる。
いま、発光受光トランジスタQ1がオン(発光状態)5
発光受元トランジスタQ2がオフ(消光状態)にあるも
のとする。第2図中の横軸は時刻を示し。
1o−1,の時間中t!〜t1は記憶状態の読み出しh
  t3〜t4の時間帯に書き込み動作を行なうものと
する。
縦軸はそれぞれの端子の相対電位を示している。
第2図(al〜第2図(clは読み出し操作を行なうた
めの相対電位の時系列、第2図(dl〜第2図telは
書き込みの相対電位の時系列を示している。
読み出し時(1>〜t!間)は工ずツタ側バイアス端子
A2の電位をコレクタ側バイアス端子A1の電位より充
分低くして、発光受光トランジスタQ1に大きな電流を
流し発光強度を大とし、同時にエミッタ側バイアス端子
A41A11の電位をベース側バイアス端子n1.山の
電位より僅かに下げた状態にして。
発光受光トランジスタQs、Qa′tl−遮断にやや近
い状態にしておく。
これによって5発光受元トランジスタQ1より発した元
を導光路F+を通して発光受光トランジスタQ3で受光
し書き込み用デジット線D1に受光電流として増巾検出
する。
同時に、発光受光トラ・ンジスタqはこの受光電流に応
じた発光音するので、導光路Ffi、光学フィルタG1
ヲ通して出力出射元口11より光検出を行うこともでき
る。
一方5発光受光トランジスタQ鵞は消光状態にあるので
、導光路F!を通しての元はない。したがって1発光受
光トランジスタQ4の受光電流、書き込ミ用ティジット
線bIの検出電流はないので、オフ状態の検出ができた
ことになる。
書き込み時(ts〜t4間)は工ばツタ側バイアス端子
へ鵞は記憶時同様、コレクタ側バイアス端子Alより僅
かに低い電位としておく、工ずツタ側バイアス端子A4
+A+1の電位はオン状態にしたい何れか一方の電位を
ベース側バイアス端子Brまたはベース側バイアス端子
B2より充分低くすることによって記憶状態を作れる。
この例では1発光受元トランジスタ(hをオフ状態に換
えるため、エミッタ側バイアス端子ムをベース側バイア
ス端子B2より充分低くして発光受光トランジスタQ4
を発光させ、導光路F1を通して発光受光トランジスタ
Q2に入射させ、この発光受光トランジスタQ2にオン
状態とさせ1発光受元トランジスタQ1がオフ状態とな
る。
発光受光トランジスタQ重がオン、発光受光トランジス
タQ2がオフの状態を論理の[月状態とし。
1 発光受光トランジスタQ1がオフ、発光受光トランジス
タQ2がオン状態のときを「0」状態に対応させれば、
前述の操作や状態は2値論理の機能状態を記憶し、読み
出し、書き込みの記憶と操作ができたことになる。第2
図(at〜第2図げ)はそれぞれこの状態を示している
ものであり%AI sAs @A4 sAs +B+、
fhはそれぞれ第1図の符号と対応し、その位置の電位
を示す。
以上の説明でわかるごとく、記憶状態やその読み出し、
書き込みはすべて端子間の相対電位によってきまるので
、たとえば工ばツタ側バイアス端子A!を固定し、コレ
クタ側バイアス端子AIを可変とすることや、同時に両
者を可変とすることや、あるいはまたエミッタ側バイア
ス端子A41A1.を固定としてベース側バイアス端子
811B2を可変とすることによって読み出し、書き込
み操作を行うこともできる。
ただし、ベース側バイアス端子Bt、Ihを変える場合
でも検出電流は書き込み用ディジット線DI 。
D+で行なう力が電流を多くとることができる。
2 これらの幾つかの組合せについては簡単化のために省略
する。
第3図は第1図の模式図に対応する具体的構成法の一実
施例の横断面図を示している。この構成例では抵抗R1
〜R4は外部接続として丞されていないが1本図中に示
されている絶縁性fヒ合物半嘴体基tllij19の内
部または上部の化合物半導体層11〜31中に不純物拡
散やイオン注入法などを用いて単一基板内に栴成し得る
また、純抵抗以外に等測的に抵抗であればよいのでトラ
ンジスタやダイオードなどを用いて代替えすることも可
能であるが1本質的要件ではないのでその具体例は簡略
化のため詳述を省いた。
図中の化合物半導体層11〜31は発光受光トランジス
タQl〜□Q4を構成している。絶縁性化合物半導体基
板19はたとえばGaAsやInPで作成されて、その
上に発光受光トランジスタQt −Q4 を同時に単一
基板上に構成している。
絶縁性化合物半導体基板19の上に各発光受光トランジ
スタQ+ −Q4のコレクタ部を構成する化合物半4体
層14.18.23.27.さらにその上にベース部と
なる化合物半導体層13 、17 。
22.26.工ぐツタ部をなすfヒ合物半導体層12゜
16.21,25.エミッタ電極を良好なオーミック接
続できるようにするためのコンタクト層としての化合物
半導体層11.15,20.24をエピタキシャルに成
長させている。
次に、ベース電極を上部より覗り出すためのベース層と
同じp (pnp )ランジスタの場合はn)形の不純
物を拡散法あるいはイオン注入法などを用いて変質させ
た層としての化合物半導体層28゜29.30.31を
ベース層としての化合物半導体層13.17.22.2
6まで形成させる。
その後、ニオツタ部の一部の化学的または物理的メサエ
ッチングにより取り除くか、あるいはイオン注入法など
を用いた絶縁化によりエミッタベース間の一部絶縁化と
ベース層への元の導入または射出部32.33.34.
35を形成する。
また、36.37の部分も発光受光トランジスタQrと
Qs、Qsと94間の元結合部を示す。したがつて、こ
の部分は単に真9や気体であってもよいが、望ましくけ
各入出力光の波長において透明であってかつでき得る限
り半導体や導光路に近い屈折率を有する樹脂や液体や固
体で構成されることである。
その後5発光受元トランジスタQ1〜Q4のコレクタ電
極を設けるためのエツチング、および発光受光トランジ
スタQ1〜Q4を互に電気的絶縁を行なうためのエツチ
ングを行なう。
その後、各層のオーぐツク電極を蒸着法、メッキ法、ン
ンタ法などを用いて付加する。
一般には、工ばツタ層としての化合物半導体層12.1
6.21.25はベース層としての化合物半導体層13
.1?、22.26より大きなエネルギギャップを有す
ることが望ましく、これによって工ばツタからの小数キ
ャリアの注入効率を向上させ得る。
たとえI−i、ベース層としてのfに合物牛導体層13
゜17.22.26がGaAsまたはInPで作られた
場合、エミツタ層としての化合物半導体層12゜16.
21.25にはそれぞれA/GaAsまたはInGaA
sP  などが用いられるなどである。
また、同時にこのように行なうと、ベース層で吸収され
るべき尤の波長に対してエミツタ層は光学的に透明にな
し得て、より充電変換効率を高めることが可能となる。
エミッタコンタクト層としての化合物半導体層11.1
5.20.24は本質的には不要であるが、エミツタ層
としての化合物半導体層12.16゜21.25に直接
オーミック電極がとり難い場合の補助的な層として用い
られるものである。
ベース層としての化合物半導体層13.17゜22.2
6の組成は一般には同一組成で同時に作成されるのが通
例であるが、入出゛刃元に対する波長特性を種々変更し
たい場合には異なるものとするよう罠作成させる。
これは、たとえば、選択エピタキシャル成長法を用いて
母材結晶の組成を変える方法や同一組成結晶を成長後不
純物を選択的に拡散あるいはイオン注入法を用いて変質
させることによって達成可5 能である。
また、このベース層は発光受光トランジスタQ!〜Q4
の電気的および・光学的特性に特に重要な作用を行なう
層であり、l1l−V族化合物半4体に対しては特に■
族元素を不純物として用いると特に望ましい特性が鷹々
得られる。
すなわち、少数キャリア拡散長が長く1発光あるlAは
受光の変換効率が高い特性が得られる。
さらに1図中Cの部分は発光受光トランジスタQl =
 Q4  および導光路F+−F’4間相互の光学的お
よび電極的絶縁を行なうための物質で、前述の材料によ
って構成されるものであV、第1図で述べた遮光部であ
る。これによって入出力間の分離と同時に各発光受光ト
ランジスタの誤動作を避けることが可能となる。
また5図中には導光路FI〜F4はすべて上部より取り
出す構造を示してρるが、絶縁性化合物半導体基板19
の下刃部に取り付けることも可能であること、あるいは
特にレーザ発光させる場合には横方向に出力取り出し用
の合尤路F1〜F4を取り付6 けることが望捷しい。
また、趣尤部Cけ半導体部の上部のみ付加しているが、
より完全な光学的遮蔽を行なうために下方部および横方
向部にも付加する方が望ましい。
なお5光学フィルタGl 、Gxは簡略化のため外部接
続として省略した。
第4図は第1図の構成例に対する部分的変形実施例の模
式図である。第4図(a)は第1図における発光受光ト
ランジスタQ1〜Q4の一部または全部をダーリントン
接続させることによって、より大なる増巾率と入力イン
ピーダンスを得る形式(Ql。
Qi)に変えた場合の実施例である。
オた、第4図(blは第1図における発光受光トランジ
スタのペースコレクタ間にダイオードDlヲ付加した場
合の他の実施例である。
このダイオードD1はショットキーバリアダイオードあ
るいけトランジスタのベースコレクタ間の順方向電圧降
下より小さい順方向電圧降下を有する通常のpn接合ダ
イオード、たとえばペースコレクタの構成材料より、よ
り小ざなエネルギギャッブを有する半導体材料を用いた
ダイオードで構成される。
これによって5発元受光トランジスタの過大なベース駆
動電流の流入がなくなり、過大な少数キャリア注入が減
少し、蓄積効果によるスイッチング時間遅れが著しく短
かぐなる利点を生ずる。
第4図(atと第4図(blとは互に独立の考え方を有
するものであり、したがって、これらは組み合わせて用
いてもよい。具体的な構成のための構造図は簡易化のた
めに省略する。
第5図および第6図は、第1図の実施例を変形した他の
実施例の模式図である。この実施例では。
第1図における発光受光トランジスタQ1.0.2で構
成されたフリップフロップ形記憶セル部のみ変形し、抵
抗R3をコレクタ部(第5図の場合)またけエミッタ部
(第6図の場合)に付加しただけのものである。他の部
分は第1図と同じものであるから簡略化して図示しであ
る。
このようにすることによって、高抵抗の抵抗R3を入れ
ると発光受光トランジスタQ+、(hが非飽和動作が可
能となり、第1図の場合の飽和形動作の場合より、より
高速化動作が可能となる。記憶動作および構成例は第1
図の場合と同様であるから省略する。
以上説明したように、上記各実施例においては発光受光
トランジスタの能動素子が電気的光学的に多機能な特性
を有するので、比較的簡単な回路で単純な構成により同
一基板上に多数個構成可能である。
また、電気的制御性も容易に得られる利点をも有すると
ともに、記憶セルと駆動回路とが光学的な入出力信号で
あるため電気的には他の回路と全く絶縁した状態で動作
可能であり、その独立性および制御性に大きな利点を有
する。
したがって、これらの装置は並列的および直列的接続も
可能であり、かつ同一平面上に多数個集積化できる。
また、前記各実施例はnpn形発元発光トランジスタを
用いた例のみが示されているがp’np形でも同様に構
成実施できることは容易に考えられるの9 で省略した。
(発明の効果) 以上のように、この発明の発光受光装置によれば、外部
電気制御信号および受光光線により第1の1対の発光受
光トランジスタをオン、オフさせて2値の状態で記憶、
読み出し操作を行なう記憶セルを構成し、この第1の1
対の発光受光トランジスタの発光光線および相対的バイ
アス電位の変化に応じて第2の1対の発光受光トランジ
スタをオン、オフさせて記憶セルの読み出し、書き込み
操作を行なうようにしたので、簡易にして多機能性かつ
制御性を有する光学釣元記憶回路装置としての機能を呈
することができる。これにともない他の光学的比較器や
遅延回路、ftS掃引回路、尤センサ、ディスプレイ回
路、混合、増巾、発振回路などの諸装置へ広範囲に応用
可能である。
【図面の簡単な説明】 第1図はこの発明の発光受光装置の一実施例の構成を示
す模式図、第2図(atないし第2図(flはそれぞれ
第1図の発光受光装置の動作を時系列的に0 示した図、第3図は第1図の発光受光装置の構造を示す
要部の横断面図、第4図(alはこの発明の発光受光装
置における発光受光トランジスタをダーリントン接続し
た場合の回路図、第4図(blはこの発明0発光受元装
置における発光受光トランジスタK(−のペースコレク
タ間にダイオードをクランプ接続した場合の回路図、第
5図および第6図はそれぞれこの発明の発光受光トラン
ジスタの他の実施例を示す模式図である。 Q1〜Q4.Qi−Qi・・・発光受光トランジスタ。 R1〜&・・・抵抗、C・・・遮元部、F1〜F4・・
・導光路。 G1.G2・・・光学フィルタ、Di・・・ダイオード
。 11〜31・・・化合物半導体層、19・・・絶縁性化
合物半導体基板、32〜35・・・尤の導入または射光
部、36.37・・・完結合部。 特許出願人 沖電気工業株式会社 手続補正書 昭和悶年1Q月19日 特許庁長官若 杉 和 夫殿 1、事件の表示 昭和58年 特 許 願第4085   号2、発明の
名称 発光受光装置 3、補正をする者 事件との関係    特 許  出願人(029)沖電
気工業株式会社 4、代理人 5、補正命令の日付  昭和  年  月  日 (自
発)6、補正の対象 明却j碧の発明の詳細な説明および図面の簡単な説明の
各欄 7、補正の内容 別紙の通り 7 補正の内容 1)明細書5頁16行rRIJを「R5」と訂正する。 2)同7頁11行「F3」を「F4」と訂正する。 3)同7頁15行「F2」を「F4」と訂正する。 4)同10頁2行r (e) Jをr (f) Jと訂
正する。 5)同22頁8行「トランジスタ」を「装置」と訂正す
る。 6)同22頁14行「射光」を「射出」と訂正する。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 外部電気制御信号および受元元線によりオン、オフして
    オン時に発光しかつオフ時に消光して2値の状態で記憶
    および読み出し機能を呈する記憶セルを構成する第1の
    1対の発光受光トランジスタと、この第1の1対の発光
    受光トランジスタの発光光線を伝達する第1の1対の導
    光路と、この第1の1対の導光路を通して伝達される上
    記発光yt、線によりそれぞれ個別に発光してこの発光
    51e線を受光電流として検出するとともにバイアス電
    位を相対的に変えてオン、オフさせて上記記憶セルへの
    読み出し書き込み操作を行なう第2の1対の発光受光ト
    ランジスタと、この第2の1対の発光受光トランジスタ
    の発光光線を外部に伝達する第2の1対の導光路と、上
    記各発光受光トランジスタとと本に一体的に形成されて
    各発光受光トランジスタを光学的に遮へいする遮光部と
    よりなる発光受光装置。
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