JPS5911262B2 - 高電圧発生装置 - Google Patents
高電圧発生装置Info
- Publication number
- JPS5911262B2 JPS5911262B2 JP3787278A JP3787278A JPS5911262B2 JP S5911262 B2 JPS5911262 B2 JP S5911262B2 JP 3787278 A JP3787278 A JP 3787278A JP 3787278 A JP3787278 A JP 3787278A JP S5911262 B2 JPS5911262 B2 JP S5911262B2
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- Japan
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- high voltage
- secondary winding
- core
- shield conductor
- voltage
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、高圧トランスと高圧整流回路とを備えた高電
圧発生装置の改良、特にその出力電流を正確に検出し得
る様に構成した高電圧発生装置に関する。
圧発生装置の改良、特にその出力電流を正確に検出し得
る様に構成した高電圧発生装置に関する。
先ず出力電流検出機能を備えた従来の高電圧発生装置を
第１図により説明すると、高圧トランス１はコア２に巻
装された１次巻線３と２次巻線４及びこれら巻線間に配
設されたシールド導体５を備え、２次巻線４の両端には
複数個のダイオード７とコンデンサ８とからなるコツク
クロフト・ウオルトン形の高圧整流回路６が接続されて
いる。
第１図により説明すると、高圧トランス１はコア２に巻
装された１次巻線３と２次巻線４及びこれら巻線間に配
設されたシールド導体５を備え、２次巻線４の両端には
複数個のダイオード７とコンデンサ８とからなるコツク
クロフト・ウオルトン形の高圧整流回路６が接続されて
いる。
そして該高圧整流回路６のアース側端子９と接地点１０
との間には出力電流検出用の抵抗１１が接続され、端子
９と抵抗１１との接続点から検出端子１２が導出されて
いる。尚、１３は高圧出力端子である。斯かる構成の従
来の高電圧発生装置においては、シールド導体５は１次
巻線３と２次巻線４間を静電的にシールドするために直
接接地点１０１０に接続され、同様にコア２もその電位
をアース電位に固定するために直接接地点１０、例えば
接地された金属製高電圧タンクに接続されている。しか
しこの様にコア２、シールド導体５のいずれもが導線に
よつて直接接地点１０に接続された構１５成にあつては
、出力電流により検出用抵抗１１の両端に生じる検出電
圧は、出力電流に正確に対応した電圧値とはならない。
即ち実際に生じる検出電圧は第２図に示すように、出力
電流に対応する直流電圧に交流電源の周波数の交流電圧
が重畳されたものであり、この検出電圧から直流分のみ
を取り出すには大容量のフィルタが必要となり、特に高
圧出力電流を定電流制御するような場合にはそのフィル
タの時間遅れが問題となり好ましくない。このように、
検出用抵抗１１に駆動周波数の交流電流が流れる理由は
次のように推定できる。即ち、高圧トランス１の２次巻
線４とコア２間、及び２次巻線４とシールド導体５間に
は図示するごとく分布容量Ｃｌ、Ｃ２が夫々存在するた
め、駆動交流電圧によつて、２次巻線４から分布容量９
０Ｃｌ及びＣ２、コア２及びシールド導体５、接地点１
０、検出用抵抗１１及び２次巻線４の閉路で交流電流が
流れるためと考えられる。本発明は、このような閉路で
交流電流が流れるのを防止し、検出抵抗１１には高圧出
力電流のみが流れるような回路を形成したことを特徴と
している。
との間には出力電流検出用の抵抗１１が接続され、端子
９と抵抗１１との接続点から検出端子１２が導出されて
いる。尚、１３は高圧出力端子である。斯かる構成の従
来の高電圧発生装置においては、シールド導体５は１次
巻線３と２次巻線４間を静電的にシールドするために直
接接地点１０１０に接続され、同様にコア２もその電位
をアース電位に固定するために直接接地点１０、例えば
接地された金属製高電圧タンクに接続されている。しか
しこの様にコア２、シールド導体５のいずれもが導線に
よつて直接接地点１０に接続された構１５成にあつては
、出力電流により検出用抵抗１１の両端に生じる検出電
圧は、出力電流に正確に対応した電圧値とはならない。
即ち実際に生じる検出電圧は第２図に示すように、出力
電流に対応する直流電圧に交流電源の周波数の交流電圧
が重畳されたものであり、この検出電圧から直流分のみ
を取り出すには大容量のフィルタが必要となり、特に高
圧出力電流を定電流制御するような場合にはそのフィル
タの時間遅れが問題となり好ましくない。このように、
検出用抵抗１１に駆動周波数の交流電流が流れる理由は
次のように推定できる。即ち、高圧トランス１の２次巻
線４とコア２間、及び２次巻線４とシールド導体５間に
は図示するごとく分布容量Ｃｌ、Ｃ２が夫々存在するた
め、駆動交流電圧によつて、２次巻線４から分布容量９
０Ｃｌ及びＣ２、コア２及びシールド導体５、接地点１
０、検出用抵抗１１及び２次巻線４の閉路で交流電流が
流れるためと考えられる。本発明は、このような閉路で
交流電流が流れるのを防止し、検出抵抗１１には高圧出
力電流のみが流れるような回路を形成したことを特徴と
している。
即ち本発明では第３図の実施例で示す如く、コア２及び
シールド導体５を接地点１０に直接゜り接続せず、高圧
整流回路６のアース側端子９に接続し、該端子９から検
出用抵抗１１を介して接地点１０に接続するようにした
ものである。
シールド導体５を接地点１０に直接゜り接続せず、高圧
整流回路６のアース側端子９に接続し、該端子９から検
出用抵抗１１を介して接地点１０に接続するようにした
ものである。
この結果、分布容量Ｃ１、Ｃ２によつてコア２及びシー
ルド導体５と２次巻線４との間に流れる交流電流は、２
次巻線４から分布容量Ｃ１及びＣ２→コア２及びシール
ド導体５→アース側端子９→２次巻線４の閉路を流れ、
検出用抵抗１１を流れないので検出用抵抗１１の両端の
検出電圧はほぼ完全な直流となる。従つて斯かる実施例
によれば装置のコストを高めることなく極めて正確に出
力電流を検出することが可能になる。
ルド導体５と２次巻線４との間に流れる交流電流は、２
次巻線４から分布容量Ｃ１及びＣ２→コア２及びシール
ド導体５→アース側端子９→２次巻線４の閉路を流れ、
検出用抵抗１１を流れないので検出用抵抗１１の両端の
検出電圧はほぼ完全な直流となる。従つて斯かる実施例
によれば装置のコストを高めることなく極めて正確に出
力電流を検出することが可能になる。
また第４図に示す実施例は、高圧整流回路６として、ｎ
個の２次巻線４ａ〜４ｎの夫々に２組のダイオード７と
２組のキヤパシタ８とを接続してなる倍電圧回路をｎ段
カスケード接続した両波倍重圧カスケード形整流回路を
採用し、上記実施例の様にシールド導体５を検出用抵抗
１１を介して接地点１０に接続すると共に、更に高圧ト
ランス１を囲むようにトランスシールド導体１４を設け
てこれをも検出用抵抗１１を介して接地点１０に接続し
ていることにより、検出用抵抗１１を流れる交流電流を
極めて小さく出来、出力電流を更に正確に検出すること
が可能になる。
個の２次巻線４ａ〜４ｎの夫々に２組のダイオード７と
２組のキヤパシタ８とを接続してなる倍電圧回路をｎ段
カスケード接続した両波倍重圧カスケード形整流回路を
採用し、上記実施例の様にシールド導体５を検出用抵抗
１１を介して接地点１０に接続すると共に、更に高圧ト
ランス１を囲むようにトランスシールド導体１４を設け
てこれをも検出用抵抗１１を介して接地点１０に接続し
ていることにより、検出用抵抗１１を流れる交流電流を
極めて小さく出来、出力電流を更に正確に検出すること
が可能になる。
なお上記コア、シールド導体、トランスシールド導体の
いずれか１つのみを高圧整流回路のアース端子側点に接
続するだけでも、従来に比べて検出用抵抗を流れる交流
電流を大幅に減少させることができることは明らかであ
ろう。
いずれか１つのみを高圧整流回路のアース端子側点に接
続するだけでも、従来に比べて検出用抵抗を流れる交流
電流を大幅に減少させることができることは明らかであ
ろう。
以上述べた様に本発明によれば、コア、１次、２次巻線
間を静電シールドするためのシールド導体、トランスシ
ールド導体の内の少くとも１個を出力電流検出用抵抗を
介して接地点に接続しているので、該検出用抵抗を通流
する交流電流を著しく低減することが出来、従つて出力
電流の検出精度を向上させることが出来る。
間を静電シールドするためのシールド導体、トランスシ
ールド導体の内の少くとも１個を出力電流検出用抵抗を
介して接地点に接続しているので、該検出用抵抗を通流
する交流電流を著しく低減することが出来、従つて出力
電流の検出精度を向上させることが出来る。
第１図は従来の高電圧発生装置を示す図、第２図は検出
用抵抗を流れる電流を説明するための図、第３図及び第
４図は夫々本発明に係る高電圧発生装置の別々の一実施
例を示す図である。 １・・・・・・高圧トランス、２・・・・・・コア、３
・・・・・・１次巻線、４・・・・・・２次巻線、５・
・・・・・シールド導体、６・・・・・・高圧整流回路
、１０・・・・・・接地点、１１・・・・・・検出用抵
抗、１２・・・・・・検出端子、１４・・・・・・トラ
ンスシールド導体。
用抵抗を流れる電流を説明するための図、第３図及び第
４図は夫々本発明に係る高電圧発生装置の別々の一実施
例を示す図である。 １・・・・・・高圧トランス、２・・・・・・コア、３
・・・・・・１次巻線、４・・・・・・２次巻線、５・
・・・・・シールド導体、６・・・・・・高圧整流回路
、１０・・・・・・接地点、１１・・・・・・検出用抵
抗、１２・・・・・・検出端子、１４・・・・・・トラ
ンスシールド導体。
Claims (1)
- １ コアと該コアに巻装された１次巻線と２次巻線とを
少くとも有する高圧トランス、上記２次巻線に接続され
た高圧整流回路及び該高圧整流回路と接地点との間に接
続された電流検出用抵抗とを備えた高電圧発生装置にお
いて、上記高圧トランスのコア、上記１次巻線と２次巻
線との間に配設されるシールド導体、上記高圧トランス
を囲むように配設されたトランスシールド導体の内の少
くともいずれかが上記電流検出用抵抗器を介して接地点
に接続されたことを特徴とする高電圧発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3787278A JPS5911262B2 (ja) | 1978-03-31 | 1978-03-31 | 高電圧発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3787278A JPS5911262B2 (ja) | 1978-03-31 | 1978-03-31 | 高電圧発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS552302A JPS552302A (en) | 1980-01-09 |
| JPS5911262B2 true JPS5911262B2 (ja) | 1984-03-14 |
Family
ID=12509615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3787278A Expired JPS5911262B2 (ja) | 1978-03-31 | 1978-03-31 | 高電圧発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5911262B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103475201A (zh) * | 2013-09-11 | 2013-12-25 | 昆山新金福精密电子有限公司 | 一种整流电路 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2552163B2 (ja) * | 1988-02-12 | 1996-11-06 | オリジン電気株式会社 | 高電圧浮動荷電回路を備えた直流高電圧発生装置 |
| JP5338171B2 (ja) * | 2008-07-22 | 2013-11-13 | 富士電機株式会社 | スイッチング電源 |
| US10546718B2 (en) | 2015-12-08 | 2020-01-28 | Hitachi High-Technologies Corporation | High voltage power supply device and charged particle beam device |
-
1978
- 1978-03-31 JP JP3787278A patent/JPS5911262B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103475201A (zh) * | 2013-09-11 | 2013-12-25 | 昆山新金福精密电子有限公司 | 一种整流电路 |
| CN103475201B (zh) * | 2013-09-11 | 2016-02-10 | 昆山新金福精密电子有限公司 | 一种整流电路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS552302A (en) | 1980-01-09 |
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