JPS59102572A - セラミツク薄肉部品の製造方法 - Google Patents
セラミツク薄肉部品の製造方法Info
- Publication number
- JPS59102572A JPS59102572A JP57208468A JP20846882A JPS59102572A JP S59102572 A JPS59102572 A JP S59102572A JP 57208468 A JP57208468 A JP 57208468A JP 20846882 A JP20846882 A JP 20846882A JP S59102572 A JPS59102572 A JP S59102572A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin
- ceramic
- ceramic part
- sintered body
- zig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/27—Work carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、セラミック薄肉部品の製造方法に関する。
（発明の技術的背景及びその問題点）
セラミック薄肉部品、例えば薄肉円筒を製造する場合、
従来から種々工夫がなされている。そのなかには焼結時
の変形を防ぐため円筒の成形体の中にダミーの焼結体を
設ける等の工夫がある。しかしながら内厚が１社以下で
あってかつ表面の粗さ、寸法精度において高度のものを
要求される部品に対しては、従来の技術では必ずしも充
分でなかった。
従来から種々工夫がなされている。そのなかには焼結時
の変形を防ぐため円筒の成形体の中にダミーの焼結体を
設ける等の工夫がある。しかしながら内厚が１社以下で
あってかつ表面の粗さ、寸法精度において高度のものを
要求される部品に対しては、従来の技術では必ずしも充
分でなかった。
（発明の目的）
本発明は、例えば肉厚が１ｕ以下の薄肉円筒であって、
所望の精度を有するものを得ることができる製造方法を
提供する。
所望の精度を有するものを得ることができる製造方法を
提供する。
（発明の概要）
本発明の製造方法は、セラミック焼結体を用意する工程
と、セラミック焼結体を金属治具に接着剤で接合する工
程と、接合されたセラミック焼結体を加工する工程とを
具備することを特徴とするＱ本発明方法の好ましい適用
としては薄肉のセラミック円筒体を得る方法がある。こ
の場合は、まず円筒形のセラミック焼結体を用意する。
と、セラミック焼結体を金属治具に接着剤で接合する工
程と、接合されたセラミック焼結体を加工する工程とを
具備することを特徴とするＱ本発明方法の好ましい適用
としては薄肉のセラミック円筒体を得る方法がある。こ
の場合は、まず円筒形のセラミック焼結体を用意する。
セラミ。
り焼結体の外周を粗加工し所定の寸法としたのち、この
寸法に対応する内径を有する金属治具に接着剤を介入し
て挿入し固定する０接着剤としてはワックスが好ましく
、加熱して軟化したものを用いて接合する。その後、金
属治具をチャ、キングして内周の加工を施こす。加工は
ダイヤモンド砥石による研削加工が好ましい。この加工
の後、セラミック焼結体を治具から取外す。要すれば、
セラミンク焼結体の内周に更に金属治具を設は外周を加
工することも精度向上の点で好ましい。
寸法に対応する内径を有する金属治具に接着剤を介入し
て挿入し固定する０接着剤としてはワックスが好ましく
、加熱して軟化したものを用いて接合する。その後、金
属治具をチャ、キングして内周の加工を施こす。加工は
ダイヤモンド砥石による研削加工が好ましい。この加工
の後、セラミック焼結体を治具から取外す。要すれば、
セラミンク焼結体の内周に更に金属治具を設は外周を加
工することも精度向上の点で好ましい。
本発明方法で得られるセラミック薄肉管は、例えば高温
度域で用いる磁気透過体として適用される。磁気透過体
としては薄い方がよい。しかしながら薄くすると高温に
耐えられずかつ強度が弱くなる。このような観点から磁
気透過体としては、炭化けり素、窒化けい素、窒化アル
ミニウム及び酸化ジルコニウムのいずれかを主体とする
もので形成することがよい。また、強度を考慮すると、
密度Ｖｉ９０％以上のものが適する。
度域で用いる磁気透過体として適用される。磁気透過体
としては薄い方がよい。しかしながら薄くすると高温に
耐えられずかつ強度が弱くなる。このような観点から磁
気透過体としては、炭化けり素、窒化けい素、窒化アル
ミニウム及び酸化ジルコニウムのいずれかを主体とする
もので形成することがよい。また、強度を考慮すると、
密度Ｖｉ９０％以上のものが適する。
セラミックの中で酸化ジルコニウムは、最も断熱性がよ
く断熱効果を要求するところに用いる、また窒化アルミ
ニウムは熱伝導性が最もよく熱伝導を必要とするところ
に用いる。
く断熱効果を要求するところに用いる、また窒化アルミ
ニウムは熱伝導性が最もよく熱伝導を必要とするところ
に用いる。
これらのセラミックは、焼結助剤（例えば窒化けい素で
あれば酸化イツトリウム、酸化マグネシウム等）ある腔
は安定化剤（例えば酸化ジルコニウムであれば酸化カル
シウム、酸化イツトリウム等）を含有させて焼成する。
あれば酸化イツトリウム、酸化マグネシウム等）ある腔
は安定化剤（例えば酸化ジルコニウムであれば酸化カル
シウム、酸化イツトリウム等）を含有させて焼成する。
（発明の実施例）
ＣａＯを定定化剤として添加した酸化ジルコニウムを円
筒状に成形し焼結して外径６０ｕ１内径４５朋、長さ１
１００ｔ の円筒を用意した。この円筒の外周をダイ
ヤモンド砥石により粗加工したのち、軟鋼でなる円筒状
の治具に挿入、固定する。この際円筒を加熱して外周面
にワックスを塗付しておく。この後、円筒の内周面を研
削加工して所定の寸法精度とする。円筒と金属治具との
間のワックスは、内周加工時には加工による衝撃を緩和
し加工中の損傷を防止する効果をも有する。内周加工後
、金属治具を取外し、ついで円筒内部に別の金属治具を
挿入して周部外周を研削加工して厚さ０．５社・表面粗
さ１．５８ の薄肉円筒体を得ることができた。
筒状に成形し焼結して外径６０ｕ１内径４５朋、長さ１
１００ｔ の円筒を用意した。この円筒の外周をダイ
ヤモンド砥石により粗加工したのち、軟鋼でなる円筒状
の治具に挿入、固定する。この際円筒を加熱して外周面
にワックスを塗付しておく。この後、円筒の内周面を研
削加工して所定の寸法精度とする。円筒と金属治具との
間のワックスは、内周加工時には加工による衝撃を緩和
し加工中の損傷を防止する効果をも有する。内周加工後
、金属治具を取外し、ついで円筒内部に別の金属治具を
挿入して周部外周を研削加工して厚さ０．５社・表面粗
さ１．５８ の薄肉円筒体を得ることができた。
つぎに、焼結助剤として酸化イツトリウム及び酸化アル
ミニウムを含む窒化けい素でなる薄肉円筒を上記に準じ
て製造したところ破損することな（加工を終了すること
ができた。
ミニウムを含む窒化けい素でなる薄肉円筒を上記に準じ
て製造したところ破損することな（加工を終了すること
ができた。
（発明の効果）
本発明方法によれば、肉厚の薄いセラミック部品を所定
の寸法精度に、かつ加工時に損傷することなく製造する
ことができる。
の寸法精度に、かつ加工時に損傷することなく製造する
ことができる。
代理人弁理士 則 近 憲 佑
（ほか１名）
Claims (4)
- （１） セラミック焼結体を用意する工程と、セラミ
ック焼結体を金属治具に接着剤で接合する工程と、接合
されたセラミック焼結体を加工する工程とを具備するセ
ラミック薄肉部品の製造方法。 - （２） セラミック焼結体は、筒体である特許請求の
範囲第１項に記載のセラミック薄肉部品の製造方法。 - （３）接着剤はワックスである特許請求の範囲第１項に
記載のセラミック薄肉部品の製造方法。 - （４）加工は、ダイヤモンド砥石による研削加工である
特許請求の範囲第１項に記載のセラミック薄肉部品の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57208468A JPS59102572A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | セラミツク薄肉部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57208468A JPS59102572A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | セラミツク薄肉部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59102572A true JPS59102572A (ja) | 1984-06-13 |
Family
ID=16556676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57208468A Pending JPS59102572A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | セラミツク薄肉部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59102572A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015036448A (ja) * | 2013-08-14 | 2015-02-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 円筒形セラミックス体の加工方法および円筒形スパッタリングターゲット |
| JP2016089181A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 円筒形ターゲット材とその製造方法、および、円筒形スパッタリングターゲットとその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5065975A (ja) * | 1973-10-17 | 1975-06-03 | ||
| JPS541473A (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Method of working extremely thin element |
-
1982
- 1982-11-30 JP JP57208468A patent/JPS59102572A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5065975A (ja) * | 1973-10-17 | 1975-06-03 | ||
| JPS541473A (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Method of working extremely thin element |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015036448A (ja) * | 2013-08-14 | 2015-02-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 円筒形セラミックス体の加工方法および円筒形スパッタリングターゲット |
| JP2016089181A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 円筒形ターゲット材とその製造方法、および、円筒形スパッタリングターゲットとその製造方法 |
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