JPS6216106A - 中空構造セラミツクスの製造方法 - Google Patents

中空構造セラミツクスの製造方法

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Publication number
JPS6216106A
JPS6216106A JP15537085A JP15537085A JPS6216106A JP S6216106 A JPS6216106 A JP S6216106A JP 15537085 A JP15537085 A JP 15537085A JP 15537085 A JP15537085 A JP 15537085A JP S6216106 A JPS6216106 A JP S6216106A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hollow structure
coated
ceramic
core
glass
Prior art date
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Pending
Application number
JP15537085A
Other languages
English (en)
Inventor
和明 栗原
悦郎 宇田川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS6216106A publication Critical patent/JPS6216106A/ja
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  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術の分野〕 本発明は熱間静水圧加圧(l1ot Isostati
cPressing)による中空構造セラミックスの製
造方法に関し、特に難焼結性の非酸化物系セラミックス
の焼結に適する。
〔発明の概要〕
製造しようとする中空構造セラミックスと同等以上の融
点を有するセラミックスからなる中子を窒化ほう素粉末
で被覆し、この被覆中子に中空構造セラミックス成形体
を外嵌し、このセラミックス成形体を窒化ほう素粉末で
被覆した後にガラスカプセルに内嵌して予備焼成し、さ
らにガラスカプセルを密封して熱間静水圧加圧して焼結
する。
〔従来技術と問題点〕
従来の熱間静水圧加圧法によるセラミックスの焼成方法
としては、ガラスバス法およびガラスカプセル法が知ら
れている。前者はセラミックス成形体をガラス粉末に埋
込み、加熱して形成される溶融ガラス浴中で加圧焼結し
、後者はセラミックス成形体をガラスカプセル内の窒化
ほう素粉末に埋込み、溶融ガラスカプセルによって密封
した状態で加圧焼結する。前者は焼結後に多量のガラス
を破砕して除去する困難があり、後者はガラスは少量で
あるが、高価な窒化ほう素粉末を多量に使用する必要が
ある。これらの方法は特に中空構造セラミックスの焼結
において、ガラス粉末や窒化ほう素粉末の充填密度を均
一化することが困難であって、収縮率のばらつきゃ変形
を生じゃすい問題点がある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点は、製造しようとする中空構造セラミックス
と同等以上の融点を有するセラミックスからなる中子l
を窒化ほう素粉末2で被覆し、この被覆中子2に中空構
造セラミックス成形体3を外嵌し、このセラミックス成
形体3を窒化ほう素粉末4で被覆した後にガラスカプセ
ル5に内嵌して予備焼成し、さらにガラスカプセル5を
密封して熱間静水圧加圧により焼結した後に、付着した
ガラスカプセル5を除去し、中子1を押出すことを特徴
とする、中空構造セラミックスの製造方法によって解決
することができる。
特にセラミックスが炭化けい素、窒化けい素、窒化アル
ミニウムなどの難焼結性の非酸化物系セラミックスであ
るときに、熱間゛静水圧加圧することが有利である。
[実施例〕 円柱形中子1は直径30龍、長さ20cmの炭化けい素
焼粘体であり、窒化ほう素粉末を懸濁させたアセトンを
中子1の側面にスプレーして厚さ1鶴の被覆層2を形成
した。
中空構造セラミックス成形体3は、炭化けい素粉束68
重量%、はう素粉床1重量%、グラファイト1重量%、
ポリビニルアルコール系バインダ30重量%からなるコ
ンパウンドを押出成形して、内径32龍、外径37龍、
長さ20ca+の円筒形成形体3とし、これを円柱形中
子lに外嵌し、さらに成形体3の表面をさきの被覆層2
と同様にして厚さl龍の窒化はう素粉末層4で被覆し、
これを内径39龍の円筒形石英ガラス製カプセル5に内
嵌した。
I X 10−2Torr以下に減圧し、昇温速度20
0 ’Ill: /hでカプセル5を800℃に予備焼
成して成形体3のバインダを飛散させ、一旦冷却した後
にカプセル5の開口部を石英ガラス粉末6で厚さ3鰭と
なるように被覆し、この上を石英ガラス円板7で蓋し、
ふたたび上記減圧下で1600”Cに加熱して石英ガラ
ス粉末を溶融させてガラスカプセル5を密封した。
、この密封カプセル5を200MPaの加圧下のアルゴ
ン雰囲気中で1900℃に加熱していわゆる熱間静水圧
加圧を行った。冷却後、ガラスカプセル5を割って、窒
化はう素粉末層4で被覆された円筒形炭化けい素焼粘体
3を取出し、次に窒化はう素粉末層2で被覆された中子
1を押出して除き、得られた焼結体3を表面研磨して製
品とした。
製品は寸法精度が外径±0.1 am、長さ20cmに
対して軸方向の歪みが0.2 mm以下であり、密度は
99%以上であった。
〔発明の効果〕
本発明によれば、熱間静水圧加圧において窒化ほう素粉
末の使用量が少ないのでコスト低減の効果があり、また
焼成時において収縮率のばらつきが少なく、かつ製品の
精度向上の効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はガラスカプセルに装入した中空構造セラミック
ス予備焼成成形体の断面図である。 1・・・中子、     2,4・・・窒化はう素粉末
層、3・・・予備焼成成形体、 5・・・ガラスカプセ
ル、6・・・ガラス粉末、    7・・・ガラス蓋。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、製造しようとする中空構造セラミックスと同等以上
    の融点を有するセラミックスからなる中子1を窒化ほう
    素粉末2で被覆し、この被覆中子2に中空構造セラミッ
    クス成形体3を外嵌し、このセラミックス成形体3を窒
    化ほう素粉末4で被覆した後にガラスカプセル5に内嵌
    して予備焼成し、さらにガラスカプセル5を密封して熱
    間静水圧加圧により焼結した後に、付着したガラスカプ
    セル5を除去し、中子1を押出すことを特徴とする、中
    空構造セラミックスの製造方法。 2、中空構造セラミックスが炭化けい素、窒化けい素お
    よび窒化アルミニウムを含む難焼結性の非酸化物系セラ
    ミックスからなる、特許請求の範囲第1項記載の方法。
JP15537085A 1985-07-15 1985-07-15 中空構造セラミツクスの製造方法 Pending JPS6216106A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0890352A2 (de) 1997-07-08 1999-01-13 KALTENBACH & VOIGT GmbH & Co. Ablage für ein ärtzliches Behandlungsinstrument, ärtzliches Behandlungswerkzeug oder einen Antriebsmotor
EP0890344A2 (de) 1997-07-08 1999-01-13 KALTENBACH & VOIGT GmbH & Co. Ärztliche Behandlungsvorrichtung

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0890352A2 (de) 1997-07-08 1999-01-13 KALTENBACH & VOIGT GmbH & Co. Ablage für ein ärtzliches Behandlungsinstrument, ärtzliches Behandlungswerkzeug oder einen Antriebsmotor
EP0890344A2 (de) 1997-07-08 1999-01-13 KALTENBACH & VOIGT GmbH & Co. Ärztliche Behandlungsvorrichtung

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