JPH03196857A - ノズルの製作方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、石英を材料とするノズル先端の小径穴加工
方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来この種の加工については、第３図に示すように、石
英ノズル１の先端に超音波にて捨て穴加工１ａを行い、
その後、治具研削盤に取付けたダイヤモンド砥石２で小
径穴加工を実施していたが、加工品質のバラツキと、加
工に長時間を費やしている。即ちこの際の石英ノズル１
の小径穴加工（φ０．３〜φ０．５）は捨て穴１ａにダ
イヤモンド砥石２を挿入して高速回転（１０，０００〜
２０．０００ｒｐｍ＞させ、数ミクロンの切削量で、上
下動及びダイヤモンド砥石２の偏心拡大を行い、小穴径
を徐々に指定の寸法まで大きくしていくものであった。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の加工方法では、数ミクロンでの切削が必要なため
、１個仕上げる時間に６．　ＯＨｒも要し、又加工時に
は、割れや欠けが発生することもあって、それを見込ん
だ材料の製作が必要であった。なお、完成品について検
査を行うと、石英ノズル１先端小穴径のバラツキ及び穴
加工のテーパ仕上りが発見されるなどの問題点があった
。

この発明は以上のような問題点を解決するためになされ
たもので、市販の鉛筆の芯を使用するという簡便な方法
にて精度の良い石英ノズルを得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るノズルの製作方法は、石英ノズルの小径
式成形用に鉛筆の芯を利用し、この部分を外部から加熱
して絞り成形するものである。

〔作用〕

この発明においては、鉛筆の芯を使用することで、石英
ノズルの小径穴加工に機械加工の工程をなくし、品質を
良くするとともに、作業時間の短縮が図れる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、石英ノズル１にあけた捨て穴１ａに鉛筆の
芯３を挿入し、その周りを水素炎４で加熱しながら、石
英ノズル１の逆方向Ａより真空引きを行う、それによっ
て、石英ノズル１先端内径は、鉛筆の芯３の外径まで絞
り成形される。

なお第２図は上述の方法で加工した石英ノズルの実用状
態を示しており、半導体製造工程における水素炎処理装
置の一部に使用される石英ノズルは、ＩＣフレーム５内
の樹脂表面の離型剤を水素炎４で除去するために用いら
れる。なおこの第２図の使用方法のほかにも高温処理の
必要な製品に幅広く使用できる。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、石英ノズルの品質精度
が大幅に向上し、本部品を使用する装置の信頼性も高く
なり、又製作価格も安価で、製作工期も大幅に短縮でき
る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２図は石
英ノズルの実用状態を示す斜視図、第３図は従来のこの
種のノズルの製作方法を示す断面図である。 図中、１は石英ノズル、ｌａは捨て穴、３は鉛筆の芯、
４は水素炎である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ノズル先端部の穴の加工において、ノズル先端の捨て
   穴に鉛筆の芯を挿入し、この挿入部分を外部から加熱し
   ながら、ノズルの逆方向から真空引きすることにより、
   絞り成形するようにしたことを特徴とするノズルの製作
   方法。