JPS589807A - 高純度ＳｉＣの製造法 - Google Patents
高純度ＳｉＣの製造法Info
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- JPS589807A JPS589807A JP56107949A JP10794981A JPS589807A JP S589807 A JPS589807 A JP S589807A JP 56107949 A JP56107949 A JP 56107949A JP 10794981 A JP10794981 A JP 10794981A JP S589807 A JPS589807 A JP S589807A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発＠社、８１０１看末と炭素着京を原料として高純度
の８ＩＯを製造すゐ方決に関する。
の８ＩＯを製造すゐ方決に関する。
高Ｎｊｌ１８１０の微粉は、焼結用原料−合成樹脂の充
填剤、金属工具の摩耗が発生し易い部分へのメツ命等の
荊用が期待１れており、８１＠Ｎ４と共に現在量も有望
視されている曽料である。
填剤、金属工具の摩耗が発生し易い部分へのメツ命等の
荊用が期待１れており、８１＠Ｎ４と共に現在量も有望
視されている曽料である。
従来、ＳｔＯの調法としては。
■ ケイ石（８１０ｍ）とコークス（０）を混合してア
チソン炉（抵抗炉）″ｅ加熱する方法。
チソン炉（抵抗炉）″ｅ加熱する方法。
■ ケイ石粉末と、ケイ石粉末に対し３倍電ル以上のカ
ーボンとを温合造粒し、アチソン炉又は、連続炉で加−
する方法。
ーボンとを温合造粒し、アチソン炉又は、連続炉で加−
する方法。
があり、ｖｈずれも次式に従って反応し、８１０が生成
する。
する。
８１０ｍ＋８０富８１０＋ｌＯＯ
とζろで、上記クイ頁中には１通常人ノｓ０島。
Ｐ＠ｓＯｓ勢の不純物が合計で１−近く含有されてｓＰ
す、これ箸不揮発性不純物が製品５１１０中に濃縮蓄積
され、８ＮＯの高純度化を妨げて一九。
す、これ箸不揮発性不純物が製品５１１０中に濃縮蓄積
され、８ＮＯの高純度化を妨げて一九。
本実Ｗ１４紘、８ｔＯ−と０とを用いて８１０化反応を
段階的に行なうむとによ＠、８１０ｓ中の不純物等をも
とのベレット中Ｅｌｌ留せしめ、毫一度８１０を展進す
ゐ方法ｅ黍ゐ。
段階的に行なうむとによ＠、８１０ｓ中の不純物等をも
とのベレット中Ｅｌｌ留せしめ、毫一度８１０を展進す
ゐ方法ｅ黍ゐ。
すなわち１本発明は８１０ｍ粉末と０粉末とを温合造粒
し、Ｆ−れに炭素粒状物を配合して造粒物の周■に介在
させ、これ等を非酸化性ｗ８気下で加熱するととにより
造粒物中の８１０ｓを０と反応させて、ＳｔＯ等からな
る気相のシリコン酸化物にして造粒物外に放出し、この
８ｉ０等を炭素粒状物と反応させて８ｉ０となし、造粒
物中には不純物を残留させ、この不純物が残留し、粉化
した造粒物を分離することにより、高純度８１０を製造
する方法である。
し、Ｆ−れに炭素粒状物を配合して造粒物の周■に介在
させ、これ等を非酸化性ｗ８気下で加熱するととにより
造粒物中の８１０ｓを０と反応させて、ＳｔＯ等からな
る気相のシリコン酸化物にして造粒物外に放出し、この
８ｉ０等を炭素粒状物と反応させて８ｉ０となし、造粒
物中には不純物を残留させ、この不純物が残留し、粉化
した造粒物を分離することにより、高純度８１０を製造
する方法である。
以下１本発明をさらに詳しく説明する。
原料８１０ｍ粉末は、通常ケイ石を粉砕して使用に供す
る。粒度は、造粒物の強度及び反応性を高める丸め細い
程よく、少なくとも７４μ以下にする必要がある。好ま
しくは４４μ以下である。
る。粒度は、造粒物の強度及び反応性を高める丸め細い
程よく、少なくとも７４μ以下にする必要がある。好ま
しくは４４μ以下である。
炭素粉末は１石油プークス、石炭；−クス、木炭等殆ど
の炭材が使用でき、粒度はケイ石ｔ＊と同様である。
の炭材が使用でき、粒度はケイ石ｔ＊と同様である。
勿論、上記ケイ石と炭材は、ｆＩｈ合粉砕してもよい。
粉砕機は、いずれの場合においてもポール建ル、振動建
ル、遠心ロールミル等が使用される。
ル、遠心ロールミル等が使用される。
混合粉末の造粒には、パンペレタイず−、マルメライず
−、ブリケットマシン等が使用され、その際、澱粉、Ｏ
ＭＯ，ＰＶ人、アラビャゴ五等の水溶液を一次結合剤と
して使用してもよい。造粒物の大きさは２〜１０１ＩＫ
の範囲で選ぶのが適当で−ある。この範囲内で、残留す
る不純物の分離を考慮して造粒物の周囲に配置される炭
素粒状物の大＊Ｓとの関連で選定することが望ましい。
−、ブリケットマシン等が使用され、その際、澱粉、Ｏ
ＭＯ，ＰＶ人、アラビャゴ五等の水溶液を一次結合剤と
して使用してもよい。造粒物の大きさは２〜１０１ＩＫ
の範囲で選ぶのが適当で−ある。この範囲内で、残留す
る不純物の分離を考慮して造粒物の周囲に配置される炭
素粒状物の大＊Ｓとの関連で選定することが望ましい。
もし径が２■〆以下どなると発生する００ガスの通気が
悪く平衡移動剤により反応が妨げられ、を九径が１０．
７１１以上だと造粒物内部での反応速度が遅くなり、さ
らに気相の８１０勢が放出しにくくなる。
悪く平衡移動剤により反応が妨げられ、を九径が１０．
７１１以上だと造粒物内部での反応速度が遅くなり、さ
らに気相の８１０勢が放出しにくくなる。
８１０ｇと０との混合割合は重要で、先ず下に示す第一
段の反応式（１）Ｋよって反応するので、５ｉｎｓと０
とを等七ル混合して造粒する。
段の反応式（１）Ｋよって反応するので、５ｉｎｓと０
とを等七ル混合して造粒する。
５ＩＯｓ＋０ｘ８１０＋ＯＯ−−−−−−−−−−−−
−−−（１）一般に８１０ｍと００反応は初めに８１０
ガス生成反応が起るとされており１本発明にシいてＢｌ
ｏｚ成分はＳｉＯを主体とする気相のシリコン酸化物（
以下８１０という）となって造粒物外に放出され
゛ると考えられる。上記造粒される０は、８１０ｍと
反応して８１０ｔ−発生し不純物は残留するので高純度
の必ＩＩがない。
−−−（１）一般に８１０ｍと００反応は初めに８１０
ガス生成反応が起るとされており１本発明にシいてＢｌ
ｏｚ成分はＳｉＯを主体とする気相のシリコン酸化物（
以下８１０という）となって造粒物外に放出され
゛ると考えられる。上記造粒される０は、８１０ｍと
反応して８１０ｔ−発生し不純物は残留するので高純度
の必ＩＩがない。
第一段階の反応（（１）式の反応）Ｋよって発生し九Ｓ
ＩＯは１反応式（２）Ｋ示す第二段階の反応によって、
単味００粒と反応して８ｉ０を生ずる。
ＩＯは１反応式（２）Ｋ示す第二段階の反応によって、
単味００粒と反応して８ｉ０を生ずる。
８１０＋２０冨８１０＋００ ・・・・・・・・・・
川−（２）この際、生成する８１０が高純度であるため
には。
川−（２）この際、生成する８１０が高純度であるため
には。
単味００粒は高純度であることが必要であｆＤ、かつ８
１０の吸収がよく反応性の大会いものが蓋宜しい、従っ
て炭素粒状物は、気孔率が高く１表面積が大会−ものが
よい、４体的には、木炭、活性炭等あるいは、カーボン
タラツク等の微粉炭を造粒□した−のが好運セある２比
＊１ｉｙ−で表わせば１００ゼ／１１以上のものが望重
し帆。反応性からは、゛黒鉛化度が低いものが′よい。
１０の吸収がよく反応性の大会いものが蓋宜しい、従っ
て炭素粒状物は、気孔率が高く１表面積が大会−ものが
よい、４体的には、木炭、活性炭等あるいは、カーボン
タラツク等の微粉炭を造粒□した−のが好運セある２比
＊１ｉｙ−で表わせば１００ゼ／１１以上のものが望重
し帆。反応性からは、゛黒鉛化度が低いものが′よい。
゛
反応は、炭素粒状物の表面から次第に内部Ｅ１％って進
行する。従って゛途φにおいて社粒状物、の表面が８４
０で覆われた状ｌｌ！が形威さ′れる。そして’ｓｉｏ
ガス’１６１Ｅ充分存在しておれば最後に紘殆んど全部
を’ｓｉｏとすることも可能と思われるが、夷ｌｌには
、 ＳｔＯガスの通気性の問題等により０は残留する。
行する。従って゛途φにおいて社粒状物、の表面が８４
０で覆われた状ｌｌ！が形威さ′れる。そして’ｓｉｏ
ガス’１６１Ｅ充分存在しておれば最後に紘殆んど全部
を’ｓｉｏとすることも可能と思われるが、夷ｌｌには
、 ＳｔＯガスの通気性の問題等により０は残留する。
炭素粒状物の中心部まで反応させようとするとＳＩＯガ
スが捕捉されない！、系外に逸散する分が生ずるので、
むしろ炭素粒状物は過１１に用いることが１ｉｔｔ、い
、 ＳｔＯと００分離は、例えば０を含有するＳｔＯを
空気中でＳＯＯ℃、３時間Ｓｔ保持することによって害
鳥に酸化除去できる。これ等のことから、炭素粒状物は
、 ８１０雪１モルに対して２〜５モルの範囲が適当で
ある。・ｓｔｏｗと００造粒物と、炭素粒状物は、均一
に分散させ、次にこれを加熱する。加熱装置としては、
特に＠定されるものでなく、非酸化性雰囲気で加熱でき
るものであればよい。原料中心部に発熱体を設け、その
周囲を加熱する、８１０１１造において用いられる所謂
アチソン炉方式によっても可能であるが、未反応原料ｉ
Ｉｘ残らないように外周風を反応させることが必要であ
る。未反応原料と生成物との分離が面倒となるからであ
る。４４ｍ１ｔしい加熱炉は、例えば黒鉛円筒反応容器
を縦にし、その外側に黒鉛発熱体を配置し、容器の上部
より原料を装入し、下部より生成物を取出す方式である
、これによれば連続化が可能である。この装置はシリカ
を原料とす、るβ−８１０の連続製造で全知のものを用
いることがで自る。発生する００ガスの回収、生成物導
出部の気密機構は常法に従って設けられる。
スが捕捉されない！、系外に逸散する分が生ずるので、
むしろ炭素粒状物は過１１に用いることが１ｉｔｔ、い
、 ＳｔＯと００分離は、例えば０を含有するＳｔＯを
空気中でＳＯＯ℃、３時間Ｓｔ保持することによって害
鳥に酸化除去できる。これ等のことから、炭素粒状物は
、 ８１０雪１モルに対して２〜５モルの範囲が適当で
ある。・ｓｔｏｗと００造粒物と、炭素粒状物は、均一
に分散させ、次にこれを加熱する。加熱装置としては、
特に＠定されるものでなく、非酸化性雰囲気で加熱でき
るものであればよい。原料中心部に発熱体を設け、その
周囲を加熱する、８１０１１造において用いられる所謂
アチソン炉方式によっても可能であるが、未反応原料ｉ
Ｉｘ残らないように外周風を反応させることが必要であ
る。未反応原料と生成物との分離が面倒となるからであ
る。４４ｍ１ｔしい加熱炉は、例えば黒鉛円筒反応容器
を縦にし、その外側に黒鉛発熱体を配置し、容器の上部
より原料を装入し、下部より生成物を取出す方式である
、これによれば連続化が可能である。この装置はシリカ
を原料とす、るβ−８１０の連続製造で全知のものを用
いることがで自る。発生する００ガスの回収、生成物導
出部の気密機構は常法に従って設けられる。
反応域は、００ガス等を含む非酸化性雰囲気であり、そ
の温度は１１！Ｇｏ℃以上である。１６００〜２０００
℃の範囲においては、／−８１０が主に生成し、 ２０
００℃以上では、α−４０が生成する。α−８ｉ０が生
成すると、１１品はプ謬ツク状に固まり。
の温度は１１！Ｇｏ℃以上である。１６００〜２０００
℃の範囲においては、／−８１０が主に生成し、 ２０
００℃以上では、α−４０が生成する。α−８ｉ０が生
成すると、１１品はプ謬ツク状に固まり。
自然落下が間離となる。９１つて連続式は、α−８１０
の製造に対しては不適轟である・８ＩＯは炭素粒状物の
表面から生成し、内ｌＩＩに進行すｉが、生成率に関係
なく生成物の大ＩＩさは、初めの炭素粒状物の大ＩＩさ
と同じであ、る、そし工、内部ＫＯを含んだ８１０粒状
物はかなり強固であ転取扱中Ｋ１１ｌｌれることがない
。この性質を利用して、８凰０を分離關収することが−
ｅ！ｌｌる。ケイ石造粒物は、８ｉ０ｓとｏ、６ｇ放出
され、壊れ粉化する一ＩＩｘ８ｉ０は初めに用いた嵐素
粒造物の大吉”１となっているので、粒度差によって容
易に分離することが出来る。
の製造に対しては不適轟である・８ＩＯは炭素粒状物の
表面から生成し、内ｌＩＩに進行すｉが、生成率に関係
なく生成物の大ＩＩさは、初めの炭素粒状物の大ＩＩさ
と同じであ、る、そし工、内部ＫＯを含んだ８１０粒状
物はかなり強固であ転取扱中Ｋ１１ｌｌれることがない
。この性質を利用して、８凰０を分離關収することが−
ｅ！ｌｌる。ケイ石造粒物は、８ｉ０ｓとｏ、６ｇ放出
され、壊れ粉化する一ＩＩｘ８ｉ０は初めに用いた嵐素
粒造物の大吉”１となっているので、粒度差によって容
易に分離することが出来る。
以上述べた如く本発明の方法は、第一段階Ｋかいて、８
ｉ０を発生せしめ、第二段階で発生し九８１０と高純度
の０とを反応せしめるので、高純度８１０を容易ｌＩｃ
ｌ１造出来るものである。
ｉ０を発生せしめ、第二段階で発生し九８１０と高純度
の０とを反応せしめるので、高純度８１０を容易ｌＩｃ
ｌ１造出来るものである。
以下実施例により具体的に説明する。
実施例１
４４μ以下に粉砕し九ケイ石粉と集塵コークスを等モル
比で混合し、コンスターチをバインダーとしてパｙペレ
タイず−で５諺ｌｉＫ混合造粒した。
比で混合し、コンスターチをバインダーとしてパｙペレ
タイず−で５諺ｌｉＫ混合造粒した。
次に高純度活性炭を３ｍＩＩＫ粒調整し、上記混合造粒
物中のシリカ１モルに対し２．５モルとなるように秤量
し、両者を十分混合した。
物中のシリカ１モルに対し２．５モルとなるように秤量
し、両者を十分混合した。
この混合物を竪形炉の炉頂よりツイードし、炉下部より
ベルトコンベアで生成物を抜出し九。ツイードした原料
は、閉塞１．スることなく自重により順次降下した０反
応条件は下記の如くである。
ベルトコンベアで生成物を抜出し九。ツイードした原料
は、閉塞１．スることなく自重により順次降下した０反
応条件は下記の如くである。
反応温度 １８００±２０℃
滞留時間 ３０分
発生し九〇〇ガスは、炉頂部で燃焼した。炉下部より出
番生成物中、上記混合ペレットは粉化し緑色を社してい
た。ま九単昧カーボン粒は、＊色を呈し元の形状を保持
していた。
番生成物中、上記混合ペレットは粉化し緑色を社してい
た。ま九単昧カーボン粒は、＊色を呈し元の形状を保持
していた。
これ等のＸ線解析を行なった。結果、緑色部分は、８１
０舅と／−８ｉ０の搗合物であり、ｗ色部分は、／−８
１０であつ九。
０舅と／−８ｉ０の搗合物であり、ｗ色部分は、／−８
１０であつ九。
上記黄色部分のβ−８１０をポールミルで１０時間粉砕
したとζろ、７０−がｌ電タロン以下になつ九。
したとζろ、７０−がｌ電タロン以下になつ九。
実−例２
ケイ石（純［９８％）及び木炭（固定炭素８７−）をｌ
−ル電ルで４４ｓ以下に粉砕し、０モルフ８１０ｓモル
ー１の割合で混合した。これＫＯＭＩＯ水Ｓ＊を加えて
パンペレタ゛イず−で４■〆に造粒した。鵞た４４１１
１以下の石油コークスをバインダーにＯＭＯを用い−て
パンベレタイプーを用いて８■ダに造粒した。
−ル電ルで４４ｓ以下に粉砕し、０モルフ８１０ｓモル
ー１の割合で混合した。これＫＯＭＩＯ水Ｓ＊を加えて
パンペレタ゛イず−で４■〆に造粒した。鵞た４４１１
１以下の石油コークスをバインダーにＯＭＯを用い−て
パンベレタイプーを用いて８■ダに造粒した。
次に上記造粒物中の８１０ｍ １モルに対し上記８■ダ
の炭材を２．ｓ４ルの割合で混合し、両者合せて５０時
を黒鉛ルツボに入れ蓋をして、ルツボの周囲も環元雰囲
として、ルツボの外側より加熱し。
の炭材を２．ｓ４ルの割合で混合し、両者合せて５０時
を黒鉛ルツボに入れ蓋をして、ルツボの周囲も環元雰囲
として、ルツボの外側より加熱し。
内容物を１８００’Ｃ１時間保持した。冷却４１に取出
した所縁色粉−とほぼ８■メの黄色粒が得られ、両者は
、容易に分離で＊＊＊ この黄色粒を粉砕した後、空気中で８００℃。
した所縁色粉−とほぼ８■メの黄色粒が得られ、両者は
、容易に分離で＊＊＊ この黄色粒を粉砕した後、空気中で８００℃。
１時間保持して、未反応の０を除去した。その結禾純度
９９．８〜９９．９１１１）／ −８１０１９ｋＪＩが
得られた。
９９．８〜９９．９１１１）／ −８１０１９ｋＪＩが
得られた。
出願人昭和電工株式会社
手続補正書、自釦
１． 事件の表示
昭和５６年特許願第１０７９４＋９号
２、発明の名称
高純度８ｉＣの製造法
３、 補正をする者
特許出願人
（Ｊ７０） ＠和亀工株式会社
４、代理人
（１） 第弘頁第６行、「関連で〜もし径」を「関連
でＳ〜／ｊ■Ｄ範−で選定することが望ましい。もし、
造粒物の径」と訂正する◎（幻 明細書ｎｓダ頁第２０
行〜−ｊ貞第１行、「不純物は〜必要がない。」とある
のを、「不純物は大部分残留するので、特に高純度の１
品を望む場合を除き、高純度り必要蝶ない＠しかし、ａ
ｔｓｍ度の不純物、例えばＮａｇ（ＬＫρ、ＭｇＯ，Ａ
ｊ鵞Ｏａ、ＴｉＯｓ等嬬混入すると考えられる０シリカ
粉末の不純物についても１一様である。
でＳ〜／ｊ■Ｄ範−で選定することが望ましい。もし、
造粒物の径」と訂正する◎（幻 明細書ｎｓダ頁第２０
行〜−ｊ貞第１行、「不純物は〜必要がない。」とある
のを、「不純物は大部分残留するので、特に高純度の１
品を望む場合を除き、高純度り必要蝶ない＠しかし、ａ
ｔｓｍ度の不純物、例えばＮａｇ（ＬＫρ、ＭｇＯ，Ａ
ｊ鵞Ｏａ、ＴｉＯｓ等嬬混入すると考えられる０シリカ
粉末の不純物についても１一様である。
従ッテ、８ ｉｃＩ［＆ｔ−９９，９ｊ％以Ｊｊ）Ｊ：
うな高純度υものにするには、シリカＱ純度及び造粒物
中の炭材の純度を９ｔ％以上とする必要がある◎また当
然粒状炭材島高純度に。
うな高純度υものにするには、シリカＱ純度及び造粒物
中の炭材の純度を９ｔ％以上とする必要がある◎また当
然粒状炭材島高純度に。
する必要があり、前記の一品純度のものを得るには粒状
炭材の純度を９９．９ Ｊ １以上とす □
゛る。」と訂正する。
炭材の純度を９９．９ Ｊ １以上とす □
゛る。」と訂正する。
（８） 第１０頁第１〜９行、「得られた。」の債に
「実施例３」を追加する。
「実施例３」を追加する。
「実施例３
４ＣＩＩＰ以下に粉砕した珪石粉（８ｉ０ｓ９９．９０
Ｓ＞と参参Ｐ以下の高純度黒鉛粉（Ｃ９９，０≦）を等
モル比で混合しデ牛スＦリンをバインダーに弔いパシペ
レタイザーでｊ簡グに混合造粒し次にカーボンブラック
（Ｃ９９，９ＳＳ＞を３ｍ１ｉに造粒し、上記混合造粒
物中リシリカＩ七ルに対し２！七々になるよう秤量し両
者を十分混合した。
Ｓ＞と参参Ｐ以下の高純度黒鉛粉（Ｃ９９，０≦）を等
モル比で混合しデ牛スＦリンをバインダーに弔いパシペ
レタイザーでｊ簡グに混合造粒し次にカーボンブラック
（Ｃ９９，９ＳＳ＞を３ｍ１ｉに造粒し、上記混合造粒
物中リシリカＩ七ルに対し２！七々になるよう秤量し両
者を十分混合した。
こり混合物を！に層炉にて１ｉｏｏ℃滞留時間１時間で
２０日関連続−造した。生成物は混合ペレットが粉化し
灰色を呈していｌｔｏまた、粒状高純度−材は元の形状
を保ち黄色を呈していた。これ等υＸｓ解析を行なった
結果灰色ｇは８轟０鵞と“β−８ｉＣの混合物であり黄
色部＃ｆ／−８ｉＣであった。
２０日関連続−造した。生成物は混合ペレットが粉化し
灰色を呈していｌｔｏまた、粒状高純度−材は元の形状
を保ち黄色を呈していた。これ等υＸｓ解析を行なった
結果灰色ｇは８轟０鵞と“β−８ｉＣの混合物であり黄
色部＃ｆ／−８ｉＣであった。
更に黄色部を／Ｉｌｌ程度に粗砕し空気中ｊＯＯ”Ｃ２
Ｈｒ保持し造粒物中心部の炭材を鹸化させ水洗した後王
水で洗浄した。得られたβ−８ｉＣｒｉ純度？ ？、
？ Ｉ ％であり生産量ａｓｏ。
Ｈｒ保持し造粒物中心部の炭材を鹸化させ水洗した後王
水で洗浄した。得られたβ−８ｉＣｒｉ純度？ ？、
？ Ｉ ％であり生産量ａｓｏ。
！／Ｊ ０日であった０
なお、使用した炉のデイメーシｌン嬬、反応筒内径：１
ｌＯＩＩＩＩ１．り、均熱長さｓｌｌＱＯｖｍｌｃａｔ
１１００℃）、炉高さ＝ｘｏｏ。
ｌＯＩＩＩＩ１．り、均熱長さｓｌｌＱＯｖｍｌｃａｔ
１１００℃）、炉高さ＝ｘｏｏ。
Claims (1)
- シリカ着京と炭素湯末を混合造粒し、こり造粒物に粒状
炭材を渦合し、非酸化性雰囲気で１６００℃以上に加熱
し、鎗記造粒物中の８１０ｍの大部分を０と反応させて
気体のシリコン酸化物にして造粒物外に放出し、これを
粒状炭材と反応させてａｌＯとなし、ヒの８ＩＯ含有生
成物を前記造粒−〇反応残渣と分離することを特徴とす
る高純度８１０の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56107949A JPS589807A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 高純度ＳｉＣの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56107949A JPS589807A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 高純度ＳｉＣの製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS589807A true JPS589807A (ja) | 1983-01-20 |
| JPS6362449B2 JPS6362449B2 (ja) | 1988-12-02 |
Family
ID=14472130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56107949A Granted JPS589807A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 高純度ＳｉＣの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS589807A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61151014A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-09 | Ulvac Corp | 金属炭化物超微粉末製造方法 |
| JPH01270507A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-27 | Nippon Light Metal Co Ltd | β型炭化けい素粉末およびウィスカーの混合物の製造法 |
| US5080879A (en) * | 1988-12-01 | 1992-01-14 | Alcan International Limited | Process for producing silicon carbide platelets and the platelets so produced |
| JP2006169067A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Jipangu Energy:Kk | 炭化珪素精製方法及びシステム |
| JP2014214058A (ja) * | 2013-04-26 | 2014-11-17 | 株式会社トクヤマ | 炭化珪素顆粒及びその製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101940351B1 (ko) * | 2011-08-24 | 2019-01-18 | 다이헤이요 세멘토 가부시키가이샤 | 탄화규소 분말 및 그 제조 방법 |
-
1981
- 1981-07-10 JP JP56107949A patent/JPS589807A/ja active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6362449B2 (ja) | 1988-12-02 |
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