JPS5892811A - 超音波式厚さ測定方法 - Google Patents
超音波式厚さ測定方法Info
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- JPS5892811A JPS5892811A JP55172076A JP17207680A JPS5892811A JP S5892811 A JPS5892811 A JP S5892811A JP 55172076 A JP55172076 A JP 55172076A JP 17207680 A JP17207680 A JP 17207680A JP S5892811 A JPS5892811 A JP S5892811A
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- Japan
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- pulse
- pulses
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- clock
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
- G01B17/02—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は周期的に超音波パルスを被検体の一面に入射し
その底面からの反射エコーの時間の遅れを測定すること
により、該被検体の厚さを測定する超音波式厚さ測定方
法に関する。
その底面からの反射エコーの時間の遅れを測定すること
により、該被検体の厚さを測定する超音波式厚さ測定方
法に関する。
本発明の目的は上述した反射エコーの遅れ時間を測定す
るために用いるクロックパルスの位相を入射パルスの時
系列順に適宜変えて計数することにより、測定分解能の
向上を計り、あるいは分解能を低下させることなくクロ
ックパルスの周波数を適宜低くすることを可能にする方
法を提供することにある。
るために用いるクロックパルスの位相を入射パルスの時
系列順に適宜変えて計数することにより、測定分解能の
向上を計り、あるいは分解能を低下させることなくクロ
ックパルスの周波数を適宜低くすることを可能にする方
法を提供することにある。
以下図面を用いて説明する。従来の一般的な超音波式厚
さ測定装置の構成と動作を示すと第１図に示すように同
期信号発信器１により制御さｈて一定の周期Ｔ１で電気
的パルスを生成するパルス送信器２、この電気的、４ル
スを超音波パルスに変換し、かつ反射エコーの音圧に受
信してパルス電圧に変換する探触子３、このパルス電圧
を増幅する増幅部４、反射エコーの遅れ時間Ｔ、に等し
い電気的ハルス幅ヲ作ル厚すパルス幅マルチバイブレー
タ−５、該厚さパルスと水晶発振器を含むり０７クパル
ス発振器６の電圧とを受けるア／トゲ−ドアを通過した
クロックパルスを計数する計測部８、該計測部８の計測
量を表示する表示部９、および各部に供電する電源部Ｓ
から構成される装置このような測定装置において、前記
探触子３を被検材１０の一面に当接させてパルス送信器
２から周期Ｔ、の電気的繰返しパルスを探Ｍ子３に印加
すると、探触子３からは牙２図（イ）に示す如き波形の
超音波パルスが周期Ｔ１で被検材１０に入射し底面Ｉ！
で反射して時間Ｔ、だけ遅わて再び探触子３に達し、第
２図（嗜に示す如き波形の超音波反射パルスが受信され
直ちに探触子３により該反射パルスに対応したパルス電
圧に変換され、更に増幅部４により増幅される。上記遅
れ時間Ｔ、は被検材の厚さを貰い超音波の該被検材中の
伝搬速度をＣとすればＴ１＝２ｗ／Ｃ３である。そして
厚さパルス幅マルチバイブレータ−５は同期信号発振器
ｌの出力でＯＮし、続いて増幅部４からの最初の受信反
射パルス電圧でＯＦＦ Ｌ、反射パルスの遅れ時間Ｔ！
に相当する第２図ヒ→に示すような厚さパルス電圧１２
を作り、この厚さパルス電圧１２はアンドゲート７に送
られる。他方クロックパルス発振器６において水晶発振
器によって作られ〆第２図に）に示すようなりロックパ
ルス１３がアンドゲート７に送られ、アンドゲート７か
らは牙２図（ホ）に示すようなりロックパルス列１４が
計測部８に送られて演算素子によりクロックパルス列１
４を計数する。
さ測定装置の構成と動作を示すと第１図に示すように同
期信号発信器１により制御さｈて一定の周期Ｔ１で電気
的パルスを生成するパルス送信器２、この電気的、４ル
スを超音波パルスに変換し、かつ反射エコーの音圧に受
信してパルス電圧に変換する探触子３、このパルス電圧
を増幅する増幅部４、反射エコーの遅れ時間Ｔ、に等し
い電気的ハルス幅ヲ作ル厚すパルス幅マルチバイブレー
タ−５、該厚さパルスと水晶発振器を含むり０７クパル
ス発振器６の電圧とを受けるア／トゲ−ドアを通過した
クロックパルスを計数する計測部８、該計測部８の計測
量を表示する表示部９、および各部に供電する電源部Ｓ
から構成される装置このような測定装置において、前記
探触子３を被検材１０の一面に当接させてパルス送信器
２から周期Ｔ、の電気的繰返しパルスを探Ｍ子３に印加
すると、探触子３からは牙２図（イ）に示す如き波形の
超音波パルスが周期Ｔ１で被検材１０に入射し底面Ｉ！
で反射して時間Ｔ、だけ遅わて再び探触子３に達し、第
２図（嗜に示す如き波形の超音波反射パルスが受信され
直ちに探触子３により該反射パルスに対応したパルス電
圧に変換され、更に増幅部４により増幅される。上記遅
れ時間Ｔ、は被検材の厚さを貰い超音波の該被検材中の
伝搬速度をＣとすればＴ１＝２ｗ／Ｃ３である。そして
厚さパルス幅マルチバイブレータ−５は同期信号発振器
ｌの出力でＯＮし、続いて増幅部４からの最初の受信反
射パルス電圧でＯＦＦ Ｌ、反射パルスの遅れ時間Ｔ！
に相当する第２図ヒ→に示すような厚さパルス電圧１２
を作り、この厚さパルス電圧１２はアンドゲート７に送
られる。他方クロックパルス発振器６において水晶発振
器によって作られ〆第２図に）に示すようなりロックパ
ルス１３がアンドゲート７に送られ、アンドゲート７か
らは牙２図（ホ）に示すようなりロックパルス列１４が
計測部８に送られて演算素子によりクロックパルス列１
４を計数する。
クロックパルス列！４に含まレルクロノクノくルスの数
がｎであればＴｓ＝２ Ｗ７’ Ｃ＝ ＴｓＸ ｎであ
り、Ｗ ＝ Ｃｊ Ｘ ＴｓＸ ｎ／ ２ として得られるので、これを表示部９により表示する。
がｎであればＴｓ＝２ Ｗ７’ Ｃ＝ ＴｓＸ ｎであ
り、Ｗ ＝ Ｃｊ Ｘ ＴｓＸ ｎ／ ２ として得られるので、これを表示部９により表示する。
上述従来例の説明においては、原理上の説明には影響を
与えないので同期発振器１と厚さノくルス幅マルチバイ
ブレータ−の間に通常挿入される零点調整部を省いて説
明した。
与えないので同期発振器１と厚さノくルス幅マルチバイ
ブレータ−の間に通常挿入される零点調整部を省いて説
明した。
近時超音波式厚さ計の分解能に対するユーザーの要求が
厳しくなり、被検材中の音速は約１０．０００ｔｎ／Ｂ
まで、測定分解能は０ 、１ｍｍ以上が要求されてきた
。音速１０，０００ｍ／８．分解能０．１ｍとしたとき
従来例のような□方法においては、クロンクパクロック
パルスの周波数５０ＭＨ，が必要となる〇一方、現段階
においては５０ＭＨｚのような鵠い上限周波数の半導体
ＩＣは消費電力が大きくかつ非常に高価であり、製品価
格が高くなる欠点があった。
厳しくなり、被検材中の音速は約１０．０００ｔｎ／Ｂ
まで、測定分解能は０ 、１ｍｍ以上が要求されてきた
。音速１０，０００ｍ／８．分解能０．１ｍとしたとき
従来例のような□方法においては、クロンクパクロック
パルスの周波数５０ＭＨ，が必要となる〇一方、現段階
においては５０ＭＨｚのような鵠い上限周波数の半導体
ＩＣは消費電力が大きくかつ非常に高価であり、製品価
格が高くなる欠点があった。
本発明は上記の点に鑑み、所望の分解能を変えることな
く、シかも低い周波数のクロックパルスを用いて、被検
体の厚さを測定する方法を提供する目的でなされたもの
であり、以下図面を用いて本発明の実施例についてその
構成と動作１（ついて歎明すもなお原理上の説明の範囲
では影響を与えないので、従来例の場合と同じく零点調
整部を省略して説明する。
く、シかも低い周波数のクロックパルスを用いて、被検
体の厚さを測定する方法を提供する目的でなされたもの
であり、以下図面を用いて本発明の実施例についてその
構成と動作１（ついて歎明すもなお原理上の説明の範囲
では影響を与えないので、従来例の場合と同じく零点調
整部を省略して説明する。
第３図は本発明の実施例のブロック図であり、位相制御
回路２０．音速設定回路２１を設ける他は、第１図に示
す従来例の測定回路と同じ構成である。本実施例の各部
の波形を第４図に示す０第４図（１は周期Ｔ＋で被検材
に入射する超音波パルスで順次Ｐ１、Ｐ−・・・で示す
。同図１１は被検材の底面からの超音波反射エコーで、
上記Ｐ３、Ｐｇ、・・・に対応するものをＲＩＳＲｘ、
・・・で示す。同図ｅ月家厚さパルス幅マイチバイブレ
ーター５の出力側における遅れ時間Ｔ、に等しいパルス
幅の厚さパルス電圧１２を示し、以下説明のために区分
して示す必要があるときは上記Ｐ１、Ｐ２、・・・に対
応するものをそれぞれ１２−１．１２−２、・・・とじ
、て区分することがある。ここまでの動作は、従来例と
同様である。クロックパルス発振器６燐水晶発振器を備
え同期信号発振器の制御の下に周ｗＡＴ４のクロックパ
ルスを発生させるが、前記入射ハ／Ｌ／ ｘ Ｐｌ、
Ｐｇ、・・・の時刻をｔ、、ｔｘ、・・・としたとき位
相制御回路２ｏの信号を受けて、時刻ｔ、十Ｔ、とｔ８
．１ｘ＋Ｔ＊とｔ８、・・・の中間の適宜時刻ｔ％、ｔ
Ｊ、・・・において前記クロックパルスの位相を２π／
Ｎ （ラジアン）づつ進める。（あるいは遅らせる。）
そこで、クロックパルス発振器６の出力は牙４図に）に
示すように、クロックパルスは、その位相がｔ、〜ｔ：
Ｉ間はφ。、ｔ、＋〜ｔ、１間はφ。
回路２０．音速設定回路２１を設ける他は、第１図に示
す従来例の測定回路と同じ構成である。本実施例の各部
の波形を第４図に示す０第４図（１は周期Ｔ＋で被検材
に入射する超音波パルスで順次Ｐ１、Ｐ−・・・で示す
。同図１１は被検材の底面からの超音波反射エコーで、
上記Ｐ３、Ｐｇ、・・・に対応するものをＲＩＳＲｘ、
・・・で示す。同図ｅ月家厚さパルス幅マイチバイブレ
ーター５の出力側における遅れ時間Ｔ、に等しいパルス
幅の厚さパルス電圧１２を示し、以下説明のために区分
して示す必要があるときは上記Ｐ１、Ｐ２、・・・に対
応するものをそれぞれ１２−１．１２−２、・・・とじ
、て区分することがある。ここまでの動作は、従来例と
同様である。クロックパルス発振器６燐水晶発振器を備
え同期信号発振器の制御の下に周ｗＡＴ４のクロックパ
ルスを発生させるが、前記入射ハ／Ｌ／ ｘ Ｐｌ、
Ｐｇ、・・・の時刻をｔ、、ｔｘ、・・・としたとき位
相制御回路２ｏの信号を受けて、時刻ｔ、十Ｔ、とｔ８
．１ｘ＋Ｔ＊とｔ８、・・・の中間の適宜時刻ｔ％、ｔ
Ｊ、・・・において前記クロックパルスの位相を２π／
Ｎ （ラジアン）づつ進める。（あるいは遅らせる。）
そこで、クロックパルス発振器６の出力は牙４図に）に
示すように、クロックパルスは、その位相がｔ、〜ｔ：
Ｉ間はφ。、ｔ、＋〜ｔ、１間はφ。
＋２（／Ｎ、 ｔ、’ −ｔ、Ｉ間はφ。＋（２π／
Ｎ）×２、・、・のクロックパルスが出力されてア／ト
ゲ−ドアに入力される。一方アンドゲート７には前記厚
さパルス電圧［２が入力されるので、アンドゲードアか
らは第４図（ホ）に示すようなそれぞれ２π／Ｎづつ位
相がずれているパルス列２３−１．２３−２．２３−３
１００．が順次計測部８に入力される。計測部８におい
ては、演算素子により２３−１．２３−２、・・・、２
３−Ｎの相続くＮ個のパルス列についてクロノクツくル
スヲ計ｆｕｌｌし、一方被検材中の音速に関する係数が
音訓設定回路２１から入力されて、クロノクツ（ルス計
量値に上記係数による理論積を演算して、表示装置９に
出力し、被検材の厚さを表示する。ここで上記位相がφ
。のパルス２３−１は前記従来例の・くルス１４−と同
等のものである。
Ｎ）×２、・、・のクロックパルスが出力されてア／ト
ゲ−ドアに入力される。一方アンドゲート７には前記厚
さパルス電圧［２が入力されるので、アンドゲードアか
らは第４図（ホ）に示すようなそれぞれ２π／Ｎづつ位
相がずれているパルス列２３−１．２３−２．２３−３
１００．が順次計測部８に入力される。計測部８におい
ては、演算素子により２３−１．２３−２、・・・、２
３−Ｎの相続くＮ個のパルス列についてクロノクツくル
スヲ計ｆｕｌｌし、一方被検材中の音速に関する係数が
音訓設定回路２１から入力されて、クロノクツ（ルス計
量値に上記係数による理論積を演算して、表示装置９に
出力し、被検材の厚さを表示する。ここで上記位相がφ
。のパルス２３−１は前記従来例の・くルス１４−と同
等のものである。
次に本実施例についてその効果を説明する。先ず説明の
便のために厚さパルスの時間幅ＴＩが２ Ｔｌ（Ｔｌは
クロックパルスの周期）、φ。＝０でＮ＝４すなわちク
ロックパルス列２３−１．２３−２．２３−３．２３−
４が順次２π／４ラジアン（９０°）づつ位相がずれて
いる場合につき第５図を用いて説明する。第５図（イ）
は厚さパルス１２を代表して示す。同図Ｃ口）、Ｐ’ｌ
、Ｇ”ｌ、（ホ）はそれぞれ上記クロッ（ト）、例、ｆ
ｌＪｌｆまクロックパルスの立上りで計数するとして、
それぞれ厚さパルス１２−１．１２−２．１２−３．１
２−４を測定するためのクロノクツ（ルス数を縦太線で
対応して示す。第５図（へ）は従来方法に対応するもの
で、計数値は２であるが、図より明らかに判かるように
クロックパルスの１サイクル（１凶にＡで示す範囲）づ
つ計数するので、従来方法の分解能は範囲Ａに対応する
Ｔｌとなる。同図仕）、例、（ＩＪｌにおいては位相が
逐次９０°づつずれて上記第５図（へ）のクロックパル
スの中間位置で計数されそれぞれ計喀値２となり、同図
（へ）〜（す）の４回の計数を行えばクロックパルスの
総計数値は合計８となる。この場合の分解能は同図（１
刀で２を計数した時点以後の範囲（同図にＢで示す）に
対応するＴ、／４であることは明らかである。すなわち
従来例に相当する第５図（ハ）の場合に比し分解能は４
倍良好となる。換言すれば、クロックパルスの位相を変
えない従来方法でクロックパルスの周期をＴｌ／４ （
周波数としては４倍）として測定した場合に相当する分
解能を有することとなる。
便のために厚さパルスの時間幅ＴＩが２ Ｔｌ（Ｔｌは
クロックパルスの周期）、φ。＝０でＮ＝４すなわちク
ロックパルス列２３−１．２３−２．２３−３．２３−
４が順次２π／４ラジアン（９０°）づつ位相がずれて
いる場合につき第５図を用いて説明する。第５図（イ）
は厚さパルス１２を代表して示す。同図Ｃ口）、Ｐ’ｌ
、Ｇ”ｌ、（ホ）はそれぞれ上記クロッ（ト）、例、ｆ
ｌＪｌｆまクロックパルスの立上りで計数するとして、
それぞれ厚さパルス１２−１．１２−２．１２−３．１
２−４を測定するためのクロノクツ（ルス数を縦太線で
対応して示す。第５図（へ）は従来方法に対応するもの
で、計数値は２であるが、図より明らかに判かるように
クロックパルスの１サイクル（１凶にＡで示す範囲）づ
つ計数するので、従来方法の分解能は範囲Ａに対応する
Ｔｌとなる。同図仕）、例、（ＩＪｌにおいては位相が
逐次９０°づつずれて上記第５図（へ）のクロックパル
スの中間位置で計数されそれぞれ計喀値２となり、同図
（へ）〜（す）の４回の計数を行えばクロックパルスの
総計数値は合計８となる。この場合の分解能は同図（１
刀で２を計数した時点以後の範囲（同図にＢで示す）に
対応するＴ、／４であることは明らかである。すなわち
従来例に相当する第５図（ハ）の場合に比し分解能は４
倍良好となる。換言すれば、クロックパルスの位相を変
えない従来方法でクロックパルスの周期をＴｌ／４ （
周波数としては４倍）として測定した場合に相当する分
解能を有することとなる。
クロックパルスの周期をＴｌ／４とした場合のクロック
パルスを第５図（ヌ）に、また、これにより厚さパルス
１２を計数する状況を同図四に示す。
パルスを第５図（ヌ）に、また、これにより厚さパルス
１２を計数する状況を同図四に示す。
以上の特別の例から類推して容易に判かるように、一般
酌にいって、厚さパルスの幅Ｔ、を周期Ｔ。
酌にいって、厚さパルスの幅Ｔ、を周期Ｔ。
のクロックパルスで測定する場合、クロックパルス計測
値がｎであれば、被検材の厚さＷ＝ＣＸＴ。
値がｎであれば、被検材の厚さＷ＝ＣＸＴ。
Ｘ？！、／２で表わされ、厚さの分解能はＣ，Ｔ、／’
ｌである。（従来の測定方法に対応する。） 一方、厚さ幅Ｔ２を測定する方法として、周期Ｎ Ｔ、
のクロックパルスで相次ぐＮ個の厚さパルス（それぞれ
のパルス幅はＴｌ）を２π／Ｎづつ位相を変えて測定す
るときは、カウント数は ’ｒ、ｘＮ＝’ｒｚＮＴ、
Ｔ。
ｌである。（従来の測定方法に対応する。） 一方、厚さ幅Ｔ２を測定する方法として、周期Ｎ Ｔ、
のクロックパルスで相次ぐＮ個の厚さパルス（それぞれ
のパルス幅はＴｌ）を２π／Ｎづつ位相を変えて測定す
るときは、カウント数は ’ｒ、ｘＮ＝’ｒｚＮＴ、
Ｔ。
＝ｎ、厚さＷ＝ ＣＸ Ｔ４Ｘ ｎ／ ２で表わされ、
分解能はｃ’ｒａ／２となり、前述の従来の方法と同一
分解能が、従来方法に比しクロックパルスの周波数を１
／Ｎに下げてもえられることとなる。
分解能はｃ’ｒａ／２となり、前述の従来の方法と同一
分解能が、従来方法に比しクロックパルスの周波数を１
／Ｎに下げてもえられることとなる。
次にもし厚さパルス幅Ｔ２を測定するに当って、周期’
Ｔａのクロックパルスで相次ぐ１個の厚さパルスを２π
／ Ｎ ｌづつ位相を変えて測定するときは、厚さの分
解能はＣＴ、７２Ｎ’となり、前記ｐ従来の方法に比べ
てＮ１倍良好となる。
Ｔａのクロックパルスで相次ぐ１個の厚さパルスを２π
／ Ｎ ｌづつ位相を変えて測定するときは、厚さの分
解能はＣＴ、７２Ｎ’となり、前記ｐ従来の方法に比べ
てＮ１倍良好となる。
本発明の、最も簡単な具体例を述べれば、クロックパル
ス周波数を現時点では入手し、易く価格が比較的低摩な
ＩＣが使用できる２ ５ ＭＨ２とし、クロックパルス
の位相を１８０°移相して２個の厚さ・シルスを計測す
ることにより、音速１０，０００ ｍ／ｓの被検材の厚
さを０．１園の分解能で測定することができる構成とし
、音速５９５０ｍ／ｓの鋼材を測定するときは、計測さ
れたクロックパルス数に音速詮定値を５９５ ＯＮ／Ｓ
にセットすることにより０．５９５を掛ける演算を行な
わせ、音速６，２６０ｆｉ／Ｓのアルミ材Ｃ）ときは計
測されたクロックパルス数に０．６２６を掛ける演算を
行りわせて小数点以下１桁で表示を行なうことができる
。さらにクロックパルスの位相を１８°移相して２０個
の厚さパルスを計測すれば、小数点以下２桁の表示を行
なうことができる。
ス周波数を現時点では入手し、易く価格が比較的低摩な
ＩＣが使用できる２ ５ ＭＨ２とし、クロックパルス
の位相を１８０°移相して２個の厚さ・シルスを計測す
ることにより、音速１０，０００ ｍ／ｓの被検材の厚
さを０．１園の分解能で測定することができる構成とし
、音速５９５０ｍ／ｓの鋼材を測定するときは、計測さ
れたクロックパルス数に音速詮定値を５９５ ＯＮ／Ｓ
にセットすることにより０．５９５を掛ける演算を行な
わせ、音速６，２６０ｆｉ／Ｓのアルミ材Ｃ）ときは計
測されたクロックパルス数に０．６２６を掛ける演算を
行りわせて小数点以下１桁で表示を行なうことができる
。さらにクロックパルスの位相を１８°移相して２０個
の厚さパルスを計測すれば、小数点以下２桁の表示を行
なうことができる。
本発明は上記の如く２π／Ｎづつ位相をずらしたクロッ
クパルスにより、Ｎ個の厚さパルスを計測する方法であ
るので、従来の方法でクロックパルスの周波数をＮ倍に
した測定に相当する厚さ測定ができるので厚さ測定がＮ
倍の分解能で実施できる方法であり、また一方では高い
上限周波数の高価なＩＣを用いることを避は製品のコス
トダウンを可能とすることができる。
クパルスにより、Ｎ個の厚さパルスを計測する方法であ
るので、従来の方法でクロックパルスの周波数をＮ倍に
した測定に相当する厚さ測定ができるので厚さ測定がＮ
倍の分解能で実施できる方法であり、また一方では高い
上限周波数の高価なＩＣを用いることを避は製品のコス
トダウンを可能とすることができる。
第１図〜第２図は従来の一般的な超音波式厚さ測定装置
に係り、第１図はそのブロック図、第２図は各部の波形
を示し、第３図〜第５図は本発明の実施例に係り、第３
図はそのプロ、り図、第４図はその各部における波形、
第５図（イｊ−萌は特定の例について計測動作を説明す
る要図、同図し）四は上記特定例に相当する計測例を説
明するための要図である。 、′１ １：同期信号発振器、 ２：パルス送信器、 ３：探計
子、 ４；増幅部、 ５：厚さパルス発振器、６：クロ
ックパルス発振器、 ７：アンドゲート、８：計測６［
）、 ９：表示部、 ｌＯ：被検材、１２：厚さパルス
、 ２０：位相制御回路、 ２１：音速設定回路、
２２．２２−１．２２−２・・・：クロックパルス、２
３．２３−１．２３−２・・・：クロックパルス列、
Ｓ：電源部。 特許出願人 株式会社帝通電子研究所代理人 久
高 稔 第 １ 図 す 第２ｆ７１ →鵠腎 第 ５ｙ！Ｊ 第４図 手 続 補 正 脣 昭和５６年７月１２日 特許庁長官 島田春樹 殿 １、事件の表示 昭和５５年特許願第１７２０７ｔ５ 号２、発明の名称 超音波式厚さ測定方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許…願人 住所 名称 株式会社帝通電子研究所 ４、代理人 ５、補正の対象 明細書の〔発明の詳細な説明〕の欄 ５、明細書中に次の補正を行なう。 頁 行 補正前 補正後３ ２０ ク
ロックパルス１３ Ｔ３の周期を有するクロックパルス
１３ ４ １８ （２０＋１秒） （２０ナノ秒）
７１５Ｔ４′は Ｔ４は 以上 １、事件の表示 昭和５５年特許願第 １７２０７６号 ２、発明の名称 超袴波式厚さ測定方法 ６、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 株式会社帝通電子研究所 ４、代理人 ６Ｍ歪の内東 明細書中に次の補正を行なう。 頁 行 補正前 補正後３ ２０
クロックパルス１３ Ｔ３の周期を有するクロックパル
ス１３ ４ １Ｂ （２０＋１秒） （２０ナノ秒）
７ １５ Ｔ４’は Ｔ４は以上
に係り、第１図はそのブロック図、第２図は各部の波形
を示し、第３図〜第５図は本発明の実施例に係り、第３
図はそのプロ、り図、第４図はその各部における波形、
第５図（イｊ−萌は特定の例について計測動作を説明す
る要図、同図し）四は上記特定例に相当する計測例を説
明するための要図である。 、′１ １：同期信号発振器、 ２：パルス送信器、 ３：探計
子、 ４；増幅部、 ５：厚さパルス発振器、６：クロ
ックパルス発振器、 ７：アンドゲート、８：計測６［
）、 ９：表示部、 ｌＯ：被検材、１２：厚さパルス
、 ２０：位相制御回路、 ２１：音速設定回路、
２２．２２−１．２２−２・・・：クロックパルス、２
３．２３−１．２３−２・・・：クロックパルス列、
Ｓ：電源部。 特許出願人 株式会社帝通電子研究所代理人 久
高 稔 第 １ 図 す 第２ｆ７１ →鵠腎 第 ５ｙ！Ｊ 第４図 手 続 補 正 脣 昭和５６年７月１２日 特許庁長官 島田春樹 殿 １、事件の表示 昭和５５年特許願第１７２０７ｔ５ 号２、発明の名称 超音波式厚さ測定方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許…願人 住所 名称 株式会社帝通電子研究所 ４、代理人 ５、補正の対象 明細書の〔発明の詳細な説明〕の欄 ５、明細書中に次の補正を行なう。 頁 行 補正前 補正後３ ２０ ク
ロックパルス１３ Ｔ３の周期を有するクロックパルス
１３ ４ １８ （２０＋１秒） （２０ナノ秒）
７１５Ｔ４′は Ｔ４は 以上 １、事件の表示 昭和５５年特許願第 １７２０７６号 ２、発明の名称 超袴波式厚さ測定方法 ６、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 株式会社帝通電子研究所 ４、代理人 ６Ｍ歪の内東 明細書中に次の補正を行なう。 頁 行 補正前 補正後３ ２０
クロックパルス１３ Ｔ３の周期を有するクロックパル
ス１３ ４ １Ｂ （２０＋１秒） （２０ナノ秒）
７ １５ Ｔ４’は Ｔ４は以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 周期的に超音波パルスを被検材の一面に入射してその底
面からの反射エコーの時間の遅れを測定して該被検材の
厚さを測定する超音波式厚さ測定方法において、 上記厚さに相当する厚さパルスを測定するクロックパル
スの位相を２π／Ｎラジアン（Ｎは２以上の整数）づつ
順次ずらせて相次ぐＮ個の厚さパルスを計数し、この計
数量に該被検材中の音速に対応する補正を演算してその
厚さをデジタル表示することを特徴とする超音波式厚さ
測定方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55172076A JPS5892811A (ja) | 1980-12-08 | 1980-12-08 | 超音波式厚さ測定方法 |
| US06/274,451 US4388830A (en) | 1980-12-08 | 1981-06-17 | Method and apparatus for measurement of thickness utilizing ultrasonic pulses |
| DE19813126138 DE3126138A1 (de) | 1980-12-08 | 1981-07-02 | Verfahren und vorrichtung zur messung der dicke eines werkstuecks mit ultraschallimpulsen |
| GB8121286A GB2089039B (en) | 1980-12-08 | 1981-07-10 | Thickness measurement with ultrasonic pulses |
| FR8114069A FR2496874B1 (fr) | 1980-12-08 | 1981-07-20 | Procede et dispositif d'amelioration de la resolution pour les mesures d'epaisseur par ultrasons |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55172076A JPS5892811A (ja) | 1980-12-08 | 1980-12-08 | 超音波式厚さ測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5892811A true JPS5892811A (ja) | 1983-06-02 |
| JPS6249921B2 JPS6249921B2 (ja) | 1987-10-22 |
Family
ID=15935088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55172076A Granted JPS5892811A (ja) | 1980-12-08 | 1980-12-08 | 超音波式厚さ測定方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4388830A (ja) |
| JP (1) | JPS5892811A (ja) |
| DE (1) | DE3126138A1 (ja) |
| FR (1) | FR2496874B1 (ja) |
| GB (1) | GB2089039B (ja) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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- 1981-07-10 GB GB8121286A patent/GB2089039B/en not_active Expired
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Patent Citations (1)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2496874A1 (fr) | 1982-06-25 |
| DE3126138A1 (de) | 1982-08-26 |
| US4388830A (en) | 1983-06-21 |
| GB2089039B (en) | 1985-03-27 |
| GB2089039A (en) | 1982-06-16 |
| DE3126138C2 (ja) | 1991-05-08 |
| JPS6249921B2 (ja) | 1987-10-22 |
| FR2496874B1 (fr) | 1986-04-04 |
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