JPS5824729B2 - 超音波厚さ測定方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は安定性と調整適応性を改良された超音波厚さ測
定装置に関する。

より詳細には、被測定片の厚さを測定するために必要な
時間間隔平均測定量を調整するためにプログラム可能な
装置と共同動作する時間間隔平均回路とを含む超音波パ
ルス反射厚さ測定方法とその装置に関する。

被測定片の厚さを超音波エネルギ・−によって測定する
ことはよく知られている。

超音波送受プローブを被測定片の表面に結合する手段を
含む一般の測定方法では、周期的；こ超音波探査パルス
を被測定片内に発射しその後、それぞれの探査パルスが
被測定片の入射面と後壁に衝突したことから生ずる反射
波を受ける。

時間測定ゲート回路が入射面の反射パルスの受波に応答
して動作開始し、後壁の反射パルスの受波に応じて動作
を止める。

前記２つのパルスの受波の間の時間間隔は、すなわち発
生した時間測定信号の幅は被測定片の厚さを反影してい
る。

時間測定信号パルス幅から被測定片の厚さの値を決定す
る方法において、公知技術の装置には困難なことがあっ
た。

特に、厚さの決定にアナログ回路を用いる時には、定電
流発生器と傾斜信号（ランプ信号）発生器が必要とされ
る。

例えばに−Ｂｒｅｃｈによる米国特許第３，４８５，０
８７号を参照されたい。

このような装置では、動作温度の変化や電子回路構成部
分の老化に付しランプ信号波形の直線性を安定に維持す
るという面で問題がある。

ランプ信号波形を発生する普通の方法は、時間測定信号
の幅に対応する間隔だけ定電流によってコンデンサを充
電することによっている。

そのコンデンサは定電流を時間に関して積分し、それに
よってランプ電圧信号波形が発生される。

ランプ電圧信号の最高値が時間測定信号の幅を表わして
いる。

電流源とコンデンサの安定性は通常の動作温度範囲にわ
たって変化するため、厚さ測定の安定性と正確さに悪影
響を及ぼす。

他の先行技術において、アナログ回路に比較して改良さ
れたド、リフト及び安定性特性を持つデジタル回路が用
いられたが、それは、安定した高周波のクロックを用い
ることを必要とした。

高周波のクロックは回路内に雑音を発生しがちであり、
過大な電力を消費する。

アルミニウムの被測定片。を測定する時にその厚さを０
．０３ｍｍの分解能で測ろうとすると１２５ ＭＨｚの
クロック周波数が必要となる。

さらに、異なった音速を持った被測定片の厚さを測定す
るためには、それに応じてクロック周波数を変えねばな
らず、ある温度範囲にわ７たって安定な特性を持った高
価な同調装置が必要となる。

または、異なった音速を持った物質の厚さを測定するた
めに、それぞれが異なった周波数で発振する複数の高周
波クロックが必要となる。

他の先行システムは２安定の正確で高価なりロック回路
を用いるバーニヤ計数方法を用いている。

バーニヤ計数方法は１９６５年にニューヨークのＭｃＧ
ｒａｗ−Ｈｉ ｌ １社の発行した、Ｍｉｌｌｍａｎと
Ｔ ａｕｂの著わした「パルス、デジタル及びスイッチ
ング波形」の６８３頁から６８７頁までに説明されてい
る。

時間間隔の平均化は厚さ測定の安定性と分解能向上のた
めにいくつかの先行の装置にも用いられた。

上述のように、被測定片の厚さに応じたパルス幅を持つ
時間測定信号が発生される。

そのパルス幅は、時間測定信号の間隔の間発生する高周
波クロックパルスからのパルス数（ト）を計数し、そし
てこのパルス数を定数Ｎで割り算して各測定当りの数（
Ｐ／Ｎ）を求めることにより測定される。

尚、定数Ｎはパルス数りを分周するＮ分周器の固定値Ｎ
のことである。

運行する測定の回数（Ｎ ／ ）は、時間測定ゲート間
隔の間に計数されたクロックパルスの数の平均のを第１
式によって求めるためにＮと等しくされる。

時間間隔平均化方法はデジタル測定方法に比べて分解能
を改善し、また常に存在するホワイトノイズを平均化し
てなくすことにより安定性も増大する。

時間間隔平均化システムは、これらの利点を提供するが
第１式の分子である測定回数Ｎ′が固定されるため較正
するのに適しない。

異なった音速を持つ被測定片を測る時間−の分解能を維
持するために、独立のクロックや調整可能なりロックが
異なった音速のそれぞれに対して必要となり、高価な複
雑な装置が必要となる。

本発明の装置では、上述の型の時間間隔平均回路の修正
されたものが用いられている。

例えばプログラム可能Ｎ分周計数カウンタのようなプロ
グラム可能計数器が、異なった音速を持つ被測定片の厚
さを測るために、装置を較正する目的で用意されている
。

好ましい実施例においてプログラム可能計数器は、例え
ば、サムホイールスイッチのような適当な装置によって
被測定片の音速を表す値にプログラムされる。

測定の回数（Ｑはプログラム可能計数器にプログラムさ
れた値と等しい。

時間測定ゲートの時間間隔中に起こるパルスの数は第２
式のようになる。

時間測定信号のパルス幅は超音波信号が速度Ｖで被測定
片の厚さを２回横切って進むのに要する時間２Ｘｉ８に
等しい。

一定時間に対するクロックパルスの数はクロック周波数
ｆに等しい。

各測定車りのパルス数の平均を得るための定数値Ｎはそ
のままにされて第２式は第３式のようになる。

プログラム可能計数器で決定される測定回数（Ｑが被測
定片の音速（７）と等しい時、第３式は第４式のように
なる。

もし周波数ｆと周波数分割数Ｎが、５×１０（ｎ−１）
の比率に選ばれ、指数（ｎ−１）が周波数ｆと周波数分
割数Ｎの大きさによるとすれば、第４式はさらに第５式
のようになる。

適当な１０による割り算によって、計数されたパルスの
数が被測定片の厚さに等しいことが明らか（ｎ−ｔ） となるだろう。

比率が５×１０ と異なっている時は、公知の技
術による付加的なスケーリング回路が計数されたパルス
数のを測定厚さの表示に変換するために用いられる。

この厚さ測定装置はどのような被測定片の厚さも測れる
ようにたやすく較正できる。

もし被測定片の音速が未知である時は既知の厚さを持っ
た見本の被測定片が測られる。

表示された厚さが知られている厚さと等しくなるまでプ
ログラム可能計数器が調整される。

説明された装置は、先行の装置より利点があるが、不利
な点はない。

この装置はデジタル回路を使用しているので、アナログ
定電流発生器やランプ信号発生器固有の不利益は除去さ
れている。

厚さの値を表示する前に測定回数を変えるプログラム可
能の装置は、固定した周波数の１個のクロックを用いる
ことを可能とし、その周波数は先行のデジタル測定装置
に使われるものより低いものである。

本発明による厚さ測定装置は、クロック周波数を変える
必要なしに、異なった音速を持つ被測定片の厚さを測る
のに使用できる。

さらに安定性とドリフトに関する従来の困難な問題が除
去された。

従って、この発明の主要な目的は、時間間隔平均回路と
共に用いられるプログラム可能の装置を含む超音波厚さ
測定装置を提供することである。

もう１つの本発明の主要な目的は、異なった音速を持つ
被測定片を測るために装置を較正する手段を含む超音波
厚さ測定装置を提供することである。

さらに、本発明の目的は被測定片の要求するどんな音速
に対しても簡単に較正でき、安定性と分解能が増大した
ことを特徴とする装置を提供するためにプログラム可能
な装置を持ったデジタル超音波厚さ測定装置を提供する
ことである。

図を参照すると、本発明に提起された実施例の概略のブ
ロック図が示されている。

反復レートクロック１０は周期的に、普通５００ Ｈｚ
から２０ＫＨｚの間の周波数で送受プローブ１４を励振
するためにパルサ１２にタイミングパルスを供給する。

送受プローブ１４はパルサ１２からの電気信号に応答し
て周期的に超音波探査パルスを厚さを測定されるべき被
測定片Ｗ内へ送り、反射応答パルスを受ける。

これらの反射応答パルスはプローブによって電気信号に
変換され受信回路１６へ供給される。

そして受信回路１６は、それぞれの探査パルスが被測定
片を通過する伝搬時間に対応した厚さ応答時間測定信号
を発生するためにタイミングフリップフロップ１８へ反
射応答トリガ信号を供給する。

ここでは、プローブ１４から供給された探査パルスそれ
ぞれに対して１つの時間測定信号が発生される。

クロック２０はあらかじめ定められた周波数のパルス列
をゲート回路２２へ供給する。

フリップフロップ１８からの時間測定信号は、被測定片
Ｗの厚さに対応した時間測定信号の幅と同じ時間間隔の
間ゲート回路２２を開く。

好ましい実施例においてはＮ分周計数回路の如き計数装
置２４は、ゲート回路２２の出力に接続され、それぞれ
の時間測定信号の間隔の間開いたゲート２２を通して受
は取られたクロック２０からのパルスの数を積算し、こ
の積算した数をＮで割った数を表示する出力計数信号を
供給する。

計数器２６が固定のＮ分周計数装置２４の出力計数信号
を積算し記憶するために計数装置２４に接続されている
。

計数器２６内の積算されたパルス数は、読み出し装置２
８に更新回路３０から更新信号が送られるのに応じて、
読み出し装置２８へ供給される。

好ましい実施例においては、計数装置２４は固定Ｎ分周
計数回路とされているが、計数装置２４によってクロッ
ク２０から、開いたゲート回路２２を通してＮ個のクロ
ックパルスが受は取られた時に計数出力が増加するよう
などのような計数回路と論理回路の組み合わせでも使用
できる。

好ましい実施例においてはプログラム可能なＮ分数計数
器である、プログラム可能計数装置３２は、例えばサム
ホイールスイッチ又は他の適当な調節器のようなアドレ
ス装置３４によって、厚さを測定されるべき被測定片の
音速にプリセットされる。

例えば、ためしに６．３５ Ｘ １ ｏ５ｃｒｒＬ、’
ＳｅＣ（２，５Ｘ １０５ｉｎｃｈ／５ｅｃ）の音速を
持つアルミニウムの被測定片の場合、その厚さをメート
ル法で測定する時はサムホイールスイッチの表示をｒ６
３５０Ｊ にセットしあるいはアメリカの単位で測定
する時はサムホイールスイッチの表示をｌ’−２３００
Ｊにセットする。

計数装置３２はクロック１０からパルサ１２へ送られる
タイミングゲートの数を計数する。

そして、それ抄えノここれは時間測定信号の間隔の数を
計数することになる。

プログラム可能な計数装置３２によって計数されている
クロック１０からのタイミングパルスの数がアドレス装
置３４のプリセットされた数と同一になった時、計数装
置３２から更新回路３０と遅延回路３８へ１つの信号が
送られる。

読み出し装置は計数器２６から計数値を受は取ってその
表示内容を更新する。

読み出し装置２８が更新信号を確実に受は取るのに十分
な遅延の後リセット信号が遅延回路３８から計数装置２
４と計数器２６ベ両方の回路を０にリセットするために
送られる。

□計数装置３２はまたタイミングパルスのプリセットさ
れた数をくりかえし計数するためζこそれ自体でリセッ
トされる。

被測定片の厚さを測定するために、超音波エネルギーを
送るべく、送受プローブ１４は被測定片の表面に油や水
のような適当な結合手段によって結合される。

被測定片の音速はサムホイールスイッチのようなアドレ
ス装置３４によってプログラム可能Ｎ分周計算器３２に
プログラムされる。

反復レートクロック１０からパルサ１２へ伝えられた周
期的に発生するタイミングパルスはパルサにプローブ１
４を周期的に励振させる。

それぞれの供給されたパルス信号に応じてプローブ１４
は被測定片内に超音波エネルギ探査パルスを送り、被測
定片の入射面と後壁からの応答反射パルスを受ける。

受信された反射パルスはプローブ１４によって電気信号
に変換され、受信器１６へ送られる。

受信器１６は、タイミングフリップフロップ回路１８へ
出力トリガ信号を供給する。

タイミングパルスはタイミングフリップフロップ１８を
各各の周期の最初にリセットするためにクロック１０か
らタイミングフリップフロップ１８へも伝達される。

受信器１６から得られるビデオ出カドリカパルスであっ
て、入射表面での反射パルスに応答するものがタイミン
グフリップフロップ回路１８をスタートし、後壁での反
射パルスに応答するものがストップする。

その結果生ずる時間測定信号出力のパルス幅は、トリガ
信号の間隔の間に超音波パルス信号が被測定片を通して
伝わった距離つまり被測定片の厚さに対応している。

タイミングフリップフロップ回路１８から得られた、被
測定片の厚さと同じパルス幅を持った時間測定信号はそ
の時間測定信号の存在する間ゲート２２を開くためにゲ
ート２２の１つの入力へ送られる。

クロック２０は別のクロックパルスをゲート２２の他の
入力へ供給する。

好ましい実施例においてこのクロックパルスの周波数は
１２．８ＭＨｚであり、これは普通１０ＫＨｚである反
復レートクロック１０の周波数よりかなり高い。

時間測定信号の間隔の間ゲート２２が開いている時、ク
ロック２０からのクロックパルスは開いたゲート２２を
通して固定Ｎ分周計数器２４へ伝送される。

計数装置２４はクロック２０からのパルスをＮ個受は取
るごとに出力計数信号を発生する。

示された実施例におけるＮの値は、クロック２０のメガ
ヘルツの位の周波数をＮで割った比率が０．０５に等し
くなるように選ばれる。

クロック周波数が１２．８ＭＨｚである本例ではＮは２
５６に選ばれる。

タイミングフリップフロップからの時間測定信号はクロ
ック２０からのクロックパルスと非同期であることが明
白であろう。

換言すれば、タイミングゲートの開閉はクロック２０か
らのクロツクパルスと同時でない。

従って計数装置２４によって計数される数は、各々の時
間測定信号がり碩ツク２０からのクロックパルスと相対
したどの時刻におこるかという点によるため変化するだ
ろう。

計数装置２４はそれぞれの時間測定信号間隔の間の各々
Ｎパルスに１個計数信号を発生し、計数装置２４から得
られるカウントの数を積算するための計数器２６へ計数
出力を送る。

あらかじめ定められた回数の測定を行なった後、すなわ
ち、アドレス装量３４によって計数装置３２にプログラ
ムされたあらかじめ定められた数のフリップフロップ回
路１８からの時間測定信号が得られると、計数装置３２
から信号が更新回路３０へ供給される。

更新回路３０は、計数装置３２からの信号に応じて、計
数器２６に積算され記憶されているカウントの数に等し
い被測定片の厚さを表示するため読み出し装置２８へ更
新信号を送る。

読み出し装置２８は次に続く更新信号まで表示を記憶す
る。

計数装置３２からの出力信号は、読み出し装置２８が計
数器２６内の値で更新されるのに十分な時間、遅延装置
３８によって遅延され、その後固定Ｎ分周計数器２４と
計数器２６をリセットするために遅延装置３８から供給
される。

本発明の特徴の１つは、厚さ測定装置の較正方法である
。

前述の説明においては、被測定片の音速は知られており
、アドレス装置３４によって、プログラム可能Ｎ分周器
に直接プログラムされた。

他の応用では被測定片を通る超音波信号の速度は未知で
ある。

このような場合には、厚さの知られた被測定片の見本が
プローブ１４に超音波的に結合される。

プログラム可能計数装置３２と組み合わされたアドレス
装置３４はそこで、読み出し装置３８が既知の厚さと一
致した値を表示するように調節される。

読み出し装置はアメリカの単位（インチ）かもしれない
し、メートル法（センナメートル）かもしれないが、調
節が完了すれば、同一の音速を持った未知の厚さの被測
定片の測定の時には再調節する必要はない。

公知技術の時間平均を使用する超音波厚さ測定装置では
、測定回数（更新周期）は一定に維持されていた。

該装置では、反復レート又はクロックの周波数は変えら
れ、そのためその周波数を変更するための高価な同調ク
ロック回路を必要とした。

本実施例では実行される測定回数は装置の目盛調節の実
理のためにプログラム可能になっている。

該装置の目盛調節用装置と組み合わせてデジタル回路を
用いることは超音波厚さ測定装置を従来公知の装置に比
較して、安定度、精度、分解能において進歩させた。

前述の説明においてタイミングフリップフロップ１８か
らのタイミングゲートの始まりは入射面応答反射パルス
に応答した信号によってトリガされる。

スタートトリガ信号は反復レートクロック１０からタイ
ミングフリップフロップ回路１８への間に接続された調
節可能の単安定マルチバイブレークによっても発生され
得ることは明らかである。

マルチバイブレークのパルス幅は、クロック１０による
タイミング信号の発生とプローブの超音波探査パルスが
被測定片に入る時間間隔の間タイミングフリップフロッ
プ１８が遅延されるようなトリガ信号を供給するように
調節される。

このような人為的なスタートトリガ信号の使用は入射面
応答反射パルスの予測される時間の間プローブ１４のリ
ンギングを制動するための抑圧器の必要を除去する。

この問題はプローブが被測定片の表面に直接接触してお
り、タイミングパルスから、タイミングフリップフロッ
プ１８からの時間測定信号の始まりまでの時間がプロー
ブ１４の前に配置された比較的薄い摩耗板を通して超音
波信号が通過する時間と等しい時は特に激しい。

代わりの実施例として、計数装置と時間測定器の一方又
は両方は、探査パルスが被測定片へ送られた時以後の固
定された期間受信装置１６に接続された抑制ゲートによ
って抑制される。

それは、タイミングフリップフロップ回路１８を入射面
応答反射信号の後に受は取られる後壁からの反射によっ
て起こる１対の反射信号にのみ応答させるための公知の
方法で接続されている。

２つの不連続な後壁反射パルスの間の時間間隔を測定す
ることが公知技術で可能であることはもちろんである。

どちらの実施例でも計数器２６での計数値は適当な除数
で除されることが必要なことは明白である。

被測定片の音速を目盛によって指示するようにプログラ
ムされるアドレス装置を用意することは最も有利なこと
であると同時に、クロック２０の周波数と計数装置２４
の値Ｎの比率を５Ｘ１０（ｎ″″１）以外の値に選択す
ることによるか又は、付加的なりロックや、又は計数装
置を該回路内に用いることによって、アドレス装置３４
が任意のどんなユニットのためにもプログラムされ得る
ことも明白である。

前述の説明のように、計数器２６からの信号はデジタル
表示読み出し装置２８へ供給される。

しかしながら、計数器２６からの信号は、他の表示又は
指示装置へ、あるいは信号処理装置へ供給され得ること
は明白である。

例えば、被測定片の分類を行なう時には、被測定片の厚
さがあらかじめ定められた許容水準の中にある時に受は
入れ／拒否信号を発生するために、出力信号はデジタル
比較器へ接続され得る。

出力信号はまた、出力が線図表記録計に接続された、デ
ジタル・アナログ変換器へも供給され得る。

他の応用では、出力信号を表示することなく、さらに信
号処理や解析を行なうために計算機に供給することもで
きる。

本発明の提起された実施例とそのいくつかの変更された
ものについて記述し説明して来たが、より大幅な変更や
修正が、添付された特許請求の範囲によってのみ限定さ
れるべき本発明の本質からはずれることなく成され得る
ことは、当該技術の熟練者にとっては明白であろう。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明による超音波厚さ測定装置の実施例を示す
電気的概略ブロック図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 被測定物の寸法を超音波パルス反射法によって測定
   する方法であって、イ）被測定物の表面に超音波探査パ
   ルスを周期的に送波し、そしてそれら各々の探査パルス
   が音響インピーダンス変化によってさえぎられることに
   応答する反射パルスを受波する段階と、口）各探査パル
   スの送波に応答した第１の信号と各探査パルスに関連し
   た反射パルスに応答した第２の信号の受信との時間間隔
   によって決定されるところの、それぞれの探査パルスが
   前記表面からインピーダンス変化点までの被測定物の寸
   法を横切る伝搬時間に対応したカウントを供給する段階
   と、ハ）そのような連続した時間間隔の間に供給された
   カウントを積算する段階と、及び、二）被測定物の音速
   を表すあらかじめ決定されたプログラム可能な数の探査
   パルスが送られた時に前記積算されたカウントに応答す
   る出力信号を供給する段階と、よりなる前記方法。 ２、特許請求の範囲第１項記載の方法であって、前記探
   査パルスのあらかじめ決定された数が調節可能な装置に
   よってプログラム可能である前記方法。 ３ 特許請求の範囲第１項記載の方法であって、前記カ
   ウントが離散的なりロックパルスである前記方法。 ４ 特許請求の範囲第１項記載の方法であって、前記第
   １の信号は被測定物の表面に入射する探査パルスに応答
   したものであり、前記第２の信号は前記探査パルスが被
   測定物の後壁にさえぎられたことに応答したものである
   前記方法っ ５ 特許請求の範囲第１項記載の方法であって、前記第
   １の信号は前記探査パルスが被測定物の後壁ｌこさえぎ
   られたことに応答したものであり、前記第２の信号は後
   壁において前記探査パルスによって供給される超音波エ
   ネルギの引き続いて起こる反射に応答したものである前
   記方法。 ６ 特許請求の範囲第４項記載の方法であって、前記第
   １の信号は前記探査パルス送出後あらかじめ決定された
   時間の後に発生される電気信号であり、前記第２の信号
   は被測定物の後壁から生ずる反射信号に応答したもので
   ある前記方法。 １ 特許請求の範囲第１項記載の方法であって、前記出
   力信号が測定寸法の続み取りを与える前記方法。 ８ 特許請求の範囲第１項記載の方法であって、前記あ
   らかじめ決定された数が音速の単位でプログラム可能で
   ある前記方法。 ９ 被測定物内へ周期的に探査パルスを送波し続いて該
   探査パルスの送波に応答した反射パルスを受波すること
   によって被測定物の寸法を測定する超音波装置であって
   、イ）タイミングパルスを供給するための第１クロツク
   と、口）前記タイミングパルスを受けてそれに応じて被
   測定物内へ周期的な探査パルスを送波させる信号を供給
   するために接続されるパルス発生装置と、ハ）それぞれ
   の探査パルスの送波に応答した反射応答パルスを受波す
   るために接続される受信器と、二）探査パルスの送波に
   応答した第」の信号を受け、続いて前記探査パルスに関
   連した反射応答パルスに応答した第２の信号を受けるた
   め、かつ前記第４の信号と前記第２の信号との時間間隔
   の間に被測定物内において前記探査パルスによって横切
   られる距離に対応した時間測定信号を発生するために接
   続される時間測定装置と、ホ）周期的なりロックパルス
   を供給するための第２クロツクと、へ）前記周期的りラ
   ンクパルスを受けるため、かつ前記時間測定信号を受け
   てそれ：こ応して前記時間測定信号の間に生ずる周期的
   クロックパルスの数に対応したカウントの形式で第３の
   信号を供給するために接続される計数装置と、ト）連続
   した時間測定信号の間に生ずる笥期的クロックパルスの
   それぞれの数に対応したカウントを積算するために前記
   第３の信号と引き続く複数の第３の信号を受けるために
   接続される計数器と、チ）前記タイミングパルスを受け
   て、受は取ったタイミングパルスの数が被測定物の音速
   を表わすプログラムされた数と等しくなった時に第４の
   信号を供給するために前記第１クロツクに接続されるプ
   ログラム可能計数装置と、及び、す）前記積算されたカ
   ウントに対応した読み取りを前記第４の信号に応答して
   供給するために前記計数器と前記プログラム可能計数装
   置とに接続される読み取り装置と、の組み合わせから成
   る前記装置。 １０特許請求の範囲第９項記載の装置であって、前記時
   間測定装置が、前記第４の信号に応答して始動し前記第
   ２の信号に応答して停止するフリップフロップ回路から
   成り、前記タイミングパルスを受けそしてこの受信後あ
   らかじめ決定された時間の後に前記フリップフロップ回
   路を始動させるために該フリツプフロツプヘトリガ信号
   を供給するために前記第１クロツクと前記フリップフロ
   ップ回路とに接続される別の装置を含む前記装置。 １１ 特許請求の範囲第９項記載の装置であって、前記
   タイミングパルスに応答して前記時間測定装置を周期的
   にリセットするために前記時間測定装置を前記第１クロ
   ツクと接続する装置を含む前記装置。 １２特許請求の範囲第９項記載の装置であって、前記計
   数装置が、第１人力で前記クロックパルスを受は第２人
   力で前記時間測定信号を受けるように接続されたゲート
   を含み、前記クロックパルスが前記第１と第２の信号と
   の時間間隔の間前記デートを通過すること、及び前記計
   数装置が、前記ゲートを通過した前記クロックパルスの
   数に応答して前記第３の信号を供給するために前記ゲー
   トに接続されるＮ分周計数器から成る前記装置。 １３特許請求の範囲第９項記載の装置であって、前記プ
   ログラム可能計数装置がアドレス装置とプログラム可能
   Ｎ分周計数器とから成り、前記アドレス装置がセット可
   能なスイッチから成り、前記セット可能なスイッチが被
   測定物の音速を表示するため目盛に関連させられている
   前記装置。 １４特許請求の範囲第９項記載の装置であって、前記読
   み増り装置がデジタル表示装置である前記装置。 １５特許請求の範囲第９項記載の装置であって、前記計
   数装置と前記計数器とを周期的？こりセットするために
   前記第４の信号が前記計数装置と前記計数器とに接続さ
   れている前記装置。 １６特許請求の範囲第９項記載の装置であって、前記パ
   ルス発生装置と前記受信器とに接続されており、かつ被
   測定物に結合されるようになっている変換プローブを含
   む前記装置。 １７特許請求の範囲第１６項記載の装置であって、前記
   第１の信号が入射面反射応答信号であり、前記第２の信
   号が後壁反射応答信号である前記装置。 １８特許請求の範囲第１６項記載の装置であって、前記
   第１の信号が後壁反射応答信号であり、前記第２の信号
   が前記探査信号が続いて被測定物の後壁でさえぎられる
   ことにより供給された超音波エネルギに応答したもので
   ある前記装置。