JPS5824729B2 - Ultrasonic thickness measurement method and device - Google Patents

Ultrasonic thickness measurement method and device

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Publication number
JPS5824729B2
JPS5824729B2 JP51064439A JP6443976A JPS5824729B2 JP S5824729 B2 JPS5824729 B2 JP S5824729B2 JP 51064439 A JP51064439 A JP 51064439A JP 6443976 A JP6443976 A JP 6443976A JP S5824729 B2 JPS5824729 B2 JP S5824729B2
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signal
pulse
response
measured
pulses
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JP51064439A
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Japanese (ja)
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Inventor
クリストフアー・シー・デイレオ
リチヤード・ジエイ・ピタロ
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Krautkramer Branson Inc
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Publication date
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Publication of JPS5824729B2 publication Critical patent/JPS5824729B2/en
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B17/00Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
    • G01B17/02Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
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    • G01N29/07Analysing solids by measuring propagation velocity or propagation time of acoustic waves
    • GPHYSICS
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    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S73/00Measuring and testing
    • Y10S73/901Digital readout

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は安定性と調整適応性を改良された超音波厚さ測
定装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an ultrasonic thickness measurement device with improved stability and adjustment flexibility.

より詳細には、被測定片の厚さを測定するために必要な
時間間隔平均測定量を調整するためにプログラム可能な
装置と共同動作する時間間隔平均回路とを含む超音波パ
ルス反射厚さ測定方法とその装置に関する。
More particularly, an ultrasonic pulse reflection thickness measurement comprising a time interval averaging circuit cooperating with a programmable device to adjust the time interval average measurements required to measure the thickness of the piece being measured. Concerning a method and apparatus.

被測定片の厚さを超音波エネルギ・−によって測定する
ことはよく知られている。
It is well known to measure the thickness of a piece to be measured using ultrasonic energy.

超音波送受プローブを被測定片の表面に結合する手段を
含む一般の測定方法では、周期的;こ超音波探査パルス
を被測定片内に発射しその後、それぞれの探査パルスが
被測定片の入射面と後壁に衝突したことから生ずる反射
波を受ける。
A typical measurement method that includes means for coupling an ultrasonic transmitting/receiving probe to the surface of a piece to be measured periodically; emitting ultrasonic probe pulses into the piece to be measured; Receives reflected waves from collisions with the front and rear walls.

時間測定ゲート回路が入射面の反射パルスの受波に応答
して動作開始し、後壁の反射パルスの受波に応じて動作
を止める。
The time measurement gate circuit starts operating in response to receiving a reflected pulse from the entrance surface, and stops operating in response to receiving a reflected pulse from the rear wall.

前記2つのパルスの受波の間の時間間隔は、すなわち発
生した時間測定信号の幅は被測定片の厚さを反影してい
る。
The time interval between the reception of the two pulses, ie the width of the generated time measurement signal, reflects the thickness of the piece to be measured.

時間測定信号パルス幅から被測定片の厚さの値を決定す
る方法において、公知技術の装置には困難なことがあっ
た。
Difficulties have been encountered with devices of the prior art in determining the value of the thickness of a piece to be measured from the time measurement signal pulse width.

特に、厚さの決定にアナログ回路を用いる時には、定電
流発生器と傾斜信号(ランプ信号)発生器が必要とされ
る。
In particular, when analog circuitry is used to determine the thickness, a constant current generator and a ramp signal generator are required.

例えばに−Brechによる米国特許第3,485,0
87号を参照されたい。
For example, U.S. Pat. No. 3,485,0 by Brech
Please refer to No. 87.

このような装置では、動作温度の変化や電子回路構成部
分の老化に付しランプ信号波形の直線性を安定に維持す
るという面で問題がある。
Such devices have a problem in stably maintaining the linearity of the lamp signal waveform as the operating temperature changes and the electronic circuit components age.

ランプ信号波形を発生する普通の方法は、時間測定信号
の幅に対応する間隔だけ定電流によってコンデンサを充
電することによっている。
A common method of generating a ramp signal waveform is by charging a capacitor with a constant current for an interval corresponding to the width of the time measurement signal.

そのコンデンサは定電流を時間に関して積分し、それに
よってランプ電圧信号波形が発生される。
The capacitor integrates the constant current with respect to time, thereby generating a lamp voltage signal waveform.

ランプ電圧信号の最高値が時間測定信号の幅を表わして
いる。
The highest value of the lamp voltage signal represents the width of the time measurement signal.

電流源とコンデンサの安定性は通常の動作温度範囲にわ
たって変化するため、厚さ測定の安定性と正確さに悪影
響を及ぼす。
The stability of current sources and capacitors varies over the normal operating temperature range, which negatively impacts the stability and accuracy of thickness measurements.

他の先行技術において、アナログ回路に比較して改良さ
れたド、リフト及び安定性特性を持つデジタル回路が用
いられたが、それは、安定した高周波のクロックを用い
ることを必要とした。
Other prior art techniques have used digital circuits with improved drift, drift, and stability characteristics compared to analog circuits, which required the use of stable, high frequency clocks.

高周波のクロックは回路内に雑音を発生しがちであり、
過大な電力を消費する。
High frequency clocks tend to generate noise in the circuit,
Consumes excessive power.

アルミニウムの被測定片。を測定する時にその厚さを0
.03mmの分解能で測ろうとすると125 MHzの
クロック周波数が必要となる。
Piece of aluminum to be measured. When measuring the thickness, set the thickness to 0
.. To measure with a resolution of 0.3 mm, a clock frequency of 125 MHz is required.

さらに、異なった音速を持った被測定片の厚さを測定す
るためには、それに応じてクロック周波数を変えねばな
らず、ある温度範囲にわ7たって安定な特性を持った高
価な同調装置が必要となる。
Furthermore, in order to measure the thickness of specimens with different sound velocities, the clock frequency must be changed accordingly, requiring an expensive tuning device with stable characteristics over a temperature range. It becomes necessary.

または、異なった音速を持った物質の厚さを測定するた
めに、それぞれが異なった周波数で発振する複数の高周
波クロックが必要となる。
Alternatively, to measure the thickness of materials with different sound speeds, multiple high-frequency clocks, each oscillating at a different frequency, are required.

他の先行システムは2安定の正確で高価なりロック回路
を用いるバーニヤ計数方法を用いている。
Other prior systems use vernier counting methods that employ bistable, accurate, and expensive locking circuits.

バーニヤ計数方法は1965年にニューヨークのMcG
raw−Hi l 1社の発行した、Millmanと
T aubの著わした「パルス、デジタル及びスイッチ
ング波形」の683頁から687頁までに説明されてい
る。
The Vernier counting method was developed in 1965 by McG
It is explained in ``Pulse, Digital, and Switching Waveforms'' by Millman and Taub, pp. 683 to 687, published by Raw-Hi Ill.

時間間隔の平均化は厚さ測定の安定性と分解能向上のた
めにいくつかの先行の装置にも用いられた。
Time interval averaging was also used in some previous devices to improve the stability and resolution of thickness measurements.

上述のように、被測定片の厚さに応じたパルス幅を持つ
時間測定信号が発生される。
As described above, a time measurement signal is generated with a pulse width that depends on the thickness of the piece to be measured.

そのパルス幅は、時間測定信号の間隔の間発生する高周
波クロックパルスからのパルス数(ト)を計数し、そし
てこのパルス数を定数Nで割り算して各測定当りの数(
P/N)を求めることにより測定される。
The pulse width is determined by counting the number of pulses (T) from the high-frequency clock pulse that occur during the interval of the time measurement signal, and dividing this number of pulses by a constant N to obtain the number (T) for each measurement.
P/N).

尚、定数Nはパルス数りを分周するN分周器の固定値N
のことである。
Note that the constant N is the fixed value N of the N frequency divider that divides the number of pulses.
It is about.

運行する測定の回数(N / )は、時間測定ゲート間
隔の間に計数されたクロックパルスの数の平均のを第1
式によって求めるためにNと等しくされる。
The number of measurements performed (N/) is the first average of the number of clock pulses counted during the time measurement gate interval.
It is made equal to N in order to find it by Eq.

時間間隔平均化方法はデジタル測定方法に比べて分解能
を改善し、また常に存在するホワイトノイズを平均化し
てなくすことにより安定性も増大する。
Time interval averaging methods improve resolution compared to digital measurement methods and also increase stability by averaging out the ever-present white noise.

時間間隔平均化システムは、これらの利点を提供するが
第1式の分子である測定回数N′が固定されるため較正
するのに適しない。
Although time interval averaging systems offer these advantages, they are not suitable for calibration because the number of measurements N', the numerator of the first equation, is fixed.

異なった音速を持つ被測定片を測る時間−の分解能を維
持するために、独立のクロックや調整可能なりロックが
異なった音速のそれぞれに対して必要となり、高価な複
雑な装置が必要となる。
In order to maintain time-resolution when measuring specimens with different sound speeds, separate clocks or adjustable locks are required for each different sound speed, requiring expensive and complex equipment.

本発明の装置では、上述の型の時間間隔平均回路の修正
されたものが用いられている。
In the device of the invention a modified version of the time interval averaging circuit of the type described above is used.

例えばプログラム可能N分周計数カウンタのようなプロ
グラム可能計数器が、異なった音速を持つ被測定片の厚
さを測るために、装置を較正する目的で用意されている
A programmable counter, such as a programmable divide-by-N counter, is provided for the purpose of calibrating the device to measure the thickness of specimens having different sound velocities.

好ましい実施例においてプログラム可能計数器は、例え
ば、サムホイールスイッチのような適当な装置によって
被測定片の音速を表す値にプログラムされる。
In a preferred embodiment, the programmable counter is programmed by a suitable device, such as a thumbwheel switch, to a value representative of the speed of sound in the specimen being measured.

測定の回数(Qはプログラム可能計数器にプログラムさ
れた値と等しい。
Number of measurements (Q equals the value programmed into the programmable counter.

時間測定ゲートの時間間隔中に起こるパルスの数は第2
式のようになる。
The number of pulses that occur during the time interval of the time measurement gate is the second
It becomes like the expression.

時間測定信号のパルス幅は超音波信号が速度Vで被測定
片の厚さを2回横切って進むのに要する時間2Xi8に
等しい。
The pulse width of the time measurement signal is equal to the time 2Xi8 required for the ultrasonic signal to travel twice across the thickness of the specimen at a velocity V.

一定時間に対するクロックパルスの数はクロック周波数
fに等しい。
The number of clock pulses for a given time is equal to the clock frequency f.

各測定車りのパルス数の平均を得るための定数値Nはそ
のままにされて第2式は第3式のようになる。
The constant value N for obtaining the average number of pulses of each measuring vehicle is left unchanged, and the second equation becomes the third equation.

プログラム可能計数器で決定される測定回数(Qが被測
定片の音速(7)と等しい時、第3式は第4式のように
なる。
When the number of measurements (Q) determined by the programmable counter is equal to the sound velocity (7) of the piece to be measured, the third equation becomes the fourth equation.

もし周波数fと周波数分割数Nが、5×10(n−1)
の比率に選ばれ、指数(n−1)が周波数fと周波数分
割数Nの大きさによるとすれば、第4式はさらに第5式
のようになる。
If frequency f and frequency division number N are 5×10(n-1)
If the index (n-1) depends on the frequency f and the size of the frequency division number N, then the fourth equation becomes the fifth equation.

適当な10による割り算によって、計数されたパルスの
数が被測定片の厚さに等しいことが明らか(n−t) となるだろう。
A suitable division by 10 will reveal that the number of pulses counted is equal to the thickness of the piece being measured (nt).

比率が5×10 と異なっている時は、公知の技
術による付加的なスケーリング回路が計数されたパルス
数のを測定厚さの表示に変換するために用いられる。
When the ratio differs from 5.times.10.sup.2, an additional scaling circuit according to known techniques is used to convert the number of counted pulses into a representation of the measured thickness.

この厚さ測定装置はどのような被測定片の厚さも測れる
ようにたやすく較正できる。
This thickness measuring device can be easily calibrated to measure the thickness of any piece being measured.

もし被測定片の音速が未知である時は既知の厚さを持っ
た見本の被測定片が測られる。
If the sound velocity of the piece being measured is unknown, a sample piece having a known thickness is measured.

表示された厚さが知られている厚さと等しくなるまでプ
ログラム可能計数器が調整される。
The programmable counter is adjusted until the displayed thickness equals the known thickness.

説明された装置は、先行の装置より利点があるが、不利
な点はない。
The described device has advantages over previous devices, but no disadvantages.

この装置はデジタル回路を使用しているので、アナログ
定電流発生器やランプ信号発生器固有の不利益は除去さ
れている。
Because the device uses digital circuitry, the disadvantages inherent in analog constant current generators and ramp signal generators are eliminated.

厚さの値を表示する前に測定回数を変えるプログラム可
能の装置は、固定した周波数の1個のクロックを用いる
ことを可能とし、その周波数は先行のデジタル測定装置
に使われるものより低いものである。
A programmable device that changes the number of measurements before displaying a thickness value allows the use of a single clock with a fixed frequency, which is lower than that used in earlier digital measurement devices. be.

本発明による厚さ測定装置は、クロック周波数を変える
必要なしに、異なった音速を持つ被測定片の厚さを測る
のに使用できる。
The thickness measuring device according to the invention can be used to measure the thickness of pieces with different sound velocities without the need to change the clock frequency.

さらに安定性とドリフトに関する従来の困難な問題が除
去された。
Furthermore, the traditional difficult problems of stability and drift have been eliminated.

従って、この発明の主要な目的は、時間間隔平均回路と
共に用いられるプログラム可能の装置を含む超音波厚さ
測定装置を提供することである。
Accordingly, a primary object of the present invention is to provide an ultrasonic thickness measuring device that includes a programmable device for use with a time interval averaging circuit.

もう1つの本発明の主要な目的は、異なった音速を持つ
被測定片を測るために装置を較正する手段を含む超音波
厚さ測定装置を提供することである。
Another principal object of the present invention is to provide an ultrasonic thickness measuring device that includes means for calibrating the device to measure specimens with different sound velocities.

さらに、本発明の目的は被測定片の要求するどんな音速
に対しても簡単に較正でき、安定性と分解能が増大した
ことを特徴とする装置を提供するためにプログラム可能
な装置を持ったデジタル超音波厚さ測定装置を提供する
ことである。
Furthermore, it is an object of the present invention to provide a device with a programmable device that can be easily calibrated for any sound velocity required by the piece being measured and is characterized by increased stability and resolution. An object of the present invention is to provide an ultrasonic thickness measuring device.

図を参照すると、本発明に提起された実施例の概略のブ
ロック図が示されている。
Referring to the figures, there is shown a schematic block diagram of an embodiment of the present invention.

反復レートクロック10は周期的に、普通500 Hz
から20KHzの間の周波数で送受プローブ14を励振
するためにパルサ12にタイミングパルスを供給する。
The repetition rate clock 10 is periodic, typically 500 Hz.
Timing pulses are provided to the pulser 12 to excite the transceiver probe 14 at a frequency between 20 KHz and 20 KHz.

送受プローブ14はパルサ12からの電気信号に応答し
て周期的に超音波探査パルスを厚さを測定されるべき被
測定片W内へ送り、反射応答パルスを受ける。
The transmitting/receiving probe 14 responds to the electrical signal from the pulser 12 by periodically transmitting ultrasonic probe pulses into the piece W to be measured whose thickness is to be measured, and receives reflected response pulses.

これらの反射応答パルスはプローブによって電気信号に
変換され受信回路16へ供給される。
These reflected response pulses are converted into electrical signals by the probe and supplied to the receiving circuit 16.

そして受信回路16は、それぞれの探査パルスが被測定
片を通過する伝搬時間に対応した厚さ応答時間測定信号
を発生するためにタイミングフリップフロップ18へ反
射応答トリガ信号を供給する。
The receiver circuit 16 then supplies a reflection response trigger signal to a timing flip-flop 18 to generate a thickness response time measurement signal corresponding to the propagation time of each probing pulse through the test piece.

ここでは、プローブ14から供給された探査パルスそれ
ぞれに対して1つの時間測定信号が発生される。
Here, one time measurement signal is generated for each probing pulse supplied by the probe 14.

クロック20はあらかじめ定められた周波数のパルス列
をゲート回路22へ供給する。
Clock 20 supplies a pulse train of a predetermined frequency to gate circuit 22.

フリップフロップ18からの時間測定信号は、被測定片
Wの厚さに対応した時間測定信号の幅と同じ時間間隔の
間ゲート回路22を開く。
The time measurement signal from flip-flop 18 opens gate circuit 22 for a time interval equal to the width of the time measurement signal corresponding to the thickness of the piece W to be measured.

好ましい実施例においてはN分周計数回路の如き計数装
置24は、ゲート回路22の出力に接続され、それぞれ
の時間測定信号の間隔の間開いたゲート22を通して受
は取られたクロック20からのパルスの数を積算し、こ
の積算した数をNで割った数を表示する出力計数信号を
供給する。
A counting device 24, such as a divide-by-N counting circuit in the preferred embodiment, is connected to the output of the gate circuit 22 and receives pulses from the clock 20 through the gate 22, which is open during each time measurement signal interval. , and provides an output count signal that displays the number divided by N.

計数器26が固定のN分周計数装置24の出力計数信号
を積算し記憶するために計数装置24に接続されている
A counter 26 is connected to the counter 24 for integrating and storing the output count signal of the fixed N-frequency counter 24.

計数器26内の積算されたパルス数は、読み出し装置2
8に更新回路30から更新信号が送られるのに応じて、
読み出し装置28へ供給される。
The accumulated number of pulses in the counter 26 is calculated by the readout device 2.
In response to the update signal being sent from the update circuit 30 to 8,
A readout device 28 is provided.

好ましい実施例においては、計数装置24は固定N分周
計数回路とされているが、計数装置24によってクロッ
ク20から、開いたゲート回路22を通してN個のクロ
ックパルスが受は取られた時に計数出力が増加するよう
などのような計数回路と論理回路の組み合わせでも使用
できる。
In the preferred embodiment, the counter 24 is a fixed divide-by-N counting circuit that outputs a count when N clock pulses are received and taken by the counter 24 from the clock 20 through the open gate circuit 22. Any combination of counting circuits and logic circuits can be used so that .

好ましい実施例においてはプログラム可能なN分数計数
器である、プログラム可能計数装置32は、例えばサム
ホイールスイッチ又は他の適当な調節器のようなアドレ
ス装置34によって、厚さを測定されるべき被測定片の
音速にプリセットされる。
A programmable counting device 32, which in the preferred embodiment is a programmable N fraction counter, is connected to the object whose thickness is to be measured by an addressing device 34, such as a thumbwheel switch or other suitable regulator. The speed of sound is preset to one side.

例えば、ためしに6.35 X 1 o5crrL、’
SeC(2,5X 105inch/5ec)の音速を
持つアルミニウムの被測定片の場合、その厚さをメート
ル法で測定する時はサムホイールスイッチの表示をr6
350J にセットしあるいはアメリカの単位で測定
する時はサムホイールスイッチの表示をl’−2300
Jにセットする。
For example, try 6.35 X 1 o5crrL,'
In the case of a piece of aluminum to be measured with a sound velocity of SeC (2,5X 105inch/5ec), when measuring its thickness in metric system, change the thumbwheel switch display to r6.
When setting to 350J or measuring in American units, change the thumbwheel switch display to l'-2300.
Set to J.

計数装置32はクロック10からパルサ12へ送られる
タイミングゲートの数を計数する。
Counter 32 counts the number of timing gates sent from clock 10 to pulser 12.

そして、それ抄えノここれは時間測定信号の間隔の数を
計数することになる。
Then, this will count the number of intervals of the time measurement signal.

プログラム可能な計数装置32によって計数されている
クロック10からのタイミングパルスの数がアドレス装
置34のプリセットされた数と同一になった時、計数装
置32から更新回路30と遅延回路38へ1つの信号が
送られる。
When the number of timing pulses from the clock 10 being counted by the programmable counter 32 is equal to the preset number of the address device 34, one signal is sent from the counter 32 to the update circuit 30 and the delay circuit 38. will be sent.

読み出し装置は計数器26から計数値を受は取ってその
表示内容を更新する。
The reading device receives the count value from the counter 26 and updates its display contents.

読み出し装置28が更新信号を確実に受は取るのに十分
な遅延の後リセット信号が遅延回路38から計数装置2
4と計数器26ベ両方の回路を0にリセットするために
送られる。
After a delay sufficient to ensure that the readout device 28 receives the update signal, the reset signal is transferred from the delay circuit 38 to the counting device 2.
4 and counter 26 to reset both circuits to zero.

□計数装置32はまたタイミングパルスのプリセットさ
れた数をくりかえし計数するためζこそれ自体でリセッ
トされる。
□The counter 32 is also reset by itself to repeatedly count the preset number of timing pulses.

被測定片の厚さを測定するために、超音波エネルギーを
送るべく、送受プローブ14は被測定片の表面に油や水
のような適当な結合手段によって結合される。
The transceiver probe 14 is coupled to the surface of the sample by suitable coupling means, such as oil or water, to transmit ultrasonic energy to measure the thickness of the sample.

被測定片の音速はサムホイールスイッチのようなアドレ
ス装置34によってプログラム可能N分周計算器32に
プログラムされる。
The sound velocity of the piece being measured is programmed into the programmable divide-by-N calculator 32 by an addressing device 34, such as a thumbwheel switch.

反復レートクロック10からパルサ12へ伝えられた周
期的に発生するタイミングパルスはパルサにプローブ1
4を周期的に励振させる。
The periodically occurring timing pulses transmitted from the repetition rate clock 10 to the pulser 12 cause the pulser to probe 1.
4 is periodically excited.

それぞれの供給されたパルス信号に応じてプローブ14
は被測定片内に超音波エネルギ探査パルスを送り、被測
定片の入射面と後壁からの応答反射パルスを受ける。
probe 14 in response to each supplied pulse signal.
sends an ultrasonic energy probing pulse into the specimen and receives response reflection pulses from the incident surface and rear wall of the specimen.

受信された反射パルスはプローブ14によって電気信号
に変換され、受信器16へ送られる。
The received reflected pulses are converted into electrical signals by probe 14 and sent to receiver 16 .

受信器16は、タイミングフリップフロップ回路18へ
出力トリガ信号を供給する。
Receiver 16 provides an output trigger signal to timing flip-flop circuit 18 .

タイミングパルスはタイミングフリップフロップ18を
各各の周期の最初にリセットするためにクロック10か
らタイミングフリップフロップ18へも伝達される。
Timing pulses are also communicated from clock 10 to timing flip-flop 18 to reset timing flip-flop 18 at the beginning of each respective period.

受信器16から得られるビデオ出カドリカパルスであっ
て、入射表面での反射パルスに応答するものがタイミン
グフリップフロップ回路18をスタートし、後壁での反
射パルスに応答するものがストップする。
The video output quadratic pulses obtained from the receiver 16 that are responsive to the reflected pulses at the input surface start the timing flip-flop circuit 18 and those that are responsive to the reflected pulses at the back wall are stopped.

その結果生ずる時間測定信号出力のパルス幅は、トリガ
信号の間隔の間に超音波パルス信号が被測定片を通して
伝わった距離つまり被測定片の厚さに対応している。
The pulse width of the resulting time measurement signal output corresponds to the distance traveled by the ultrasonic pulse signal through the specimen during the interval of the trigger signal, or the thickness of the specimen.

タイミングフリップフロップ回路18から得られた、被
測定片の厚さと同じパルス幅を持った時間測定信号はそ
の時間測定信号の存在する間ゲート22を開くためにゲ
ート22の1つの入力へ送られる。
A time measurement signal obtained from the timing flip-flop circuit 18 having a pulse width equal to the thickness of the piece being measured is sent to one input of the gate 22 to open the gate 22 during the presence of the time measurement signal.

クロック20は別のクロックパルスをゲート22の他の
入力へ供給する。
Clock 20 provides another clock pulse to the other input of gate 22.

好ましい実施例においてこのクロックパルスの周波数は
12.8MHzであり、これは普通10KHzである反
復レートクロック10の周波数よりかなり高い。
In the preferred embodiment, the frequency of this clock pulse is 12.8 MHz, which is significantly higher than the frequency of repetition rate clock 10, which is typically 10 KHz.

時間測定信号の間隔の間ゲート22が開いている時、ク
ロック20からのクロックパルスは開いたゲート22を
通して固定N分周計数器24へ伝送される。
When gate 22 is open during the time measurement signal interval, clock pulses from clock 20 are transmitted through open gate 22 to fixed N divider counter 24.

計数装置24はクロック20からのパルスをN個受は取
るごとに出力計数信号を発生する。
Counter 24 generates an output count signal every time it receives N pulses from clock 20.

示された実施例におけるNの値は、クロック20のメガ
ヘルツの位の周波数をNで割った比率が0.05に等し
くなるように選ばれる。
The value of N in the example shown is chosen such that the ratio of the megahertz frequency of clock 20 divided by N is equal to 0.05.

クロック周波数が12.8MHzである本例ではNは2
56に選ばれる。
In this example where the clock frequency is 12.8MHz, N is 2.
Selected as 56th.

タイミングフリップフロップからの時間測定信号はクロ
ック20からのクロックパルスと非同期であることが明
白であろう。
It will be apparent that the time measurement signal from the timing flip-flop is asynchronous with the clock pulses from clock 20.

換言すれば、タイミングゲートの開閉はクロック20か
らのクロツクパルスと同時でない。
In other words, the opening and closing of the timing gates are not simultaneous with the clock pulses from clock 20.

従って計数装置24によって計数される数は、各々の時
間測定信号がり碩ツク20からのクロックパルスと相対
したどの時刻におこるかという点によるため変化するだ
ろう。
The number counted by counting device 24 will therefore vary due to the time at which each time measurement signal occurs relative to the clock pulse from clock 20.

計数装置24はそれぞれの時間測定信号間隔の間の各々
Nパルスに1個計数信号を発生し、計数装置24から得
られるカウントの数を積算するための計数器26へ計数
出力を送る。
Counter 24 generates a count signal, one for each N pulses during each time measurement signal interval, and sends a count output to counter 26 for accumulating the number of counts obtained from counter 24.

あらかじめ定められた回数の測定を行なった後、すなわ
ち、アドレス装量34によって計数装置32にプログラ
ムされたあらかじめ定められた数のフリップフロップ回
路18からの時間測定信号が得られると、計数装置32
から信号が更新回路30へ供給される。
After a predetermined number of measurements have been made, i.e., after obtaining time measurement signals from a predetermined number of flip-flop circuits 18 programmed into the counting device 32 by the addressing charge 34, the counting device 32
A signal is supplied from the update circuit 30 to the update circuit 30.

更新回路30は、計数装置32からの信号に応じて、計
数器26に積算され記憶されているカウントの数に等し
い被測定片の厚さを表示するため読み出し装置28へ更
新信号を送る。
In response to the signal from the counting device 32, the update circuit 30 sends an update signal to the readout device 28 to display the thickness of the specimen equal to the number of counts accumulated and stored in the counter 26.

読み出し装置28は次に続く更新信号まで表示を記憶す
る。
The reading device 28 stores the display until the next subsequent update signal.

計数装置32からの出力信号は、読み出し装置28が計
数器26内の値で更新されるのに十分な時間、遅延装置
38によって遅延され、その後固定N分周計数器24と
計数器26をリセットするために遅延装置38から供給
される。
The output signal from the counter 32 is delayed by a delay device 38 for a sufficient time for the readout device 28 to be updated with the value in the counter 26, and then resets the fixed divide-by-N counter 24 and the counter 26. is supplied from delay device 38 to do so.

本発明の特徴の1つは、厚さ測定装置の較正方法である
One of the features of the invention is a method for calibrating a thickness measuring device.

前述の説明においては、被測定片の音速は知られており
、アドレス装置34によって、プログラム可能N分周器
に直接プログラムされた。
In the foregoing description, the sound velocity of the specimen being measured was known and programmed directly into the programmable N divider by the addressing device 34.

他の応用では被測定片を通る超音波信号の速度は未知で
ある。
In other applications, the velocity of the ultrasound signal through the specimen is unknown.

このような場合には、厚さの知られた被測定片の見本が
プローブ14に超音波的に結合される。
In such a case, a sample of the piece to be measured of known thickness is ultrasonically coupled to the probe 14.

プログラム可能計数装置32と組み合わされたアドレス
装置34はそこで、読み出し装置38が既知の厚さと一
致した値を表示するように調節される。
Addressing device 34 in combination with programmable counting device 32 is then adjusted such that readout device 38 displays a value consistent with the known thickness.

読み出し装置はアメリカの単位(インチ)かもしれない
し、メートル法(センナメートル)かもしれないが、調
節が完了すれば、同一の音速を持った未知の厚さの被測
定片の測定の時には再調節する必要はない。
The readout device may be in American units (inches) or metric (cenmeters), but once adjusted, readjust it when measuring a piece of unknown thickness with the same speed of sound. There's no need.

公知技術の時間平均を使用する超音波厚さ測定装置では
、測定回数(更新周期)は一定に維持されていた。
In the known ultrasonic thickness measuring device that uses time averaging, the number of measurements (update period) is kept constant.

該装置では、反復レート又はクロックの周波数は変えら
れ、そのためその周波数を変更するための高価な同調ク
ロック回路を必要とした。
In that device, the repetition rate or frequency of the clock was varied, thus requiring an expensive tuned clock circuit to change the frequency.

本実施例では実行される測定回数は装置の目盛調節の実
理のためにプログラム可能になっている。
In this embodiment, the number of measurements performed is programmable for the sake of instrument calibration practice.

該装置の目盛調節用装置と組み合わせてデジタル回路を
用いることは超音波厚さ測定装置を従来公知の装置に比
較して、安定度、精度、分解能において進歩させた。
The use of digital circuitry in conjunction with the device's scale adjustment device has advanced the ultrasonic thickness measurement device in terms of stability, accuracy, and resolution compared to previously known devices.

前述の説明においてタイミングフリップフロップ18か
らのタイミングゲートの始まりは入射面応答反射パルス
に応答した信号によってトリガされる。
In the foregoing discussion, the beginning of the timing gate from timing flip-flop 18 is triggered by a signal responsive to the input surface response reflection pulse.

スタートトリガ信号は反復レートクロック10からタイ
ミングフリップフロップ回路18への間に接続された調
節可能の単安定マルチバイブレークによっても発生され
得ることは明らかである。
It is clear that the start trigger signal can also be generated by an adjustable monostable multi-bi break connected between the repetition rate clock 10 and the timing flip-flop circuit 18.

マルチバイブレークのパルス幅は、クロック10による
タイミング信号の発生とプローブの超音波探査パルスが
被測定片に入る時間間隔の間タイミングフリップフロッ
プ18が遅延されるようなトリガ信号を供給するように
調節される。
The pulse width of the multi-by-break is adjusted to provide a trigger signal such that the timing flip-flop 18 is delayed during the time interval between generation of the timing signal by the clock 10 and the entry of the ultrasonic probing pulse of the probe into the specimen. Ru.

このような人為的なスタートトリガ信号の使用は入射面
応答反射パルスの予測される時間の間プローブ14のリ
ンギングを制動するための抑圧器の必要を除去する。
The use of such an artificial start trigger signal eliminates the need for a suppressor to dampen the ringing of the probe 14 during the expected time of the incident surface response reflection pulse.

この問題はプローブが被測定片の表面に直接接触してお
り、タイミングパルスから、タイミングフリップフロッ
プ18からの時間測定信号の始まりまでの時間がプロー
ブ14の前に配置された比較的薄い摩耗板を通して超音
波信号が通過する時間と等しい時は特に激しい。
The problem is that the probe is in direct contact with the surface of the piece being measured, and the time from the timing pulse to the beginning of the time measurement signal from the timing flip-flop 18 is passed through a relatively thin wear plate placed in front of the probe 14. It is especially intense when it is equal to the time taken by the ultrasound signal.

代わりの実施例として、計数装置と時間測定器の一方又
は両方は、探査パルスが被測定片へ送られた時以後の固
定された期間受信装置16に接続された抑制ゲートによ
って抑制される。
As an alternative embodiment, one or both of the counting device and the time measuring device are suppressed by a suppression gate connected to the receiving device 16 for a fixed period of time after the time the probing pulse is sent to the test piece.

それは、タイミングフリップフロップ回路18を入射面
応答反射信号の後に受は取られる後壁からの反射によっ
て起こる1対の反射信号にのみ応答させるための公知の
方法で接続されている。
It is connected in a known manner to cause the timing flip-flop circuit 18 to respond only to a pair of reflected signals caused by reflections from the back wall which are received after the input surface response reflected signal.

2つの不連続な後壁反射パルスの間の時間間隔を測定す
ることが公知技術で可能であることはもちろんである。
It is of course possible with known techniques to measure the time interval between two discrete back wall reflection pulses.

どちらの実施例でも計数器26での計数値は適当な除数
で除されることが必要なことは明白である。
It is clear that in both embodiments it is necessary that the count in counter 26 be divided by a suitable divisor.

被測定片の音速を目盛によって指示するようにプログラ
ムされるアドレス装置を用意することは最も有利なこと
であると同時に、クロック20の周波数と計数装置24
の値Nの比率を5X10(n″″1)以外の値に選択す
ることによるか又は、付加的なりロックや、又は計数装
置を該回路内に用いることによって、アドレス装置34
が任意のどんなユニットのためにもプログラムされ得る
ことも明白である。
It is most advantageous to provide an addressing device that is programmed to indicate the speed of sound of the piece being measured by means of a scale, while at the same time adjusting the frequency of the clock 20 and the counting device 24.
The address device 34 may be modified by selecting the ratio of the value N of the address device 34 to a value other than 5×10 (n″″1) or by using an additional lock or counting device in the circuit.
It is also clear that can be programmed for any arbitrary unit.

前述の説明のように、計数器26からの信号はデジタル
表示読み出し装置28へ供給される。
As previously discussed, the signal from counter 26 is provided to digital display readout 28.

しかしながら、計数器26からの信号は、他の表示又は
指示装置へ、あるいは信号処理装置へ供給され得ること
は明白である。
However, it is clear that the signal from the counter 26 can be fed to other display or indicating devices or to signal processing devices.

例えば、被測定片の分類を行なう時には、被測定片の厚
さがあらかじめ定められた許容水準の中にある時に受は
入れ/拒否信号を発生するために、出力信号はデジタル
比較器へ接続され得る。
For example, when classifying a specimen, the output signal is connected to a digital comparator to generate an accept/reject signal when the thickness of the specimen is within a predetermined tolerance level. obtain.

出力信号はまた、出力が線図表記録計に接続された、デ
ジタル・アナログ変換器へも供給され得る。
The output signal may also be provided to a digital-to-analog converter, the output of which is connected to a chart recorder.

他の応用では、出力信号を表示することなく、さらに信
号処理や解析を行なうために計算機に供給することもで
きる。
In other applications, the output signal may be fed to a computer for further signal processing and analysis without being displayed.

本発明の提起された実施例とそのいくつかの変更された
ものについて記述し説明して来たが、より大幅な変更や
修正が、添付された特許請求の範囲によってのみ限定さ
れるべき本発明の本質からはずれることなく成され得る
ことは、当該技術の熟練者にとっては明白であろう。
While the present invention has been described and illustrated with respect to the presently disclosed embodiments and certain variations thereof, the present invention is to be limited only by the scope of the appended claims. It will be obvious to those skilled in the art that this can be done without departing from the essence of the invention.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面は本発明による超音波厚さ測定装置の実施例を示す
電気的概略ブロック図である。
The drawing is a schematic electrical block diagram showing an embodiment of the ultrasonic thickness measuring device according to the present invention.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 被測定物の寸法を超音波パルス反射法によって測定
する方法であって、イ)被測定物の表面に超音波探査パ
ルスを周期的に送波し、そしてそれら各々の探査パルス
が音響インピーダンス変化によってさえぎられることに
応答する反射パルスを受波する段階と、口)各探査パル
スの送波に応答した第1の信号と各探査パルスに関連し
た反射パルスに応答した第2の信号の受信との時間間隔
によって決定されるところの、それぞれの探査パルスが
前記表面からインピーダンス変化点までの被測定物の寸
法を横切る伝搬時間に対応したカウントを供給する段階
と、ハ)そのような連続した時間間隔の間に供給された
カウントを積算する段階と、及び、二)被測定物の音速
を表すあらかじめ決定されたプログラム可能な数の探査
パルスが送られた時に前記積算されたカウントに応答す
る出力信号を供給する段階と、よりなる前記方法。 2、特許請求の範囲第1項記載の方法であって、前記探
査パルスのあらかじめ決定された数が調節可能な装置に
よってプログラム可能である前記方法。 3 特許請求の範囲第1項記載の方法であって、前記カ
ウントが離散的なりロックパルスである前記方法。 4 特許請求の範囲第1項記載の方法であって、前記第
1の信号は被測定物の表面に入射する探査パルスに応答
したものであり、前記第2の信号は前記探査パルスが被
測定物の後壁にさえぎられたことに応答したものである
前記方法っ 5 特許請求の範囲第1項記載の方法であって、前記第
1の信号は前記探査パルスが被測定物の後壁lこさえぎ
られたことに応答したものであり、前記第2の信号は後
壁において前記探査パルスによって供給される超音波エ
ネルギの引き続いて起こる反射に応答したものである前
記方法。 6 特許請求の範囲第4項記載の方法であって、前記第
1の信号は前記探査パルス送出後あらかじめ決定された
時間の後に発生される電気信号であり、前記第2の信号
は被測定物の後壁から生ずる反射信号に応答したもので
ある前記方法。 1 特許請求の範囲第1項記載の方法であって、前記出
力信号が測定寸法の続み取りを与える前記方法。 8 特許請求の範囲第1項記載の方法であって、前記あ
らかじめ決定された数が音速の単位でプログラム可能で
ある前記方法。 9 被測定物内へ周期的に探査パルスを送波し続いて該
探査パルスの送波に応答した反射パルスを受波すること
によって被測定物の寸法を測定する超音波装置であって
、イ)タイミングパルスを供給するための第1クロツク
と、口)前記タイミングパルスを受けてそれに応じて被
測定物内へ周期的な探査パルスを送波させる信号を供給
するために接続されるパルス発生装置と、ハ)それぞれ
の探査パルスの送波に応答した反射応答パルスを受波す
るために接続される受信器と、二)探査パルスの送波に
応答した第」の信号を受け、続いて前記探査パルスに関
連した反射応答パルスに応答した第2の信号を受けるた
め、かつ前記第4の信号と前記第2の信号との時間間隔
の間に被測定物内において前記探査パルスによって横切
られる距離に対応した時間測定信号を発生するために接
続される時間測定装置と、ホ)周期的なりロックパルス
を供給するための第2クロツクと、へ)前記周期的りラ
ンクパルスを受けるため、かつ前記時間測定信号を受け
てそれ:こ応して前記時間測定信号の間に生ずる周期的
クロックパルスの数に対応したカウントの形式で第3の
信号を供給するために接続される計数装置と、ト)連続
した時間測定信号の間に生ずる笥期的クロックパルスの
それぞれの数に対応したカウントを積算するために前記
第3の信号と引き続く複数の第3の信号を受けるために
接続される計数器と、チ)前記タイミングパルスを受け
て、受は取ったタイミングパルスの数が被測定物の音速
を表わすプログラムされた数と等しくなった時に第4の
信号を供給するために前記第1クロツクに接続されるプ
ログラム可能計数装置と、及び、す)前記積算されたカ
ウントに対応した読み取りを前記第4の信号に応答して
供給するために前記計数器と前記プログラム可能計数装
置とに接続される読み取り装置と、の組み合わせから成
る前記装置。 10特許請求の範囲第9項記載の装置であって、前記時
間測定装置が、前記第4の信号に応答して始動し前記第
2の信号に応答して停止するフリップフロップ回路から
成り、前記タイミングパルスを受けそしてこの受信後あ
らかじめ決定された時間の後に前記フリップフロップ回
路を始動させるために該フリツプフロツプヘトリガ信号
を供給するために前記第1クロツクと前記フリップフロ
ップ回路とに接続される別の装置を含む前記装置。 11 特許請求の範囲第9項記載の装置であって、前記
タイミングパルスに応答して前記時間測定装置を周期的
にリセットするために前記時間測定装置を前記第1クロ
ツクと接続する装置を含む前記装置。 12特許請求の範囲第9項記載の装置であって、前記計
数装置が、第1人力で前記クロックパルスを受は第2人
力で前記時間測定信号を受けるように接続されたゲート
を含み、前記クロックパルスが前記第1と第2の信号と
の時間間隔の間前記デートを通過すること、及び前記計
数装置が、前記ゲートを通過した前記クロックパルスの
数に応答して前記第3の信号を供給するために前記ゲー
トに接続されるN分周計数器から成る前記装置。 13特許請求の範囲第9項記載の装置であって、前記プ
ログラム可能計数装置がアドレス装置とプログラム可能
N分周計数器とから成り、前記アドレス装置がセット可
能なスイッチから成り、前記セット可能なスイッチが被
測定物の音速を表示するため目盛に関連させられている
前記装置。 14特許請求の範囲第9項記載の装置であって、前記読
み増り装置がデジタル表示装置である前記装置。 15特許請求の範囲第9項記載の装置であって、前記計
数装置と前記計数器とを周期的?こりセットするために
前記第4の信号が前記計数装置と前記計数器とに接続さ
れている前記装置。 16特許請求の範囲第9項記載の装置であって、前記パ
ルス発生装置と前記受信器とに接続されており、かつ被
測定物に結合されるようになっている変換プローブを含
む前記装置。 17特許請求の範囲第16項記載の装置であって、前記
第1の信号が入射面反射応答信号であり、前記第2の信
号が後壁反射応答信号である前記装置。 18特許請求の範囲第16項記載の装置であって、前記
第1の信号が後壁反射応答信号であり、前記第2の信号
が前記探査信号が続いて被測定物の後壁でさえぎられる
ことにより供給された超音波エネルギに応答したもので
ある前記装置。
[Claims] 1. A method for measuring the dimensions of an object to be measured by an ultrasonic pulse reflection method, comprising: (a) periodically transmitting ultrasonic probe pulses to the surface of the object; receiving reflected pulses responsive to the probing pulses being interrupted by acoustic impedance changes; c) providing a count corresponding to the propagation time of each probing pulse across the dimension of the measured object from the surface to the point of impedance change, as determined by the time interval between the reception of the signal of C.2; 2) accumulating the counts supplied during such consecutive time intervals; and 2) accumulating the counts when a predetermined programmable number of probing pulses representative of the sound speed of the object being measured have been sent. providing an output signal responsive to the counted count. 2. The method of claim 1, wherein the predetermined number of probing pulses is programmable by an adjustable device. 3. The method of claim 1, wherein the count is a discrete relock pulse. 4. The method according to claim 1, wherein the first signal is in response to a probe pulse incident on the surface of the object to be measured, and the second signal is in response to the probe pulse incident on the surface of the object to be measured. 5. The method according to claim 1, wherein the first signal is in response to the probe pulse being blocked by a rear wall of the object. said second signal being in response to a subsequent reflection of ultrasound energy provided by said probing pulse at a back wall. 6. The method according to claim 4, wherein the first signal is an electrical signal generated after a predetermined time after sending out the probe pulse, and the second signal is an electric signal generated after a predetermined time after sending out the probe pulse. said method in response to a reflected signal originating from a rear wall of said device. 1. The method of claim 1, wherein the output signal provides a succession of measured dimensions. 8. The method of claim 1, wherein the predetermined number is programmable in units of sound speed. 9 An ultrasonic device that measures the dimensions of an object to be measured by periodically transmitting a probe pulse into the object and subsequently receiving a reflected pulse in response to the transmitted probe pulse, ) a first clock for supplying a timing pulse; and a) a pulse generator connected to receive the timing pulse and supply a signal for transmitting a periodic probing pulse into the object under test in response. and c) a receiver connected to receive the reflected response pulse in response to the transmission of each probe pulse; and 2) a receiver connected to receive the reflected response pulse in response to the transmission of the respective probe pulses; a distance traversed by the probe pulse within the object to be measured for receiving a second signal in response to a reflected response pulse associated with the probe pulse and during a time interval between the fourth signal and the second signal; e) a second clock for providing periodic rank pulses; and f) a second clock for receiving said periodic rank pulses; a counting device connected to receive the time measurement signal and thereby provide a third signal in the form of a count corresponding to the number of periodic clock pulses occurring during the time measurement signal; ) a counter connected to receive said third signal and a plurality of subsequent third signals for accumulating a count corresponding to each number of periodic clock pulses occurring between successive time measurement signals; and h) in response to said timing pulse, a receiver is adapted to said first clock for providing a fourth signal when the number of timing pulses taken is equal to a programmed number representing the sound speed of the object being measured. and a) a programmable counting device connected to the counter and the programmable counting device for providing a reading corresponding to the accumulated count in response to the fourth signal. and a reading device. 10. The device according to claim 9, wherein the time measuring device comprises a flip-flop circuit that starts in response to the fourth signal and stops in response to the second signal; connected to the first clock and the flip-flop circuit for receiving a timing pulse and providing a trigger signal to the flip-flop circuit for starting the flip-flop circuit a predetermined time after receipt of the timing pulse; said device, including another device that contains said device. 11. The apparatus of claim 9, including means for connecting said time measuring device with said first clock for periodically resetting said time measuring device in response to said timing pulse. Device. 12. The apparatus of claim 9, wherein the counting device includes a gate connected to receive the clock pulse with a first manual input and to receive the time measurement signal with a second manual input, a clock pulse passes through the date during the time interval between the first and second signals, and the counting device calculates the third signal in response to the number of the clock pulses passing through the gate. said device comprising a divide-by-N counter connected to said gate for supplying said gate; 13. The apparatus of claim 9, wherein the programmable counting device comprises an addressing device and a programmable divide-by-N counter, the addressing device comprises a settable switch, and the programmable counting device comprises an address device and a programmable divide-by-N counter; Said device in which a switch is associated with a scale for indicating the sound speed of the object being measured. 14. The device of claim 9, wherein the readout device is a digital display device. 15. The device according to claim 9, wherein the counting device and the counter are arranged periodically? The device wherein the fourth signal is connected to the counting device and the counter for setting the stiffness. 16. The apparatus according to claim 9, comprising a conversion probe connected to the pulse generator and the receiver, and adapted to be coupled to an object to be measured. 17. The apparatus of claim 16, wherein the first signal is an entrance surface reflection response signal and the second signal is a back wall reflection response signal. 18. The apparatus according to claim 16, wherein the first signal is a rear wall reflection response signal, and the second signal is intercepted by the rear wall of the object to be measured after the probe signal. said device responsive to ultrasonic energy supplied thereto.
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