JPS6249921B2 - - Google Patents
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- JPS6249921B2 JPS6249921B2 JP55172076A JP17207680A JPS6249921B2 JP S6249921 B2 JPS6249921 B2 JP S6249921B2 JP 55172076 A JP55172076 A JP 55172076A JP 17207680 A JP17207680 A JP 17207680A JP S6249921 B2 JPS6249921 B2 JP S6249921B2
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- Japan
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- thickness
- pulse
- clock pulse
- clock
- ultrasonic
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
- G01B17/02—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は周期的に超音波パルスを被検材の一面
に入射しその底面からの反射エコーの時間の遅れ
を測定することにより、該被検体の厚さを測定す
る超音波式厚さ測定方法に関する。
に入射しその底面からの反射エコーの時間の遅れ
を測定することにより、該被検体の厚さを測定す
る超音波式厚さ測定方法に関する。
本発明の目的は上述した反射エコーの遅れ時間
を測定するために用いるクロツクパルスの位相を
入射パルスの時系列順に適宜変えて計数すること
により、測定分離能の向上を計り、あるいは分解
能を低下させることなくクロツクパルスの周波数
を適宜低くすることを可能にする方法を提供する
ことにある。
を測定するために用いるクロツクパルスの位相を
入射パルスの時系列順に適宜変えて計数すること
により、測定分離能の向上を計り、あるいは分解
能を低下させることなくクロツクパルスの周波数
を適宜低くすることを可能にする方法を提供する
ことにある。
以下図面を用いて説明する。従来の一般的な超
音波式厚さ測定装置の構成と動作を示すと第１図
に示すように同期信号発信器１により制御されて
一定の周期T1で電気的パルスを生成するパルス
送信器２、この電気的パルスを超音波パルスに変
換し、かつ反射エコーの音圧に受信してパルス電
圧に変換する探触子３、このパルス電圧を増幅す
る増幅部４、反射エコーの遅れ時間T2に等しい
電気的パルス幅を作る厚さパルス幅マルチバイブ
レーター５、該厚さパルスと水晶発振器を含むク
ロツクパルス発振器６の電圧とを受けるアンドゲ
ート７を通過したクロツクパルスを計数する計測
部８、該計測部８の計測量を表示する表示部９、
および各部に供電する電源部Ｓから構成されてい
る。
音波式厚さ測定装置の構成と動作を示すと第１図
に示すように同期信号発信器１により制御されて
一定の周期T1で電気的パルスを生成するパルス
送信器２、この電気的パルスを超音波パルスに変
換し、かつ反射エコーの音圧に受信してパルス電
圧に変換する探触子３、このパルス電圧を増幅す
る増幅部４、反射エコーの遅れ時間T2に等しい
電気的パルス幅を作る厚さパルス幅マルチバイブ
レーター５、該厚さパルスと水晶発振器を含むク
ロツクパルス発振器６の電圧とを受けるアンドゲ
ート７を通過したクロツクパルスを計数する計測
部８、該計測部８の計測量を表示する表示部９、
および各部に供電する電源部Ｓから構成されてい
る。
このような測定装置において、前記探触子３を
被検材１０の一面に当接させてパルス送信器２か
ら周期T1の電気的繰返しパルスを探触子３に印
加すると、探触子３からは第２図イに示す如き波
形の超音波パルスが周期T1で被検材１０に入射
し底面１１で反射して時間T2だけ遅れて再び探
触子３に達し、第２図ロに示す如き波形の超音波
反射パルスが受信され直ちに探触子３により該反
射パルスに対応したパルス電圧に変換され、更に
増幅部４により増幅される。上記遅れ時間T2は
被検材の厚さをＷ、超音波の該被検材中の伝搬速
度をＣとすればT2＝2W／Ｃである。そして厚さ
パルス幅マルチバイブレーター５は同期信号発振
器１の出力でONし、続いて増幅器４からの最初
の受信反射パルス電圧でOFFし、反射パルスの
遅れ時間T2に相当する第２図ハに示すような厚
さパルス電圧１２を作り、この厚さパルス電圧１
２はアンドゲート７に送られる。他方クロツクパ
ルス発振器６において水晶発振器によつて作られ
た第２図ニに示すようなT3の周期を有するクロ
ツクパルス１３がアンドゲート７に送られ、アン
ドゲート７からは第２図ホに示すようなクロツク
パルス列１４が計測部８に送られて演算素子によ
りクロツクパルス列14を計数する。クロツクパル
ス列１４に含まれるクロツクパルスの数がｎであ
ればT2＝2W／Ｃ＝T3×ｎであり、 Ｗ＝Ｃ×T3×ｎ／２ として得られるので、これを表示部９により表示
する。
被検材１０の一面に当接させてパルス送信器２か
ら周期T1の電気的繰返しパルスを探触子３に印
加すると、探触子３からは第２図イに示す如き波
形の超音波パルスが周期T1で被検材１０に入射
し底面１１で反射して時間T2だけ遅れて再び探
触子３に達し、第２図ロに示す如き波形の超音波
反射パルスが受信され直ちに探触子３により該反
射パルスに対応したパルス電圧に変換され、更に
増幅部４により増幅される。上記遅れ時間T2は
被検材の厚さをＷ、超音波の該被検材中の伝搬速
度をＣとすればT2＝2W／Ｃである。そして厚さ
パルス幅マルチバイブレーター５は同期信号発振
器１の出力でONし、続いて増幅器４からの最初
の受信反射パルス電圧でOFFし、反射パルスの
遅れ時間T2に相当する第２図ハに示すような厚
さパルス電圧１２を作り、この厚さパルス電圧１
２はアンドゲート７に送られる。他方クロツクパ
ルス発振器６において水晶発振器によつて作られ
た第２図ニに示すようなT3の周期を有するクロ
ツクパルス１３がアンドゲート７に送られ、アン
ドゲート７からは第２図ホに示すようなクロツク
パルス列１４が計測部８に送られて演算素子によ
りクロツクパルス列14を計数する。クロツクパル
ス列１４に含まれるクロツクパルスの数がｎであ
ればT2＝2W／Ｃ＝T3×ｎであり、 Ｗ＝Ｃ×T3×ｎ／２ として得られるので、これを表示部９により表示
する。
上述従来例の説明においては、原理上の説明に
は影響を与えないので同期発振器１と厚さパルス
幅マルチバイブレーターの間に通常挿入される零
点調整部を省いて説明した。
は影響を与えないので同期発振器１と厚さパルス
幅マルチバイブレーターの間に通常挿入される零
点調整部を省いて説明した。
近時超音波式厚さ計の分解能に対するユーザー
の要求が厳しくなり、被検材中の音速は約10000
ｍ／Ｓまで、測定分解能は0.1mm以上が要求され
てきた。音速10000ｍ／Ｓ、分解能0.1mmとしたと
き従来例のような方法においては、クロツクパル
スの周期T3は２×10-8秒（20＋１秒）、即ちクロ
ツクパルスの周波数50MHzが必要となる。一方、
現段階においては50MHzのような高い上限周波数
の半導体ICは消費電力が大きくかつ非常に高価
であり、製品価格が高くなる欠点があつた。
の要求が厳しくなり、被検材中の音速は約10000
ｍ／Ｓまで、測定分解能は0.1mm以上が要求され
てきた。音速10000ｍ／Ｓ、分解能0.1mmとしたと
き従来例のような方法においては、クロツクパル
スの周期T3は２×10-8秒（20＋１秒）、即ちクロ
ツクパルスの周波数50MHzが必要となる。一方、
現段階においては50MHzのような高い上限周波数
の半導体ICは消費電力が大きくかつ非常に高価
であり、製品価格が高くなる欠点があつた。
本発明は上記の点に鑑み、所望の分解能を変え
ることなく、しかも低い周波数のクロツクパルス
を用いて、被検体の厚さを測定する方法を提供す
る目的でなされたものであり、以下図面を用いて
本発明の実施例についてその構成と動作について
説明する。なお原理上の説明の範囲では影響を与
えないので、従来例の場合と同じく零点調整部を
省略して説明する。
ることなく、しかも低い周波数のクロツクパルス
を用いて、被検体の厚さを測定する方法を提供す
る目的でなされたものであり、以下図面を用いて
本発明の実施例についてその構成と動作について
説明する。なお原理上の説明の範囲では影響を与
えないので、従来例の場合と同じく零点調整部を
省略して説明する。
第３図は本発明の実施例のブロツク図であり、
位相制御回路２０、音速設定回路２１を設ける他
は、第１図に示す従来例の測定回路と同じ構成で
ある。本実施例の各部の波形を第４図に示す。第
４図イは周期T1で被検材に入射する超音波パル
スで順次P1、P2、……で示す。同図ロは被検材の
底面からの超音波反射エコーで、上記P1、P2、…
…に対応するものをR1、R2、……で示す。同図
ハは厚さパルス幅マイチバイブレーター５の出力
側における遅れ時間T2に等しいパルス幅の厚さ
パルス電圧１２を示し、以下説明のために区分し
て示す必要があるときは上記P1、P2、……に対応
するものをそれぞれ１２―１、１２―２、……と
して区分することがある。ここまでの動作は、従
来例と同様である。クロツクパルス発振器６は水
晶発振器を備え同期信号発振器の制御の下に周期
T4のクロツクパルスを発生させるが、前記入射
パルスP1、P2、……の時刻をt1、t2……としたと
き位相制御回路２０の信号を受けて、時刻t1＋T2
とt2、t2＋T2とt3、……の中間の適宜時刻t1′、
t2′、……において前記クロツクパルスの位相を
２π／Ｎ（ラジアン）づつ進める。（あるいは遅
らせる。）そこで、クロツクパルス発振器６の出
力は第４図ニに示すように、クロツクパルスは、
その位相がt1〜t1′間はφ０、t1′〜t2′間はφ０＋２
π／Ｎ、t2′〜t3′間はφ０＋（２π／Ｎ）×２、…
…のクロツクパルスが出力されてアンドゲート７
に入力される。一方アンドゲート７には前記厚さ
パルス電圧１２が入力されるので、アンドゲート
７からは第４図ホに示すようなそれぞれ２π／Ｎ
づつ位相がずれているパルス列２３―１、２３―
２、２３―３、……が順次計測部８に入力され
る。計測部８においては、演算素子により２３―
１、２３―２、……２３―Ｎの相続くＮ個のパル
ス列についてクロツクパルスを計測し、一方被検
材中の音速に関する係数が音速設定回路２１から
入力されて、クロツクパルス計量値に上記係数に
よる理論積を演算して、表示装置９に出力し、被
検材の厚さを表示する。ここで上記位相がφ０の
パルス２３―１は前記従来例のパルス１４と同等
のものである。
位相制御回路２０、音速設定回路２１を設ける他
は、第１図に示す従来例の測定回路と同じ構成で
ある。本実施例の各部の波形を第４図に示す。第
４図イは周期T1で被検材に入射する超音波パル
スで順次P1、P2、……で示す。同図ロは被検材の
底面からの超音波反射エコーで、上記P1、P2、…
…に対応するものをR1、R2、……で示す。同図
ハは厚さパルス幅マイチバイブレーター５の出力
側における遅れ時間T2に等しいパルス幅の厚さ
パルス電圧１２を示し、以下説明のために区分し
て示す必要があるときは上記P1、P2、……に対応
するものをそれぞれ１２―１、１２―２、……と
して区分することがある。ここまでの動作は、従
来例と同様である。クロツクパルス発振器６は水
晶発振器を備え同期信号発振器の制御の下に周期
T4のクロツクパルスを発生させるが、前記入射
パルスP1、P2、……の時刻をt1、t2……としたと
き位相制御回路２０の信号を受けて、時刻t1＋T2
とt2、t2＋T2とt3、……の中間の適宜時刻t1′、
t2′、……において前記クロツクパルスの位相を
２π／Ｎ（ラジアン）づつ進める。（あるいは遅
らせる。）そこで、クロツクパルス発振器６の出
力は第４図ニに示すように、クロツクパルスは、
その位相がt1〜t1′間はφ０、t1′〜t2′間はφ０＋２
π／Ｎ、t2′〜t3′間はφ０＋（２π／Ｎ）×２、…
…のクロツクパルスが出力されてアンドゲート７
に入力される。一方アンドゲート７には前記厚さ
パルス電圧１２が入力されるので、アンドゲート
７からは第４図ホに示すようなそれぞれ２π／Ｎ
づつ位相がずれているパルス列２３―１、２３―
２、２３―３、……が順次計測部８に入力され
る。計測部８においては、演算素子により２３―
１、２３―２、……２３―Ｎの相続くＮ個のパル
ス列についてクロツクパルスを計測し、一方被検
材中の音速に関する係数が音速設定回路２１から
入力されて、クロツクパルス計量値に上記係数に
よる理論積を演算して、表示装置９に出力し、被
検材の厚さを表示する。ここで上記位相がφ０の
パルス２３―１は前記従来例のパルス１４と同等
のものである。
次に本実施例についてその効果を説明する。先
ず説明の便のために厚さパルスの時間幅T2が2T4
（T4はクロツクパルスの周期）、φ０＝０でＮ＝
４すなわちクロツクパルス列２３―１、２３―
２、２３―３、２３―４が順次２π／４ラジアン
（90゜）づつ位相がずれている場合につき第５図
を用いて説明する。第５図イは厚さパルス１２を
代表して示す。同図ロ，ハ，ニ，ホはそれぞれ上
記クロツクパルス２３―１，……２３―４を，同
図ヘ，ト，チ，リはクロツクパルスの立上りで計
数するとして，それぞれ厚さパルス１２―１，１
２―２，１２―３，１２―４を測定するためのク
ロツクパルス数を縦太線で対応して示す。第５図
ヘは従来方法に対応するもので，計数値は２であ
るが，図より明らかに判かるようにクロツクパル
スの１サイクル（図にＡで示す範囲）づつ計数す
るので， 従来方法の分解能は範囲Ａに対応するT4とな
る。同図ト，チ，リにおいては位相が逐次90゜づ
つずれて上記第５図ヘのクロツクパルスの中間位
置で計数されそれぞれ計数値２となり，同図ヘ〜
リの４回の計数を行えばクロツクパルスの総計数
値は合計８となる。この場合の分解能は同図リで
２を計数した時点以後の範囲（同図にＢで示す）
に対応するT4／４であることは明らかである。
すなわち従来例に相当する第５図ヘの場合に比し
分解能は４倍良好となる。換言すれば，クロツク
パルスの位相を変えない従来方法でクロツクパル
スの周期をT4／４（周波数としては４倍）とし
て測定した場合に相当する分解能を有することと
なる。クロツクパルスの周期をT4／４とした場
合のクロツクパルスを第５図ヌに，また，これに
より厚さパルス１２を計数する状況を同図ルに示
す。
ず説明の便のために厚さパルスの時間幅T2が2T4
（T4はクロツクパルスの周期）、φ０＝０でＮ＝
４すなわちクロツクパルス列２３―１、２３―
２、２３―３、２３―４が順次２π／４ラジアン
（90゜）づつ位相がずれている場合につき第５図
を用いて説明する。第５図イは厚さパルス１２を
代表して示す。同図ロ，ハ，ニ，ホはそれぞれ上
記クロツクパルス２３―１，……２３―４を，同
図ヘ，ト，チ，リはクロツクパルスの立上りで計
数するとして，それぞれ厚さパルス１２―１，１
２―２，１２―３，１２―４を測定するためのク
ロツクパルス数を縦太線で対応して示す。第５図
ヘは従来方法に対応するもので，計数値は２であ
るが，図より明らかに判かるようにクロツクパル
スの１サイクル（図にＡで示す範囲）づつ計数す
るので， 従来方法の分解能は範囲Ａに対応するT4とな
る。同図ト，チ，リにおいては位相が逐次90゜づ
つずれて上記第５図ヘのクロツクパルスの中間位
置で計数されそれぞれ計数値２となり，同図ヘ〜
リの４回の計数を行えばクロツクパルスの総計数
値は合計８となる。この場合の分解能は同図リで
２を計数した時点以後の範囲（同図にＢで示す）
に対応するT4／４であることは明らかである。
すなわち従来例に相当する第５図ヘの場合に比し
分解能は４倍良好となる。換言すれば，クロツク
パルスの位相を変えない従来方法でクロツクパル
スの周期をT4／４（周波数としては４倍）とし
て測定した場合に相当する分解能を有することと
なる。クロツクパルスの周期をT4／４とした場
合のクロツクパルスを第５図ヌに，また，これに
より厚さパルス１２を計数する状況を同図ルに示
す。
以上の特別の例から類推して容易に判かるよう
に，一般的にいつて，厚さパルスの幅T2を周期
T4のクロツクパルスで測定する場合，クロツク
パルス計測値がｎであれば，被検材の厚さＷ＝Ｃ
×T4×ｎ／２で表わされ，厚さの分解能はＣ
T4／２である。（従来の測定方法に対応する。） 一方，厚さ幅T2を測定する方法として，周期
Ｎ T4のクロツクパルスで相次ぐＮ個の厚さパ
ルス（それぞれのパルス幅はT2）を２π／Ｎづつ
位相を変えて測定するときは，カウント数は
Ｔ２／Ｎ Ｔ４×Ｎ＝Ｔ２／Ｔ４＝ｎ，厚さＷ＝Ｃ×T4
×ｎ／２ で表わされ，分解能はＣ T4／２となり，前述
の従来の方法と同一分解能が，従来方法に比しク
ロツクパルスの周波数を１／Ｎに下げてもえられ
ることとなる。
に，一般的にいつて，厚さパルスの幅T2を周期
T4のクロツクパルスで測定する場合，クロツク
パルス計測値がｎであれば，被検材の厚さＷ＝Ｃ
×T4×ｎ／２で表わされ，厚さの分解能はＣ
T4／２である。（従来の測定方法に対応する。） 一方，厚さ幅T2を測定する方法として，周期
Ｎ T4のクロツクパルスで相次ぐＮ個の厚さパ
ルス（それぞれのパルス幅はT2）を２π／Ｎづつ
位相を変えて測定するときは，カウント数は
Ｔ２／Ｎ Ｔ４×Ｎ＝Ｔ２／Ｔ４＝ｎ，厚さＷ＝Ｃ×T4
×ｎ／２ で表わされ，分解能はＣ T4／２となり，前述
の従来の方法と同一分解能が，従来方法に比しク
ロツクパルスの周波数を１／Ｎに下げてもえられ
ることとなる。
次にもし厚さパルス幅T2を測定するに当つ
て，周期T4のクロツクパルスで相次ぐN′個の厚
さパルスを２π／N′づつ位相を変えて測定する
ときは，厚さの分解能はCT4／2N′となり，前記
の従来の方法に比べてN′倍良好となる。
て，周期T4のクロツクパルスで相次ぐN′個の厚
さパルスを２π／N′づつ位相を変えて測定する
ときは，厚さの分解能はCT4／2N′となり，前記
の従来の方法に比べてN′倍良好となる。
本発明の最も簡単な具体例を述べれば，クロツ
クパルス周波数を現時点では入手し易く価格が比
較的低廉なICが使用できる25MHzとし，クロツク
パルスの位相を180゜移相して２個の厚さパルス
を計測することにより，音速10000ｍ／Ｓの被検
材の厚さを0.1mmの分解能で測定することができ
る構成とし，音速5950ｍ／Ｓの鋼材を測定すると
きは，計測されたクロツクパルス数に音速設定値
を5950ｍ／Ｓにセツトすることにより0.595を掛
ける演算を行なわせ，音速6260ｍ／Ｓのアルミ材
のときは計測されたクロツクパルス数に0.626を
掛ける演算を行なわせて小数点以下１桁で表示を
行なうことができる。さらにクロツクパルスの位
相を18゜移相して20個の厚さパルスを計測すれ
ば，小数点以下２桁の表示を行なうことができ
る。
クパルス周波数を現時点では入手し易く価格が比
較的低廉なICが使用できる25MHzとし，クロツク
パルスの位相を180゜移相して２個の厚さパルス
を計測することにより，音速10000ｍ／Ｓの被検
材の厚さを0.1mmの分解能で測定することができ
る構成とし，音速5950ｍ／Ｓの鋼材を測定すると
きは，計測されたクロツクパルス数に音速設定値
を5950ｍ／Ｓにセツトすることにより0.595を掛
ける演算を行なわせ，音速6260ｍ／Ｓのアルミ材
のときは計測されたクロツクパルス数に0.626を
掛ける演算を行なわせて小数点以下１桁で表示を
行なうことができる。さらにクロツクパルスの位
相を18゜移相して20個の厚さパルスを計測すれ
ば，小数点以下２桁の表示を行なうことができ
る。
本発明は上記の如く２π／Ｎづつ位相をずらし
たクロツクパルスにより，Ｎ個の厚さパルスを計
測する方法であるので，従来の方法でクロツクパ
ルスの周波数をＮ倍にした測定に相当する厚さ測
定ができるので厚さ測定がＮ倍の分解能で実施で
きる方法であり，また一方では高い上限周波数の
高価なICを用いることを避け製品のコストダウ
ンを可能とすることができる。
たクロツクパルスにより，Ｎ個の厚さパルスを計
測する方法であるので，従来の方法でクロツクパ
ルスの周波数をＮ倍にした測定に相当する厚さ測
定ができるので厚さ測定がＮ倍の分解能で実施で
きる方法であり，また一方では高い上限周波数の
高価なICを用いることを避け製品のコストダウ
ンを可能とすることができる。
第１図〜第２図は従来の一般的な超音波式厚さ
測定装置に係り，第１図はそのブロツク図，第２
図は各部の波形を示し，第３図〜第５図は本発明
の実施例に係り，第３図はそのブロツク図，第４
図はその各部における波形，第５図イ〜リは特定
の例について計測動作を説明する要図，同図ヌ，
ルは上記特定例に相当する計測例を説明するため
の要図である。 １：同期信号発振器，２：パルス送信器，３：
探触子，４：増幅部，５：厚さパルス発振器，
６：クロツクパルス発振器，７：アンドゲート，
８：計測部，９…表示部，１０：被検材，１２：
厚さパルス，２０：位相制御回路，２１：音速設
定回路，２２，２２―１，２２―２……：クロツ
クパルス，２３，２３―１，２３―２……：クロ
ツクパルス列，Ｓ：電源部。
測定装置に係り，第１図はそのブロツク図，第２
図は各部の波形を示し，第３図〜第５図は本発明
の実施例に係り，第３図はそのブロツク図，第４
図はその各部における波形，第５図イ〜リは特定
の例について計測動作を説明する要図，同図ヌ，
ルは上記特定例に相当する計測例を説明するため
の要図である。 １：同期信号発振器，２：パルス送信器，３：
探触子，４：増幅部，５：厚さパルス発振器，
６：クロツクパルス発振器，７：アンドゲート，
８：計測部，９…表示部，１０：被検材，１２：
厚さパルス，２０：位相制御回路，２１：音速設
定回路，２２，２２―１，２２―２……：クロツ
クパルス，２３，２３―１，２３―２……：クロ
ツクパルス列，Ｓ：電源部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 周期的に超音波パルスを被検材の一面に入射
し上記被検材の底面からの反射エコーを受信する
までの時間の遅れをクロツクパルスの計数により
測定して上記被検材の厚さを測定する超音波式厚
さ測定方法において、 上記時間の遅れの測定は、相次ぐＮ個（Ｎは２
以上の整数）の厚さパルスについて、各厚さパル
スの測定毎にクロツクパルスの位相を２π／Ｎラ
ジアンづつ順次ずらせて一つのカウンターでその
クロツクパルスを計数することにより行われ、こ
の計数量に上記被検材中の音速に対応する補正を
演算してその厚さをデジタル表示することを特徴
とする上記超音波式厚さ測定方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55172076A JPS5892811A (ja) | 1980-12-08 | 1980-12-08 | 超音波式厚さ測定方法 |
| US06/274,451 US4388830A (en) | 1980-12-08 | 1981-06-17 | Method and apparatus for measurement of thickness utilizing ultrasonic pulses |
| DE19813126138 DE3126138A1 (de) | 1980-12-08 | 1981-07-02 | Verfahren und vorrichtung zur messung der dicke eines werkstuecks mit ultraschallimpulsen |
| GB8121286A GB2089039B (en) | 1980-12-08 | 1981-07-10 | Thickness measurement with ultrasonic pulses |
| FR8114069A FR2496874B1 (fr) | 1980-12-08 | 1981-07-20 | Procede et dispositif d'amelioration de la resolution pour les mesures d'epaisseur par ultrasons |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55172076A JPS5892811A (ja) | 1980-12-08 | 1980-12-08 | 超音波式厚さ測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5892811A JPS5892811A (ja) | 1983-06-02 |
| JPS6249921B2 true JPS6249921B2 (ja) | 1987-10-22 |
Family
ID=15935088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55172076A Granted JPS5892811A (ja) | 1980-12-08 | 1980-12-08 | 超音波式厚さ測定方法 |
Country Status (5)
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| JP (1) | JPS5892811A (ja) |
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- 1981-07-20 FR FR8114069A patent/FR2496874B1/fr not_active Expired
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Also Published As
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